JPH04245138A - プラズマディスプレイパネルの製造方法 - Google Patents
プラズマディスプレイパネルの製造方法Info
- Publication number
- JPH04245138A JPH04245138A JP1067391A JP1067391A JPH04245138A JP H04245138 A JPH04245138 A JP H04245138A JP 1067391 A JP1067391 A JP 1067391A JP 1067391 A JP1067391 A JP 1067391A JP H04245138 A JPH04245138 A JP H04245138A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- internal space
- display panel
- plasma display
- manufacturing
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 22
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 32
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 claims description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 46
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 17
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 11
- 102100039169 [Pyruvate dehydrogenase [acetyl-transferring]]-phosphatase 1, mitochondrial Human genes 0.000 description 6
- 101710126534 [Pyruvate dehydrogenase [acetyl-transferring]]-phosphatase 1, mitochondrial Proteins 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 3
- 239000005394 sealing glass Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 2
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 2
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プラズマディスプレイ
パネル（ＰＤＰ）の製造方法に関し、特に内部の放電空
間を清浄化するための排気処理に特徴を有する。
パネル（ＰＤＰ）の製造方法に関し、特に内部の放電空
間を清浄化するための排気処理に特徴を有する。
【０００２】ＰＤＰでは、放電空間の残留不純物が表示
動作の信頼性及び寿命に影響を与える。それ故、残留不
純物をできるだけ除去した良質の放電空間を形成しなけ
ればならない。
動作の信頼性及び寿命に影響を与える。それ故、残留不
純物をできるだけ除去した良質の放電空間を形成しなけ
ればならない。
【０００３】
【従来の技術】周知のように、ＰＤＰは、表示面側及び
背面側の一対の透明基板を放電空間を設けて対向配置し
、透明基板の内側に設けた電極群の交差部に画定される
放電セルを選択的に発光可能に構成されている。
背面側の一対の透明基板を放電空間を設けて対向配置し
、透明基板の内側に設けた電極群の交差部に画定される
放電セルを選択的に発光可能に構成されている。
【０００４】ＰＤＰの製造に際しては、一対のガラス基
板のそれぞれの表面に、複数の帯状の電極、誘電体層な
どを順次形成し、両ガラス基板を１００μｍ程度の間隙
を設けて対向配置した後、封止ガラスによって周囲を密
封する。
板のそれぞれの表面に、複数の帯状の電極、誘電体層な
どを順次形成し、両ガラス基板を１００μｍ程度の間隙
を設けて対向配置した後、封止ガラスによって周囲を密
封する。
【０００５】その後、排気処理によって内部を清浄化し
た後に、所定の圧力となるように放電ガスを封入し、Ｐ
ＤＰの組み立てを終える。
た後に、所定の圧力となるように放電ガスを封入し、Ｐ
ＤＰの組み立てを終える。
【０００６】従来においては、排気処理として、一対の
ガラス基板を３５０℃程度に加熱（ベーキング）した状
態で、真空ポンプを用いて内部気体を背面側ガラス基板
に設けた１つの通気孔から吸引していた。
ガラス基板を３５０℃程度に加熱（ベーキング）した状
態で、真空ポンプを用いて内部気体を背面側ガラス基板
に設けた１つの通気孔から吸引していた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】特に、大型のＰＤＰ及
び放電空間を区画するための隔壁を有したＰＤＰでは、
通気孔から離れた部位の排気が困難であり、内部に大気
が残存し易い。また、内表面に吸着した不純ガス又は内
表層に含まれる不純物を充分に取り除くことができなか
った。つまり、内部の清浄化が不十分になり易いという
問題があった。
び放電空間を区画するための隔壁を有したＰＤＰでは、
通気孔から離れた部位の排気が困難であり、内部に大気
が残存し易い。また、内表面に吸着した不純ガス又は内
表層に含まれる不純物を充分に取り除くことができなか
った。つまり、内部の清浄化が不十分になり易いという
問題があった。
【０００８】内部の清浄化が不十分であると、その後に
封入する放電ガスと内部に残留する大気及び不純物とが
混ざることから、放電ガス組成が変化して表示動作が不
安定になる。
封入する放電ガスと内部に残留する大気及び不純物とが
混ざることから、放電ガス組成が変化して表示動作が不
安定になる。
【０００９】本発明は、上述の問題に鑑み、内部空間の
充分な清浄を可能にすることを目的としている。
充分な清浄を可能にすることを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
め、請求項１の発明に係る製造方法は、図１に示すよう
に、対向配置した一対の基板１１，２１の周囲を封止し
た後、内部空間３０を清浄化するための排気処理を行う
プラズマディスプレイパネル１の製造方法において、前
記一方の基板２１に少なくとも２つの通気孔４１，４２
を設け、前記２つの通気孔４１，４２の内の一方の通気
孔４１によって前記内部空間３０の排気を行い、前記他
方の通気孔４２から当該内部空間３０に清浄用ガス６０
を導入する。
め、請求項１の発明に係る製造方法は、図１に示すよう
に、対向配置した一対の基板１１，２１の周囲を封止し
た後、内部空間３０を清浄化するための排気処理を行う
プラズマディスプレイパネル１の製造方法において、前
記一方の基板２１に少なくとも２つの通気孔４１，４２
を設け、前記２つの通気孔４１，４２の内の一方の通気
孔４１によって前記内部空間３０の排気を行い、前記他
方の通気孔４２から当該内部空間３０に清浄用ガス６０
を導入する。
【００１１】請求項２の発明に係る製造方法は、前記２
つの通気孔４１，４２を、前記内部空間３０の排気と前
記清浄用ガス６０の導入とに交互に切り替えて用いる。
つの通気孔４１，４２を、前記内部空間３０の排気と前
記清浄用ガス６０の導入とに交互に切り替えて用いる。
【００１２】請求項３の発明に係る製造方法は、前記一
対の基板１１，２１を加熱した状態で、前記内部空間３
０の排気及び前記清浄用ガス６０の導入を行う。
対の基板１１，２１を加熱した状態で、前記内部空間３
０の排気及び前記清浄用ガス６０の導入を行う。
【００１３】請求項４の発明に係る製造方法は、前記内
部空間３０の排気及び前記清浄用ガス６０の導入を行っ
た後に、前記内部空間３０内で放電を生じさせる。
部空間３０の排気及び前記清浄用ガス６０の導入を行っ
た後に、前記内部空間３０内で放電を生じさせる。
【００１４】
【作用】一対の基板１１，２１を加熱した状態で、一方
及び他方の通気孔４１，４２を交互に切り替えて、内部
空間３０の排気と清浄用ガス６０の導入とが順に又は並
行して行われる。
及び他方の通気孔４１，４２を交互に切り替えて、内部
空間３０の排気と清浄用ガス６０の導入とが順に又は並
行して行われる。
【００１５】清浄用ガス６０は、内部空間３０に行き渡
り、内表面との衝突などの物理的作用又は化学反応によ
って不純物を内部空間３０に析出させる。析出された不
純物は、清浄用ガス６０とともに外部へ排出される。
り、内表面との衝突などの物理的作用又は化学反応によ
って不純物を内部空間３０に析出させる。析出された不
純物は、清浄用ガス６０とともに外部へ排出される。
【００１６】内部空間３０での放電による清浄化によっ
て、さらに不純物が内部空間３０に析出する。
て、さらに不純物が内部空間３０に析出する。
【００１７】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説
明する。
明する。
【００１８】図２は本発明に係るＰＤＰ１の断面図であ
る。
る。
【００１９】ＰＤＰ１は、表示側のガラス基板１１、背
面側のガラス基板２１、横方向に延びる一対の透明電極
からなる放電維持電極対１２及びバス電極１５、低融点
ガラスからなる誘電体層１７、ＭｇＯからなる保護膜１
８、横方向壁１９ａと縦方向壁１９ｂとからなる格子状
の隔壁１９、縦方向に延びるアドレス電極２２及び隔壁
２５、所定の配置パターンで設けられた蛍光体２８、及
びガラス基板１１，２１の周囲を封止する封止ガラス３
１などから構成され、内部の放電空間３０には、例えば
ネオン及びキセノンを混合した放電ガスが封入されてい
る。
面側のガラス基板２１、横方向に延びる一対の透明電極
からなる放電維持電極対１２及びバス電極１５、低融点
ガラスからなる誘電体層１７、ＭｇＯからなる保護膜１
８、横方向壁１９ａと縦方向壁１９ｂとからなる格子状
の隔壁１９、縦方向に延びるアドレス電極２２及び隔壁
２５、所定の配置パターンで設けられた蛍光体２８、及
びガラス基板１１，２１の周囲を封止する封止ガラス３
１などから構成され、内部の放電空間３０には、例えば
ネオン及びキセノンを混合した放電ガスが封入されてい
る。
【００２０】なお、ＰＤＰ１の製造段階においては、後
述の排気処理のために、背面側のガラス基板２１に一対
の通気孔４１，４２（図１参照）が設けられている。
述の排気処理のために、背面側のガラス基板２１に一対
の通気孔４１，４２（図１参照）が設けられている。
【００２１】図１は本発明を実施するための排気装置５
０の構成を模式的に示す図である。
０の構成を模式的に示す図である。
【００２２】排気装置５０は、封止ガラス３１による密
封工程を経た段階の多数のＰＤＰ１ａを一括して加熱可
能なベーキング炉５１、図示しない配管を介してＰＤＰ
１ａの放電空間（内部空間）３０内の気体を吸引する真
空ポンプ５２、バルブ装置５３、清浄用ガス６０を充填
したガスボンベ５４、調圧弁５５、及びＰＤＰ１ａに対
して放電電圧を印加するための電源装置５６から構成さ
れている。
封工程を経た段階の多数のＰＤＰ１ａを一括して加熱可
能なベーキング炉５１、図示しない配管を介してＰＤＰ
１ａの放電空間（内部空間）３０内の気体を吸引する真
空ポンプ５２、バルブ装置５３、清浄用ガス６０を充填
したガスボンベ５４、調圧弁５５、及びＰＤＰ１ａに対
して放電電圧を印加するための電源装置５６から構成さ
れている。
【００２３】なお、清浄用ガス６０としては、水分など
の不純物を含まず且つ内表面に吸着されにくいガス、例
えば上述の放電ガス、窒素、酸素、アルゴン、キセノン
などを用いることができる。
の不純物を含まず且つ内表面に吸着されにくいガス、例
えば上述の放電ガス、窒素、酸素、アルゴン、キセノン
などを用いることができる。
【００２４】次に、ＰＤＰ１ａに対する排気処理を説明
する。
する。
【００２５】上述したように、ガラス基板２１には、そ
の四隅の内の対角となる２つの隅に、表示領域を避けて
通気孔４１，４２が設けられており、これら通気孔４１
，４２にはそれぞれガラス管４３，４４が取り付けられ
ている。
の四隅の内の対角となる２つの隅に、表示領域を避けて
通気孔４１，４２が設けられており、これら通気孔４１
，４２にはそれぞれガラス管４３，４４が取り付けられ
ている。
【００２６】まず、ＰＤＰ１ａをベーキング炉５１内に
配置し、ガラス管４３，４４とバルブ装置５３に通ずる
配管とをガラス加工などによって接続する。
配置し、ガラス管４３，４４とバルブ装置５３に通ずる
配管とをガラス加工などによって接続する。
【００２７】次に、バルブ装置５３の内部流路の切替え
によって、ガスボンベ５４に至る流路を閉じる。そして
、真空ポンプ５２を用いて、一方の通気孔（例えば通気
孔４１）から内部空間３０内の気体を吸引する。すなわ
ち排気を開始する。
によって、ガスボンベ５４に至る流路を閉じる。そして
、真空ポンプ５２を用いて、一方の通気孔（例えば通気
孔４１）から内部空間３０内の気体を吸引する。すなわ
ち排気を開始する。
【００２８】内部空間３０が１０−４［Ｔｏｒｒ］程度
の真空状態になった時点で、排気を続けつつベーキング
炉５１による加熱を始め、ＰＤＰ１ａを昇温する。加熱
によって内部空間３０の残留ガスの運動が活発になり、
残留ガスが真空ポンプ５２によって吸引され易くなる。
の真空状態になった時点で、排気を続けつつベーキング
炉５１による加熱を始め、ＰＤＰ１ａを昇温する。加熱
によって内部空間３０の残留ガスの運動が活発になり、
残留ガスが真空ポンプ５２によって吸引され易くなる。
【００２９】ベーキング炉５１内が３５０℃程度の温度
に達すると、その温度を維持しつつ、ガスボンベ５４か
ら他方の通気孔（例えば通気孔４２）に至る流路を開き
、図１に実線矢印で示すように、排気と並行して内部空
間３０に清浄用ガス６０を導入する。
に達すると、その温度を維持しつつ、ガスボンベ５４か
ら他方の通気孔（例えば通気孔４２）に至る流路を開き
、図１に実線矢印で示すように、排気と並行して内部空
間３０に清浄用ガス６０を導入する。
【００３０】導入された清浄用ガス６０は、通気孔４２
から通気孔４１に向かって内部空間３０に行き渡るよう
に流れる間に内部空間３０内の残留ガスを吸収し、内部
空間３０を清浄化する。
から通気孔４１に向かって内部空間３０に行き渡るよう
に流れる間に内部空間３０内の残留ガスを吸収し、内部
空間３０を清浄化する。
【００３１】内部空間３０の排気と清浄用ガス６０の導
入とを３０分程度続けた後、バルブ装置５３の内部流路
を切り替えて、図１に破線矢印で示すように、以前とは
逆に通気孔４２から排気を行いつつ、通気孔４１から清
浄用ガス６０を内部空間３０に導入する。これにより、
内部空間３０内は均一に清浄化される。
入とを３０分程度続けた後、バルブ装置５３の内部流路
を切り替えて、図１に破線矢印で示すように、以前とは
逆に通気孔４２から排気を行いつつ、通気孔４１から清
浄用ガス６０を内部空間３０に導入する。これにより、
内部空間３０内は均一に清浄化される。
【００３２】その後、３０分毎に通気孔４１，４２を排
気孔とガス導入孔とに交互に切り替えて用い、内部空間
３０の排気と清浄用ガス６０の導入とを並行して行い、
内部空間３０の清浄化を２時間程度続ける。
気孔とガス導入孔とに交互に切り替えて用い、内部空間
３０の排気と清浄用ガス６０の導入とを並行して行い、
内部空間３０の清浄化を２時間程度続ける。
【００３３】次に、清浄用ガス６０の導入を停止し、排
気を行いつつＰＤＰ１ａを自然冷却する。ＰＤＰ１ａが
常温に戻った後に排気を停止する。
気を行いつつＰＤＰ１ａを自然冷却する。ＰＤＰ１ａが
常温に戻った後に排気を停止する。
【００３４】続いて、清浄用ガス６０が放電ガスの場合
は清浄用ガス６０を内部空間３０に導入し、また、清浄
用ガス６０が放電ガス以外の場合は図示しないガスボン
ベから放電ガスを導入する。
は清浄用ガス６０を内部空間３０に導入し、また、清浄
用ガス６０が放電ガス以外の場合は図示しないガスボン
ベから放電ガスを導入する。
【００３５】そして、電源装置５６によって、帯状導電
部材７１，７２を介してＰＤＰ１ａに所定の電圧を印加
し、内部空間３０で放電を生じさせる。これにより、内
部空間３０の内表層から不純物が析出する。
部材７１，７２を介してＰＤＰ１ａに所定の電圧を印加
し、内部空間３０で放電を生じさせる。これにより、内
部空間３０の内表層から不純物が析出する。
【００３６】以降においては、放電ガスを一旦排気した
後、内部空間３０に再び放電ガスを５００〜６００［Ｔ
ｏｒｒ］程度の圧力になるように封入する。そして、ガ
ラス加工によって、通気孔４１，４２を塞ぐようにガラ
ス管４３，４４を溶断し、ＰＤＰ１の組み立てを終える
。
後、内部空間３０に再び放電ガスを５００〜６００［Ｔ
ｏｒｒ］程度の圧力になるように封入する。そして、ガ
ラス加工によって、通気孔４１，４２を塞ぐようにガラ
ス管４３，４４を溶断し、ＰＤＰ１の組み立てを終える
。
【００３７】上述の実施例によれば、内部空間３０で清
浄用ガス６０の流れが生じることから、内部空間３０を
短時間で均一に清浄化することができ、また、ＰＤＰ１
ａの加熱及び放電を併用することによって不純物を効率
的に取り除くことができる。
浄用ガス６０の流れが生じることから、内部空間３０を
短時間で均一に清浄化することができ、また、ＰＤＰ１
ａの加熱及び放電を併用することによって不純物を効率
的に取り除くことができる。
【００３８】上述の実施例においては、排気と清浄用ガ
ス６０の導入とを並行して行うものとして説明したが、
一方の通気孔４１から排気を行った後、排気を一旦停止
して他方の通気孔４２から清浄用ガス６０を導入するよ
うにしてもよい。
ス６０の導入とを並行して行うものとして説明したが、
一方の通気孔４１から排気を行った後、排気を一旦停止
して他方の通気孔４２から清浄用ガス６０を導入するよ
うにしてもよい。
【００３９】上述の実施例において、ガラス基板２１に
３つ以上の通気孔を設けてもよい。また、本発明は、面
放電型のＰＤＰ１に限らず、対向放電形式のＰＤＰ及び
セグメント表示方式のＰＤＰの製造にも適用することが
できる。
３つ以上の通気孔を設けてもよい。また、本発明は、面
放電型のＰＤＰ１に限らず、対向放電形式のＰＤＰ及び
セグメント表示方式のＰＤＰの製造にも適用することが
できる。
【００４０】
【発明の効果】本発明によれば、内部空間を十分に且つ
均一に清浄することが可能となる。
均一に清浄することが可能となる。
【００４１】請求項２乃至請求項４の発明によれば、内
部空間の清浄化の効率を高めることができる。
部空間の清浄化の効率を高めることができる。
【図１】本発明を実施するための排気装置の構成を模式
的に示す図である。
的に示す図である。
【図２】本発明に係るＰＤＰの断面図である。
１ ＰＤＰ（プラズマディスプレイパネル）１１，２
１ ガラス基板（基板） ３０ 放電空間（内部空間） ４１，４２ 通気孔 ６０ 清浄用ガス
１ ガラス基板（基板） ３０ 放電空間（内部空間） ４１，４２ 通気孔 ６０ 清浄用ガス
Claims (4)
- 【請求項１】対向配置した一対の基板（１１）（２１）
の周囲を封止した後、内部空間（３０）を清浄化するた
めの排気処理を行うプラズマディスプレイパネル（１）
の製造方法において、前記一方の基板（２１）に少なく
とも２つの通気孔（４１）（４２）を設け、前記２つの
通気孔（４１）（４２）の内の一方の通気孔（４１）に
よって前記内部空間（３０）の排気を行い、前記他方の
通気孔（４２）から当該内部空間（３０）に清浄用ガス
（６０）を導入することを特徴とするプラズマディスプ
レイパネルの製造方法。 - 【請求項２】前記２つの通気孔（４１）（４２）を、前
記内部空間（３０）の排気と前記清浄用ガス（６０）の
導入とに交互に切り替えて用いることを特徴とする請求
項１記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。 - 【請求項３】前記一対の基板（１１）（２１）を加熱し
た状態で、前記内部空間（３０）の排気及び前記清浄用
ガス（６０）の導入を行うことを特徴とする請求項１又
は請求項２記載のプラズマディスプレイパネルの製造方
法。 - 【請求項４】請求項１又は請求項２記載の排気及び前記
清浄用ガス（６０）の導入を行った後に、前記内部空間
（３０）内で放電を生じさせることを特徴とするプラズ
マディスプレイパネルの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1067391A JP3165453B2 (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1067391A JP3165453B2 (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04245138A true JPH04245138A (ja) | 1992-09-01 |
| JP3165453B2 JP3165453B2 (ja) | 2001-05-14 |
Family
ID=11756778
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1067391A Expired - Fee Related JP3165453B2 (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3165453B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6221190B1 (en) | 1997-08-29 | 2001-04-24 | Chugai Ro Co., Ltd. | Method and apparatus for processing glass panel |
| US9548232B2 (en) | 2012-06-20 | 2017-01-17 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Attaching apparatus |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100358805B1 (ko) | 2000-03-07 | 2002-10-25 | 삼성에스디아이 주식회사 | 리튬 이차 전지용 음극 활물질 및 그의 제조 방법 |
-
1991
- 1991-01-31 JP JP1067391A patent/JP3165453B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6221190B1 (en) | 1997-08-29 | 2001-04-24 | Chugai Ro Co., Ltd. | Method and apparatus for processing glass panel |
| KR100459277B1 (ko) * | 1997-08-29 | 2005-05-24 | 주가이로 고교 가부시키가이샤 | 유리패널의제조방법및장치 |
| US9548232B2 (en) | 2012-06-20 | 2017-01-17 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Attaching apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3165453B2 (ja) | 2001-05-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3465634B2 (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
| KR100798986B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법 | |
| JP2002245941A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
| JP2007119833A (ja) | 蒸着膜の形成方法、保護膜の形成方法及びプラズマディスプレイパネル製造装置 | |
| KR100746440B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널 | |
| JPH04245138A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
| JP5373605B2 (ja) | 封着パネルの製造方法 | |
| JP2002033052A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
| JP2007265768A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法及びその製造装置 | |
| JP2007317488A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法及びプラズマディスプレイパネルの製造装置 | |
| JPH03230447A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
| JP2004273445A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法および基板保持具 | |
| KR100323510B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널의 프론트/리어 패널 결합방법 | |
| WO2005006381A1 (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
| KR100412084B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법 및 장치 | |
| JP2002134019A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法および製造装置およびそれらを用いて製造したプラズマディスプレイパネル | |
| JP2002140988A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法およびそれらを用いて製造したプラズマディスプレイパネル | |
| WO2004102607A1 (ja) | プラズマディスプレイパネル | |
| JP2000057939A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
| KR100309275B1 (ko) | Pdp제조방법과pdp의가스주입및배기계 | |
| KR20030067756A (ko) | 가스방전패널의 제조방법 | |
| JP4175084B2 (ja) | プラズマディスプレイパネルの分離方法 | |
| JP2002358903A (ja) | ガス放電パネル及びその製造装置並びに製造方法 | |
| JP2744727B2 (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
| JP2002134026A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造装置および製造方法およびそれらを用いて製造したプラズマディスプレイパネル |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010220 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| S131 | Request for trust registration of transfer of right |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313131 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090302 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100302 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |