JPH11354034A - ガラスパネルの真空排気用接管構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ２枚のガラス基板からなるガラスパネル内を
真空排気するガラスチップ管を損傷することなく、か
つ、作業性よく真空排気系に接管するガラスパネルの真
空排気用接管構造の提供を目的とする。 【解決手段】 ガラス基板Ｗ₁と排気用孔を有するガラ
ス基板Ｗ₁のいずれか一方の対向周縁部に封着剤を塗布
して両ガラス基板を一体化したガラスパネルの前記排気
用孔と真空排気配管とを接続するガラスパネルの真空排
気用接管構造において、炉壁を貫通して一端が炉内に、
他端が炉外に位置する金属製フレキシブルホース３６
と、該金属製フレキシブルホースの一端に金属製短管３
７を介して接続し、他端を前記排気用孔に接続するガラ
スチップ管４０とから構成し、前記金属製フレキシブル
ホースの他端を、着脱自在な継手３５を介して真空排気
配管３４に接続するガラスパネルの真空排気用接管構
造。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガラスパネルの真
空排気用接管構造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】真空断熱ガラスパネルあるいはプラズマ
ディスプレイパネル（以下、ＰＤＰという）等のガラス
パネルの製造方法としては、種々の形式のものがある。
しかし、いずれの形式であれ、ガラスパネル内を真空排
気する工程を有する。この真空排気工程は、２枚のガラ
ス基板の縁部を封着工程で封着してガラスパネルとした
後、一端を一方のガラス基板に取り付けられ、他端が真
空排気系に接続されたガラスチップ管を介してガラスパ
ネル内を真空排気するものである。そして、その後、真
空断熱ガラスパネルにあってはガラスチップ管を封止
し、ＰＤＰにあっては前記ガラスチップ管からガラスパ
ネル内に放電ガスを封入したのちガラスチップ管を封止
するものである。

【０００３】ところで、前記ガラスパネルのガラスチッ
プ管と真空排気系との接管構造としては炉外接管方式と
炉内接管方式とがある。炉外接管方式は、炉内に位置す
る固定部材にガラスパネルを取り付け、そのガラスチッ
プ管を炉壁に設けた貫通孔から炉外に突出させ、継手を
介して真空排気系に接続して真空排気を行なうものであ
る。また、炉内接管方式は、ガラスチップ管を炉壁を貫
通して設けた真空排気系に炉内継手を介して接続して真
空排気を行なうものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者に
おいては、ガラスチップ管が長尺となるため破損しやす
くハンドリングに細心の注意を要し、それだけ作業性が
低下する。また、熱膨張により破損しやすいという課題
を有する。一方、後者においては、ガラスチップ管が短
くなるため前者の欠点はないものの、炉内継手は内部に
Ｏリングを使用するため水冷構造となっており、炉内の
継手部近傍の温度が低下して炉内温度分布が不均一にな
るとともに水冷用配管等により構造が複雑になるという
課題を有する。したがって、本発明は、ガラスチップ管
の破損が少なく、かつ、作業性がよく、しかも、構成も
比較的簡単なガラスパネルの真空排気用接管構造を提供
することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は前記目的を達成
するためになされたもので、ガラス基板と排気用孔を有
するガラス基板のいずれか一方の対向周縁部に封着剤を
塗布して両ガラス基板を一体化したガラスパネルの前記
排気用孔と真空排気配管とを接続するガラスパネルの真
空排気用接管構造において、炉壁を貫通して一端が炉内
に、他端が炉外に位置する金属製フレキシブルホース
と、該金属製フレキシブルホースの一端に金属製短管を
介して接続し、他端を前記排気用孔に接続するガラスチ
ップ管とから構成し、前記金属製フレキシブルホースの
他端を、着脱自在な継手を介して真空排気配管に接続す
るものである。

【０００６】

【発明の実施の形態】つぎに、本発明の実施の形態につ
いて図１〜図８にしたがって説明する。

【０００７】本実施の形態は、ガラスパネルとしてＰＤ
Ｐを採用する場合であって、図において、Ｔは封着・排
気炉で、炉床に開口部７を全長にわたって有するととも
に、各々複数の室からなる封着処理ゾーンＡ、排気ゾー
ンＢおよび冷却ゾーンＣとからなる。そして、レールＲ
が、図１に示すように、封着・排気炉Ｔの下方と、炉の
側方にも設けられ、両端は装入トランスファーカーＴｆ
₁，抽出トランスファーカーＴｆ₂で接続され、下記する
排気カート１０が循環使用できるようになっているとと
もに、前記冷却ゾーンＣと抽出トランスファーカーＴｆ
₂との間に、放電ガス封入・封止ゾーンＺｇが設けてあ
る。

【０００８】また、封着処理ゾーンＡと排気ゾーンＢ
は、図２に示すように、炉内には循環バッフル１が設け
られるとともに、循環通路２にラジアントチューブバー
ナまたは電熱ヒータ等の熱源３が配置され、炉内の雰囲
気は循環ファン４により吸入口５から吸引され、前記熱
源３により加熱され、吐出口６から吐出することにより
炉内を循環し、下記する排気カート１０上のＰＤＰ組立
体Ｐ₁を加熱する。なお、冷却ゾーンＣは前記封着処理
ゾーンＡ，排気ゾーンＢにおける熱源３に加えて冷却チ
ューブ等の冷却源８を有するもので、他の構成は前記封
着処理ゾーンＡ（排気ゾーンＢ）と同一である。

【０００９】前記排気カート１０は、レールＲ上をプッ
シャ（図示せず）により移動するもので、排気カート１
０の上面には前記封着・排気炉Ｔの開口部７を貫通して
炉内に位置する複数本の支柱１５が設けられるととも
に、これら支柱１５の頂部には炉長方向に梁部材１６が
設けられている。また、この梁部材１６には複数の第1
支持アーム１７が所定間隔で炉巾方向に設けてある。な
お、前記支柱１５には前記開口部７と若干の間隙をもっ
て開口部７を遮蔽し、炉壁（床）の一部として機能する
断熱部材１１を排気カート１０の全長にわたって備えて
いる。

【００１０】そして、前記第1支持アーム１７の一側に
は支持板１８が取り付けられ、一方の端部内方に押えバ
ネ１９が設けられている。また、他側の押えバネ１９と
対向する部分にはコ字形のチップ管保持金具２０が開口
２０ａを側方にして取り付けられ、このチップ管保持金
具２０の側板部２０ｂには上方が開口するチップ管挿通
溝２０ｃと、凹字形のチップ管保持具２１が設けられて
いる。

【００１１】なお、前記チップ管保持金具２０が取り付
けられていない第1支持アーム１７の他端には内方にス
ペーサ（図示せず）を有する支持板（図示せず）がＰＤ
Ｐ組立体Ｐ₁の下部を位置決め可能に取り付けられてい
る。

【００１２】一方、前記梁部材１６には、図６に示すよ
うに、第２支持アーム２２が前記第1支持アーム１７の
両側に位置するように配設され、かつ、この第２支持ア
ーム２２に複数の支持ポール２３が起立状態で設けられ
るとともに、所定高さで水平方向にパネルサポート２４
が突設され、このパネルサポート２４の先端部でＰＤＰ
組立体Ｐ₁が保持される。

【００１３】また、排気カート１０には真空排気ポンプ
３０を有する真空排気系と放電ガスボンベ３１を備えた
放電ガス供給系とが搭載されており、両者は電磁式開閉
弁３２と電磁式開閉弁３３とで配管３４に接続されると
ともに、継手３５によりステンレス等の金属製フレキシ
ブルホース３６と接続されている。この金属製フレキシ
ブルホース３６は、前記断熱部材１１に設けた貫通孔１
２を介して上下に突出するとともに、その上方先端部に
はＦｅ−Ｎｉ合金等のガラスチップ管とほぼ同一の熱膨
張率をもつ金属製短管３７が設けてある。

【００１４】つぎに、ＰＤＰの処理方法を説明する。ま
ず、積込み・積卸しゾーンＺで、前記排気カート１０の
第1支持アーム１７上にクッション材１７ａを介して炉
外にてＰＤＰ組立体Ｐ₁を取り付ける。すなわち、ガラ
ス基板Ｗ₁と排気用孔を有するガラス基板Ｗ₂とを、いず
れか一方の対向周縁部に封着剤を塗布して、両ガラス基
板Ｗを図示しないクリップ等で一体化（ＰＤＰ組立体）
し、このＰＤＰ組立体Ｐ₁を前記排気カート１０の第1支
持アーム１７のクッション材１７ａ上に、前記パネルサ
ポート２４間を通して第１支持アーム１７上に起立状態
で載置する。

【００１５】また、金属製フレキシブルホース３６の先
端部に設けた金属製短管３７に取り付けたＬ型ガラスチ
ップ管４０を、金属製フレキシブルホース３６を断熱部
材１１に設けた貫通孔１２に挿通して後端をガラス基板
の排気用孔（図示せず）と接続する。すなわち、Ｌ型ガ
ラスチップ管４０の先端部に環状のチップ管封着用フリ
ット４３と、フリット支持用セラミック（ＳｉＮ，Ｓｉ
Ｃ等）４４とを挿入し、ＰＤＰ組立体Ｐ₁を押えバネ１
９に抗して押圧し、前記チップ管封着用フリット４３と
フリット支持セラミック４４をＰＤＰ組立体Ｐ₁と側板
部２０ｂ間に介在させた状態で前記チップ管挿通溝２０
ｃに位置させることにより行なう。その後、コ字形クリ
ップ４５を挿入することによりＬ形ガラスチップ管４０
を固定する。ついで、金属製フレキシブルホース３６の
下端部を継手３５により真空排気配管３４に接続する。
また、前記Ｌ型ガラスチップ管４０に封止ヒータ４６を
取り付ける。なお、前記真空排気配管３４は放電ガスの
供給管を兼用する。

【００１６】前述のようにして複数のＰＤＰ組立体Ｐ₁
を載積した排気カート１０は適宜手段で装入トランスフ
ァーカーＴｆ₁に至り、ここで、封着・排気炉Ｔの装入
側に移動し、プッシャ等により密着状態で順次封着・排
気炉Ｔ内に装入される。したがって、前記開口部７は殆
ど各排気カート１０の断熱部材１１で閉鎖され、外気の
炉内への侵入および炉気の炉外への放散を防止する。

【００１７】前記排気カート１０が炉内に装入される
と、図８に示すヒートカーブにもとづいて、まず、ＰＤ
Ｐ組立体Ｐ₁は封着処理ゾーンＡで封着剤とチップ管封
着用フリット４３が溶融して両ガラス基板Ｗ₁，Ｗ₂とＬ
形ガラスチップ管４０を封着してガラスパネルＰ₂とな
る。そして、排気ゾーンＢに至ると、前記電磁式開閉弁
３２を開、電磁式開閉弁３３を閉として各ガラスパネル
Ｐ₂内を真空排気ポンプ３０に連通する。各ガラスパネ
ルＰ₂は排気ゾーンＢを通過する間に加熱されながら、
両ガラス基板Ｗ₁，Ｗ₂から発生するガスとともにガラス
パネルＰ₂内は１０^-2〜１０^-6Ｔｏｒｒまで排気され、
冷却ゾーンＣを経て炉外に搬出される。その後、放電ガ
ス封入・封止ゾーンＺｇに至ると、真空排気ポンプ３０
を停止するとともに前記電磁式開閉弁３２を閉、３３を
開にすることにより放電ガスボンベ３１からたとえば、
ネオン（Ｎｅ）、ヘリウム（Ｈｅ）あるいはキセノン
（Ｘｅ）等の放電ガスをガラスパネルＰ₂内に規定圧力
（４００〜７６０Ｔｏｒｒ）まで封入する。

【００１８】そして、前記放電ガスの封入が完了する
と、封止ヒータ４６に通電してＬ形ガラスチップ管４０
を封じ切る。ついで、排気カート１０は抽出トランスフ
ァーカーＴｆ₂を通って積込み・積卸しゾーンＺに移行
し、ここで前記処理済ＰＤＰを積卸すとともにＬ形ガラ
スチップ管４０をその前記排気用孔近傍で封じ切り所定
のＰＤＰとする。その後、新規なＰＤＰ組立体Ｐ₁を排
気カート１０上に積込み、前述の工程を繰り返す。

【００１９】前記説明においては、ガラスパネルとして
内部に放電ガスを封入するＰＤＰの処理方法について述
べたが、放電ガス封入・封止ゾーンＺｇを設けることな
く排気ゾーンＢにて内部を所定圧まで排気したのち真空
排気ポンプ３０を停止し、封止ヒータ４６に通電してＬ
形ガラスチップ管４０を封じ切り、所定の真空断熱ガラ
スパネルとすることができる。

【００２０】前記実施形態においては、１本のＬ形ガラ
スチップ管４０を、直接、金属製フレキシブルホース３
６の金属製短管３７に取り付ける場合について述べた
が、この方法においては、残りのＬ形ガラスチップ管４
０を毎回金属製短管３７から取り外し、新規のＬ形ガラ
スチップ管４０に取り替える必要がある。ところが、Ｌ
形ガラスチップ管４０の金属製短管３７への取り付けは
フリットにて封着しており、また、この取り外しは硝酸
等でフリットを溶かす必要があり、この作業は非常に面
倒で作業性が悪い。

【００２１】したがって、つぎのようにするのが好まし
い。まず、前述のＬ形ガラスチップ管４０を、Ｌ形ガラ
スチップ管本体４０ａと直管用の延長用ガラスチップ管
４０ｂとの２部品とし、かつ、Ｌ形ガラスチップ管本体
４０ａは数種類の長さの異なるものを用意する。

【００２２】最初は、図７（イ）に示すように、前記延
長用ガラスチップ管４０ｂを前記金属製短管３７に突き
合わせあるいは差し込み、フリットを溶融させて接続
し、その後、Ｌ形ガラスチップ管本体４０ａを前記延長
用ガラスチップ管４０ｂにトーチにて接合して一体化
し、これを金属製フレキシブルホース３６と一体化した
ものを使用する。

【００２３】そして、真空排気とこれに続く封入ガスの
封入が終了すると、図７（ロ）に示すように、接合の真
上のａ₁位置を封じ切り、その後、図７（ハ）に示すよ
うに、排気用孔近傍のａ₂位置および接合の真下のｂ₁位
置で切断する。次に使用するＬ形ガラスチップ管本体４
０ａは、図７（ニ）に示すように延長用ガラスチップ管
４ｂの切断長さｘ₁だけ長いものを使用し、このＬ形ガ
ラスチップ管４０ａを短くなった延長用ガラスチップ管
４０ｂにトーチにて接合して前述のように使用する。

【００２４】このようにして、延長用ガラスチップ管４
０ｂは順次短くなり、使用が不可能な状態になると、延
長用ガラスチップ管４０ｂをフリットを溶かすことによ
り金属製短管３７から取り外し、新しい延長用ガラスチ
ップ管４０ｂを前述のように取り付けて使用する。この
ようにすると、作業が面倒なフリットによる接合、取り
外し回数は数分の１となるため、それだけ作業性を向上
させることができる。

【００２５】前記の説明では、ＰＤＰを排気カート１０
により連続的に処理する場合であるが、バッチ処理にも
適用することができる。この場合、金属製フレキシブル
ホース３６は炉側壁あるいは炉床を貫通させればよい。

【００２６】なお、ガラスパネルを真空断熱ガラスとす
る場合には、前記放電ガスの封入工程を行なうことな
く、排気工程後に、ガラスチップ管の封じ切りを行なえ
ばよい。また、前記実施の形態においては、両ガラス基
板Ｗを第１支持アーム１７上にほぼ真直に起立させる場
合であるが、両ガラス基板Ｗを一方向に傾斜させてもよ
い。この場合、ガラス基板Ｗを１本のパネルサポート２
４で支持するようにすればよい。

【００２７】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、ガラスチップ管を真空排気系に接続する場合、
真空排気系に直接接続することなく、金属製フレキシブ
ルホースを介して接続する。そのため、破損しやすいガ
ラス製チップ管は短く、かつ金属製フレキシブルホース
は可撓性があるとともに、排気系との接続は炉外で行な
うため簡単な構成で、真空排気系に破損を少なくして、
作業性よく接管することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明を適用するガラスパネルの封着・排気
・放電ガス封入設備の概略平面図。

【図２】 図１の封着処理（排気）ゾーンの拡大断面
図。

【図３】 ガラスパネルを取り付けた排気カートの一部
断面図。

【図４】 図３の要部拡大平面図。

【図５】 図３の側面図。

【図６】 ガラスパネルを取り付けた排気カートの他の
一部断面図。

【図７】 （イ）〜（ニ）はＬ形ガラスチップ管をＬ形
ガラスチップ管本体と延長用ガラスチップ管とした場合
の、各長さ、切断点、溶接点を示す図。

【図８】 封着・排気炉のヒートカーブ。

【符号の説明】

Ｔ…封着・排気炉、Ｐ₁…ＰＤＰ組立体、７…開口部、
１０…排気カート、１１…断熱部材、１２…貫通孔、１
５…支柱、１６…梁部材、１７…第１支持アーム、１８
…支持板、１９…押えバネ、２０…チップ管保持金具、
２２…第２支持アーム、２３…支持ポール、２４…パネ
ルサポート、３０…真空排気ポンプ、３１…放電ガスボ
ンベ、３４…真空排気配管、３５…継手、３６…金属製
フレキシブルホース、３７…金属製短管、４０…Ｌ形ガ
ラスチップ管、４０ａ…Ｌ形ガラスチップ管本体、４０
ｂ…延長用ガラスチップ管。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガラス基板と排気用孔を有するガラス基
   板のいずれか一方の対向周縁部に封着剤を塗布して両ガ
   ラス基板を一体化したガラスパネルの前記排気用孔と真
   空排気配管とを接続するガラスパネルの真空排気用接管
   構造において、炉壁を貫通して一端が炉内に、他端が炉
   外に位置する金属製フレキシブルホースと、該金属製フ
   レキシブルホースの一端に金属製短管を介して接続し、
   他端を前記排気用孔に接続するガラスチップ管とから構
   成し、前記金属製フレキシブルホースの他端を、着脱自
   在な継手を介して真空排気配管に接続することを特徴と
   するガラスパネルの真空排気用接管構造。