JP2005274291A - 多経路ワークの漏れ検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 使用後のトレースガスを充分に排除していくことにより、精度のよい漏れ検査が可能になる多経路ワークの漏れ検査装置を提供すること。
【解決手段】 漏れ検査装置１０を、チャンバー１１と、接続管１２ａ，１２ｂ，１２ｃと、検査器２４と、大気導入装置２６に接続された大気導入管１３ｂとで構成した。そして、外側室３１ａと内側室３１ｂとを備えたワーク３０をチャンバー１１内に設置して、外側室３１ａに接続管１２ａの一端部を接続し、内側室３１ｂに接続管１２ｂの一端部を接続した。また、接続管１２ａおよび接続管１２ｂの他端部側には、それぞれ減圧排気路１５ａ，１５ｂおよびトレースガス封入路１６ａ，１６ｂを接続した。そして、ガス漏れ検出路２２ａを介して接続管１２ｂの他端部を検査器２４に接続した。さらに、検査器２４をチャンバー１１に接続し、大気導入管１３ｂを内側室３１ｂに接続した。
【選択図】 図１

Description

本発明は、複数の隔離された室を備え気体や液体の収容や移送等に使用される容器や配管等の装置からなる多経路ワークの漏れを検査するための多経路ワークの漏れ検査装置に関する。

従来から、気体や液体の収容や移送に使用する容器や配管等の中には気密性を要求されるものがあり、このような容器や配管等に生じる漏れをチェックするために、漏れ検査装置が用いられている（例えば、特許文献１参照。）。この漏れ検査装置では、ヘリウムガスからなるトレースガスを密閉状態で充填した容器等からなる被検査体を真空チャンバー内に設置し、被検査体内から真空チャンバー内に漏れてくるトレースガスを検査器で検出することにより被検査体の漏れ検査を行っている。

また、漏れ検査が行われる被検査体の中には、例えば、熱交換器のように、外部側部分と内部側部分とが隔離された状態で形成されたものがある。このような被検査体に対して使用される漏れ検査装置として、図２に示したような装置がある。この漏れ検査装置４０は、外側室４１ａと内側室４１ｂとを備えたワーク（被検査体）４１をチャンバー４２内に設置し、外側室４１ａに、大気導入路４３ａ、真空引き路４４ａ、減圧排気路４５ａおよびトレースガス封入路４６ａを接続している。

また、内側室４１ｂは２個の開口部を備えており、その一方に、大気導入路４３ｂ、真空引き路４４ｂ、減圧排気路４５ｂ、トレースガス封入路４６ｂおよびガス漏れ検出路４７を接続している。他方の開口部は、蓋体４１ｃで閉塞している。そして、チャンバー４２に、ガス漏れ検出路４８を接続し、このガス漏れ検出路４８とガス漏れ検出路４７との端部をガス漏れ検査用の検査器４９に接続している。

このため、トレースガス封入路４６ａから外側室４１ａ内にトレースガスを送り、外部室４１ａから漏れて内側室４１ｂ内に入りガス漏れ検出路４７から出てくるガス中のトレースガスを検査器４９で検出することにより、外側室４１ａと内側室４１ｂとの間の漏れの有無を検査することができる。また、トレースガス封入路４６ｂから内側室４１ｂ内にトレースガスを送り、内側室４１ｂから外部に漏れてチャンバー４２内を介してガス漏れ検出路４８に出てくるガス中のトレースガスを検査器４９で検出することにより、内側室４１ｂと外部との間の漏れの有無を検査することができる。
特開２００１−３３３４３号公報

しかしながら、図２に示した従来の漏れ検査装置４０では、検査後に、減圧排気路４５ａ，４５ｂを介して検査に使用したトレースガスを外部に排出しているが、このトレースガスの充分な排出ができず、トレースガスが各配管内やワーク４１内の各部分に残留してしまうことがある。このため、ワーク４１の他の被検査部分や次のワーク４１の漏れ検査を行う際に、トレースガスのバックグラウンド値が高くなって精度のよい漏れ検査ができなくなるという問題が生じている。特に、トレースガス封入路４６ｂから内側室４１ｂにトレースガスを供給して内側室４１ｂと外部との間の漏れ検査を行ったのちに、内側室４１ｂの奥側部分や蓋体４１ｃの表面にトレースガスが残留し易くなる。

本発明は、前述した問題に対処するためになされたもので、その目的は、使用後のトレースガスを充分に排除していくことにより、精度のよい漏れ検査が可能になる多経路ワークの漏れ検査装置を提供することである。

前述した目的を達成するため、本発明に係る多経路ワークの漏れ検査装置の構成上の特徴は、互いに隔離された複数の被検査室を備えたワークを密閉状態で格納できる密閉チャンバーと、一端部が密閉チャンバーの壁部を貫通して密閉チャンバー内に設置されるワークの対応する被検査室に接続されるとともに、他端部側がそれぞれ対応するトレースガス供給管およびトレースガス排出管に接続された複数の接続管と、密閉チャンバーに接続されワークから密閉チャンバー内に漏れるトレースガスを検出する外部漏れ検査器と、複数の接続管のうちの所定の接続管の他端部側にガス漏れ検出路を介して接続され、所定の接続管の一端部が接続された被検査室に他の被検査室から漏れてくるトレースガスを検出する内部漏れ検査器と、一端部が密閉チャンバーの壁部を貫通してワークにおける所定の接続管が接続された被検査室の所定の接続管の接続部以外の部分に接続されるとともに、他端部が大気導入装置に接続された大気導入路とを備えたことにある。

前述のように構成した本発明に係る多経路ワークの漏れ検査装置は、互に密閉状態で隔離された複数の被検査室を備えたワークにおける各被検査室間または各被検査室と外部との間にガス漏れを生じさせる欠陥が生じているか否かを検査するための検査装置である。例えば、被検査室を１個だけ備えたワークの漏れを検査する際には、トレースガスを供給するための接続管と検査用のガスを取り出すための接続管とを異なるものにすることができ、トレースガスが検査ガス取り出し用の接続管内やワーク内に残存して問題になるといったことは生じにくい。

しかしながら、ワークが複数の被検査室を備える場合には、各被検査室にそれぞれトレースガスを供給するためのトレースガス供給管と検査後に各被検査室からトレースガスを排出するためのトレースガス排出管とを設けなければならなくなる。このため、一つの被検査室を、他方の被検査室に供給したトレースガスが漏れてくるか否かの判定を行うために使用したり、トレースガスが供給される側の被検査室として使用したりするようになり、トレースガスの残留が大きく検査結果に影響するようになる。また、ワークの開口を閉塞するための蓋体等を用いた場合にもこの蓋体にトレースガスが付着しやすくなる。

本発明に係る多経路ワークの漏れ検査装置では、所定の接続管、すなわち、内部漏れ検査器に連通する接続管が接続された被検査室における所定の接続管が接続された部分以外の部分に、密閉チャンバーの外部に通じる大気導入路の一端部を接続し、大気導入路の他端部に大気導入装置を接続している。このため、所定の接続管が接続された被検査室内のトレースガスを排出する際には、大気導入装置を作動させて大気導入路から被検査室内に大気中の空気を供給しながら、トレースガス排出管からトレースガスを外部に排出できるようになる。

これによると、被検査室内やトレースガス供給管およびトレースガス排出管等に残留するトレースガスが少なくなり、精度のよい漏れ検査が可能になる。すなわち、トレースガス供給管から被検査室内にトレースガスを供給し、そのトレースガス供給管が接続された接続管に、トレースガス供給管と分岐して接続されたトレースガス排出管からトレースガスを排出する場合には、被検査室の奥側部分にトレースガスが残留し易くなる。

本発明のように、被検査室における他の部分、例えば、所定の接続管が接続された被検査室が２個の開口を備え、一方の開口に所定の接続管が接続されている場合には、他方の開口から大気中の空気を供給することにより、被検査室内を他方から一方に向かって流れる気流が発生するため、トレースガスの排出がより確実に行える。また、この場合のワークが備える複数の被検査室は、外部側部分と、その内部に設けられる内部側部分とで構成されるものでもよいし、複数の容器状のものを隣接して設けたものでもよい。

互いの被検査室間での漏れと被検査室と外部との間での漏れ検査が必要なワークであればよい。また、本発明に係る多経路ワークの漏れ検査装置は、ワークから密閉チャンバー内に漏れるトレースガスを検出する外部漏れ検査器と、被検査室に他の被検査室から漏れてくるトレースガスを検出する内部漏れ検査器とを備えているが、この外部漏れ検査器と内部漏れ検査器とは一つの装置で構成してもよい。

また、本発明に係る多経路ワークの漏れ検査装置の他の構成上の特徴は、ワークが、外部被検査室と、外部被検査室内に設けられ外部被検査室の外部に連通する２個の開口部を備えた内部被検査室とで構成され、所定の接続管の一端部を、内部被検査室の一方の開口部に接続し、大気導入路を内部被検査室の他方の開口部に接続するようにしたことにある。

これによると、外部被検査室と内部被検査室との間の漏れの有無と、内部被検査室と外部との間の漏れの有無との検査が必要なワークの漏れ検査を精度良く行える。すなわち、外部被検査室と内部被検査室との間の漏れの有無は、外部被検査室に接続された接続管を介して外部被検査室内にトレースガスを供給し、内部被検査室に接続された内部漏れ検査器で、外部被検査室から内部被検査室に漏れてくるトレースガスを検出することによって検査することができる。この場合、外部被検査室内に供給したトレースガスの排出は、外部被検査室に接続されたトレースガス排出管から行う。

また、内部被検査室と外部との間の漏れの有無は、内部被検査室に接続された接続管を介して内部被検査室内にトレースガスを供給し、チャンバーに接続された外部漏れ検査器で、内部被検査室からチャンバー内に漏れてくるトレースガスを検出することによって検査することができる。この場合、内部被検査室内に供給したトレースガスの排出は、大気導入路から内部被検査室内に大気中の空気を供給しながら、トレースガスをその空気とともに、内部被検査室に接続されたトレースガス排出管から排気することによって行う。

以下、本発明の一実施形態に係る多経路ワークの漏れ検査装置を図面を用いて説明する。図１は同実施形態に係る漏れ検査装置１０の概略配管図を示している。この漏れ検査装置１０は、ワーク３０を密閉状態で格納するチャンバー１１を備えている。このチャンバー１１は開閉可能な容器で構成されその所定部分に３個の挿入孔と１個の接続用孔が設けられている。そして、チャンバー１１内に、３個の挿入孔を介して、外部から接続管１２ａ，１２ｂおよび大気導入管１３ｂの一端部側が挿し込まれ、接続用孔には接続管１２ｃが開口をチャンバー１１内に連通させて固定されている。また、チャンバー１１には、真空ポンプ（図示せず）が接続されており、この真空ポンプの作動により内部が減圧可能になっている。

接続管１２ａの他端側部分には、それぞれ大気導入路１３ａ、真空引き路１４ａ、減圧排気路１５ａおよびトレースガス封入路１６ａの各配管が分岐して接続され、大気導入路１３ａ、真空引き路１４ａ、減圧排気路１５ａおよびトレースガス封入路１６ａに、それぞれ切換え弁１７ａ，１８ａ，１９ａ，２１ａが設けられている。大気導入路１３ａは、コンプレッサー（図示せず）に接続されて大気中の空気をチャンバー１１内に設置されるワーク３０の後述する外側室３１ａ内に圧入可能になっており、真空引き路１４ａは真空ポンプ（図示せず）に接続されて外側室３１ａ内を排気することにより真空に近い状態まで減圧することができる。

また、減圧排気路１５ａは減圧装置（図示せず）に接続されて外側室３１ａ内のガスを排気することができ、トレースガス封入路１６ａはヘリウムガスボンベ（図示せず）に接続されて、外側室３１ａ内にヘリウムガスからなるトレースガスを供給することができる。また、接続管１２ｂの他端側部分は、主配管２２とガス漏れ検出路２２ａとに分岐しており、主配管２２には、それぞれ真空引き路１４ｂ、減圧排気路１５ｂおよびトレースガス封入路１６ｂの各配管が接続されている。

そして、真空引き路１４ｂ、減圧排気路１５ｂおよびトレースガス封入路１６ｂに、それぞれ切換え弁１８ｂ，１９ｂ，２１ｂが設けられている。真空引き路１４ｂは真空ポンプに接続され、減圧排気路１５ｂは減圧装置に接続され、トレースガス封入路１６ｂはヘリウムガスボンベに接続されている。また、接続管１２ｂとガス漏れ検出路２２ａとの間には切換え弁２３ｂが設けられている。ガス漏れ検出路２２ａは微量のトレースガスでも検出可能な検査器２４に接続されており、この検査器２４によって接続管１２ｂおよびガス漏れ検出路２２ａを介して送られてくるガス中のトレースガスが検出される。

また、接続管１２ｃには、切換え弁２５が設けられており、接続管１２ｃの他端部はガス漏れ検出路２２ａに接続されている。このため、検査器２４は、接続管１２ｃおよびガス漏れ検出路２２ａを介してチャンバー１１から送られるガス中のトレースガスの検出も行える。検査器２４は、接続管１２ｂおよびガス漏れ検出路２２ａを介して送られてくるガス中のトレースガスを検出する際には、本発明の内部漏れ検査器を構成し、接続管１２ｃおよびガス漏れ検出路２２ａを介して送られるガス中のトレースガスを検出する際には、本発明の外部漏れ検査器を構成する。

また、大気導入管１３ｂには、切換え弁１７ｂが設けられており、大気導入管１３ｂの他端部はコンプレッサーからなる大気導入装置２６に接続されている。このため、切換え弁１７ｂを開けた状態で、大気導入装置２６を作動させることにより、大気中の空気をチャンバー１１内に設置されるワーク３０の後述する内側室３１ｂに供給できる。

チャンバー１１内に格納されるワーク３０は、外部被検査室としての外側室３１ａと内部被検査室としての内側室３１ｂとで構成されている。外側室３１ａは、円筒形のボンベ状の容器からなっており、両端に突出開口部３２ａ，３３ａが形成されている。そして、突出開口部３２ａに、栓体３４ａを介して接続管１２ａの一端部が接続され、突出開口部３３ａは蓋体３５ａによって閉塞されている。栓体３４ａは、接続管１２ａの一端部に連結され、突出開口部３２ａに取り付けられることにより接続管１２ａと内側室３１ｂとを連通させる。

また、内側室３１ｂは、外側室３１ａの内部に位置する円筒状の本体３６と、本体３６の両端から突出し外側室３１ａの外側に延びる突出開口部３２ｂ，３３ｂとで構成されている。そして、突出開口部３２ｂは、栓体３４ｂを介して接続管１２ｂの一端部に接続され、突出開口部３３ｂは、蓋体３５ｂを介して大気導入管１３ｂの一端部に接続されている。すなわち、栓体３４ｂは、接続管１２ｂの一端部に連結されており、突出開口部３２ｂに取り付けられることにより接続管１２ｂと内側室３１ｂとを連通させる。また、蓋体３５ｂは、大気導入管１３ｂの一端部に連結されており、突出開口部３３ｂに取り付けられることにより大気導入管１３ｂと内側室３１ｂとを連通させる。

つぎに、前述したように構成された漏れ検査装置１０を用いて、ワーク３０の漏れ検査を行う場合について説明する。まず、ワーク３０の突出開口部３３ａを蓋体３５ａで閉塞し、各切換え弁１７ａ等をすべて閉じた状態にして、チャンバー１１内の所定部分にワーク３０を設置する。つぎに、突出開口部３２ａに、接続管１２ａの一端部が連結された栓体３４ａを取り付ける。さらに、突出開口部３２ｂに、接続管１２ｂの一端部が連結された栓体３４ｂを取り付け、突出開口部３３ｂに大気導入管１３ｂの一端部が連結された蓋体３５ｂを取り付ける。これによって、図１に示したように、外側室３１ａは、接続管１２ａを介してのみ外部に通じる状態になり、内側室３１ｂは、接続管１２ｂおよび大気導入管１３ｂを介して外部に通じる状態になる。

つぎに、チャンバー１１に接続された真空ポンプを作動させて、チャンバー１１内の排気を行う。ついで、真空引き路１４ａに接続された真空ポンプを作動させるとともに、切換え弁１８ａを開けることにより、真空引き路１４ａを介して外側室３１ａ内を排気して減圧する。そして、外側室３１ａの内圧が所定値になったときに、切換え弁１８ａを閉じるとともに、切換え弁２１ａを開いて、トレースガス封入路１６ａを介してヘリウムガスボンベから外側室３１ａ内にトレースガスを供給する。外側室３１ａ内にトレースガスが充填されると、切換え弁２１ａを閉じる。

この外側室３１ａ内の減圧および外側室３１ａ内へのトレースガスの供給に先行して、または並行して、切換え弁１８ｂを開けるとともに、真空ポンプを作動させて、接続管１２ｂ、主配管２２および真空引き路１４ｂを介して、内側室３１ｂ内を排気して減圧する。そして、内側室３１ｂの内圧が所定値になったときに、切換え弁１８ｂを閉じる。ついで、切換え弁２３ｂを開く。これによって、接続管１２ｂがガス漏れ検出路２２ａと連通し、内側室３１ｂ内のガスがガス漏れ検出路２２ａに流れてくる。そして、この内側室３１ｂ内から流れてくるガス中のトレースガスを検査器２４が検出する。

これによって、外側室３１ａと内側室３１ｂとを仕切る壁部にガス漏れを生じさせるような欠陥があるか否かの検査が行われる。すなわち、外側室３１ａと内側室３１ｂとを仕切る壁部にガス漏れを生じさせるような欠陥等がある場合には、外側室３１ａ内のトレースガスは、その欠陥部分を通過して内側室３１ｂ内に浸入していき、これを検査器２４が検出する。また、ガス漏れを生じさすような欠陥がない場合は、トレースガスは外側室３１ａ内に充填された状態を維持するため、検査器２４はトレースガスを検出することができない。

この場合、検査器２４は、内側室３１ｂから流れてくるガス中のトレースガスの有無や量を検出し、検出値が所定の規定値（元々内側室３１ｂ、接続管１２ｂおよびガス漏れ検出路２２ａ内のガス中に含まれていたヘリウムガスの量）以上であれば、外側室３１ａと内側室３１ｂとの間に漏れがあると判定する。また、検出値が所定の規定値以下であれば、外側室３１ａと内側室３１ｂとの間には漏れはないと判定する。そして、漏れがあると判定した場合には、そのワーク３０は欠陥品であるとして、チャンバー１１から取り出して所定の場所に移送する。

このとき、外側室３１ａと内側室３１ｂとの内部のトレースガス等の不純ガスを除去したのちに、チャンバー１１を開けてワーク３０を取り出す。これには、まず、切換え弁２３ｂを閉じる。つぎに、切換え弁１７ｂ，１９ｂを開き、大気導入装置２６および減圧装置を作動させて、大気導入管１３ｂから内側室３１ｂ内に大気中の空気を送り込みながら、減圧排気路１５ｂから内側室３１ｂや接続管１２ｂ等の配管内のガスを排除する。そして、内側室３１ｂや接続管１２ｂ等の配管内を換気したのちに、切換え弁１７ｂ，１９ｂを閉じる。

つぎに、外側室３１ａ内のトレースガスを外部に排除する処理を行う。この場合、まず、切換え弁１９ａを開いて減圧装置を作動させることにより外側室３１ａ内のトレースガスを外部に排除したのちに、切換え弁１９ａを閉じる。さらに、切換え弁１８ａを開き、真空ポンプを作動させることにより、トレースガスをさらに排除し、切換え弁１８ａを閉じる。つぎに、切換え弁１７ａを開き、コンプレッサーを作動させることにより、外側室３１ａ内に大気中の空気を送り込んだのちに、切換え弁１７ａを閉じる。この状態で、チャンバー１１を開けてその内部からワーク３０を取り出す。

また、外側室３１ａと内側室３１ｂとの間に漏れがないと判定した場合には、続いて内側室３１ｂと外部との間の漏れの有無を検査する。この場合、まず、切換え弁２３ｂを閉じたのちに、切換え弁２１ｂを開けて、トレースガス封入路１６ｂを介してヘリウムガスボンベから内側室３１ｂ内にトレースガスを供給する。つぎに、切換え弁２１ｂを閉じる。そして、切換え弁２５を開ける。

これによって、内側室３１ｂと外部とを仕切る壁部にガス漏れを生じさせる欠陥等がある場合には、内側室３１ｂ内のトレースガスは、その欠陥部分を通過して内側室３１ｂの外部に出て行く。また、ガス漏れを生じさすような欠陥がない場合は、トレースガスは内側室３１ｂ内に充填された状態を維持する。接続管１２ｃを介してチャンバー１１と検査器２４とが連通すると、チャンバー１１内のガスが検査器２４側に流れる。そして、このチャンバー１１から流れてくるガス中のトレースガスを検査器２４が検出する。これによって、内側室３１ｂと外部とを仕切る壁部にガス漏れを生じさせるような欠陥があるか否かの検査が行われる。

また、この際、外側室３１ａと外部との間の漏れの有無の検査も同時に行うことができる。すなわち、外側室３１ａと外部との間に漏れが生じていれば、外側室３１ａと内側室３１ｂとの間の漏れを検査した際に、外側室３１ａからチャンバー１１内にトレースガスが漏れている。したがって、この外側室３１ａから漏れたトレースガスも検査器２４によって検出される。

そして、ワーク３０のすべての漏れ検査が終了すると、前述した方法で検査済みのワーク３０をチャンバー１１から取り出し、次に検査する他のワーク３０をチャンバー１１に設置する。そして、前述した漏れ検査を順次行う。この場合、漏れ検査装置１０内には、トレースガスは殆ど残留しないため、繰り返し複数のワーク３０の漏れ検査を行っても前回の検査に使用したトレースガスの影響はなく、精度のよい検査が行える。

以上のように、本実施形態による漏れ検査装置１０では、内側室３１ｂの突出開口部３２ｂに、接続管１２ｂを接続し、突出開口部３３ｂに大気導入管１３ｂを接続している。このため、内側室３１ｂのトレースガス等を排出する際には、大気導入装置２６を作動させて大気導入路１３ｂから内側室３１ｂに大気中の空気を供給しながら、減圧装置を作動させて、減圧排気路１５ｂから内側室３１ｂや接続管１２ｂ等の配管内のガスを排除することができる。

これによると、大気導入路１３ｂから内側室３１ｂに供給される大気中の空気は、内側室３１ｂや接続管１２ｂ等を通過して減圧排気路１５ｂから外部に放出されるため、内側室３１ｂや接続管１２ｂ等の配管内を満遍なく換気することができる。この結果、内側室３１ｂ内の突出開口部３３ｂ側部分にトレースガスが残留したり、蓋体３５ｂにトレースガスが付着して残ったりすることを防止でき、精度のよい漏れ検査が可能になる。また、内側室３１ｂ内に空気を供給する処理と、内側室３１ｂ内を排気する処理とを同時に行うことができるため、作業時間の短縮が可能になる。

また、本発明に係る多経路ワークの漏れ検査装置は、前述した実施形態に限定するものでなく、適宜変更実施が可能である。例えば、前述した実施形態では、内側室３１ｂ内にトレースガスが残留することを防止するようにしているが、外側室３１ａにトレースガスが残留することを防止することの方が重要である場合には、大気導入路１３ｂを蓋体３５ａに取り付け、切換え弁２３ｂやガス漏れ検出路２２ａを接続管１２ａに接続する。これによって、外側室３１ａ内のトレースガスを充分に排出できるようになる。

また、前述した実施形態では、ワーク３０を、外側室３１ａと、外側室３１ａの内部に設けられた内側室３１ｂとで構成しているが、このワークとしては、箱状の被検査室を隣接させて形成したものでもよい。ラジエター、オイルクーラー、濾過器など複数の隔離された室を備えたものであればよい。さらに、ワークが備える被検査室も２個に限らず、それ以上の複数個であってもよい。その場合、被検査室の数に応じて、各接続管等を設ける。また、トレースガスとしては、ヘリウムガスだけでなく、水素ガス、硫化水素ガス、二酸化炭素ガス、窒素ガス、アルゴンガス、一酸化炭素ガス、メタンガス等を用いることができる。

本発明の一実施形態に係る漏れ検査装置の概略配管図である。 従来の漏れ検査装置の概略配管図である。

符号の説明

１０…漏れ検査装置、１１…チャンバー、１２ａ，１２ｂ，１２ｃ…接続管、１３ｂ…大気導入管、１４ａ１４ｂ…真空引き路、１５ａ，１５ｂ…減圧排気路、１６ａ，１６ｂ…トレースガス封入路、２２…主配管、２２ａ…ガス漏れ検出路、２３ａ…仕切り弁、２４…検査器、２６…大気導入装置、３０…ワーク、３１ａ…外側室、３１ｂ…内側室、３２ａ，３２ｂ，３３ａ，３３ｂ…突出開口部。

Claims (2)

1. 互いに隔離された複数の被検査室を備えたワークを密閉状態で格納できる密閉チャンバーと、
   一端部が前記密閉チャンバーの壁部を貫通して前記密閉チャンバー内に設置されるワークの対応する被検査室に接続されるとともに、他端部側がそれぞれ対応するトレースガス供給管およびトレースガス排出管に接続された複数の接続管と、
   前記密閉チャンバーに接続され前記ワークから前記密閉チャンバー内に漏れるトレースガスを検出する外部漏れ検査器と、
   前記複数の接続管のうちの所定の接続管の他端部側にガス漏れ検出路を介して接続され、前記所定の接続管の一端部が接続された被検査室に他の被検査室から漏れてくるトレースガスを検出する内部漏れ検査器と、
   一端部が前記密閉チャンバーの壁部を貫通して前記ワークにおける前記所定の接続管が接続された被検査室の前記所定の接続管の接続部以外の部分に接続されるとともに、他端部が、大気導入装置に接続された大気導入路と
   を備えたことを特徴とする多経路ワークの漏れ検査装置。
2. 前記ワークが、外部被検査室と、前記外部被検査室内に設けられ前記外部被検査室の外部に連通する２個の開口部を備えた内部被検査室とで構成され、前記所定の接続管の一端部を、前記内部被検査室の一方の開口部に接続し、前記大気導入路を前記内部被検査室の他方の開口部に接続するようにした請求項１に記載の多経路ワークの漏れ検査装置。
   

Images