JP3980573B2 - ガス交換装置及びランプ製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、管の内部ガスを交換可能なガス交換装置、及び、冷陰極放電灯等のランプ製造装置を含む技術分野に属するものである。

例えば液晶表示装置等のバックライト用光源として、冷陰極放電灯（ＣＣＦＬ）が使用される。かかる放電灯のバルブ部は、一般的に次に示すように製造される。まず、ガラス管の内壁面に、蛍光皮膜を形成する。次に、ガラス管のうち一端側に第１の電極マウントを封止し、続いて、他端側に第２の電極マウントを仮止めし、水銀合金部材を挿入する。そして、ガラス管内を一旦排気し、不活性ガスを導入する。この状態を維持しつつ、加熱によりガラス管内に水銀蒸気を放出せしめる。その後、第２の電極マウントを封止すると同時に、第２の電極マウント位置よりも端部側を切り離す。これにより、バルブ部が形成される。

前記ガラス管内を排気し、不活性ガスを供給するためのガス交換装置においては、一端の封止されたガラス管に対して、開口端側に排気及びガス導入のためのヘッドを装着し、前記開口端側から真空ポンプを用いて排気させたり、不活性ガスを導入させたりするようになっている（例えば、特許文献１参照。）。
特開平７−２５４３６４号公報

しかしながら、ガラス管の径が細い場合や、全長が非常に長い場合には、上記ガス交換装置では、開口端から離間した部位ほどガラス管内のガス（酸素）が排出されにくく、排気時間が著しく長くなってしまうおそれがある。また、吸引能力の高い真空ポンプが必要となる場合もあり、この場合、設備費が増加してしまうおそれがある。加えて、ガラス管内に残存してしまった酸素等を吸着させるために、ゲッタ材の使用を余儀なくされる場合もある。これらにより、製造コストの増加を招いてしまうといった不具合が懸念される。

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、コストの増加を招くことなく、管の内部ガスを効率良く交換可能なガス交換装置、及び、ランプ製造装置を提供することである。

以下、上記目的等を解決するのに適した各手段につき項分けして説明する。なお、必要に応じて対応する手段に特有の作用効果等を付記する。

手段１．長手方向両端が開口する管の内部ガスを交換可能なガス交換装置であって、前記管の一方の開口端が装着される上部ヘッドと、前記管の他方の開口端が装着される下部ヘッドとを備えるとともに、これら両ヘッドにて前記管の長手方向が略鉛直に保持されるよう構成し、前記上部ヘッドには、前記管内へ所定のガスを供給するための給気流路が接続され、前記下部ヘッドには、前記管内を吸引するための排気流路が接続されていることを特徴とするガス交換装置。

上記手段１によれば、管の開口端が上部ヘッド及び下部ヘッドに装着されることで、管の長手方向が略鉛直に保持される。上部ヘッドには給気流路が接続されているおり、前記略鉛直に保持された管の上部開口端から管内に所定のガスが供給される。一方、下部ヘッドには排気流路が接続されているため、前記管の下部開口端から管内が吸引される。このため、所定のガスの供給と排気とを繰り返し行ったり、所定のガスを供給しつつ管内の排気を行ったりすることで、当初存在していた管の内部ガスが、管の上端から導入される所定のガスによって、管の下端から押し出されるようにして排気される。そのため、短時間でスムーズに効率よく、しかも、より確実に、管の内部ガスを所定のガスと交換させることができる。また、排気流路に対応して非常に吸引能力の高い高価な排気手段を採用したり、ケッダ材を使用したりする必要がないことから、コストの増加を抑制することもできる。

また、管内が吸引されることによって、管内の不要な付着物が剥がれ落ちる場合がある。この場合であっても、管の長手方向が略鉛直に支持されているため、前記剥がれ落ちた付着物は自重により落下して管の下方へと移動させられ易い。そのうえ、管の下端から吸引されるため、付着物を管内のガスと共に効率的に管の外部へと排出させることができる。

手段２．長手方向両端が開口する管の内部ガスを交換可能なガス交換装置であって、鉛直状態にある前記管の上部開口端が装着される上部ヘッドと、前記管の下部開口端が装着される下部ヘッドとを備え、前記上部ヘッドには、給気流路の一端を接続するとともに、該給気流路の他端を給気手段に接続し、当該給気手段より、所定のガスを前記給気流路及び上部ヘッドを介して前記管内に所定のガスを供給可能に構成し、前記下部ヘッドには、排気流路の一端を接続するとともに、該排気流路の他端を排気手段に接続し、当該排気手段より、前記管の内部ガスを前記下部ヘッド及び排気流路を介して吸引排気可能に構成したことを特徴とするガス交換装置。

上記手段２によれば、基本的には、手段１と同様の作用効果が奏される。

手段３．前記管の軟化点以下の温度で、前記管を加熱可能な加熱手段を備えることを特徴とする手段１又は２に記載のガス交換装置。

上記手段３によれば、加熱手段によって管が加熱されることで、管内のガス等の排出をより促すことができる。

手段４．前記管を加熱して封止するための封止加熱手段を備えることを特徴とする手段１乃至３のいずれかにガス交換装置。

上記手段４にように、封止加熱手段を設けるとこと、管内のガスが交換された状態で、管を封止できる。

手段５．前記上部ヘッド及び前記下部ヘッドを同期して移動可能に構成し、前記上部ヘッド及び前記下部ヘッドによって支持された前記管の移動経路上の位置に応じて、前記給気流路及び前記排気流路の開閉状態を切換可能に構成したことを特徴とする手段１乃至４のいずれかにガス交換装置。

上記手段５によれば、上部ヘッド及び下部ヘッドを同期して移動させることによって、管は略鉛直状態を維持しつつ移動させられる。そして、管の移動経路上の位置に応じて、管内に所定のガスが供給されたり、管内のガスの吸引が行われたりするため、作業効率を向上させることができる。

手段６．回転可能に支持された上部ターレット及び下部ターレットを備え、前記上部ヘッドを前記上部ターレットに設け、前記下部ヘッドを前記下部ターレットに設けるとともに、前記上部ターレットと前記下部ターレットとを同期して回転可能に構成したことを特徴とする手段５にガス交換装置。

上記手段６によれば、上部ヘッドが上部ターレットに設けられ、下部ヘッドが下部ターレットに設けられており、上部ターレットと下部ターレットとを同期して回転させることで、上部ヘッド及び下部ヘッドに支持された管が所定の環状の経路を移動させられる。このため、ガス交換装置における管内のガス交換等の作業開始位置と作業終了位置とを近接して配置させることができ、より一層作業効率を向上させることができる。また、省スペース化を図ることもできる。

手段７．前記排気流路には、吸引排気のための排気手段が接続され、当該排気手段を下部ターレットに設けたことを特徴とする手段６に記載のガス交換装置。

上記手段７によれば、排気手段が、下部ターレットに設置されているため、排気手段を上部ターレットやターレットの外部に設置する場合に比べて、下部ヘッドに接続される排気流路の流路構成を簡易なものとすることができ、ひいては、装置のコンパクト化を図ることができる。

手段８．前記上部ヘッドには、さらに、所定の封入用ガスを前記管内へ供給するための封入用ガス流路が接続され、前記封入用ガス及び前記所定のガスの主成分が共通しており、前記所定のガスに含まれる主成分の割合が、前記封入用ガスに含まれる主成分の割合よりも低く構成されていることを特徴とする手段１乃至７のいずれかに記載のガス交換装置。

上記手段８によれば、上部ヘッドに接続された封入用ガス流路を介して、封入用ガスが管内に供給される。これにより、管内には、主成分の割合の異なる２種類のガス、すなわち、所定のガス及び封入ガスを供給させることができる。一般に、ガスは純度の高いものほどコストが高い傾向にあり、封入用ガスは所定のガスよりもコストが高くなる。このため、ガス交換前に存在する管の内部ガスの排出のために所定のガスを供給させ、封入のために最終的に封入用ガスを供給させるようにすれば、純度の高いガスへの交換が可能となるとともに、排出され無駄となる可能性が高い供給ガスのコストの増加を抑制できる。

手段９．前記管はランプ用のガラス管であることを特徴とする手段１乃至８のいずれかに記載のガス交換装置。

手段１０．前記管は内壁面に蛍光被膜を有してなる冷陰極放電灯用のガラス管であることを特徴とする手段１乃至９のいずれかに記載のガス交換装置。

手段１１．手段１乃至１０のいずれかに記載のガス交換装置を備えてなるランプ製造装置。

上記手段１１のように、ランプ製造装置に、上記ガス交換装置を備える構成とすることで、管の内部ガスを効率よく交換することができ、ランプの製造コストを抑制できる。

以下、一実施形態について、図面を参照しつつ説明する。

図２に示すように、本実施形態におけるランプを構成する冷陰極放電灯１は、ガラス管よりなるバルブ部２と、バルブ部２の両端において封止状態で設けられた電極マウント３，４とを備えている。バルブ部２の内壁面には、蛍光皮膜５が設けられているとともに、バルブ部２内部には不活性ガスと水銀蒸気とが封入されている。なお、同図では、便宜上、バルブ部２の長さが比較的短く示されているが、実際には、かなり細長いものである。例えば、本実施の形態におけるバルブ部２は、外径が２ｍｍから６ｍｍ程度に、肉厚が０．２ｍｍから０．５ｍｍ程度に、長さが数十ｍｍから千数百ｍｍ程度に構成されている。もちろん、上記数値範囲を逸脱したものであってもよい。

かかる冷陰極放電灯１は、所定の製造装置が用いられることにより、次のようにして製造される。すなわち、まず、ガラス管の内壁面の所定部位に、蛍光皮膜５を形成する。蛍光皮膜５が形成されたガラス管の一方の端部側において長手方向に沿った２カ所に縮径部をそれぞれ形成する。次に、ガラス管のうち他方の端部に第１の電極マウント３を挿入し、仮止めする。続いて、前記一方の端部から第２の電極マウント４を挿入し、一方の縮径部に第２の電極マウント４を仮止めする。さらに、他方の縮径部（一方の端部側に位置する縮径部）よりも端部側に水銀合金部材を挿入する。その後、ガラス管内の脱気、及び、不活性ガスの導入を行う。この状態で、前記第１の電極マウント３よりも端部側、及び、前記挿入した水銀合金部材よりも端部側において一旦封止する。さらに、加熱によりガラス管内に水銀蒸気を放出せしめる。そして、前記仮止めされた第１の電極マウント３及び第２の電極マウント４をそれぞれ封止するとともに、両電極マウント３，４よりも端部側を切り離す。これにより、バルブ部２が形成される。このように、一連の工程を経ることによって、前記冷陰極放電灯１が得られる。

さて、上記各種の工程のための各種装置（例えば、塗膜層形成装置、縮径部形成装置、挿入・仮止め装置、脱気・ガス導入装置、加熱装置、封止装置等）からなる図示しない製造装置を用いて冷陰極放電灯１を得るに際し、脱気・ガス導入工程においては、本実施形態特有のガス交換装置としての脱気・ガス導入装置７が用いられる。

脱気・ガス導入装置７は、図１（ａ），（ｂ）に示すように、ベース部８と、該ベース部８から略鉛直方向に延びる支柱９と、該支柱９の上部及び下部において回転可能に設けられた上部ターレット１０及び下部ターレット１１とを備えている。前記上部ターレット１０及び下部ターレット１１は、図示しない回転機構によって支柱９の軸回りに所定角度（本実施形態では、例えば６０度）ずつ同期して回転可能に構成されている。上部ターレット１０は、前記所定角度毎に上部ヘッド１３を備えている。下部ターレット１１は、前記上部ヘッド１３に対向して前記所定角度毎に設けられた下部ヘッド１４と、該下部ヘッド１４を上下方向へ移動させるための上下移動手段１５とを備えている。上部ヘッド１３及び下部ヘッド１４によって、ガラス管１６は管軸を略鉛直方向に向けて、その長手方向両端が支持されるようになっている。また、上部ターレット１０及び下部ターレット１１が回転させられることにより、上部ヘッド１３及び下部ヘッド１４に支持されたガラス管１６は、第１〜第６作業位置Ｐ１〜Ｐ６を順に移動させられるようになっている。

前記各上部ヘッド１３には、それぞれフラッシングガスを導入するための給気流路としての第１ガス流路１７、封入用ガスを導入するための第２ガス流路１８、及び、ガラス管１６内の圧力を測定するための圧力センサ１９が接続されている。第１ガス流路１７の他端側は、給気手段としての図示しないフラッシングガスボンベに接続されているとともに、当該第１ガス流路１７の途中には、流路を開閉するための第１開閉弁２０が設けられている。同様に、第２ガス流路１８の他端側は、図示しない封入用ガスボンベに接続されているとともに、当該第２ガス流路１８の途中には、流路を開閉するための第２開閉弁２１が設けられている。なお、本実施形態では、前記フラッシングガスボンベ及び封入用ガスボンベからは、共にアルゴンガスが供給される。但し、封入用ガスボンベ内のアルゴンガスは、フラッシングガスボンベ内のアルゴンガスよりも高純度となっている。

前記各下部ヘッド１４には、ガラス管１６内のエア等を吸引排気するための排気流路２３が接続されている。各排気流路２３の他端側は、下部ターレット１１上に設置された複数の排気手段としての真空ポンプ２４にそれぞれ接続されているとともに、当該排気流路２３の途中には、流路を開閉するための真空電磁弁２５が設けられている。

また、上部ターレット１０と下部ターレット１１との間には、ガラス管１６の移動経路に沿った所定の範囲に、加熱手段としての加熱炉２６が設置固定されている。前記所定の範囲は、本実施形態では、第２〜第４作業位置Ｐ２〜Ｐ４に対応させられている。

さらに、第５作業位置Ｐ５には、ガラス管１６の下部に対応して該ガラス管１６を封止するための封止加熱手段を構成する一対の下部封止バーナー２８と、ガラス管１６の上部に対応して該ガラス管を予熱するための一対の上部予熱バーナー２９とを備えている。また、第６作業位置Ｐ６には、ガラス管１６の上部に対応して前記予熱位置を封止するための封止加熱手段を構成する一対の上部封止バーナー３０と、ガラス管１６の長手方向中央近傍を把持するための図示しないチャックとを備えている。なお、前記チャックは、図示しない駆動手段によってガラス管１６に対して接離方向及び上下方向へ移動可能に構成されている。また、各バーナー２８，２９，３０は図示しない移動手段によって、ガラス管１６に対して接離方向へ移動可能に構成されている。

次に、脱気・ガス導入装置７におけるガラス管１６の脱気及びガス導入の手順並びにその際に奏される作用効果について説明する。本実施形態における脱気・ガス導入装置７にあっては、図３（ａ）に示すようなガラス管１６が用いられる。すなわち、該ガラス管１６は、両端が開口しており、内壁面に蛍光皮膜５が形成されている。また、ガラス管１６の長手方向の一端側に第１の電極マウント３が係止されているとともに、他端側に第２の電極マウント４が係止され、第２の電極マウント４よりも上方のくびれ部分に対応して、水銀合金部材３２が挿入されている。なお、ガラス管１６内の前記第１の電極マウント３及び第２の電極マウント４の係止部分には、エアやアルゴンガス等が通過可能な程度に十分な隙間が形成されている。

まず、図３（ｂ）に示すように、脱気・ガス導入装置７の第１作業位置Ｐ１において、下部ヘッド１４が下方に下げられた状態で、上記ガラス管１６の第２の電極マウント４側の端部を上部ヘッド１３に挿入する。そして、上下移動手段１５を作動させることによって、下部ヘッド１４を上昇させる。すると、前記ガラス管１６の第１の電極マウント３側の端部が下部ヘッド１４に挿入させられる。さらに、回転機構を作動させることによって、上部ターレット１０及び下部ターレット１１が回転させられ、ガラス管１６が第２作業位置Ｐ２へと移動させられる。

第２作業位置Ｐ２から第４作業位置Ｐ４までの間において、図３（ｃ）に示すように、加熱炉２６によってガラス管１６は３００℃〜４００℃程度に加熱されつつ、ガラス管１６内のフラッシングが行われる。前記加熱によって、ガラス管１６内の水分や大気等の排出が促される。また、これととともに、フラッシングによって、ガラス管１６内が減圧され、かつ、ガラス管１６内の大気がフラッシングガスに置換される。

ここで、フラッシングについて説明する。まず、真空電磁弁２５を開き、排気流路２３を介して真空ポンプ２４によってガラス管１６の下端から吸引させることで、ガラス管１６内が排気され、減圧される。次に、前記真空電磁弁２５を閉じるとともに、第２開閉弁２１を開くと、第２ガス流路１８を介して、フラッシングガスボンベからガラス管１６の上端から内部へとフラッシングガスが導入される。前記排気及びフラッシングガスの導入を繰り返す（図４参照）ことで、ガラス管１６内の圧力が徐々に減圧されるとともに、当該ガラス管１６内の大気がフラッシングガスへと置換される。

なお、第２作業位置Ｐ２以降においては、ガラス管１６内の圧力が圧力センサ１９によって測定されているため、圧力変化を確認することで、ガラス管１６のクラックによるリーク等の圧力異常を検知することができる。

前記フラッシングの終了後、排気流路２３及び第２ガス流路１８は閉じられ、ガラス管１６は第５作業位置Ｐ５に移動させられる。第５作業位置Ｐ５では、移動手段によって下部封止バーナー２８をガラス管１６へと接近させる。すると、図３（ｄ）に示すように、ガラス管１６の第１電極マウント３位置よりも下端側が封止される。さらに、第１開閉弁２０が開状態とされ、第１ガス流路１７を介して封入用ガスボンベからガラス管１６内へ封入用ガスが導入される。これにより、ガラス管１６内のアルゴンガスの純度を高くすることができる。また、このとき、移動手段によって、上部予熱バーナー２９をガラス管１６へ接近させることにより、ガラス管１６の水銀合金部材挿入位置よりも上端側が予熱される。

さらに、ガラス管１６は、第６作業位置Ｐ６に移動させられる。第６作業位置Ｐ６では、まず、上下移動手段１５を作動させることによって、下部ヘッド１４を下降させる。これにより、ガラス管１６の下端から、下部ヘッド１４が外される。そして、チャックによって、ガラス管１６の長手方向中央近傍を把持させる。次に、移動手段によって上部封止バーナー３０をガラス管１６へと接近させる。すると、ガラス管１６の前記予熱位置がさらに加熱軟化され、封止される。また、このときチャックを下降させることで、図３（ｅ）に示すように、前記封止位置においてガラス管１６が切り離される。

このように、ガラス管１６は第１作業位置Ｐ１から第６作業位置Ｐ６までを順に経ることで、ガラス管１６内の大気が排気され、当該ガラス管１６内に封入用ガスが導入され、かつ、その長手方向両端近傍が封止された状態となる。

以上詳述したように、略鉛直に保持されたガラス管１６の下端側に排気流路２３が接続され、上端側に第２ガス流路１７が接続されている。このため、フラッシングの際に、ガラス管１６の下端から吸引され、上端からフラッシングガスが導入される。従って、ガラス管１６内の大気は、ガラス管１６の上端から導入されるフラッシングガスによって、ガラス管１６の下端から押し出されるようにして排気される。その結果、ガラス管１６内の大気を、短時間でスムーズに効率よく、しかも、より確実にフラッシングガスへと交換させることができる。

そのため、真空ポンプ２４として非常に吸引能力の高い高価なものを採用する必要がなく、大気中の酸素等を吸着させるためのケッダ材を使用する必要もない。従って、ガスの交換コストの増加を抑制でき、ひいては、放電灯１の製造コストの増加を抑制することができる。

また、ガラス管１６内の大気等が吸引されると、ガラス管１６内に形成された蛍光被膜５の一部が粉状となって剥がれ落ちる場合がある。このような場合、ガラス管１６の長手方向が略鉛直に支持されているため、前記剥がれ落ちた粉は自重により落下してガラス管１６の下方へと移動させられ易い。そのうえ、ガラス管１６の下端から吸引されるため、剥がれ落ちた粉を大気等と共に効率的にガラス管１６の外部へと排出させることができる。

さらに、加熱炉２６によって加熱される際に、ガラス管１６の長手方向が略水平方向に支持させた場合には、加熱によって撓み、ガラス管１６が反ってしまうといった不具合が生じるおそれがある。この点、本実施形態では、ガラス管１６の長手方向が略鉛直方向に支持されているため、反りの発生を抑制できる。

加えて、上部ターレット１０及び下部ターレット１１を同期回転させて、ガラス管１６が第１作業位置Ｐ１〜第６作業位置Ｐ６を順に移動させられるようになっている。作業位置Ｐ１〜Ｐ６毎に、所定の排気及びガス導入等の切り替えが行われることで、作業効率を向上させることができる。また、作業開始位置である第１作業位置Ｐ１と、作業終了位置である第６作業位置Ｐ６とが隣り合うようになっている。このため、脱気・ガス導入装置７に対するガラス管１６の取り入れ及び取り出しを近接した位置で行うことができ、より一層作業効率を向上させることができる。

併せて、複数の真空ポンプ２４が、それぞれ各下部ヘッド１４に対応して、下部ターレット１１上に設置されている。このため、真空ポンプ２４を上部ターレット１０上やターレット１０，１１の外部に設置するよりも、下部ヘッド１４に接続された排気流路２３の真空ポンプ２４への接続構成を簡易なものとすることができるとともに、コンパクトな装置とすることができる。

なお、本実施形態の脱気・ガス導入装置７は、いわゆるセンタバルブ方式とは異なり、装置の構成の複雑化を抑制でき、メンテナンスを容易にすることができるというメリットもある。

また、フラッシングの際に導入するガスは、排出され無駄となる量も多くなってしまうが、本実施形態では、フラッシングガスとして封入用ガスよりも純度の低いアルゴンガスを採用している。一般に、ガスは純度の高いものほどコストが高い傾向にあるが、本実施形態では、使用量の多いフラッシングガスとして、コストの比較的安価なガスを使用することとしているため、コストの増加を抑制できる。

以上説明した実施形態において、例えば、次のように構成の一部を適宜変更して実施することも可能である。勿論、以下において例示しない他の変更例も当然可能である。

（ａ）上記実施形態においては、先に排気を行ってから、次にフラッシングガスを導入し、その後、排気とフラッシングガスの導入とを交互に繰り返し行うこととしているが、必ずしもこの順でなくてもよい。例えば、先にフラッシングガスを導入してもよい。また、フラッシングガスを導入しつつ、排気を行なってもよい。

（ｂ）フラッシングガスに代えて、封入用ガスを用いても差し支えない。また、封入用ガスを省略してもよい。

（ｃ）上記排気・ガス導入装置７は、上部ターレット１０及び下部ターレット１１を用いたターレットタイプであるが、ガラス管１６が所定の略直線上を移動させられる構成としたラインタイプの装置にも応用できる。

（ｄ）上記排気・ガス導入装置７に、加熱炉２６やバーナー２８，２９，３０によって加熱されたガラス管１６を冷却するための冷却手段を設けてもよい。

一実施形態における脱気・ガス導入装置を説明するための図であって、（ａ）は概略構成図であり、（ｂ）は作業位置を示す（ａ）の平面模式図である。 冷陰極放電灯の構成を示す部分断面図である。 脱気・ガス導入装置における作業を説明するための図であって、（ａ）は使用するガラス管の部分断面図であり、（ｂ）は第１作業位置においてガラス管を上部ヘッドに装着した状態を示す部分断面図であり、（ｃ）は第２作業位置から第４作業位置においてガラス管を加熱しつつ排気及びフラッシングガスの導入を行っている状態を示す部分断面図であり、（ｄ）は第５作業位置においてガラス管下部の封止及び封入用ガスの導入を行っている状態を示す部分断面図であり、（ｅ）は第６作業位置においてガラス管上部が封止された状態を示す図である。 フラッシングにおけるガラス管内の経時的な圧力変化を示す図である。

符号の説明

７…ガス交換装置としての脱気・ガス導入装置、１０…上部ターレット、１１…下部ターレット、１３…上部ヘッド、１４…下部ヘッド、１６…ガラス管、１７…給気流路としての第１ガス流路、１８…封入用ガス流路としての第２ガス流路、２３…排気流路、２４…排気手段としての真空ポンプ、２６…加熱手段としての加熱炉、２８…封止加熱手段を構成する下部封止バーナー、３０…封止加熱手段を構成する上部封止バーナー。

Claims (9)

1. 長手方向両端が開口する管の内部ガスを交換可能なガス交換装置であって、
   前記管の一方の開口端が装着される上部ヘッドと、
   前記管の他方の開口端が装着される下部ヘッドとを備えるとともに、これら両ヘッドにて前記管の長手方向が略鉛直に保持されるよう構成し、
   前記上部ヘッドには、前記管内へ所定のガスを供給するための給気流路が接続され、
   前記下部ヘッドには、前記管内を吸引するための排気流路が接続されていることを特徴とするガス交換装置。
2. 長手方向両端が開口する管の内部ガスを交換可能なガス交換装置であって、
   鉛直状態にある前記管の上部開口端が装着される上部ヘッドと、
   前記管の下部開口端が装着される下部ヘッドとを備え、
   前記上部ヘッドには、給気流路の一端を接続するとともに、該給気流路の他端を給気手段に接続し、当該給気手段より、所定のガスを前記給気流路及び上部ヘッドを介して前記管内に所定のガスを供給可能に構成し、
   前記下部ヘッドには、排気流路の一端を接続するとともに、該排気流路の他端を排気手段に接続し、当該排気手段より、前記管の内部ガスを前記下部ヘッド及び排気流路を介して吸引排気可能に構成したことを特徴とするガス交換装置。
3. 前記管の軟化点以下の温度で、前記管を加熱可能な加熱手段を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載のガス交換装置。
4. 前記管を加熱して封止するための封止加熱手段を備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかにガス交換装置。
5. 前記上部ヘッド及び前記下部ヘッドを同期して移動可能に構成し、
   前記上部ヘッド及び前記下部ヘッドによって支持された前記管の移動経路上の位置に応じて、前記給気流路及び前記排気流路の開閉状態を切換可能に構成したことを特徴とする請求項１乃至４のいずれかにガス交換装置。
6. 回転可能に支持された上部ターレット及び下部ターレットを備え、
   前記上部ヘッドを前記上部ターレットに設け、
   前記下部ヘッドを前記下部ターレットに設けるとともに、
   前記上部ターレットと前記下部ターレットとを同期して回転可能に構成したことを特徴とする請求項５にガス交換装置。
7. 前記排気流路には、吸引排気のための排気手段が接続され、
   当該排気手段を下部ターレットに設けたことを特徴とする請求項６に記載のガス交換装置。
8. 前記上部ヘッドには、さらに、所定の封入用ガスを前記管内へ供給するための封入用ガス流路が接続され、
   前記封入用ガス及び前記所定のガスの主成分が共通しており、前記所定のガスに含まれる主成分の割合が、前記封入用ガスに含まれる主成分の割合よりも低く構成されていることを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載のガス交換装置。
9. 請求項１乃至８のいずれかに記載のガス交換装置を備えてなるランプ製造装置。

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