JP5098732B2 - 気密漏れ検査方法及び気密漏れ検査装置 - Google Patents
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Description
以下、本発明の第1実施形態について図1〜図6に基づいて説明する。図1は、検査ワークとして用いる熱交換器の概略を示し、図2は、本実施形態の熱交換器の気密漏れ検査装置の全体構成を示している。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。上記第1実施形態と同様または均等な部分について同一の符号を付し、その説明を省略する。
次に、本発明の第2実施形態について図8〜図10に基づいて説明する。上記第1実施形態と同様または均等な部分について同一の符号を付し、その説明を省略する。ここで、図8は、本実施形態の気密漏れ検査装置の概略構成を示している。
本発明は上述の実施形態に限定されることなく、以下のように種々変形可能である。
21 第1前室
22 検査室
23 第2前室
24 第1内部開閉ドア
25 第2内部開閉ドア
26 第1外部開閉ドア
27 第2外部開閉ドア
28 第1搬送機構
29 第2搬送機構
Claims (4)
- 略真空状態にまで減圧された状態の検査室(22、62)内において、検査ワーク(1)内にトレーサガスを封入し、前記検査ワーク(1)から漏れ出す前記トレーサガスを検出することで、微小穴部があるか否かの詳細検査を行なう詳細気密漏れ検査手段と、
前記検査室(22、62)に隣接して設けられ、外部との間及び前記検査室(22、62)との間で前記検査ワーク(1)を投入・取出しが行なわれる複数の前室(21、23、61、63)において、前記微小穴部よりも大きな穴部があるか否かの簡易検査を行なう簡易検査手段と、
前記複数の前室(21、23、61、63)内の圧力を減圧する前室減圧手段(47)と、
前記検査ワーク(1)を前記前室内と前記検査室(22、62)内との間を移動させる移動手段(28、29、68、69)と、
前記複数の前室(21、23、61、63)と前記検査室(22、62)との間に設けられ、前記移動手段(28、29、68、69)により前記検査ワーク(1)を前記前室内と前記検査室(22、62)内との間を移動させる際に、前記前室と前記検査室(22、62)との間を前記検査ワーク(1)が移動可能に開放し、前記検査ワーク(1)の移動完了後に前記前室と前記検査室(22、62)との間を閉鎖するように構成された内部開閉ドア手段(24、25、64、65)と、
前記複数の前室(21、23、61、63)に設けられ、外部から前記複数の前室(21、23、61、63)内に前記検査ワーク(1)を投入する際に、前記前室と外部との間を開放し、外部から前記前室内に前記検査ワーク(1)を投入完了後に、前記前室と外部との間を閉鎖するように構成された外部開閉ドア手段(26、27、66、67)とを備え、
前記簡易検査手段と前記詳細気密漏れ検査手段は、並行して実行可能に構成され、
前記移動手段(28、29、68、69)は、前記詳細検査が完了した前記検査ワーク(1)を、前記検査室(22、62)から前記複数の前室(21、23、61、63)のうち前記検査ワーク(1)が収納されていない前記前室に移動させるとともに、前記複数の前室(21、23、61、63)内において簡易検査が完了し、詳細検査が行なわれていない前記検査ワーク(1)を前記検査室(22、62)へ移動させ、
前記前室減圧手段(47)は、前記検査ワーク(1)の簡易検査が行なわれている際に、前記検査ワーク(1)の簡易検査が行なわれている前記前室、及び、前記移動手段(28、29、68、69)により、詳細検査が完了した前記検査ワーク(1)を前記検査室(22、62)から移動させる前記前室内を前記検査室(22、62)内の圧力に近づくように減圧することを特徴とする気密漏れ検査装置。 - 前記移動手段(28、29、68、69)は、前記検査室(22、62)において詳細検査が完了した前記検査ワーク(1)を、前記検査室(22、62)から簡易検査が行なわれた前記前室(21、23、61、63)に戻すことを特徴とする請求項1に記載の気密漏れ検査装置。
- 前記複数の前室(21、23)は、前記検査室(22)において詳細検査が完了した前記検査ワーク(1)を取り出すための取出用前室(23)を含んで構成されており、
前記移動手段(29)は、前記検査室(22)において詳細検査が完了した前記検査ワーク(1)を、前記取出用前室(23)に移動させることを特徴とする請求項1に記載の気密漏れ検査装置。 - 略真空状態にまで減圧された状態の検査室(22、62)内において、検査ワーク(1)内にトレーサガスを封入し、前記検査ワーク(1)から漏れ出す前記トレーサガスを検出することで、微小穴部があるか否かの詳細検査を行なう詳細気密漏れ検査手段と、
前記検査室(22、62)に隣接して設けられ、外部との間及び前記検査室(22、62)との間で前記検査ワーク(1)を投入・取出しが行なわれる複数の前室(21、23、61、63)において、前記微小穴部よりも大きな穴部があるか否かの簡易検査を行なう簡易検査手段と、
前記複数の前室(21、23、61、63)内の圧力を減圧する前室減圧手段(47)と、
前記検査ワーク(1)を前記前室内と前記検査室(22、62)内との間を移動させる移動手段(28、29、68、69)と、
前記複数の前室(21、23、61、63)と前記検査室(22、62)との間に設けられ、前記移動手段(28、29、68、69)により前記検査ワーク(1)を前記前室内と前記検査室(22、62)内との間を移動させる際に、前記前室と前記検査室(22、62)との間を前記検査ワーク(1)が移動可能に開放し、前記検査ワーク(1)の移動完了後に前記前室と前記検査室(22、62)との間を閉鎖するように構成された内部開閉ドア手段(24、25、64、65)と、
前記複数の前室(21、23、61、63)に設けられ、外部から前記複数の前室(21、23、61、63)内に前記検査ワーク(1)を投入する際に、前記前室と外部との間を開放し、外部から前記前室内に前記検査ワーク(1)を投入完了後に、前記前室と外部との間を閉鎖するように構成された外部開閉ドア手段(26、27、66、67)とを備え、前記簡易検査手段と前記詳細気密漏れ検査手段は、並行して実行可能に構成された気密漏れ検査装置に用いられ、
前記簡易検査手段により、前記前室内に投入された前記検査ワーク(1)の簡易検査を行う簡易検査工程と、
前記移動手段(28、29、68、69)により前記前室において簡易検査が完了した前記検査ワーク(1)を前記検査室(22、62)へ移動させる第1移動工程と、
前記詳細気密漏れ検査手段により、前記第1移動工程を経て前記検査室(22、62)に移動された前記検査ワーク(1)の詳細検査を行う詳細検査工程と、
前記移動手段(28、29、68、69)により、詳細検査が完了した前記検査ワーク(1)を、前記検査室(22、62)から前記複数の前室(21、23、61、63)のうち前記検査ワーク(1)が収納されていない前記前室に移動させるとともに、前記複数の前室(21、23、61、63)内において簡易検査が完了し、詳細検査が行なわれていない前記検査ワーク(1)を前記検査室(22、62)へ移動させる第2移動工程と、
簡易検査工程と並行して、前記前室減圧手段(47)により前記検査ワーク(1)の簡易検査が行なわれている前記前室、及び、前記移動手段(28、29、68、69)により、詳細検査が完了した前記検査ワーク(1)を前記検査室(22、62)から移動させる前記前室内を前記検査室(22、62)内の圧力に近づくように減圧する前室減圧工程とを備えることを特徴とする気密漏れ検査方法。
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