JP2003157771A - プラズマディスプレイパネルの排気装置 - Google Patents
プラズマディスプレイパネルの排気装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】パネル３１を真空排気した後放電ガスを充填す
るプラズマディスプレイの排気装置において、排気管を
折ることなく極めて短時間でパネルを加熱しながら真空
排気し、確実に放電ガスをパネル３１に封入する。 【解決手段】排気管１９をもつ複数枚のパネル３１を斜
めに立てて並べ載置するカ−トリッジ３を備え、炉体１
のチャンバ２内にカ−トリッジ３を搬入し、炉体１の送
風経路４に外気を導入し加熱し、循環ファンで加熱され
た空気をパネル３１に浴びせながら、パネル３１内を真
空排気している。
るプラズマディスプレイの排気装置において、排気管を
折ることなく極めて短時間でパネルを加熱しながら真空
排気し、確実に放電ガスをパネル３１に封入する。 【解決手段】排気管１９をもつ複数枚のパネル３１を斜
めに立てて並べ載置するカ−トリッジ３を備え、炉体１
のチャンバ２内にカ−トリッジ３を搬入し、炉体１の送
風経路４に外気を導入し加熱し、循環ファンで加熱され
た空気をパネル３１に浴びせながら、パネル３１内を真
空排気している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマディスプ
レイパネルの製造装置に係わり、特に、表ガラス基板と
裏ガラス基板と貼り合わせてなるプラズマディスプレイ
パネルの真空排気による脱ガスおよび真空排気後に放電
ガスを封入するプラズマディスプレイパネルの排気装置
に関する。
レイパネルの製造装置に係わり、特に、表ガラス基板と
裏ガラス基板と貼り合わせてなるプラズマディスプレイ
パネルの真空排気による脱ガスおよび真空排気後に放電
ガスを封入するプラズマディスプレイパネルの排気装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】プラズマディスプレイパネル（以下単に
パネルと記す）は、電極が形成された表ガラス基板と裏
ガラス基板とを互いに電極面を向けて貼り合わせ、内部
に閉鎖空間をもたせた構造である。そして、この閉鎖空
間に放電ガスを充填するために、パネル内に残留する気
体分子や気化し易い不純物質を除去する必要がある。
パネルと記す）は、電極が形成された表ガラス基板と裏
ガラス基板とを互いに電極面を向けて貼り合わせ、内部
に閉鎖空間をもたせた構造である。そして、この閉鎖空
間に放電ガスを充填するために、パネル内に残留する気
体分子や気化し易い不純物質を除去する必要がある。
【０００３】このため、パネルを加熱し内部の物質を蒸
発させ真空排気することでパネル内の物質およびガスを
除去し、クリ−ンな状態にしてから放電ガスを充填して
いた。このパネルを真空排気するのに、パネルの裏面基
板の貫通穴と連結するように、給排気用のガラス菅（以
下排気管と記す）を低融点ガラスで取付け、この排気管
に真空ポンプに接続し、パネルを真空排気していた。
発させ真空排気することでパネル内の物質およびガスを
除去し、クリ−ンな状態にしてから放電ガスを充填して
いた。このパネルを真空排気するのに、パネルの裏面基
板の貫通穴と連結するように、給排気用のガラス菅（以
下排気管と記す）を低融点ガラスで取付け、この排気管
に真空ポンプに接続し、パネルを真空排気していた。
【０００４】しかしながら、常温でパネルを真空排気し
ても、パネル内部に付着する不純物が除去できない。そ
こで、通常、パネルを真空加熱炉に入れ内部の不純物を
蒸発させながら真空排気していた。
ても、パネル内部に付着する不純物が除去できない。そ
こで、通常、パネルを真空加熱炉に入れ内部の不純物を
蒸発させながら真空排気していた。
【０００５】また、このパネルを真空排気するのにパネ
ルと連結する排気管を必要としていた。しかしながらこ
の排気管は脆弱なため、パネルの運搬や排気管と真空ポ
ンプの排気管との接続の際に、排気管同士のずれなどが
生じ、無理に合わせようとすると、排気管が折れたり、
接続作業には細心の注意を払う必要があった。
ルと連結する排気管を必要としていた。しかしながらこ
の排気管は脆弱なため、パネルの運搬や排気管と真空ポ
ンプの排気管との接続の際に、排気管同士のずれなどが
生じ、無理に合わせようとすると、排気管が折れたり、
接続作業には細心の注意を払う必要があった。
【０００６】この脆弱な排気管を無くして真空排気する
方法が、例えば、特開２０００−２２３０２２号公報に
開示されている。この方法は、まず、表ガラス基板と裏
ガラス基板との繋ぎ目の隙間に比較的に低い融点のシ−
ル部材を並べ配置し、裏ガラス基板の通気孔の周囲にス
リット付きリング状の密閉用の比較的融点が高い低融点
ガラスを配置してパネルを組立てる。そして、組み立て
られた複数のパネルをバッフル（治具）に積重ね、バッ
チ炉に搬入し、炉内に加熱ガスを導入しそのガスの自然
対流によりパネルを加熱する。
方法が、例えば、特開２０００−２２３０２２号公報に
開示されている。この方法は、まず、表ガラス基板と裏
ガラス基板との繋ぎ目の隙間に比較的に低い融点のシ−
ル部材を並べ配置し、裏ガラス基板の通気孔の周囲にス
リット付きリング状の密閉用の比較的融点が高い低融点
ガラスを配置してパネルを組立てる。そして、組み立て
られた複数のパネルをバッフル（治具）に積重ね、バッ
チ炉に搬入し、炉内に加熱ガスを導入しそのガスの自然
対流によりパネルを加熱する。
【０００７】そして、炉内を加熱しながら真空排気しパ
ネルを脱ガスを行い、ある程度パネルが真空排気され加
熱されると、パネルの継ぎ目にあるシ−ル部材が軟化
し、表ガラス基板の周囲と裏ガラス基板の周囲が接着さ
れる。しかる後、放電ガスを炉内に導入し、パネル内に
通気孔を介して放電ガス充填する。炉内の圧力が所定の
温度に達したら、その温度により密閉用の低融点ガラス
が軟化し、通気孔を塞ぎパネル内に放電ガスが封入され
た状態になる。
ネルを脱ガスを行い、ある程度パネルが真空排気され加
熱されると、パネルの継ぎ目にあるシ−ル部材が軟化
し、表ガラス基板の周囲と裏ガラス基板の周囲が接着さ
れる。しかる後、放電ガスを炉内に導入し、パネル内に
通気孔を介して放電ガス充填する。炉内の圧力が所定の
温度に達したら、その温度により密閉用の低融点ガラス
が軟化し、通気孔を塞ぎパネル内に放電ガスが封入され
た状態になる。
【０００８】この方法は、取り扱い難い排気管を無くす
と同時に炉内に残る放電ガスを回収することを目的にし
ていた。
と同時に炉内に残る放電ガスを回収することを目的にし
ていた。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述した方法では、脆
弱な排気管を必要とすることなくパネルを真空排気でき
るものの、表ガラス基板と裏ガラス基板との狭い隙間お
よび小さな通気孔からパネルを真空排気しなければなら
ず、排気抵抗が高く真空排気時間に時間がかかり一バッ
チで製造されるパネルの数が制限され生産性が悪いとい
う欠点がある。また、シ−ル材が点在させているので、
表裏ガラス基板の周囲が完全に密閉されているか否かの
懸念がある。
弱な排気管を必要とすることなくパネルを真空排気でき
るものの、表ガラス基板と裏ガラス基板との狭い隙間お
よび小さな通気孔からパネルを真空排気しなければなら
ず、排気抵抗が高く真空排気時間に時間がかかり一バッ
チで製造されるパネルの数が制限され生産性が悪いとい
う欠点がある。また、シ−ル材が点在させているので、
表裏ガラス基板の周囲が完全に密閉されているか否かの
懸念がある。
【００１０】また、ガスの対流によりパネルを加熱して
いるので時間がかかるという問題がある。さらに、放電
ガスをパネルに充填するのに、炉内に放電ガスを導入す
ることは、回収するにしても、それ自体無駄に放電ガス
を使用することになる。また、回収された放電ガス中に
は、不純ガスが含み、そのままの回収ガスを使用するこ
とはできるか疑念が残る。
いるので時間がかかるという問題がある。さらに、放電
ガスをパネルに充填するのに、炉内に放電ガスを導入す
ることは、回収するにしても、それ自体無駄に放電ガス
を使用することになる。また、回収された放電ガス中に
は、不純ガスが含み、そのままの回収ガスを使用するこ
とはできるか疑念が残る。
【００１１】従って、本発明の目的は、パネルの真空排
気用および放電ガス充填用のパネルの管部材の折れを少
なくし、パネルを加熱しながら真空排気し加熱排気時間
を短縮し一バッチにおける処理枚数を向上させかつ確実
に放電ガスの置換ができるプラズマディスプレイパネル
の排気装置を提供することにある。
気用および放電ガス充填用のパネルの管部材の折れを少
なくし、パネルを加熱しながら真空排気し加熱排気時間
を短縮し一バッチにおける処理枚数を向上させかつ確実
に放電ガスの置換ができるプラズマディスプレイパネル
の排気装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、表面基
板と裏面基板とからなるプラズマディスプレイパネルの
複数枚を収納するチャンバと、このチャンバを包み込む
とともに前記チャンバの外壁に沿って形成される送風経
路を有する炉体と、前記送風経路に外気を導入し風圧を
調節するダンパ付き給気ファンと、導入される気体を加
熱するヒ−タと、加熱された気体を前記チャンバ内に導
入し前記プラズマディスプレイパネルに接触させ前記チ
ャンバから排出させ前記気体を前記送風経路を経て前記
加熱された気体を循環させる循環ファンと、前記炉体の
開口を閉じるシャッタと、前記プラズマディスプレイパ
ネルから外方に伸び前記シャッタの開口から導出される
排気管と真空ポンプの排気管とを接続する真空継手とを
備えるプラズマディスプレイパネルの排気装置である。
板と裏面基板とからなるプラズマディスプレイパネルの
複数枚を収納するチャンバと、このチャンバを包み込む
とともに前記チャンバの外壁に沿って形成される送風経
路を有する炉体と、前記送風経路に外気を導入し風圧を
調節するダンパ付き給気ファンと、導入される気体を加
熱するヒ−タと、加熱された気体を前記チャンバ内に導
入し前記プラズマディスプレイパネルに接触させ前記チ
ャンバから排出させ前記気体を前記送風経路を経て前記
加熱された気体を循環させる循環ファンと、前記炉体の
開口を閉じるシャッタと、前記プラズマディスプレイパ
ネルから外方に伸び前記シャッタの開口から導出される
排気管と真空ポンプの排気管とを接続する真空継手とを
備えるプラズマディスプレイパネルの排気装置である。
【００１３】また、前記ダンパ付き給気ファンによる外
気の導入を停止した状態で前記循環ファンにより加熱さ
れた気体を循環させたとき起きる前記気体の圧力低下を
防止するために新たに外気を導入する外気を導入する補
助給気弁を備えることが望ましい。さらに、前記真空継
手は、圧縮空気で膨らみ前記排気管を気密に包み込むシ
−ル部材と、該シ−ル部材を保持し前記真空ポンプの排
気管と接続するハウジングとを備えることが望ましい。
そして、望ましくは、前記真空ポンプの排気管は、可撓
な菅であることである。
気の導入を停止した状態で前記循環ファンにより加熱さ
れた気体を循環させたとき起きる前記気体の圧力低下を
防止するために新たに外気を導入する外気を導入する補
助給気弁を備えることが望ましい。さらに、前記真空継
手は、圧縮空気で膨らみ前記排気管を気密に包み込むシ
−ル部材と、該シ−ル部材を保持し前記真空ポンプの排
気管と接続するハウジングとを備えることが望ましい。
そして、望ましくは、前記真空ポンプの排気管は、可撓
な菅であることである。
【００１４】一方、前記真空ポンプの排気管の複数本と
接続するマニホ−ルド菅を備え、このマニホ−ルド菅を
介して前記プラズマディスプレイを真空排気することが
望ましい。また、前記マニホ−ルド菅の前記真空ポンプ
側でない他端の開閉バルブを介して接続される放電ガス
供給装置を備えることが望ましい。
接続するマニホ−ルド菅を備え、このマニホ−ルド菅を
介して前記プラズマディスプレイを真空排気することが
望ましい。また、前記マニホ−ルド菅の前記真空ポンプ
側でない他端の開閉バルブを介して接続される放電ガス
供給装置を備えることが望ましい。
【００１５】複数の前記プラズマディスプレイパネルを
載置するカ−トリッジを備えることが望ましい。そし
て、好ましくは、前記プラズマディスプレイパネルを斜
めに立てて載置することである。また、このカ−トリッ
ジによるプラズマディスプレイパネルの運搬およびチャ
ンバへの移載や引き出しには、前記カ−トリッジを載せ
るステ−ジと、このステ−ジの高さを調節する機構と、
移動用車輪とを具備する移載車を備えることが望まし
い。
載置するカ−トリッジを備えることが望ましい。そし
て、好ましくは、前記プラズマディスプレイパネルを斜
めに立てて載置することである。また、このカ−トリッ
ジによるプラズマディスプレイパネルの運搬およびチャ
ンバへの移載や引き出しには、前記カ−トリッジを載せ
るステ−ジと、このステ−ジの高さを調節する機構と、
移動用車輪とを具備する移載車を備えることが望まし
い。
【００１６】二枚の前記ディスプレイパネルを斜めに重
ねて組立てて一対のディスプレイパネルにし、前記一対
のディスプレイパネルの複数対を前記カ−トリッジに並
べて搭載することが望ましい。そして、好ましくは、前
記一対のディスプレイパネルのそれぞれの排気管が前記
シャッタの同一の開口から導出されることである。さら
に、好ましくは、前記一対のディスプレイパネルのいず
れかの下端を水平に配置し、他の前記ディスプレイパネ
ルの下端は前記シャッタ面に対し下に向け傾斜するよう
に配置することである。
ねて組立てて一対のディスプレイパネルにし、前記一対
のディスプレイパネルの複数対を前記カ−トリッジに並
べて搭載することが望ましい。そして、好ましくは、前
記一対のディスプレイパネルのそれぞれの排気管が前記
シャッタの同一の開口から導出されることである。さら
に、好ましくは、前記一対のディスプレイパネルのいず
れかの下端を水平に配置し、他の前記ディスプレイパネ
ルの下端は前記シャッタ面に対し下に向け傾斜するよう
に配置することである。
【００１７】
【発明の実施の形態】次に、本発明について図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１８】図１（ａ）および（ｂ）は本発明の一実施
の形態におけるプラズマディスプレイパネルの排気装置
を説明するための断面図および一部を抽出して拡大して
示す断面図である。このパネルの排気装置は、図１
（ａ）に示すように、表面基板と裏面基板とからなるパ
ネル３１の複数枚を収納するチャンバ２と、このチャン
バ２を包み込むとともにチャンバ２の外壁に沿って形成
される送風経路４を有する炉体１と、送風経路４に外気
を導入し風圧を調節するダンパ９付き給気ファン７と、
導入される気体を加熱するヒ−タ１０と、加熱された気
体をチャンバ２内に導入しパネル３１に接触させチャン
バ２から排出させ気体を送風経路４を経て循環させる循
環ファン６と、炉体１の開口を閉じるシャッタ５と、パ
ネルから外方に伸びシャッタ５の開口３３から導出され
る排気管１９と真空ポンプ１５の排気管２４とを接続す
る真空継手１３とを備えている。
の形態におけるプラズマディスプレイパネルの排気装置
を説明するための断面図および一部を抽出して拡大して
示す断面図である。このパネルの排気装置は、図１
（ａ）に示すように、表面基板と裏面基板とからなるパ
ネル３１の複数枚を収納するチャンバ２と、このチャン
バ２を包み込むとともにチャンバ２の外壁に沿って形成
される送風経路４を有する炉体１と、送風経路４に外気
を導入し風圧を調節するダンパ９付き給気ファン７と、
導入される気体を加熱するヒ−タ１０と、加熱された気
体をチャンバ２内に導入しパネル３１に接触させチャン
バ２から排出させ気体を送風経路４を経て循環させる循
環ファン６と、炉体１の開口を閉じるシャッタ５と、パ
ネルから外方に伸びシャッタ５の開口３３から導出され
る排気管１９と真空ポンプ１５の排気管２４とを接続す
る真空継手１３とを備えている。
【００１９】また、循環ファン６により加熱空気が送風
経路４およびチャンバ２内の圧力が上昇し、所定の圧力
に至ったらダンパ１１付き排気ファン１０ａが動作し、
炉体１内の圧力上昇を抑える。これは、導入する外気の
量をできるだけ少なくし、外気の温度を早く立ち上げる
ためである。
経路４およびチャンバ２内の圧力が上昇し、所定の圧力
に至ったらダンパ１１付き排気ファン１０ａが動作し、
炉体１内の圧力上昇を抑える。これは、導入する外気の
量をできるだけ少なくし、外気の温度を早く立ち上げる
ためである。
【００２０】逆に、より外気の導入を少なくするため
に、外気導入用の吸気ファン７による外気の導入を停止
し、循環ファン６のみによる外気の循環を行うと、炉体
１内の圧力が低下することがる。この原因は炉体１の隙
間から外気が漏れによりことが考えられる。このような
場合、加熱された空気がパネル３１に送られず、パネル
の温度が低下し、パネル３１の内部に蒸発した物質が露
結し再度パネルの内壁に付着する恐れがある。そこで、
本発明では、この圧力低下を補正する補助給気弁８が設
け、この補助給気弁８を開き外気を導入し加熱された外
気をパネル３１に送り温度低下を防止する。
に、外気導入用の吸気ファン７による外気の導入を停止
し、循環ファン６のみによる外気の循環を行うと、炉体
１内の圧力が低下することがる。この原因は炉体１の隙
間から外気が漏れによりことが考えられる。このような
場合、加熱された空気がパネル３１に送られず、パネル
の温度が低下し、パネル３１の内部に蒸発した物質が露
結し再度パネルの内壁に付着する恐れがある。そこで、
本発明では、この圧力低下を補正する補助給気弁８が設
け、この補助給気弁８を開き外気を導入し加熱された外
気をパネル３１に送り温度低下を防止する。
【００２１】さらに、真空継手１３は、シャッタ５から
突出するパネル３１の排気管１９を圧縮空気で膨らみ排
気管１９を気密に包むシ−ル２２と、このシ−ル２２を
保持し真空ポンプ１５の排気管と接続するハウジング２
０とを備える。一方、カ−トリッジ３に載置された複数
のパネル３１の排気管１９のそれぞれは、上下にその位
置がばらつくので、排気管と接続する真空継手１３のア
ダプタ２３に取り付けられる排気管２４は、いずれの方
向に任意に曲げることができるフレキシブルホ−スであ
ることが望ましい。
突出するパネル３１の排気管１９を圧縮空気で膨らみ排
気管１９を気密に包むシ−ル２２と、このシ−ル２２を
保持し真空ポンプ１５の排気管と接続するハウジング２
０とを備える。一方、カ−トリッジ３に載置された複数
のパネル３１の排気管１９のそれぞれは、上下にその位
置がばらつくので、排気管と接続する真空継手１３のア
ダプタ２３に取り付けられる排気管２４は、いずれの方
向に任意に曲げることができるフレキシブルホ−スであ
ることが望ましい。
【００２２】そして、炉体１外で複数の排気管１９は真
空継手１３で気密に結合され、真空継手１３からの可撓
な排気管２４はマニホ−ルド菅１４に接続されている。
このマニ−ホ−ルド菅の一端には開閉弁１６を介して真
空ポンプ１５に連結している。すなわち、チャンバ２内
のパネル３１はこのマニホ−ルド菅１４を通うして真空
排気される。
空継手１３で気密に結合され、真空継手１３からの可撓
な排気管２４はマニホ−ルド菅１４に接続されている。
このマニ−ホ−ルド菅の一端には開閉弁１６を介して真
空ポンプ１５に連結している。すなわち、チャンバ２内
のパネル３１はこのマニホ−ルド菅１４を通うして真空
排気される。
【００２３】マニホ−ルド菅１４の他端には、開閉弁１
７を介して放電ガスを充填されたボンベ１８が接続さ
れ、パネル３１の脱ガス終了後に、このマニホ−ルド菅
１４を通うしてパネル３１に放電ガスを供給する。
７を介して放電ガスを充填されたボンベ１８が接続さ
れ、パネル３１の脱ガス終了後に、このマニホ−ルド菅
１４を通うしてパネル３１に放電ガスを供給する。
【００２４】図２は図１のチャンバの開口側からカ−ト
リッジをチャンバ内に移載する状態を示す斜視図であ
る。次に、パネル３１をチャンバに搬入することを説明
する。まず、炉体のシャッタが開いた状態で、５枚のパ
ネル３１を載せたカ−トリッジ３をステ−ジ２６に載せ
た移載車２８をチャンバ２に近づける。これには、手で
移載車を押し車輪により動かす。次に上下調節機構２７
を作動させ、チャンバ２内のレ−ル１２の面と移載車２
８のステ−ジ２６面と一致させる。次に、カ−トリッジ
３をチャンバ２内のレ−ル１２を滑らせカ−トリッジ３
をチャンバ内に押し込みパネル３１を収納する。
リッジをチャンバ内に移載する状態を示す斜視図であ
る。次に、パネル３１をチャンバに搬入することを説明
する。まず、炉体のシャッタが開いた状態で、５枚のパ
ネル３１を載せたカ−トリッジ３をステ−ジ２６に載せ
た移載車２８をチャンバ２に近づける。これには、手で
移載車を押し車輪により動かす。次に上下調節機構２７
を作動させ、チャンバ２内のレ−ル１２の面と移載車２
８のステ−ジ２６面と一致させる。次に、カ−トリッジ
３をチャンバ２内のレ−ル１２を滑らせカ−トリッジ３
をチャンバ内に押し込みパネル３１を収納する。
【００２５】なお、このカ−トリッジ３へのパネル３１
の載置には、一方向に並べて配置された傾斜支持台２５
あるいは棒状の支え棒にそれぞれのパネル３１を載せ、
パネル３１が斜めに立てた状態が望ましい。これは、ガ
ラス加工業者が、長い経験から脆弱なガラス板を運搬す
るのに、斜めに荷台に積み込み、台車などで運べば、台
車の振動や揺れに対しても安定しているという知見から
得たものである。
の載置には、一方向に並べて配置された傾斜支持台２５
あるいは棒状の支え棒にそれぞれのパネル３１を載せ、
パネル３１が斜めに立てた状態が望ましい。これは、ガ
ラス加工業者が、長い経験から脆弱なガラス板を運搬す
るのに、斜めに荷台に積み込み、台車などで運べば、台
車の振動や揺れに対しても安定しているという知見から
得たものである。
【００２６】次に、図１（ａ）に示すように、シャッタ
５で炉体１の開口を閉じ、シャッタ５から突出した排気
管１９に真空継手１３を接続する。これには、図１
（ｂ）に示すように、ハウジング２０内でゆるんだ一対
のシ−ル２２の間に排気管１９をとうし、マニアルスイ
ッチによりポ−ト２１に圧縮空気を送り込み。このこと
によりシ−ル２２が膨らみ排気管１９を包み保持する。
５で炉体１の開口を閉じ、シャッタ５から突出した排気
管１９に真空継手１３を接続する。これには、図１
（ｂ）に示すように、ハウジング２０内でゆるんだ一対
のシ−ル２２の間に排気管１９をとうし、マニアルスイ
ッチによりポ−ト２１に圧縮空気を送り込み。このこと
によりシ−ル２２が膨らみ排気管１９を包み保持する。
【００２７】次に、ヒ−タ１０で、給気ファン７により
送り込まれた外気を熱し、循環ファンで熱せられた外気
を矢印に示すように循環させる。加熱された空気は強制
的にパネル３１と接触させられるので、従来技術で説明
した自然対流するガスによる加熱より遙かに伝熱効率が
よくパネル３１は極めて短時間で所望の温度に達する。
送り込まれた外気を熱し、循環ファンで熱せられた外気
を矢印に示すように循環させる。加熱された空気は強制
的にパネル３１と接触させられるので、従来技術で説明
した自然対流するガスによる加熱より遙かに伝熱効率が
よくパネル３１は極めて短時間で所望の温度に達する。
【００２８】一方、排気管１９からマニホ−ルド菅１４
を介してパネル３１は真空排気されると同時にパネル内
部に付着した物質が高い温度の空気に晒され、加熱され
て昇華し、真空引きにより排除される。
を介してパネル３１は真空排気されると同時にパネル内
部に付着した物質が高い温度の空気に晒され、加熱され
て昇華し、真空引きにより排除される。
【００２９】次に、マニホ−ルド菅１４に取り付けられ
た真空計（図示せず）が、所定の圧力（例えば、０．０
１３Ｐａ）以下であれば、パネル３１内部の真空排気お
よび不純物の除去を終了したものとして、開閉弁１６を
閉じ真空排気を停止する。次に、ヒ−タ１０を切り、給
気ファン７を動作させダンパ９を開き大量の外気を取り
入れ、排気ファン１０ａを動作させダンパ１１を一杯に
開き、冷却された外気を炉体１内を循環させ、チャンバ
２内のパネル３１を冷却する。
た真空計（図示せず）が、所定の圧力（例えば、０．０
１３Ｐａ）以下であれば、パネル３１内部の真空排気お
よび不純物の除去を終了したものとして、開閉弁１６を
閉じ真空排気を停止する。次に、ヒ−タ１０を切り、給
気ファン７を動作させダンパ９を開き大量の外気を取り
入れ、排気ファン１０ａを動作させダンパ１１を一杯に
開き、冷却された外気を炉体１内を循環させ、チャンバ
２内のパネル３１を冷却する。
【００３０】パネル３１の温度が常温近くまで冷却した
ら、マニホ−ルド菅１４の一端の開閉弁１６が閉じてい
ることを確認し、マニホ−ルド菅１４の他端の開閉弁１
７を開きボンベ１８から放電ガスをマニホ−ルド菅１４
に導入し、マニホ−ルド菅１４を介してパネル３１内に
放電ガスを充填する。マニホ−ルド菅１４に取り付けら
れた圧力計が所定の圧力（例えば、１．２気圧）を示し
たら、開閉弁１７を締め、放電ガスの供給を停止する。
ら、マニホ−ルド菅１４の一端の開閉弁１６が閉じてい
ることを確認し、マニホ−ルド菅１４の他端の開閉弁１
７を開きボンベ１８から放電ガスをマニホ−ルド菅１４
に導入し、マニホ−ルド菅１４を介してパネル３１内に
放電ガスを充填する。マニホ−ルド菅１４に取り付けら
れた圧力計が所定の圧力（例えば、１．２気圧）を示し
たら、開閉弁１７を締め、放電ガスの供給を停止する。
【００３１】このように、放電ガスの充填が完了した
ら、シャッタ５を開け、従来から行っていたように、パ
ネル３１の排気管１９の根元付近の外周囲をバ−ナ−で
加熱し、排気管の外壁を軟化させ排気管１９の通気孔を
塞ぎパネル３１内に放電ガスを封止する。そして、通気
孔が塞がれて不要になった排気管を切断して作業を終了
する。
ら、シャッタ５を開け、従来から行っていたように、パ
ネル３１の排気管１９の根元付近の外周囲をバ−ナ−で
加熱し、排気管の外壁を軟化させ排気管１９の通気孔を
塞ぎパネル３１内に放電ガスを封止する。そして、通気
孔が塞がれて不要になった排気管を切断して作業を終了
する。
【００３２】この実施の形態では、チャンバに収納する
カ−トリッジは、一台で説明したが二台でも三台でも良
い。
カ−トリッジは、一台で説明したが二台でも三台でも良
い。
【００３３】図３（ａ）および（ｂ）は本発明の他の実
施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの排気装
置を説明するための断面図およびＡ−Ａ矢視図である。
このプラズマディスプレイパネルの排気装置は、図３に
示すように、横方向の寸法が大きくならないように、パ
ネル３１とパネル３１ａとをパネル受け部材３２ａおよ
び３２ｂを介して重ね合わせ斜めに立てられる一対のパ
ネルにすることである。結果として、この一対のパネル
のパネルの並ぶ方向の寸法は、図２で示す傾斜支持台２
５で斜めにパネル３１のパネルの並ぶ方向の寸法とほぼ
同じである。
施の形態におけるプラズマディスプレイパネルの排気装
置を説明するための断面図およびＡ−Ａ矢視図である。
このプラズマディスプレイパネルの排気装置は、図３に
示すように、横方向の寸法が大きくならないように、パ
ネル３１とパネル３１ａとをパネル受け部材３２ａおよ
び３２ｂを介して重ね合わせ斜めに立てられる一対のパ
ネルにすることである。結果として、この一対のパネル
のパネルの並ぶ方向の寸法は、図２で示す傾斜支持台２
５で斜めにパネル３１のパネルの並ぶ方向の寸法とほぼ
同じである。
【００３４】カ−トリッジ３ａであるカセットに複数対
を載せ炉体１内のチャンバ２に収納している。すなわ
ち、図１で説明した一カ−トリッジ３の５枚に対し２倍
の１０パネルが搭載できるこになる。
を載せ炉体１内のチャンバ２に収納している。すなわ
ち、図１で説明した一カ−トリッジ３の５枚に対し２倍
の１０パネルが搭載できるこになる。
【００３５】また、パネル３１および２１ａは、送風経
路４からの熱風の流に抵抗をできるだけ少なくするよう
に隙間を、たとえば、５〜１５ｍｍ程度もたせている。
すなわち、着脱可能な支え棒２９で斜めに支持され、パ
ネル３１の上部にはめ込まれたパネル受け部材３２ａ,
３２ｂでパネル３１ａの上部を支えほぼ並行な空間をも
たせている。なお、このパネル受け部材３２ａ,３２ｂ
は、パネルにキズが付かないように、耐熱材であるアル
ミナ繊維等を使用することが望ましい。
路４からの熱風の流に抵抗をできるだけ少なくするよう
に隙間を、たとえば、５〜１５ｍｍ程度もたせている。
すなわち、着脱可能な支え棒２９で斜めに支持され、パ
ネル３１の上部にはめ込まれたパネル受け部材３２ａ,
３２ｂでパネル３１ａの上部を支えほぼ並行な空間をも
たせている。なお、このパネル受け部材３２ａ,３２ｂ
は、パネルにキズが付かないように、耐熱材であるアル
ミナ繊維等を使用することが望ましい。
【００３６】しかも、矢印で示す熱風が流れ易くするた
めに、水平に置かれるパネル３１に対しパネル３１ａ
は、後方のパネル受け台３０ａを高くし、前方の受け台
３０ｂを低くし、パネル３１ａを後方に持ち上がるよう
に斜めにしている。このことによりパネル３１,３１ａ
は均等に加熱される。
めに、水平に置かれるパネル３１に対しパネル３１ａ
は、後方のパネル受け台３０ａを高くし、前方の受け台
３０ｂを低くし、パネル３１ａを後方に持ち上がるよう
に斜めにしている。このことによりパネル３１,３１ａ
は均等に加熱される。
【００３７】一方、このパネル３１およびパネル３１ａ
の真空排気用の排気管１９ａ,１９ｂはシャッタ５にあ
る同一の開口３３から炉体１外に導出されている。な
お、水平に置かれたパネル３１の排気管１９ａと傾けら
れたパネル３１ａの排気管１９ｂは、開口３３付近で重
ねられ、前述の実施の形態における開口３３をそのまま
使用できる。そして、炉体１外にある真空継手１３,１
３ａを介してマニホ−ルド管ｂを経て真空ポンプあるい
は導入ガス用のボンベ に接続されている。この真空排
気系統およびガス導入系統は前述の実施の形態と方式は
同じで、２系統にすれば、排気時間およびガス導入時間
は前述の実施の形態の場合と同じになる。
の真空排気用の排気管１９ａ,１９ｂはシャッタ５にあ
る同一の開口３３から炉体１外に導出されている。な
お、水平に置かれたパネル３１の排気管１９ａと傾けら
れたパネル３１ａの排気管１９ｂは、開口３３付近で重
ねられ、前述の実施の形態における開口３３をそのまま
使用できる。そして、炉体１外にある真空継手１３,１
３ａを介してマニホ−ルド管ｂを経て真空ポンプあるい
は導入ガス用のボンベ に接続されている。この真空排
気系統およびガス導入系統は前述の実施の形態と方式は
同じで、２系統にすれば、排気時間およびガス導入時間
は前述の実施の形態の場合と同じになる。
【００３８】この排気装置の動作は前述の実施の形態と
おなじであるが、予め 加熱炉外で２つのパネル３１,
３１ａとパネル受け部材３２ｂ,３２ａとパネル受け台
３０ａ,３０ｂとを組立て一対のパネルにし、これら一
対のパネルの複数対をカセットであるカ−トリッジ３ａ
上に載せ、パネルを満載したカ−トリッジ３ａを図２に
示す移載車２８に載せ炉体１のチャンバ２に収納し、そ
れ以後は前述の実施の形態で説明したように行えば良
い。
おなじであるが、予め 加熱炉外で２つのパネル３１,
３１ａとパネル受け部材３２ｂ,３２ａとパネル受け台
３０ａ,３０ｂとを組立て一対のパネルにし、これら一
対のパネルの複数対をカセットであるカ−トリッジ３ａ
上に載せ、パネルを満載したカ−トリッジ３ａを図２に
示す移載車２８に載せ炉体１のチャンバ２に収納し、そ
れ以後は前述の実施の形態で説明したように行えば良
い。
【００３９】このように、一枚のパネルを斜めに立たせ
他のパネルで支えるように重ねられて一対のパネルに組
立てるので、一枚のパネルのときに比べても幅方向の寸
法は、ほぼ同じである。従って、チャンバに収納できる
パネル枚数は２倍となり、一バッチの処理枚数の増加が
図れる。
他のパネルで支えるように重ねられて一対のパネルに組
立てるので、一枚のパネルのときに比べても幅方向の寸
法は、ほぼ同じである。従って、チャンバに収納できる
パネル枚数は２倍となり、一バッチの処理枚数の増加が
図れる。
【００４０】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、パネルか
ら一方向に伸びるパネルの管部材を揃え一列に複数枚を
斜めに立てて載置するカ−トリッジを備えることによっ
て、運搬時に振動があっても安定して運ぶことができ
る。また、炉体内に搬入するにしても、カ−トリッジ単
位で搬入するので、直接菅部材に接触することがなく、
さらに菅部材と真空ポンプの排気管との接続に際して
も、菅部材の位置および向きに対応して自由に曲げられ
る真空継手を備えることによって菅部材に不要な力を与
えることなく接続が容易に行え、菅部材の折れによる損
失を大幅に低減できるという効果がある。
ら一方向に伸びるパネルの管部材を揃え一列に複数枚を
斜めに立てて載置するカ−トリッジを備えることによっ
て、運搬時に振動があっても安定して運ぶことができ
る。また、炉体内に搬入するにしても、カ−トリッジ単
位で搬入するので、直接菅部材に接触することがなく、
さらに菅部材と真空ポンプの排気管との接続に際して
も、菅部材の位置および向きに対応して自由に曲げられ
る真空継手を備えることによって菅部材に不要な力を与
えることなく接続が容易に行え、菅部材の折れによる損
失を大幅に低減できるという効果がある。
【００４１】また、狭い送風経路およびチャンバを満た
す程度の外気を導入し加熱し循環させながらパネルに加
熱した外気を浴びせ、それと同時にパネルを真空排気す
ることによって、加熱排気時間を短縮することができ、
スル−プットが向上するという効果がある。
す程度の外気を導入し加熱し循環させながらパネルに加
熱した外気を浴びせ、それと同時にパネルを真空排気す
ることによって、加熱排気時間を短縮することができ、
スル−プットが向上するという効果がある。
【００４２】さらに、変形自由度のあるホ−スをもつ真
空継手を用いて、菅部材に不要な力を与えず接続できる
ので、確実に放電ガスの置換ができ歩留まりの向上が図
れるという効果がある。
空継手を用いて、菅部材に不要な力を与えず接続できる
ので、確実に放電ガスの置換ができ歩留まりの向上が図
れるという効果がある。
【００４３】一方、炉体のチャンバに収納するパネル
を、二枚のパネルを重ねて構成する一パネル対にし、こ
のパネル対を複数対をチャンバに収納すれば、一バッチ
の処理枚数が増加し生産性が向上するという効果があ
る。
を、二枚のパネルを重ねて構成する一パネル対にし、こ
のパネル対を複数対をチャンバに収納すれば、一バッチ
の処理枚数が増加し生産性が向上するという効果があ
る。
【図１】本発明の一実施の形態におけるプラズマディス
プレイパネルの排気装置を説明するための断面図および
一部を抽出して拡大して示す断面図である。
プレイパネルの排気装置を説明するための断面図および
一部を抽出して拡大して示す断面図である。
【図２】図１のチャンバの開口側からカ−トリッジをチ
ャンバ内に移載する状態を示す斜視図である。
ャンバ内に移載する状態を示す斜視図である。
【図３】本発明の他の実施の形態におけるプラズマディ
スプレイパネルの排気装置を説明するための断面図およ
びＡ−Ａ矢視図である。
スプレイパネルの排気装置を説明するための断面図およ
びＡ−Ａ矢視図である。
１ 炉体
２ チャンバ
３,３ａ カ−トリッジ
４ 送風経路
５ シャッタ
６ 循環ファン
７ 給気ファン
８ 補助給気弁
９，１１ ダンパ
１２ レ−ル
１３,１３ａ 真空継手
１４ マニホ−ルド菅
１５ 真空ポンプ
１６，１７ 開閉弁
１８ ボンベ
１９,１９ａ 排気管
２２ シ−ル
２５ 傾斜支持台
２６ ステ−ジ
２７ 上下調節機構
２８ 移載車
２９ 支え棒
３０ａ,３０ｂ パネル受け台
３１,３１ａ パネル
３２ａ,３２ｂ パネル受け部材
３３ 開口
Claims (12)
- 【請求項１】 表面基板と裏面基板とからなるプラズマ
ディスプレイパネルの複数枚を収納するチャンバと、こ
のチャンバを包み込むとともに前記チャンバの外壁に沿
って形成される送風経路を有する炉体と、前記送風経路
に外気を導入し風圧を調節するダンパ付き給気ファン
と、導入される気体を加熱するヒ−タと、加熱された気
体を前記チャンバ内に導入し前記プラズマディスプレイ
パネルに接触させ前記チャンバから排出させ前記気体を
前記送風経路を経て前記加熱された気体を循環させる循
環ファンと、前記炉体の開口を閉じるシャッタと、前記
プラズマディスプレイパネルから外方に伸び前記シャッ
タの開口から導出される排気管と真空ポンプの排気管と
を接続する真空継手とを備えることを特徴とするプラズ
マディスプレイパネルの排気装置。 - 【請求項２】 前記ダンパ付き給気ファンによる外気の
導入を停止した状態で前記循環ファンにより加熱された
気体を循環させたとき起きる前記気体の圧力低下を防止
するために新たに外気を導入する補助給気弁を備えるこ
とを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパ
ネルの排気装置。 - 【請求項３】 前記真空継手は、圧縮空気で膨らみ前記
排気管を気密に包み込むシ−ル部材と、該シ−ル部材を
保持し前記真空ポンプの排気管と接続するハウジングと
を備えることを特徴とする請求項１または請求項２記載
のプラズマディスプレイパネルの排気装置。 - 【請求項４】 前記真空ポンプの排気管は、可撓な菅で
あることを特徴とする請求項３記載のプラズマディスプ
レイパネルの排気装置。 - 【請求項５】 前記真空ポンプの排気管の複数本と接続
するマニホ−ルド菅を備え、このマニホ−ルド菅を介し
て前記プラズマディスプレイパネルを真空排気すること
を特徴とする請求項１、請求項２または請求項３記載の
プラズマディスプレイパネルの排気装置。 - 【請求項６】 前記マニホ−ルド菅の前記真空ポンプ側
でない他端の開閉バルブを介して接続される放電ガス供
給装置を備えることを特徴とする請求項１、請求項２、
請求項３または請求項５記載のプラズマディスプレイパ
ネルの排気装置。 - 【請求項７】 複数の前記プラズマディスプレイパネル
を載置するカ−トリッジを備えることを特徴とする請求
項１、請求項２、請求項３、請求項５または請求項６記
載のプラズマディスプレイパネルの排気装置。 - 【請求項８】 前記カ−トリッジは、複数の前記プラズ
マディスプレイパネルを斜めに立てて並べ載置すること
を特徴とする請求項７記載のプラズマディスプレイパネ
ルの排気装置。 - 【請求項９】 前記カ−トリッジを載せるステ−ジと、
このステ−ジの高さを調節する機構と、移動用車輪とを
具備する移載車を備えることを特徴とする請求項１、請
求項２、請求項３、請求項５、請求項６または請求項７
記載のプラズマディスプレイパネルの排気装置。 - 【請求項１０】 二枚の前記ディスプレイパネルを斜め
に重ねて組立てて一対のディスプレイパネルにし、前記
一対のディスプレイパネルの複数対を前記カ−トリッジ
に並べて搭載することを特徴とする請求項１、請求項
２、請求項３、請求項５、請求項６、請求項７または請
求項９記載のプラズマディスプレイパネルの排気装置。 - 【請求項１１】 前記一対のディスプレイパネルのそれ
ぞれの排気管が前記シャッタの同一の開口から導出され
ることを特徴とする請求項１０記載のプラズマディスプ
レイパネルの排気装置。 - 【請求項１２】 前記一対のディスプレイパネルのいず
れかの下端を水平に配置し、他の前記ディスプレイパネ
ルの下端は前記シャッタ面に対し下に向け傾斜するよう
に配置することを特徴とする請求項１０または請求項１
１記載のプラズマディスプレイパネルの排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002000317A JP3597167B2 (ja) | 2001-09-05 | 2002-01-07 | プラズマディスプレイパネルの排気装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001-269311 | 2001-09-05 | ||
| JP2001269311 | 2001-09-05 | ||
| JP2002000317A JP3597167B2 (ja) | 2001-09-05 | 2002-01-07 | プラズマディスプレイパネルの排気装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003157771A true JP2003157771A (ja) | 2003-05-30 |
| JP3597167B2 JP3597167B2 (ja) | 2004-12-02 |
Family
ID=26621721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002000317A Expired - Fee Related JP3597167B2 (ja) | 2001-09-05 | 2002-01-07 | プラズマディスプレイパネルの排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3597167B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1511061A2 (en) * | 2003-08-25 | 2005-03-02 | Fujitsu Hitachi Plasma Display Limited | Method and apparatus for manufacturing plasma display panel |
| WO2017002176A1 (ja) * | 2015-06-29 | 2017-01-05 | 株式会社島津製作所 | 真空装置、及び、これを備えた分析装置 |
-
2002
- 2002-01-07 JP JP2002000317A patent/JP3597167B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1511061A2 (en) * | 2003-08-25 | 2005-03-02 | Fujitsu Hitachi Plasma Display Limited | Method and apparatus for manufacturing plasma display panel |
| EP1511061A3 (en) * | 2003-08-25 | 2007-09-05 | Fujitsu Hitachi Plasma Display Limited | Method and apparatus for manufacturing plasma display panel |
| WO2017002176A1 (ja) * | 2015-06-29 | 2017-01-05 | 株式会社島津製作所 | 真空装置、及び、これを備えた分析装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3597167B2 (ja) | 2004-12-02 |
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