JP2009229267A

JP2009229267A - 気密漏れ検査方法及び気密漏れ検査装置

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Publication number: JP2009229267A
Application number: JP2008075575A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Shioji; 博之塩地; Masashi Fuse; 正史布施; Susumu Ezaki; 晋江崎; Hidetaka Ikuta; 秀隆生田
Original assignee: Denso Corp
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 2008-03-24
Filing date: 2008-03-24
Publication date: 2009-10-08
Anticipated expiration: 2028-03-24
Also published as: JP5098732B2

Abstract

【課題】検査ワークの気密漏れ検査の効率および信頼性の向上を図る。
【解決手段】簡易気密漏れ検査手段は、第１、第２前室２１、２３内に投入された検査ワーク１の簡易検査を行い、前室減圧手段４７は、検査ワーク１の簡易検査が行なわれている際に第１、第２前室２１、２３内を減圧し、第１、第２搬送機構２８、２９は、第１、第２前室２１、２３内において簡易検査が完了した検査ワーク１を検査室２２に移動させ、詳細気密漏れ検査手段は、検査室２２内に移動された検査ワーク１の詳細検査を行い、第１、第２搬送機構２８、２９は、検査室２２において詳細検査が完了した検査ワーク１を、第１、第２前室２１、２３のうち検査ワーク１が収納されていない前室に移動させるとともに、第１、第２前室２１、２３内において簡易検査が完了し、詳細検査が行なわれていない検査ワーク１を検査室２２へ移動させる。
【選択図】図２

Description

本発明は、検査ワークの製造工程において、検査ワークの気密漏れ検査を行なう気密漏れ検査方法及び気密漏れ検査装置に関する。

従来の熱交換器等の検査ワークの気密漏れ検査（気密試験）方法は、例えば、特許文献１に示すようなものが知られている。気密漏れ検査装置は、検査チャンバ、検査チャンバ内部を減圧する減圧装置、検査ワーク内部の漏れを検出する漏れ検出センサ等から構成される。漏れ検査は、まず検査ワークを検査チャンバ内に入れた状態で、圧力及び濃度が管理されたヘリウムガスを検査ワーク内に封入し、同時に検査チャンバ内を所定圧力まで減圧することで真空状態にする。その後、検査ワークから検査チャンバ内のヘリウム成分の漏れ量を漏れ検出センサで測定し、所定量以上のヘリウム成分を検出した場合には、検査ワークに漏れがあるものと判定する。
特開２００７−２０５８３６号公報

ところで、検査ワークの気密漏れ検査（気密試験）において、検査ワーク内部に大きな漏れ箇所がある場合に、いきなり検査ワーク内部にヘリウムガスを封入すると、漏れ箇所から検査チャンバ内に多量のヘリウム成分が流入し、検査系統（検査チャンバ、漏れ検出センサ等）の甚大な汚染が発生するため、気密漏れ検査装置の復旧等に多大な時間が必要となる。

そこで、気密漏れ検査では、検査ワークの内部圧力を上昇させて、上昇した圧力の変化を見て、検査ワーク内部に大きな漏れ箇所があるか否かを検査する大漏れ検査（簡易検査）を行ない、その後、ヘリウムガスを検査ワークに封入して微小な漏れ箇所があるか否かを検査する小漏れ検査（詳細検査）を行なっている。

ここで、特許文献１に記載の気密漏れ検査装置（気密試験装置）では、１つの検査チャンバが設けられているだけであり、上述の簡易検査と詳細検査を１つの検査チャンバで行なう構成となっている。

このような構成では、検査ワークを入れ替える際に、検査チャンバ内の圧力が外気圧にまで上昇し、詳細検査の度に検査チャンバ内の圧力を大気圧から真空圧力レベルまで減圧する必要があるため、検査時間が長時間化するといった問題があった。また、簡易検査を行なっている際に、詳細検査で使用される漏れ検出センサ（リークディテクタ）等の検査機器が稼動しないため、検査機器の稼動効率が悪いといった問題があった。

さらに、検出センサ等の検査機器は、大気中に存在する水分等の影響を受けやすく、それがノイズとなり、検査精度を左右することが課題となっている。つまり、梅雨等の大気中の水分が多い時期には、検査の誤判定が増えるなど、作業雰囲気の状態が検査の信頼性に左右する大きな要素となっている。

本発明は、上記点に鑑み、検査ワークの気密漏れ検査の効率および信頼性の向上を図ることを目的とする。

上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明では、略真空状態にまで減圧された状態の検査室（２２、６２）内において、検査ワーク（１）内にトレーサガスを封入し、検査ワーク（１）から漏れ出すトレーサガスを検出することで、微小穴部があるか否かの詳細検査を行なう詳細気密漏れ検査手段と、検査室（２２、６２）に隣接して設けられ、外部との間及び検査室（２２、６２）との間で検査ワーク（１）を投入・取出しが行なわれる複数の前室（２１、２３、６１、６３）において、微小穴部よりも大きな穴部があるか否かの簡易検査を行なう簡易検査手段と、複数の前室（２１、２３、６１、６３）内の圧力を減圧する前室減圧手段（４７）と、検査ワーク（１）を前室内と検査室（２２、６２）内との間を移動させる移動手段（２８、２９、６８、６９）と、複数の前室（２１、２３、６１、６３）と検査室（２２、６２）との間に設けられ、移動手段（２８、２９、６８、６９）により検査ワーク（１）を前室内と検査室（２２、６２）内との間を移動させる際に、前室と検査室（２２、６２）との間を検査ワーク（１）が移動可能に開放し、検査ワーク（１）の移動完了後に前室と検査室（２２、６２）との間を閉鎖するように構成された内部開閉ドア手段（２４、２５、６４、６５）と、複数の前室（２１、２３、６１、６３）に設けられ、外部から複数の前室（２１、２３、６１、６３）内に検査ワーク（１）を投入する際に、前室と外部との間を開放し、外部から前室内に検査ワーク（１）を投入完了後に、前室と外部との間を閉鎖するように構成された外部開閉ドア手段（２６、２７、６６、６７）とを備え、簡易気密漏れ検査手段と詳細気密漏れ検査手段は、並行して実行可能に構成され、移動手段（２８、２９、６８、６９）は、詳細検査が完了した検査ワーク（１）を、検査室（２２、６２）から複数の前室（２１、２３、６１、６３）のうち検査ワーク（１）が収納されていない前室に移動させるとともに、複数の前室（２１、２３、６１、６３）内において簡易検査が完了し、詳細検査が行なわれていない検査ワーク（１）を検査室（２２、６２）へ移動させ、前室減圧手段（４７）は、検査ワーク（１）の簡易検査が行なわれている際に、検査ワーク（１）の簡易検査が行なわれている前室、及び、移動手段（２８、２９、６８、６９）により詳細検査が行なわれた検査ワーク（１）を検査室（２２、６２）から移動させる前室内を検査室（２２、６２）内の圧力に近づくように減圧することを特徴としている。

このように、移動手段（２８、２９、６８、６９）により、詳細検査が完了した検査ワーク（１）を、検査室（２２、６２）から検査ワーク（１）が収納されていない前室に移動させるとともに、簡易検査が完了し、詳細検査が行なわれていない検査ワーク（１）を検査室（２２、６２）へ移動させることで、複数の前室（２１、２３、６１、６３）で簡易検査を行なった検査ワーク（１）を順番に検査室（２２、６２）に移動させて詳細検査を行なうことができる。そのため、検査室（２２、６２）における簡易検査待ち時間を短縮させることができるため、詳細検査で使用される検査機器の稼動効率を向上させることができる。

また、前室（２１、２３、６１、６３）内での簡易検査と並行して、検査ワーク（１）の検査が行なわれている前室及び移動手段（２８、２９、６８、６９）により詳細検査が行なわれた検査ワーク（１）を移動させる前室内を、検査室（２２）内の圧力に近づくように減圧することで、検査ワーク（１）を前室と検査室（２２、６２）との間を移動させる際の検査室（２２、６２）内の圧力の上昇を抑制することができ、簡易検査と詳細検査を１つの検査室（２２、６２）で行なう場合に比べて、検査室（２２、６２）内の圧力を短時間で所定の真空状態にすることができる。そのため、気密漏れ検査の全体の検査時間の短縮を図ることができる。

さらに、検査室（２２、６２）内は、上述のように真空状態を維持しやすく、内部開閉ドア手段（２４、２５、６４、６５）、外部開閉ドア手段（２６、２７、６６、６７）により外部との直接連通させない構成であるため、検査室（２２、６２）内のバックグランドを良好に維持することができ、気密漏れ検査の信頼性の向上を図ることができる。

したがって、気密漏れ検査装置を用いた検査ワークの気密漏れ検査の効率および信頼性の向上を図ることができる。なお、微小穴部等の穴部は、ろう付け不良等による接合不良箇所を意味している。

また、請求項２に記載の発明では、請求項１に記載の発明において、移動手段（２８、２９、６８、６９）は、検査室（２２、６２）において詳細検査が完了した検査ワーク（１）を、検査室（２２、６２）から簡易検査が行なわれた前室に戻すように構成してもよい。

また、請求項３に記載の発明では、請求項１に記載の発明において、複数の前室（２１、２３）は、検査室（２２）において詳細検査が完了した検査ワーク（１）を取り出すための取出用前室（２３）を含んで構成されており、移動手段（２９）は、検査室（２２）において詳細検査が完了した検査ワーク（１）を、取出用前室（２３）に移動させるように構成してもよい。

また、請求項４に記載の発明では、略真空状態にまで減圧された状態の検査室（２２、６２）内において、検査ワーク（１）内にトレーサガスを封入し、検査ワーク（１）から漏れ出すトレーサガスを検出することで、微小穴部があるか否かの詳細検査を行なう詳細気密漏れ検査手段と、検査室（２２、６２）に隣接して設けられ、外部との間及び検査室（２２、６２）との間で検査ワーク（１）を投入・取出しが行なわれる複数の前室（２１、２３、６１、６３）において、微小穴部よりも大きな穴部があるか否かの簡易検査を行なう簡易検査手段と、複数の前室（２１、２３、６１、６３）内の圧力を減圧する前室減圧手段（４７）と、検査ワーク（１）を前室内と検査室（２２、６２）内との間を移動させる移動手段（２８、２９、６８、６９）と、複数の前室（２１、２３、６１、６３）と検査室（２２、６２）との間に設けられ、移動手段（２８、２９、６８、６９）により検査ワーク（１）を前室内と検査室（２２、６２）内との間を移動させる際に、前室と検査室（２２、６２）との間を検査ワーク（１）が移動可能に開放し、検査ワーク（１）の移動完了後に前室と検査室（２２、６２）との間を閉鎖するように構成された内部開閉ドア手段（２４、２５、６４、６５）と、複数の前室（２１、２３、６１、６３）に設けられ、外部から複数の前室（２１、２３、６１、６３）内に検査ワーク（１）を投入する際に、前室と外部との間を開放し、外部から前室内に検査ワーク（１）を投入完了後に、前室と外部との間を閉鎖するように構成された外部開閉ドア手段（２６、２７、６６、６７）とを備えを備え、簡易気密漏れ検査手段と詳細気密漏れ検査手段は、並行して実行可能に構成された気密漏れ検査装置に用いられ、簡易気密漏れ検査手段により前室内に投入された検査ワーク（１）の簡易検査を行う簡易検査工程と、移動手段（２８、２９、６８、６９）により前室において簡易検査が完了した検査ワーク（１）を検査室（２２、６２）へ移動させる第１移動工程と、詳細気密漏れ検査手段により、第１移動工程を経て検査室（２２、６２）に移動された検査ワーク（１）の詳細検査を行う詳細検査工程と、移動手段（２８、２９、６８、６９）により、詳細検査が完了した検査ワーク（１）を、検査室（２２、６２）から複数の前室（２１、２３、６１、６３）のうち検査ワーク（１）が収納されていない前室に移動させるとともに、複数の前室（２１、２３、６１、６３）内において簡易検査が完了し、詳細検査が行なわれていない検査ワーク（１）を検査室（２２、６２）へ移動させる第２移動工程と、簡易検査工程と並行して、前室減圧手段（４７）により検査ワーク（１）の簡易検査が行なわれている前室、及び、移動手段（２８、２９、６８、６９）により、詳細検査が完了した検査ワーク（１）を検査室（２２、６２）から移動させる前室内を検査室（２２、６２）内の圧力に近づくように減圧する前室減圧工程とを備えることを特徴としている。

このように、移動手段（２８、２９、６８、６９）により、詳細検査が完了した検査ワーク（１）を、検査室（２２、６２）から検査ワーク（１）が収納されていない前室に移動させるとともに、簡易検査が完了し、詳細検査が行なわれていない検査ワーク（１）を検査室（２２、６２）へ移動させ、複数の前室（２１、２３、６１、６３）で簡易検査を行なった検査ワーク（１）を、順番に検査室（２２）に移動させて詳細検査を行なう検査工程とすることで、詳細検査で使用される検査機器の稼動効率を向上させることができる。

また、前室（２１、２３、６１、６３）内での簡易検査と並行して、前室（２１、２３、６１、６３）内を検査室（２２、６２）内の圧力に近づくように減圧するような検査工程とすることで、検査ワーク（１）を前室（２１、２３、６１、６３）と検査室（２２、６２）との間を移動させる際の検査室（２２、６２）内の圧力の上昇を抑制することができ、簡易検査と詳細検査を１つの検査室（２２、６２）で行なう場合に比べて、検査室（２２、６２）内の圧力を短時間で所定の真空状態にすることができる。そのため、気密漏れ検査の全体の検査時間の短縮を図ることができる。

さらに、検査室（２２、６２）内は、真空状態を維持しやすく、内部開閉ドア手段（２４、２５、６４、６５）、外部開閉ドア手段（２６、２７、６６、６７）により外部との直接連通させない検査工程とすることで、検査室（２２、６２）内のバックグランドを良好に維持することができ、気密漏れ検査の信頼性の向上を図ることができる。

なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。

（第１実施形態）
以下、本発明の第１実施形態について図１〜図６に基づいて説明する。図１は、検査ワークとして用いる熱交換器の概略を示し、図２は、本実施形態の熱交換器の気密漏れ検査装置の全体構成を示している。

まず、本実施形態の気密漏れ検査の検査ワークとして用いる熱交換器１について図１に基づいて説明する。熱交換器１は、例えば、車両用のラジエータやコンデンサを用いることができる。

図１に示すように、熱交換器１は、並行に複数本配置されたチューブ１０と、隣り合うチューブ同士の間に配置されたフィン１１と、チューブ１０の長手方向両端部に配置されチューブ１０に連通するヘッダタンク１２とを備え、チューブ１１内部を流れる第１流体とチューブ同士の間を流れる第２流体との間の熱交換を行なう構成となっている。熱交換器１のヘッダタンク１２は、第１流体をチューブ１０に導入するための導入口１３と第１流体をチューブ１０から導出するための導出口１４が形成されている。

次に、気密漏れ検査装置２について図２に基づいて説明する。本実施形態の気密漏れ検査は、熱交換器１内部において、導入口１３及び導出口１４以外に、ろう付け不良等により形成された外部と連通する穴部があるか否かを検査するものである。

図２に示すように、気密漏れ検査装置２は、検査ワークである熱交換器１を収容するケース２０を有している。ケース２０内部は、第１前室２１、検査室２２、第２前室２３に仕切られており、各室２１〜２３はそれぞれ検査ワークを収納可能な大きさに形成されている。

第１、第２前室２１、２３は、検査室２２に隣接するように形成され、検査室２２が第１前室２１と第２前室２３との間に挟まれる構成となっている。第１前室２１と検査室２２は、第１内部開閉ドア２４により仕切られ、第２前室２３と検査室２２は、第２内部開閉ドア２５により仕切られている。

第１、第２内部開閉ドア２４、２５は、後述する制御装置５０からの制御指令により、検査ワークの移動手段を構成する搬送機構２８、２９が検査ワークを第１、第２前室２１、２３と検査室２２との間を移動させる際に、第１、第２前室２１、２３と検査室２２との間を検査ワークが移動可能に開放され、検査ワークの移動完了後に各前室２１、２３と検査室２２との間が閉鎖されるように構成されている。本実施形態では、第１、第２内部開閉ドア２４、２５が内部開閉ドア手段を構成している。

第１前室２１には、検査ワークを入れ替えるための第１外部開閉ドア２６が設けられ、第２前室２３には、検査ワークを入れ替えるための第２外部開閉ドア２７が設けられている。第１、第２外部開閉ドア２６、２７は、外部から第１、第２前室２１、２３内に検査ワークを出し入れする際に、各前室２１、２３と外部との間を検査ワークが移動可能に開放され、外部から第１、第２前室２１、２３に検査ワークを投入完了後に、各前室２１、２３と外部との間が閉鎖されるように構成されている。本実施形態では、第１、第２外部開閉ドア２６、２７が外部開閉ドア手段を構成している。

また、第１前室２１と検査室２２との間には、パレット３に載せた検査ワークを第１前室２１と検査室２２間を往復移動させるための第１搬送機構２８が設けられ、第２前室２３と検査室２２には、パレット３に載せた検査ワークを第２前室２３と検査室２２間を往復移動させるための第２搬送機構２９が設けられている。本実施形態では、第１、第２搬送機構２８、２９が移動手段を構成している。

検査ワークを載せるパレット３は、後述する簡易検査装置、詳細検査装置の押付側ドレッキングポート４３、４４、５７と接続可能に構成された受側ドレッキングポート３１を備えている。この受け側ドレッキングポート３１は、ホース３２を介して接続カプラ３３に接続されている。

ここで、接続カプラ３３は、検査ワークである熱交換器１の導入口１３、導出口１４に接続され、熱交換器１内に加圧エア、トレーサガス等の流体を封入可能に構成されている。なお、本実施形態のトレーサガスは、ヘリウムを用いている。

本実施形態では、第１、第２前室２１、２３において、検査ワークに外部と連通する比較的大きな穴部があるか否かを検査する簡易検査が行われる。簡易検査は、各前室２１、２３内の検査ワークに加圧エアを封入して、検査ワーク内部の圧力が所定圧力まで上昇するか否かの検査、及び、検査ワーク内部の圧力が時間経過により減少するか否かの検査を行なっている。なお、簡易検査には、検査ワークの耐圧検査を含めてもよい。

簡易検査を行なうための簡易検査装置は、第１、第２前室２１、２３内の検査ワークに加圧エアを供給するエア供給装置（図示せず）、各前室２１、２３に供給する加圧エアの圧力を検出する圧力センサ４１、４２等から構成されている。

ここで、エア供給装置は、バルブＶ１、Ｖ２を介して各前室２１、２３と連通する押付側ドレキングポート４３、４４に接続されている。各前室２１、２３と連通する押付側ドレッキングポート４３、４４は、検査ワークを載せるパレット３に設けられた受側ドレッキングポート３１に接続可能に構成されている。

エア供給装置は、押付側ドレッキングポート４３、４４とパレット３の受側ドレッキングポート３１を接続された状態で、バルブＶ１、Ｖ２が開放されることで、加圧エアを検査ワーク内部に封入するように構成されている。

また、第１、第２前室２１、２３には、第１、第２前室２１、２３内の圧力を検出する前室用圧力センサ４５、４６が設けられ、各前室２１、２３内の圧力を減圧する前室減圧装置（前室減圧手段）４７により減圧された第１、第２前室２１、２３内の圧力が検出可能に構成されている。

前室減圧装置４７は、バルブＶ３、Ｖ４を介して第１前室２１と接続され、バルブＶ３、Ｖ５を介して第２前室２３と接続されている。前室減圧装置４７は、バルブＶ３、Ｖ４、Ｖ５が開放されることで、第１、第２前室２１、２３を減圧するように構成されている。

次に、検査室２２では、検査ワークに外部と連通する微小穴部があるか否かを検査する詳細検査が行なわれる。検査室２２での詳細検査は、略真空状態まで減圧された状態の検査室２２内で、検査ワーク内にトレーサガス（ヘリウムと加圧エアとの混合ガス）を短時間封入し、検査ワークから漏れ出すトレーサガスを検出することにより微小穴部があるか否かの検査を行なっている。

詳細検査を行なうための詳細気密漏れ検査装置は、検査室２２内の検査ワークにトレーサガスを供給するトレーサガス供給装置（図示せず）、ヘリウムと加圧エアとを混合するガス混合装置５０、検査ワーク内のトレーサガスを真空排気する真空排気装置５１、検査室２２内のトレーサガスの濃度を検出するリークディテクタ５２、検査室内を掃引きする掃引き装置５３、検査室２２の圧力を減圧して略真空状態にする検査室減圧装置５４、検査室２２に供給するトレーサガスの圧力を検出する圧力センサ５５、検査室２２内の圧力を検出する圧力センサ５６等から構成されている。

ここで、検査室２２と連通する押付側ドレッキングポート５７は、パレット３に設けられた受側ドレッキングポート３１に接続可能に構成されている。

ガス混合装置５０は、バルブＶ６、Ｖ７を介して検査室２２と連通する押付側ドレッキングポート５７に接続され、押付側ドレッキングポート５７と受側ドレッキングポート３１が接続された状態で、バルブＶ６、Ｖ７が開放されることで、トレーサガスを検査ワーク内部に封入するように構成されている。

真空排気装置５１は、バルブＶ７、Ｖ８を介して検査室２２と連通する押付側ドレッキングポート５７に接続され、押付側ドレッキングポート５７と受側ドレッキングポート３１が接続された状態で、バルブＶ７、Ｖ８が開放されることで、トレーサガスを検査ワーク内部から真空排気するように構成されている。

検査室減圧装置５４は、バルブＶ９を介して検査室２２内と接続され、バルブＶ９が開放されることで、検査室２２内を減圧するように構成されている。リークディテクタ５２は、バルブＶ１０、Ｖ１１を介して検査室２２内と接続され、バルブＶ１０、Ｖ１１が開放されることで、検査室２２内のトレーサガスの濃度を検出するように構成されている。

掃引き装置５３は、バルブＶ１１、Ｖ１２を介して検査室２２内と接続され、バルブＶ１１、Ｖ１２が開放されることで、検査室２２内の掃引きを行なうように構成されている。

ここで、気密漏れ検査装置１は、制御装置（図示せず）を有している。制御装置は、周知のごとくＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ等からなる周知のマイクロコンピュータと、その周辺回路にて構成されるものであり、各圧力センサ４１、４２、４５、４６、５６、５５等からの検出値、リークディテクタ５２でのトレーサガスの濃度検出値等が入力される。また、制御装置のＲＯＭ等に予め記憶されたプログラムにより、内部開閉ドア２４、２５、外部開閉ドア２６、２７、検査ワークの搬送機構２８、２９、各バルブＶ１〜Ｖ１２の開閉が制御される。

上記構成において、本実施形態における検査ワークの気密漏れ検査について図３〜図６に基づいて説明する。まず、１つの検査ワークについて検査室２２、前室２１、２３での検査の流れ、検査ワークの検査状態について図３に基づいて説明する。

まず検査室２２における検査の流れについて説明すると、内部開閉ドア２４、２５が開放され（ａ１）、搬送機構２８、２９により検査ワークの前室２１、２３から検査室２２への移動が行なわれる（ａ２）。検査ワークの移動完了後に内部開閉ドア２４、２５が閉鎖され（ａ３）、検査室２２が密閉された状態で、検査室２２が所定の真空状態にまで減圧される（ａ４）。

そして、検査室２２で検査ワークの詳細検査が行なわれる（ａ５〜ａ７）。詳細検査では、検査ワークの内部に微小量のトレーサガスを供給した状態で、リークディテクタ５２により検査ワークから検査室２２に流出したトレーサガスの濃度を検査するプレ検査が行なわれる（ａ５）。プレ検査後、検査ワークの内部に多量のトレーサガスを供給した状態で、リークディテクタ５２により検査ワークから検査室２２に流出したトレーサガスの濃度を検査する本検査（ａ７）が行われる。

詳細検査完了後、内部開閉ドア２４、２５が開放され（ａ８）、搬送機構２８、２９により検査ワークの検査室２２から前室２１、２３への移動が行なわれる（ａ９）。検査ワークの移動完了後、内部開閉ドア２４、２５が閉鎖される。その後、内部開閉ドア２４、２５が開放（ａ１）される。

各前室２１、２３における検査の流れについて説明すると、内部開閉ドア２４、２５が閉鎖され、外部開閉ドア２６、２７が開放された状態で、検査ワークの投入・取り出しが行なわれる（ｂ１）。検査ワークの投入・取り出しの完了後に、外部開閉ドア２６、２７が閉鎖され（ｂ２）、前室２１、２３内が検査室２２の圧力に近づくように減圧される（ｂ３）。

そして、内部開閉ドア２４、２５が開放され（ｂ４）、搬送機構２８、２９により検査ワークの前室２１、２３から検査室２２への移動が行なわれる（ｂ５）。検査ワークの移動完了後、内部開閉ドア２４、２５が閉鎖される（ｂ６）。検査室２２からの検査ワークの戻り待ち（ｂ７）を経て、内部開閉ドア２４、２５が開放され（ｂ８）、搬送機構２８、２９により検査ワークの検査室２２から前室２１、２３への移動が行なわれる（ｂ１２）。

検査ワークの移動完了後、内部開閉ドア２４、２５が閉鎖され（ｂ１１）、前室２１、２３の大気開放を経て（ｂ１１）、外部開閉ドア２６、２７が開放される（ｂ１２）。

検査ワークにおける検査の流れは、簡易検査が行なわれ（ｃ１）、簡易検査の完了後、検査ワーク内が減圧される（ｃ２）。そして、詳細検査を行なうため、検査ワーク内にトレーサガスが封入され（ｃ３）、リークディテクタ５２での検査室２２内のトレーサガスの濃度の検出後、検査ワーク内からトレーサガスが放出される（ｃ４）。トレーサガスの放出後、検査ワーク内が減圧され（ｃ５）、検査ワーク内にドライエアが封入される。

このように、検査室２２での検査は、１つの検査ワークに対してａ１〜ａ１０の一連の流れで行なわれ、各前室２１、２３での検査は、１つの検査ワークに対してｂ１〜ｂ１２の一連の流れで行なわれ、検査ワークの検査は、ｃ１〜ｃ６のように行なわれる。

次に、本実施形態の気密漏れ検査装置１による気密漏れ検査の流れを図４に基づいて説明する。図４は、本実施形態の気密漏れ検査の流れを示している。なお、説明の都合上、第１前室２１に投入される検査ワークをワークＡとし、第２前室２３に投入される検査ワークをワークＢとして説明する。

まず、第１内部開閉ドア２４が閉鎖された状態で、第１外部開閉ドア２６が開放され、第１前室２１内に、ワークＡ１が投入される。ワークＡ１の投入は、パレット３に搭載され、接続カプラ３３に検査ワークの熱交換器１の導入口１３、導出口１４が接続された状態で行なわれる。

ここで、検査室２２では、第２前室２３に投入され、簡易検査を完了して第２搬送機構２９により移動されたワークＢ１が詳細検査されている。なお、検査室２２は、第１、第２内部開閉ドア２４、２５が閉鎖され、検査室減圧装置５４で減圧されている（図３（ａ）の状態）。

次に、第１前室２１の外部開閉ドア２６が閉鎖され、第１前室２１内でワークＡ１の簡易検査が行なわれる（簡易検査工程）。また、簡易検査と並行して、前室減圧装置４７により第１前室２１内が減圧される（前室減圧工程）。ここで、前室減圧装置４７は、検査室２２内の圧力に近づくように減圧される（図３（ｂ）の状態）。なお、簡易検査の完了後に、ワークＡ内の圧力が減圧される。

次に、検査室２２でのワークＢ１の詳細検査が完了すると、第２内部開閉ドア２５が開放され、第２搬送機構２９によりワークＢ１を検査室２２から第２前室２３に移動させる。ワークＢの第２前室２３への移動と並行して、第１内部開閉ドア２４が開放され、第１搬送機構２８によりワークＡ１を第１前室２１から検査室２２に移動させる（図３（ｃ）の状態）。

そして、第２内部開閉ドア２５が閉鎖され、ワークＢ１が第２前室２３に収納される。また、第１内部開閉ドア２４が閉鎖され、ワークＡ１が検査室２２に収納される（第１移動工程）。

その後、第２前室２３では、第２外部開閉ドア２７が開放され、ワークＢ１の取り出しが行なわれ、ワークＡ１の次に気密漏れ検査をするワークＢ２の投入が行なわれる（図３（ｄ）の状態）。

次に、第２前室２３にてワークＢ２の簡易検査が行なわれるとともに、検査室２２内でワークＡ１の詳細検査が行なわれる（図３（ｅ）の状態）。ここで、本実施形態の詳細検査は、プレ検査後、本検査を行なっている（詳細検査工程）。

リークディテクタ５２による検査室２２内のトレーサガスの検出が完了した後、真空排気装置５１によりワークＡ１内のトレーサガスを排気するとともに、ワークＡ１内を減圧する。

検査室２２でのワークＡ１の詳細検査が完了すると、第１内部開閉ドア２４が開放され、第１搬送機構２８によりワークＡ１を検査室２２から第１前室２１に移動させる。そして、第１内部開閉ドア２４が閉鎖され、第１前室２１にワークＡ１を収納する（第２移動工程）。

第１前室２１では、図示しない減圧装置によりワークＡ１内を減圧し、図示しないドライエア供給装置によりワークＡ１内にドライエアが封入される。ワークＡ１内へのドライエアの封入と並行して、第２内部開閉ドア２５が開放され、第２搬送機構２９によりワークＢ２を第２前室２３から検査室２２に移動させる（図３（ｆ）の状態）。

その後、第２内部開閉ドア２５が閉鎖され、ワークＢ２が検査室２２に収納される（第１移動工程）。一方、第１前室２１では、第１外部開閉ドア２６が開放され、ワークＡ１の取り出しが行なわれ、ワークＢ２の次に気密漏れ検査を行なうワークＡ２が第１前室２１へ投入される。

次に、上述の気密漏れ検査装置１における検査室２２、各前室２１、２３、ワーク毎の状態を図５、図６に基づいて説明する。ここで、図５は、気密漏れ検査のサイクルタイムを示し、図６は気密漏れ検査時の検査室２２、第１前室２１、ワークＡ内部の圧力の状態を示している。

なお、図５、図６におけるａ１〜ａ１０、ｂ１〜ｂ１２、ｃ１〜ｃ６の符号は、図３における符号と対応している。また、図５の検査室２２の項目は、上段が第１前室２１からワークＡが投入された場合のサイクルタイムを示し、下段が第２前室２３からワークＢが投入された場合のサイクルタイムを示している。

図５に示すように、本実施形態の気密漏れ検査では、検査室２２で、第２前室２３から投入されたワークＢの詳細検査（ａ５〜ａ７）等を行っている間に、第１前室２１でワークＡの投入（ｂ１、ｂ２）、第１前室２１内の減圧（ｂ３）、ワークＡの簡易検査（ｃ１）等を行う。

次に、詳細検査が完了したワークＢを検査室２１から第２前室２３への移動（ａ８〜ａ１０）等を行なっている間に、ワークＡを第１前室２１から検査室２２への移動（ａ１〜ａ３）等を行なう。そして、検査室２内の減圧（ａ４）後、ワークＡの詳細検査（ａ５〜ａ７）等の間に、第２前室２３でワークＢの取り出し・投入（ｂ１、ｂ２）、第２前室２３内の減圧（ｂ３）、ワークＢの簡易検査（ｃ１）等を行う。

このように、ワークの投入、簡易検査を行なうための第１、第２前室２１、２３を設けることで、第１、第２前室２１、２３で簡易検査を完了した検査ワークを、交互に検査室２２に移動させて詳細検査を行なうことで、検査室２２内の機器の稼動効率を向上させることができる。

また、図６に示すように、第１前室２１では、ワークの投入後（ｂ１、ｂ２）に第１外部開閉ドア２６が開放されるため、第１前室２１の内部圧力が大気圧となるが、検査室２２では、ワークＢの詳細検査（ａ５〜ａ７）が行なわれ、各内部開閉ドア２４、２５が閉鎖されているため、高真空圧力（例えば、６．７Ｐａ（ａｂｓ））に維持される。

そして、第１前室２１内は、検査室２２内の圧力に近づくように中真空圧力（例えば、１００Ｐａ（ａｂｓ））まで減圧される（ｂ３）。ここで、第１前室２１内の減圧と並行して、ワークＡの簡易検査（ｃ１）が行なわれ、ワークＡ内の圧力が大気圧から所定圧力（例えば、０．１４ＭＰａ（ａｂｓ））まで加圧される。

検査室２２でのワークＢの詳細検査の完了後、検査室２２及び第１前室２１では、ワークＡの検査室２２への移動等（ａ１〜ａ３、ｂ４〜ｂ６）が行なわれ、第１内部開閉ドア２４等が開放されるため、第１前室２１内の圧力と検査室２２内の圧力が略同程度の真空圧力（例えば、６０Ｐａ（ａｂｓ））となる。

第１内部開閉ドア２４等が閉鎖された後、検査室２２内は、高真空圧力（例えば、６．７Ｐａ（ａｂｓ））まで減圧され（ａ４）、ワークＡの詳細検査（ａ５〜ａ７）が行なわれる。

ここで、ワークＡの詳細検査の間、各内部開閉ドア２４、２５が閉鎖されているため、検査室２２内は高真空圧力（例えば、６．７Ｐａ（ａｂｓ））に維持される。また、第１前室２１内は、第１外部開閉ドア２６が閉鎖されており、ワークＡの検査室２２への移動前の真空圧力程度となる。なお、ワークＡ内の圧力は、詳細検査に伴って、一度減圧された後（ｃ２）、トレーサガス封入による圧力上昇（ｃ３）、トレーサガスの放出（ｃ４）による圧力下降等による圧力変動する。

検査室２２でのワークＡの詳細検査の完了後、検査室２２及び第１前室２１では、ワークＡの第１前室２１への移動（ａ８〜ａ１０、ｂ８〜ｂ１０）等が行なわれ、第１内部開閉ドア２４等が開放されるため、第１前室２１内の圧力と検査室２２内の圧力が略同程度の圧力（例えば、５０Ｐａ（ａｂｓ））となる。

第１内部開閉ドア２４等が閉鎖され、ワークＡの第１前室２１への移動の完了後、検査室２２内は、所定の圧力（例えば、６．７Ｐａ（ａｂｓ））まで減圧される（ａ４）。第１前室２１では、第１前室２１内の圧力を大気圧になるまで開放し、外部開閉ドア２７が開放される（ｂ１１〜ｂ１２）。

このように、簡易検査と並行して前室２１、２３内を検査室２２内の圧力に近づくように中真空圧力レベルまで減圧することで、内部開閉ドア２４、２５を開放しても検査室２２内の圧力を真空圧力レベルに維持することができる。

以上説明したように、本実施形態の気密漏れ検査装置及び気密漏れ検査方法によれば、第１、第２前室２１、２３で簡易検査を行なった検査ワークを、交互に検査室２２に移動させて詳細検査を行なう構成とすることで、詳細検査で使用されるリークディテクタ５２等の検査機器の稼動効率を向上させることができる。

また、各前室２１、２３内での簡易検査と並行して、各前室２１、２３内を検査室２２内の真空圧力レベルに近づくように減圧することで、検査ワークを各前室２１、２３と検査室２２との間を移動させる際の検査室２２内の圧力の上昇を抑制することができ、簡易検査と詳細検査を１つの検査室２２で行なう場合に比べて、検査室２２内の圧力を短時間で所定の真空状態にすることができる。その結果、気密漏れ検査の全体の検査時間の短縮を図ることができる。

さらに、検査室２２内は、真空状態を維持しやすく、各内部開閉ドア２４、２５、各外部開閉ドア２６、２７により外部との直接連通させない構成であるため、検査室２２内のバックグランドを良好に維持することができ、詳細検査の検査精度の向上（気密漏れ検査の信頼性の向上）を図ることができる。

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について説明する。上記第１実施形態と同様または均等な部分について同一の符号を付し、その説明を省略する。

第１実施形態では、検査ワークを第１前室２１と検査室２２の間及び第２前室２３と検査室２２との間を往復移動させているが、本実施形態では、検査ワークを第１前室２１→検査室２２→第２前室２３へと一方向に移動させる。すなわち、本実施形態では、第１前室２１を検査ワークの投入用及び簡易検査用の前室とし、第２前室２３を検査ワークの取出用前室としている。

具体的に、本実施形態の気密漏れ検査を図７に基づいて説明する。ここで、図７は、本実施形態の気密漏れ検査の流れを示している。

図７に示すように、まず、第１内部開閉ドア２４が閉鎖された状態で、第１外部開閉ドア２６が開放され、第１前室２１内に、ワークＡ２が投入される。ここで、検査室２２では、ワークＡ２が第１前室２１に投入される前に、第１前室２１に投入され、簡易検査を完了して第１搬送機構２８により移動されたワークＡ１の詳細検査が行なわれている。なお、検査室２２は、第１、第２内部開閉ドア２４、２５が閉鎖され、検査室減圧装置５４で減圧されている（図７（ａ）の状態）。

次に、第１前室２１の外部開閉ドア２６が閉鎖され、第１前室２１内でワークＡ２の簡易検査が行なわれる（簡易検査工程）。また、簡易検査と並行して、前室減圧装置４７により第１、第２前室２１、２３内が減圧される（前室減圧工程）。ここで、前室減圧装置４７は、検査室２２内の圧力に近づくように減圧される（図７（ｂ）の状態）。

検査室２２でのワークＡ１の詳細検査が完了すると、第２内部開閉ドア２５が開放され、第２搬送機構２９によりワークＡ１を検査室２２から第２前室２３に移動させる。ワークＡ１の第２前室２３への移動と並行して、第１内部開閉ドア２４が開放され、第１搬送機構２８によりワークＡ２を第１前室２１から検査室２２に移動させる（図７（ｃ）の状態）。

そして、第２内部開閉ドア２５が閉鎖され、ワークＡ１が第２前室２３に収納されるとともに、第１内部開閉ドア２４が閉鎖され、ワークＡ２が検査室２２に収納される（第１移動工程）。

その後、第２前室２３では、第２外部開閉ドア２７が開放され、ワークＡ１の取り出しが行なわれる（図７（ｄ）の状態）。また、第１前室２１では、第１外部開閉ドア２６が開放され、ワークＡ２の次に気密漏れ検査をするワークＡ３の投入が行なわれる。

次に、第１前室２１にてワークＡ３の簡易検査が行なわれるとともに、検査室２２内でワークＢの詳細検査（詳細検査工程）が行なわれる（図７（ｅ）の状態）。

検査室２２でのワークＡ２の詳細検査が完了すると、第２内部開閉ドア２５が開放され、第２搬送機構２９によりワークＡ２を検査室２２から第２前室２３に移動させる。そして、第２内部開閉ドア２５が閉鎖され、第２前室２３にワークＡ３が収納される（第２移動工程）。

第２前室２３では、図示しない減圧装置によりワークＡ２内を減圧し、図示しないドライエア供給装置によりワークＡ２内にドライエアが封入される。ワークＡ２内へのドライエアの封入と並行して、第１内部開閉ドア２４が開放され、第１搬送機構２８によりワークＡ３を第１前室２１から検査室２２に移動させる（図７（ｆ）の状態）。

その後、第１内部開閉ドア２６が閉鎖され、ワークＡ３が検査室２２に収納される（第１移動工程）。一方、第２前室２３では、第２外部開閉ドア２７が開放され、ワークＡ２の取り出しが行なわれる。また、ワークＡ３の次に気密漏れ検査を行なうワークＡ４が第１前室２１に投入される。

本実施形態のように、検査ワークを第１前室２１→検査室２２→第２前室２３へと一方向に移動させる場合であっても、第１実施形態で示した検査ワークの往復移動で得られる効果と同等な効果を得ることができる。

（第３実施形態）
次に、本発明の第２実施形態について図８〜図１０に基づいて説明する。上記第１実施形態と同様または均等な部分について同一の符号を付し、その説明を省略する。ここで、図８は、本実施形態の気密漏れ検査装置の概略構成を示している。

本実施形態では、ケース２０の内部が、第１前室２１、第１検査室２２、第２前室２３、第３前室６１、第２検査室６２、第４前室６３に仕切られており、各室は、それぞれ検査ワークを収納可能な大きさに形成されている。ここで、第１検査室２２と第２検査室６２とは、仕切り板６０により仕切られている。なお、第１検査室２２が、第１実施形態における検査室に相当している。

第３、第４前室６１、６３は、第２検査室６２に隣接するように形成され、第２検査室６２が第３前室６１と第４前室６３との間に挟まれる構成となっている。また、第１前室２１と第３前室６１とが隣接し、第２前室２３と第４前室６３とが隣接するように形成されている。

第３前室６１と第２検査室６２との間は、第３内部開閉ドア６４により仕切られ、第４前室６３と第２検査室６２との間は、第４内部開閉ドア６５により仕切られている。第３、第４内部開閉ドア６４、６５は、第１、第２内部開閉ドア２４、２５と同様に、制御装置５０からの制御指令により、検査ワークの移動手段を構成する搬送機構６８、６９が検査ワークを第３、第４前室６１、６３と第２検査室６２との間を移動させる際に開放され、検査ワークの移動完了後に閉鎖されるように構成されている。

また、第３、第４前室６１、６３には、第１、第２前室２１、２２と同様に、検査ワークを入れ替えるための第３、第４外部開閉ドア６６、６７が設けられている。第３、第４外部開閉ドア６６、６７は、外部から第３、第４前室６１、６３内に検査ワークを出し入れする際に開放され、外部から第３、第４前室６１、６３に検査ワークを投入完了後に閉鎖されるように構成されている。

また、第３前室６１と第２検査室６２との間及び第４前室６３と第２検査室６２との間には、パレット３に載せた検査ワークを各前室と検査室２２間を往復移動させるための第３、第４搬送機構６８、６９が設けられている。

ここで、第３、第４前室６１、６３では、第１、第２前室２１、２３と同様に、簡易検査できるように簡易検査装置の各機器とバルブを介して接続されている。また、第２検査室６２では、第１検査室２２と同様に、詳細検査ができるように詳細検査装置の各機器とバルブを介して接続されている。例えば、リークディテクタ５２は、バルブＶ１０、Ｖ１３を介して第２検査室６２内と接続されている。

次に、本実施形態における気密漏れ検査について図９、図１０に基づいて説明する。ここで、図９は、本実施形態の気密漏れ検査の流れを示している。なお、第３前室６１に投入される検査ワークをワークＣとし、第４前室６３に投入される検査ワークをワークＤとして説明する。

まず、本実施形態の気密漏れ検査の流れを図９に基づいて説明すると、第１、第２内部開閉ドア２４、２５が閉鎖された状態で、第１外部開閉ドア２６が開放され、第１前室２１内にワークＡ１が投入される。ここで、第１検査室２２では、検査室減圧装置５４で減圧された状態で、ワークＢ１の詳細検査が行なわれる。

ワークＢ１の詳細検査と並行して、第３前室２３では、第３内部開閉ドア６４が開放され、第３前室６１で簡易検査が完了したワークＣ１の第２検査室６２への移動が行なわれる。また、第４前室６３では、第４内部開閉ドア６５、第４外部開閉ドア６７が閉鎖された状態で、第４前室６３内の大気開放、ワークＤ１内へのドライエアの封入が行なわれる（図９（ａ）の状態）。

次に、第１前室２１の第１外部開閉ドア２６が閉鎖され、第１前室２１内でワークＡ１の簡易検査が開始され（ワークＡ１の簡易検査工程）、簡易検査と並行して、前室減圧装置４７により第１前室２１内が減圧される（ワークＡ１の前室減圧工程）。さらに、第４前室６３では、第４外部開閉ドア６７が開放され、ワークＤ１の取り出しが行なわれる。

そして、第１検査室２２でワークＢ１の詳細検査が完了すると、第２内部開閉ドア２５が開放され、ワークＢ１の第２前室２３への移動が行なわれる。また、第３内部開閉ドア６４が閉鎖され、第２検査室６２でワークＣ１の詳細検査が開始される（図９（ｂ）の状態）。

次に、第２検査室６２でのワークＣ１の詳細検査と並行して、第４前室６３内にワークＤ２が投入される。また、第２内部開閉ドア２５が閉鎖され、第２前室２３内の大気開放、ワークＢ１内へのドライエアの封入が行なわれる。その後、第１内部開閉ドア２４が開放され、第１前室２１で簡易検査が完了したワークＡ１の第１検査室２２への移動が行なわれる（ワークＡ１の第１移動工程）（図９（ｃ）の状態）。

そして、第２検査室６２でワークＣ１の詳細検査が完了すると、第３内部開閉ドア６４が開放され、ワークＣ１の第３前室６１への移動が行なわれる。また、第１内部開閉ドア２４が閉鎖され、第１検査室２２でワークＡ１の詳細検査が開始される（ワークＡ１の詳細検査工程）。

ここで、第４前室６３の第４外部開閉ドア６７が閉鎖され、第４前室６３内でワークＤ２の簡易検査が開始されるとともに、前室減圧装置４７により第４前室６３内が減圧される。さらに、第２前室２３では、第２外部開閉ドア２７が開放され、ワークＢ１の取り出しが行なわれる（図９（ｄ）の状態）。

次に、第１検査室２２でのワークＡ１の詳細検査と並行して、第２前室２３内にワークＢ２が投入される。また、第３内部開閉ドア６４が閉鎖され、第３前室６１内の大気開放、ワークＣ１内へのドライエアの封入等が行なわれる。その後、第４内部開閉ドア６５が開放され、第４前室６３で簡易検査が完了したワークＤ２の第２検査室６２への移動が行なわれる（図９（ｅ）の状態）。

そして、第１検査室２２でワークＡ１の詳細検査が完了すると、第１内部開閉ドア２４が開放され、ワークＡ１の第１前室２１への移動が行なわれる（第２移動工程）。また、第４内部開閉ドア６５が閉鎖され、第２検査室６２でワークＤ２の詳細検査が開始される。

ここで、第２前室２３の第２外部開閉ドア２７が閉鎖され、第２前室２３内でワークＢ２の簡易検査が開始されるとともに、前室減圧装置４７により第２前室６３内が減圧される。さらに、第３前室６１では、第３外部開閉ドア６６が開放され、ワークＣ１の取り出しが行なわれる（図９（ｆ）の状態）。

次に、第２検査室６２でのワークD２の詳細検査と並行して、第３前室６１内にワークＣ２が投入される。また、第１内部開閉ドア２４が閉鎖され、第１前室２１内の大気開放、ワークＡ１内へのドライエアの封入が行なわれる。その後、第２内部開閉ドア２５が開放され、第２前室２３で簡易検査が完了したワークＢ２の第１検査室２２への移動が行なわれる（図９（ｇ）の状態）。

そして、第２検査室６２でワークＤ２の詳細検査が完了すると、第４内部開閉ドア６５が開放され、ワークＤ２の第４前室６３への移動が行なわれ、第２内部開閉ドア２５が閉鎖され、第１検査室２２でワークＢ２の詳細検査が開始される。

ここで、第３前室６１の第３外部開閉ドア６６が閉鎖され、第３前室６１内でワークＣ２の簡易検査が開始されるとともに、前室減圧装置４７により第３前室６１内が減圧される。さらに、第１前室２１では、第１外部開閉ドア２６が開放され、ワークＡ１の取り出しが行なわれる（図９（ｈ）の状態）。

次に、上述の気密漏れ検査におけるサイクルタイムを図１０に基づいて説明する。ここで、図１０は、気密漏れ検査のサイクルタイムを示している。ここで、図１０におけるａ１〜ａ１０、ｂ１〜ｂ１２、ｃ１〜ｃ６の符号は、図４における符号と対応し、図１０の検査室の項目は、最上段がワークＡを示し、最上段の下段がワークＢを示し、最下段がワークＤを示し、最下段の上段がワークＣを示している。

図１０に示すように、本実施形態の気密漏れ検査では、第１検査室２２でワークＢの詳細検査（ａ５〜ａ７）等を行っている間に、第１前室２１でワークＡの投入（ｂ１、ｂ２）、第１前室２１内の減圧（ｂ３）、ワークＡの簡易検査（ｃ１）等を行う。また、第３前室６１で、ワークＣの第２検査室６２への移動等（ｂ４〜ｂ６）、第４前室６３でワークＤの第２検査室６２からの移動（ｂ８〜１０）、取り出し準備（ｂ１１〜ｂ１２）を行なっている。

次に、第２検査室６２でワークＣの詳細検査（ａ５〜ａ７）等を行っている間に、第４前室６３でワークＤの投入等（ｂ１、ｂ２、ｂ３、ｃ１）、第１前室２１で、ワークＡの第１検査室２２への移動等（ｂ４〜ｂ６）、第２前室２３でワークＢの第１検査室２２からの移動（ｂ８〜１０）、取り出し準備（ｂ１１〜ｂ１２）を行なっている。

また、第１検査室２２でワークＡの詳細検査（ａ５〜ａ７）等を行っている間に、第２前室２３でワークＢの投入等（ｂ１、ｂ２、ｂ３、ｃ１）、第４前室６３で、ワークＤの第２検査室６２への移動等（ｂ４〜ｂ６）、第３前室６１でワークＣの第２検査室６２からの移動（ｂ８〜１０）、取り出し準備（ｂ１１〜ｂ１２）を行なっている。

さらに、第２検査室６２でワークＤの詳細検査（ａ５〜ａ７）等を行っている間に、第３前室６１でワークＣの投入等（ｂ１、ｂ２、ｂ３、ｃ１）、第２前室２３で、ワークＢの第１検査室２２への移動等（ｂ４〜ｂ６）、第１前室２１でワークＡの第１検査室２２からの移動（ｂ８〜１０）、取り出し準備（ｂ１１〜ｂ１２）を行なっている。

このように、ケース２０内部を第１前室２１、第１検査室２２、第２前室２３、第３前室６１、第２検査室６２、第４前室６３に仕切り、第１検査室２２と第２検査室６２で交互に詳細検査を行なう構成とすることで、第１実施形態に比べて、検査ワークの検査間隔を短縮することができ、詳細検査を行なうための機器の稼動効率を向上させることができる。

（他の実施形態）
本発明は上述の実施形態に限定されることなく、以下のように種々変形可能である。

（１）上述の実施形態では、検査ワークとして熱交換器１を用いた場合の気密漏れ検査について説明したが、検査ワークは、熱交換器１に限定されるものではなく、流体の出入口を有し、内部に流体が封入可能に構成された機器等の気密漏れ検査を行なうことができる。

（２）上述の実施形態では、リークディテクタ５２で検査ワークから流出したトレーサガスの検出値が所定基準量以下であるか否かを判定しているが、この所定基準量を制御装置により設定変更可能に構成することで、例えば、異なる検査ワークを気密漏れ検査装置２に投入して、それぞれの気密漏れ検査を行なうことができる。

（３）上述の実施形態では、簡易検査を加圧エア供給装置から検査ワーク内に加圧エアを封入して検査ワークに大きな穴があるか否かを検査しているが、これに限定されるものではない。例えば、詳細検査におけるプレ検査を前室内で実施可能に構成し、簡易検査としてプレ検査内容を行なってもよい。また、音波を利用した簡易検査を行なってもよい。

（４）上述の第３実施形態では、第１検査室２２と第２検査室６２とを仕切り板６０により仕切る構成としているが、第１実施形態のケース２０を２つ用意し、それぞれの検査室が隣接するように配置する構成であってもよい。

（５）上述の実施形態では、トレーサガスとしてヘリウムを用いているが、これに限定されるものではなく、例えば、水素等を用いてもよい。

検査ワークとして用いる熱交換器の概略図である。第１実施形態に係る気密漏れ検査装置の概略構成図である。気密漏れ検査時における検査室等の状態を説明する説明図である。第１実施形態に係る気密漏れ検査の流れを示す概略図である。第１実施形態に係る気密漏れ検査時における検査室等でのサイクルタイム図である。第１実施形態に係る気密漏れ検査時における検査室等の圧力状態を示す特性図である。第２実施形態に係る気密漏れ検査の流れを示す概略図である。第３実施形態に係る気密漏れ検査装置の概略構成図である。第３実施形態に係る気密漏れ検査の流れを示す概略図である。第３実施形態に係る気密漏れ検査時における検査室等でのサイクルタイム図である。

符号の説明

１熱交換器（検査ワーク）
２１第１前室
２２検査室
２３第２前室
２４第１内部開閉ドア
２５第２内部開閉ドア
２６第１外部開閉ドア
２７第２外部開閉ドア
２８第１搬送機構
２９第２搬送機構

Claims

略真空状態にまで減圧された状態の検査室（２２、６２）内において、検査ワーク（１）内にトレーサガスを封入し、前記検査ワーク（１）から漏れ出す前記トレーサガスを検出することで、微小穴部があるか否かの詳細検査を行なう詳細気密漏れ検査手段と、
前記検査室（２２、６２）に隣接して設けられ、外部との間及び前記検査室（２２、６２）との間で前記検査ワーク（１）を投入・取出しが行なわれる複数の前室（２１、２３、６１、６３）において、前記微小穴部よりも大きな穴部があるか否かの簡易検査を行なう簡易検査手段と、
前記複数の前室（２１、２３、６１、６３）内の圧力を減圧する前記前室減圧手段（４７）と、
前記検査ワーク（１）を前記前室内と前記検査室（２２、６２）内との間を移動させる前記移動手段（２８、２９、６８、６９）と、
前記複数の前室（２１、２３、６１、６３）と前記検査室（２２、６２）との間に設けられ、前記移動手段（２８、２９、６８、６９）により前記検査ワーク（１）を前記前室内と前記検査室（２２、６２）内との間を移動させる際に、前記前室と前記検査室（２２、６２）との間を前記検査ワーク（１）が移動可能に開放し、前記検査ワーク（１）の移動完了後に前記前室と前記検査室（２２、６２）との間を閉鎖するように構成された内部開閉ドア手段（２４、２５、６４、６５）と、
前記複数の前室（２１、２３、６１、６３）に設けられ、外部から前記複数の前室（２１、２３、６１、６３）内に前記検査ワーク（１）を投入する際に、前記前室と外部との間を開放し、外部から前記前室内に前記検査ワーク（１）を投入完了後に、前記前室と外部との間を閉鎖するように構成された外部開閉ドア手段（２６、２７、６６、６７）とを備え、
前記簡易気密漏れ検査手段と前記詳細気密漏れ検査手段は、並行して実行可能に構成され、
前記移動手段（２８、２９、６８、６９）は、前記詳細検査が完了した前記検査ワーク（１）を、前記検査室（２２、６２）から前記複数の前室（２１、２３、６１、６３）のうち前記検査ワーク（１）が収納されていない前記前室に移動させるとともに、前記複数の前室（２１、２３、６１、６３）内において簡易検査が完了し、詳細検査が行なわれていない前記検査ワーク（１）を前記検査室（２２、６２）へ移動させ、
前記前室減圧手段（４７）は、前記検査ワーク（１）の簡易検査が行なわれている際に、前記検査ワーク（１）の簡易検査が行なわれている前記前室、及び、前記移動手段（２８、２９、６８、６９）により、詳細検査が完了した前記検査ワーク（１）を前記検査室（２２、６２）から移動させる前記前室内を前記検査室（２２、６２）内の圧力に近づくように減圧することを特徴とする気密漏れ検査装置。
前記移動手段（２８、２９、６８、６９）は、前記検査室（２２、６２）において詳細検査が完了した前記検査ワーク（１）を、前記検査室（２２、６２）から簡易検査が行なわれた前記前室（２１、２３、６１、６３）に戻すことを特徴とする請求項１に記載の気密漏れ検査装置。
前記複数の前室（２１、２３）は、前記検査室（２２）において詳細検査が完了した前記検査ワーク（１）を取り出すための取出用前室（２３）を含んで構成されており、
前記移動手段（２９）は、前記検査室（２２）において詳細検査が完了した前記検査ワーク（１）を、前記取出用前室（２３）に移動させることを特徴とする請求項１に記載の気密漏れ検査装置。
略真空状態にまで減圧された状態の検査室（２２、６２）内において、検査ワーク（１）内にトレーサガスを封入し、前記検査ワーク（１）から漏れ出す前記トレーサガスを検出することで、微小穴部があるか否かの詳細検査を行なう詳細気密漏れ検査手段と、
前記検査室（２２、６２）に隣接して設けられ、外部との間及び前記検査室（２２、６２）との間で前記検査ワーク（１）を投入・取出しが行なわれる複数の前室（２１、２３、６１、６３）において、前記微小穴部よりも大きな穴部があるか否かの簡易検査を行なう簡易検査手段と、
前記複数の前室（２１、２３、６１、６３）内の圧力を減圧する前記前室減圧手段（４７）と、
前記検査ワーク（１）を前記前室内と前記検査室（２２、６２）内との間を移動させる前記移動手段（２８、２９、６８、６９）と、
前記複数の前室（２１、２３、６１、６３）と前記検査室（２２、６２）との間に設けられ、前記移動手段（２８、２９、６８、６９）により前記検査ワーク（１）を前記前室内と前記検査室（２２、６２）内との間を移動させる際に、前記前室と前記検査室（２２、６２）との間を前記検査ワーク（１）が移動可能に開放し、前記検査ワーク（１）の移動完了後に前記前室と前記検査室（２２、６２）との間を閉鎖するように構成された内部開閉ドア手段（２４、２５、６４、６５）と、
前記複数の前室（２１、２３、６１、６３）に設けられ、外部から前記複数の前室（２１、２３、６１、６３）内に前記検査ワーク（１）を投入する際に、前記前室と外部との間を開放し、外部から前記前室内に前記検査ワーク（１）を投入完了後に、前記前室と外部との間を閉鎖するように構成された外部開閉ドア手段（２６、２７、６６、６７）とを備えを備え、前記簡易気密漏れ検査手段と前記詳細気密漏れ検査手段は、並行して実行可能に構成された気密漏れ検査装置に用いられ、
前記簡易気密漏れ検査手段により、前記前室内に投入された前記検査ワーク（１）の簡易検査を行う簡易検査工程と、
前記移動手段（２８、２９、６８、６９）により前記前室において簡易検査が完了した前記検査ワーク（１）を前記検査室（２２、６２）へ移動させる第１移動工程と、
前記詳細気密漏れ検査手段により、前記第１移動工程を経て前記検査室（２２、６２）に移動された前記検査ワーク（１）の詳細検査を行う詳細検査工程と、
前記移動手段（２８、２９、６８、６９）により、詳細検査が完了した前記検査ワーク（１）を、前記検査室（２２、６２）から前記複数の前室（２１、２３、６１、６３）のうち前記検査ワーク（１）が収納されていない前記前室に移動させるとともに、前記複数の前室（２１、２３、６１、６３）内において簡易検査が完了し、詳細検査が行なわれていない前記検査ワーク（１）を前記検査室（２２、６２）へ移動させる第２移動工程と、
簡易検査工程と並行して、前記前室減圧手段（４７）により前記検査ワーク（１）の簡易検査が行なわれている前記前室、及び、前記移動手段（２８、２９、６８、６９）により、詳細検査が完了した前記検査ワーク（１）を前記検査室（２２、６２）から移動させる前記前室内を前記検査室（２２、６２）内の圧力に近づくように減圧する前室減圧工程とを備えることを特徴とする気密漏れ検査方法。