JP3921867B2 - 漏洩試験装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は密閉容器の漏洩を検査する漏洩試験方法及び漏洩試験装置に関し、特に、強度が低い容器の検査に好適の漏洩試験方法及び漏洩試験装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図3は従来の漏洩試験装置を示す。水槽1内に水2が蓄えられており、この水2内に被検査対象のワーク3が浸漬されている。このワーク3は剛性が高い補強治具4に取り囲まれており、ワーク3はこの補強治具4に複数個のスペーサ5により固定されている。これにより、ワーク3はその外面で補強治具4により補強されている。
【0003】
ワーク3にはワークポートシール6が設けられており、このワークポートシール6を介して配管7がワーク3に連結されており、この配管7は空気供給源9に連結されている。配管7の途中に開閉弁8が介装されている。
【0004】
この従来の漏洩検査装置においては、開閉弁8を開にして空気供給源9から空気をワーク3内に注入する。もし、ワーク3に漏洩欠陥が存在すると、ワーク3内から気泡が水2内に出てくるので、これを観察することにより、ワーク3の漏洩を検査することができる。
【0005】
しかし、この従来装置においては、作業者が気泡を見て漏れがあるか、ないかの判断をするので、作業者の見落としにより、漏洩に気が付かないことがある。また、漏れの定量的な把握ができない。更に、ワーク3が水に濡れてしまうのでワークを乾燥させる工程が必要になるうえ、作業環境上もよくない。更にまた、ワーク3からの空気の漏洩を気泡の発生により検出するためには、ワーク3内に高圧力の空気を注入する必要があり、このため、ワーク3の内部圧力と水圧との差に起因してワーク3が変形することを防止するためには、補強治具4が必要である。この場合に、ワークの形状毎に専用の変形防止用の治具が必要になるうえ、専用の治具置場も必要となる。
【0006】
上述の従来の漏洩試験装置の欠点を解消すべく、図4に示す真空中でのトレーサガスの漏出を検出する装置が提案されている。チャンバ11内に検査対象のワーク13がスペーサ15を介して補強部材14に補強された状態で、収納されている。このワーク13のシール16には配管25bが気密的に連結されており、この配管25bは配管25aを介して真空ポンプ20に連結されている。
【0007】
また、配管25bにはHeガス等のトレーサガス供給源21に接続された配管25cが接続されており、更に空気源(大気源)22に連結された配管25dが接続されている。各配管25a、25c、25dには開閉弁26a、26b、26cが介装されている。
【0008】
一方、チャンバ11には配管25fが連結されており、この配管25fは配管25eを介して真空ポンプ23に連結されており、配管25gを介して空気源24に連結されている。そして、配管25e、25gには、夫々開閉弁26d、26eが介装されている。
【0009】
また、チャンバ11内には配管25bが接続されており、この配管25bはトレーサガス検知器(リークディテクタ)27に連結されている。そして、配管25hには、開閉弁26fが介装されている。
【0010】
この従来の漏洩試験装置においては、開閉弁26dを開にして真空ポンプ23によりチャンバ11内を真空排気し、更に開閉弁26aを開にしてワーク13内を真空排気する。その後、開閉弁26a、26dを閉にし、開閉弁26bを開にしてHeガス等のトレーサガスをワーク13内に注入すると共に、開閉弁26fを開にして検知器27によりチャンバ11内のトレーサガスの有無を検知する。これにより、ワーク13に漏洩欠陥が存在する場合には、検知器27がトレーサガスを検出し、漏洩の存在を検出する。
【0011】
また、試験終了後は、開閉弁26b、26fを閉にし、開閉弁26c、26eを開にして空気をチャンバ11及びワーク13内に導入する。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この図4に示す漏洩試験装置においては、図3に示す実施例と同様に、ワーク13の肉厚が薄くて内外圧力差により変形しやすい場合には、変形及び破壊を防止するためには、漏洩試験中のワーク13を補強部材14及びスペーサ15により補強する必要がある。
【0013】
また、真空排気及び空気の導入工程においては、ワークの内外圧力差を監視し、それが過大になってワークに変形が生じないようにする必要があり、操作が複雑である。
【0014】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、漏洩試験に際して補強部材を不要とし、ワークの内外圧力差を監視する必要がない漏洩試験方法及び漏洩試験装置を提供することを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る漏洩試験装置は、チャンバと、第1真空ポンプと、第2真空ポンプと、前記第1真空ポンプに連結された第1配管と、前記第2真空ポンプに連結された第2配管と、前記第1配管と前記チャンバ内に装入された被検査容器とを連結する第3配管と、前記第3配管とトレーサガス供給源とを連結する第4配管と、前記第3配管と大気とを連結する第5配管と、前記第2配管と前記チャンバとを連結する第6配管と、前記第3配管と前記第2配管とを連結する第7配管と、前記第6配管と大気とを連結する第8配管と、前記第1配管、第2配管及び第7配管に夫々介装された第1開閉弁、第2開閉弁及び第7開閉弁とを有することを特徴とする。
【0017】
本発明に係る他の漏洩試験装置は、チャンバと、第1真空ポンプと、第2真空ポンプと、前記第1真空ポンプに連結された第1配管と、前記第2真空ポンプに連結された第2配管と、前記第1配管と前記チャンバ内に装入された被検査容器とを連結する第3配管と、前記第3配管とトレーサガス供給源とを連結する第4配管と、前記第3配管と大気とを連結する第5配管と、前記第2配管と前記チャンバとを連結する第6配管と、前記第3配管と前記第2配管とを連結する第7配管と、前記第6配管と大気とを連結する第8配管と、前記第1配管、第2配管及び第7配管に夫々介装された第1開閉弁、第2開閉弁及び第7開閉弁とを有することを特徴とする。
【0018】
本発明に係る他の漏洩試験装置は、被検査物の漏洩を検査する漏洩試験装置において、内部に被検査物を収容可能なチャンバと、被検査物又はチャンバに接続されてこれを真空排気する真空ポンプと、被検査物とチャンバとを連通する配管と、を有し、前記配管を介して被検査物とチャンバとを前記真空ポンプにより同時に排気することを特徴とする。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例について添付の図面を参照して具体的に説明する。図1は本発明の第1実施例に係る漏洩試験装置を示す図である。チャンバ30内にワーク31が収納されるようになっており、このワーク31のワークポートシール32には配管36cが接続され、チャンバ30には配管36bが接続されている。配管36b、36cはいずれも配管36aに接続されており、この配管36aは真空ポンプ33に接続されている。また、配管36aには、He等のトレーサガス供給源38に接続された配管36dと、空気源39に接続された配管36eとが接続されている。更に、チャンバ30には配管36gが接続されており、この配管36gには真空ポンプ34に接続された配管36fと空気源40に接続された配管36hが接続されている。更にまた、チャンバ30には配管36iが接続されており、この配管36iにはトレーサガス検知器35が接続されている。そして、各配管36a、36b、36d、36e、36f、36h、36iには、夫々開閉弁37a、37b、37c、37d、37e、37f、37gが介装されている。
【0020】
上述の如く構成された本実施例の漏洩試験装置においては、先ず、開閉弁37bを開にし、その後、開閉弁37aを開にして、真空ポンプ33によりワーク31とチャンバ30の双方を同時に真空排気する。次いで、開閉弁37a及び37bを閉にし、開閉弁37cを開にして、ワーク31内にHe等のトレーサガスを導入すると共に、開閉弁37gを開にする。もし、ワーク31に漏洩欠陥が存在する場合は、ワーク31からチャンバ30内にトレーサガスが漏出してくるので、このトレーサガスを検知器35により検出する。
【0021】
次いで、開閉弁37c、37gを閉にし、開閉弁37b、37dを開にしてチャンバ30内及びワーク31内に同時に空気を導入し、大気圧にする。
【0022】
本実施例においては、チャンバ30内及びワーク31内を同時に真空排気し、また同時に空気導入により真空破壊するので、ワーク31の強度が低い場合でも、このワーク31が変形したり、破壊したりする虞がない。このように、強度が低いワーク(例えば、ワークの許容できるワーク内外の差圧が1kgf/cm2未満)を漏洩検査(He漏れ検査)する場合に、チャンバとワークの中を一旦真空排気する必要があるが、本実施例においては、チャンバとワークを同時に一つの系列のポンプで真空引するようにしたので、強度が低いワークでもワーク内外の差圧を真空排気中に監視する必要がない上、専用の補強用治具も不要である。
【0023】
なお、ワーク31の内容積とチャンバ30の内容積の比によっては、ワークの内外で圧力差が生じることがある。例えば、チャンバ内の圧力がワーク内の圧力より高くなるときには、真空ポンプ33を動作させた状態で、開閉弁37eを開にし、真空ポンプ34によりチャンバ30内を真空排気する。これにより、チャンバ30は2個の真空ポンプ33,34により排気され、チャンバ30内とワーク31内との圧力差が解消される。また、真空破壊する場合は、開閉弁37fを開にすることにより、大気をチャンバ30内に導入する。一方、ワーク31の方が圧力が高くなる場合は、配管36gを配管36cと同様に、ワーク31に接続し、真空ポンプ34によりワーク31内を真空排気するように構成すればよい。
【0024】
次に、本発明の第2実施例について説明する。図2は本第2実施例を示す図である。チャンバ40内にワーク41が装入され、ワーク41のシール42に配管49bが接続されている。配管49bには、真空ポンプ43に接続された配管49a、トレーサガス供給源46に接続された配管49c、空気源47に接続された配管49dが接続されている。一方、チャンバ40には、配管49gが接続されており、この配管49gには真空ポンプ44に接続された配管49fと、空気源48に接続された配管49hが接続されている。また、チャンバ40には配管49iが接続されており、この配管49iはトレーサガス検知器45が接続されている。そして、配管49a、49c、49d、49e、49f、49h、49iには夫々開閉弁50a、50b、50c、50d、50e、50f、50gが介装されている。
【0025】
本実施例においては、先ず、開閉弁50a、50d、50eを同時に開にし、真空ポンプ43,44により同時にチャンバ40内及びワーク41内を真空排気する。次に、開閉弁50a、50d、50eを閉にし、開閉弁50bを開にしてトレーサガスをワーク41内に注入する。そして、開閉弁50gを開にして、検知器45とチャンバ40とを接続する。もし、ワーク41に欠陥が存在する場合には、ワーク41内のトレーサガスがチャンバ40内に漏出してくるので、これが検知器45により検出される。
【0026】
次いで、開閉弁50b、50gを閉にし、開閉弁50c、50fを開にして、ワーク41内及びチャンバ40内に同時に大気を導入して真空破壊する。
【0027】
本実施例においても、ワーク41に対する真空排気及び空気導入による真空破壊は、チャンバ内の真空排気及び空気導入による真空破壊と同時に行われるので、ワーク41が変形しやすいものであっても、補強部材等を必要としない。
【0028】
なお、本発明は上記各実施例に限定されず、種々の変形が可能である。例えば図1に示す実施例ではチャンバ30とワーク31の双方に連結されている配管36aに接続された真空ポンプ33からチャンバ30とワーク31とを同時に真空排気するように構成したが、真空ポンプ33、配管36a、開閉弁37aを使用せず、開閉弁37c、37dを閉にし、開閉弁37bを開にした状態で、開閉弁37eを開にして真空ポンプ34により真空排気することにより、先ず、チャンバ30内の空気を排気しながら、連通している配管36b、36cを介して、ワーク31内を排気することとしても良い。この場合も、チャンバ内の空気の排気抵抗が小さければ、チャンバ30内とワーク31内とは実質的に同時に真空排気される。
【0029】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、チャンバ内に装入された被検査容器内と、チャンバ内とを同時に真空排気し、また同時に空気導入をするので、被検査対象の容器の強度が低い場合であっても、補強治具等を設ける必要がなく、容器の変形及び破壊を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例に係る漏洩試験装置を示す図である。
【図2】本発明の第2実施例に係る漏洩試験装置を示す図である。
【図3】従来の漏洩試験装置を示す図である。
【図4】従来の他の漏洩試験装置を示す図である。
【符号の説明】
30,40:チャンバ
31,41:ワーク
33、43、44:真空ポンプ
36a〜36i、49a〜49i:配管
37a〜37g、50a〜50g:開閉弁
38、46:トレーサガス供給源
39、40、47、48:空気源
45:トレーサガス検知器
Claims (3)
- チャンバと、真空ポンプと、この真空ポンプに連結された第1配管と、この第1配管と前記チャンバとを連結する第2配管と、前記第1配管と前記チャンバ内に装入された被検査容器とを連結する第3配管と、前記第1配管とトレーサガス供給源とを連結する第4配管と、前記第1配管と大気とを連結する第5配管と、前記第1配管及び第2配管に夫々介装された第1及び第2開閉弁とを有することを特徴とする漏洩試験装置。
- チャンバと、第1真空ポンプと、第2真空ポンプと、前記第1真空ポンプに連結された第1配管と、前記第2真空ポンプに連結された第2配管と、前記第1配管と前記チャンバ内に装入された被検査容器とを連結する第3配管と、前記第3配管とトレーサガス供給源とを連結する第4配管と、前記第3配管と大気とを連結する第5配管と、前記第2配管と前記チャンバとを連結する第6配管と、前記第3配管と前記第2配管とを連結する第7配管と、前記第6配管と大気とを連結する第8配管と、前記第1配管、第2配管及び第7配管に夫々介装された第1開閉弁、第2開閉弁及び第7開閉弁とを有することを特徴とする漏洩試験装置。
- 被検査物の漏洩を検査する漏洩試験装置において、内部に被検査物を収容可能なチャンバと、被検査物又はチャンバに接続されてこれを真空排気する真空ポンプと、被検査物とチャンバとを連通する配管と、を有し、前記配管を介して被検査物とチャンバとを前記真空ポンプにより同時に排気することを特徴とする漏洩試験装置。
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