ITPD20110150A1 - Apparato per il rilevamento di perdite di un componente a tenuta ed un relativo processo di rilevamento - Google Patents

Description

Apparato per il rilevamento di perdite di un componente a tenuta ed un relativo processo di rilevamento

Descrizione

Ambito tecnico

La presente invenzione concerne un apparato per il rilevamento di perdite di un componente a tenuta ed un relativo processo di rilevamento con un gas tracciante, preferibilmente Elio.

La presente invenzione trova preferita ma non esclusiva applicazione nel settore del controllo di cerchioni metallici, particolarmente in alluminio, per veicoli e autoveicoli, e nel controllo di dispositivi friogenici.

Sfondo tecnologico

Esistono diversi settori in cui à ̈ importante garantire la tenuta dell'oggetto prodotto, pertanto tutta la produzione, ovvero tutti gli oggetti prodotti vengono sottoposti a controllo. Infatti, un qualsiasi oggetto anche se prodotto industrialmente non può essere considerato perfettamente esente da difetti (buchi, porosità, ecc.), ovvero a tenuta perfetta. Pertanto gli oggetti vengono sottoposti a prove di controllo di tenuta non distruttive per verificare se possiedono o meno le caratteristiche richieste, cioà ̈ un grado di imperfezioni inferiori a quelle previste per le normative di riferimento dell’utilizzo previsto.

Le imperfezioni vengono definite in termini di tasso di perdita, minore à ̈ il tasso di perdita maggiori saranno i requisiti di tenuta dell’oggetto e viceversa.

Per ogni specifica applicazione finale dell’oggetto, per esempio industria meccanica, chimica o aerospaziale viene definito un tasso di perdita ammissibile.

A seconda del tasso di perdita da rilevare e della precisione di misura richiesta dall'applicazione specifica, Ã ̈ possibile utilizzare diversi metodi di prova.

Nei settori in cui à ̈ richiesta la misura di un tasso di perdita molto basso (inferiore a 2x10<-4>Pa*m<3>/s), à ̈ noto l'uso del metodo di prova denominato "Helium Test", ovvero il controllo di oggetti tramite l’utilizzo di Elio (He) come gas tracciante. L’Elio avendo massa molecolare estremamente ridotta, la più piccola dopo l’idrogeno, consente di rilevare perdite anche di 10<-10>Pa*m<3>/s , inoltre non à ̈ pericoloso essendo inerte, al contrario dell’idrogeno.

US5850036 descrive un apparato di test per cerchioni di veicoli sottoponendo i cerchioni ad una pressione differenziata di Elio.

L’apparato, mostrato schematicamente in Figura 1, e indicato con (100) comprende un nastro convogliatore per il trasporto degli esaminandi cerchioni (140) ad una cella di esame (300) operativamente connessa ad uno spettrometro di massa per rilevare le perdite di gas di prova (220) tramite la prima tubazione (720), un nastro di evacuazione per trasportare il cerchione (140) esaminato dalla cella di esame (300) ad una prima zona di scarico nel caso in cui abbia superato la prova, o ad una seconda zona di scarico nel caso in cui non abbia superato la prova. L’apparato (100) comprende, inoltre, un dispositivo di presa per prelevare il cerchione (140) dal nastro di trasporto, caricarlo nella cella (300) e prelevarlo dalla stessa, alla fine della prova, per posizionarlo sul nastro evacuatore.

L’apparato comprende, inoltre, un calcolatore operativamente collegato allo spettrometro (220) per ricevere il segnale relativo al tasso di perdita del cerchione (140) in esame e generare un comando per la zona di destinazione finale del cerchione in base al valore del tasso di perdita rilevato.

La cella di esame (300) comprende un piatto inferiore fisso (520) su cui viene appoggiato il cerchione (140) per l’esame, una campana (600) spostabile rispetto al piatto inferiore (520), un piatto superiore mobile (540) spostabile all’interno della campana (600) tra una posizione di esame in cui il piatto superiore mobile (540) à ̈ abbassato sul cerchione (140) per definire un alloggiamento (660) del cerchione (140) chiuso a tenuta, ed una posizione sollevata in cui il piatto superiore mobile (540) à ̈ sollevato rispetto al cerchione (140). Il piatto superiore (540) e la campana (600) sono spostabili tramite rispettivi attuatori (560) e (610). Il cerchione (140) definisce con il piatto inferiore (520) un alloggiamento interno (580) collegato tramite la prima tubazione (720) ad una pompa per creare un desiderato grado di vuoto nell’alloggiamento (580) e allo spettrometro (220). L'alloggiamento esterno (660) à ̈ collegato ad una fonte di gas di prova (700), cioà ̈ una miscela aria/Elio, tramite una seconda tubazione (680). Nella cella (300) sono previste guarnizioni di tenuta per sigillare l’alloggiamento esterno (660) e interno (580).

Nella prova di tenuta, si crea il vuoto nell’alloggiamento interno (580) ed esterno (660), dopo avere raggiunto un determinato livello di vuoto nell’alloggiamento interno (580) ed esterno (660), si inietta il gas prova nell'alloggiamento esterno (660), applicando di fatto una pressione differenziale sul cerchione (140). Attivando lo spettrometro (220) si determina un eventuale tasso di perdita di gas tracciante di prova dall'alloggiamento esterno (660) attraverso il cerchione (140) all'alloggiamento interno (580).

Dopo che à ̈ stato determinato il tasso di perdita, si recupera il gas di prova contenuto nell’alloggiamento (660) e dopo aver raggiunto un determinato livello di vuoto, si sollevano il piatto superiore (540) e la campana (600), il cerchione (140) viene prelevato tramite il dispositivo di presa e movimentato verso la destinazione prevista a seconda dei risultati della prova effettuata.

Per incrementare la produttività dell’apparato (100), à ̈ prevista una seconda linea di prova comprendente una seconda cella di prova del tutto analoga alla prima, un secondo spettrometro di massa, una seconda sorgente di gas prova e connessa a rispettivi dispositivi di convogliamento, evacuazione e presa. La prima e seconda cella possono lavorare in parallelo.

L’apparato descritto in US5850036 presenta, tuttavia, alcuni svantaggi discussi nel seguito. La previsione di due linee di prova distinte pur incrementando la produttività dell’apparato incrementa considerevolmente i costi d'impianto, gli ingombri in pianta dell’apparato (100) ed i consumi di elio per il funzionamento dell’apparato. Come detto, à ̈ necessario effettuare un opportuno grado di vuoto nell’alloggiamento esterno (660), prima di immettere il gas di prova, e successivamente quando si recupererà il gas di prova contenuto nell’alloggiamento esterno (660). Tali operazioni richiedono un certo tempo che costituisce il fattore principale della durata complessiva del processo: maggiore à ̈ il grado di vuoto realizzato, maggiore sarà il tempo richiesto e quindi la durata del processo di rilevamento, con abbassamento della produttività, ma minori saranno i consumi di gas prova e l’inquinamento dell’ambiente di misura, maggiore sarà la precisione dei rilevamenti effettuati.

Per aumentare la produttività dell'apparato, limitando la durata complessiva del ciclo di prova, à ̈ necessario operare ad un minore grado di vuoto, ciò comporta una considerevole diminuzione della precisione delle rilevazioni effettuate, per diluizione dell’elio nella miscela di prova. Inoltre, ciò comporta la dispersione di elio nell’ambiente di misura all’apertura della campana, generando un rumore di fondo che diminuisce la sensibilità delle rilevazioni effettuate, inficiandone la precisione e l'affidabilità, oltre ad aumentare il consumo di gas tracciante.

Tali dispersioni comportano, inoltre, un notevole incremento dei costi di processo per l’elevato costo dell’elio.

Pertanto, per evitare un eccessivo consumo di elio vengono utilizzate miscele di elio/aria a basso contenuto di elio, diminuendo ulteriormente la sensibilità delle rilevazioni effettuate.

Descrizione dell’invenzione

La presente invenzione descrive un apparato per il rilevamento di perdite di un componente a tenuta ed un relativo processo di rilevamento tramite un gas tracciante configurati in modo da superare i limiti evidenziati con riferimento alla tecnica nota citata.

In particolare, à ̈ uno scopo dell’invenzione fornire un apparato di rilevamento che abbia una produttività elevata e, a parità di produttività, un ingombro ridotto rispetto agli apparati noti.

Un ulteriore scopo à ̈ fornire un apparato che abbia una sensibilità e ripetibilità di rilevamento elevata senza conseguentemente aumentare il tempo richiesto per effettuare la rilevazione.

Un ulteriore scopo à ̈ fornire un apparato in grado di creare e mantenere condizioni di prova ottimali, mantenendo al tempo stesso livelli di produttività elevati.

Un ulteriore scopo à ̈ fornire un apparato in cui venga eliminato, o drasticamente ridotto, il rumore di fondo del gas tracciante, cioà ̈ la concentrazione di gas tracciante in ambiente e, conseguentemente nell’ambiente di misura

Un ulteriore scopo à ̈ fornire un processo di rilevamento nel quale venga ottimizzata la fase di recupero del gas tracciante per minimizzare il consumo del gas stesso, mantenendo al contempo livelli di produttività elevata.

Questi scopi sono conseguiti dalla presente invenzione mediante un apparato di rilevamento ed un processo di rilevamento con gas tracciante realizzati in accordo con le rivendicazioni che seguono.

Breve descrizione dei disegni

Le caratteristiche e i vantaggi dell’invenzione meglio risulteranno dalla descrizione dettagliata di un suo preferito esempio di realizzazione, illustrato a titolo indicativo e non limitativo con riferimento agli uniti disegni in cui:

− Figura 1 à ̈ una vista schematica dell’apparato di rilevamento con gas tracciante della tecnica nota;

− Figura 2 à ̈ uno schema di funzionamento di un apparato di rilevamento secondo l’invenzione;

− Figure 3-6 sono viste schematiche rispettivamente di una prima stazione A’, di una seconda B’, di una terza C’ e di una quarta stazione di lavoro D’ dell’apparato di Figura 2.

Modo preferito di realizzazione dell’invenzione

Con riferimento alla Figura 2 viene mostrato schematicamente un apparato di rilevamento (1) secondo l’invenzione per esaminare un oggetto (50), in particolare un componente a tenuta, per esempio un cerchione metallico, al fine di accertarne le caratteristiche di tenuta tramite gas tracciante, quale Elio o una miscela aria/Elio.

L’apparato (1) comprende una zona di ingresso (2) nella quale vengono ricevuti gli esaminandi oggetti (50), un’area di rilevamento (3) nella quale gli oggetti (50) vengono esaminati per verificarne le caratteristiche di tenuta, come meglio spiegato nel seguito, una prima zona di uscita (5) per gli oggetti (50’) esaminati che hanno superato il controllo e una seconda zona di uscita (6) per gli oggetti (50†) che non hanno superato il controllo. L’apparato (1) comprende mezzi di trasferimento per trasferire gli oggetti (50) attraverso varie zone dell’apparato (1), in particolare un dispositivo convogliatore (8) per trasferire gli esaminandi oggetti all’area di rilevamento (3), un primo (9’) ed un secondo (9†) dispositivo evacuatore per trasferire gli oggetti esaminati (50’), (50†) dall’area di rilevamento (3) alla prima (5) o seconda (6) zona di uscita.

L’apparato (1) comprende, inoltre, un sistema di rilevazione (7) a gas tracciante disposto per interagire con gli esaminandi oggetti (50) per effettuare le rilevazioni previste, come meglio spiegato nel seguito.

L’apparato (1) comprende, inoltre, un processore, non mostrato nelle Figure, atto a ricevere dati di rilevamento dal sistema di rilevazione (7) e disposto per azionare un elemento di presa per prelevare l’oggetto esaminato caricandolo nel dispositivo evacuatore (9’), (9†) preposto, a seconda del risultato del rilevamento effettuato, come meglio spiegato nel seguito.

L’area di rilevamento (3) comprende una pluralità di celle di rilevamento (10), nella versione mostrata sono previste quattro celle di rilevamento (13-16) posizionate su una piattaforma girevole (17), suscettibile di rotazione intorno ad un asse di rotazione nel verso indicato dalla freccia di rotazione F, per spostare le celle (13-16) verso distinte stazioni di lavoro A’-D’ previste nell’apparato (1) e mostrate in dettaglio nelle Figure 3-6, in modo che possano essere successivamente effettuate sulle celle (13-16) tutte le fasi del processo di rilevamento.

In altre versioni dell'apparato (1) non mostrate può essere previsto un dispositivo di spostamento diverso dalla piattaforma girevole, idoneo a spostare, per traslazione e/o rotazione, le varie celle (13-16) della pluralità di celle di rilevamento (10), verso le diverse stazioni di lavoro A’-D’ dell’apparato (1) in ciascuna delle quali viene effettuata una fase A-D del processo di rilevamento previsto. Possono essere per esempio previste navette, o analoghi dispositivi di spostamento.

Nell’apparato dell’invenzione, il processo di rilevamento à ̈ frazionato in un certo numero di fasi aventi la medesima durata temporale e il cui numero corrisponde al numero di stazioni di lavoro identificabili nell’area di rilevamento.

Il frazionamento del processo di rilevamento in un opportuno numero di fasi consente di incrementare l’efficienza del processo stesso e la produttività complessiva dell’apparato, senza incrementare corrispondentemente i costi di gestione o le strutture di rilevamento previste.

Nella versione mostrata, il processo di rilevamento à ̈ suddiviso in quattro distinte fasi di processo, indicate nel seguito con le lettere A-D, nell’area di rilevamento (3) sono previste quindi quattro distinte stazioni di lavoro indicate nel seguito con le lettere A’-D’, in ciascuna delle quali viene effettuata una delle quattro fasi A-D, le celle (13-16) vengono spostate dalla piattaforma girevole (17) successivamente in corrispondenza delle distinte stazioni A’-D’ previste, in modo che gli oggetti in esse posizionati siano successivamente sottoposti alle varie fasi A-D.

In un qualsiasi istante, in ciascuna cella (13-16) si esegue una diversa fase A-D del processo di rilevamento, in Figura 2 viene mostrata la situazione in cui la prima cella (13) à ̈ nella stazione A’ di carico/scarico ed à ̈ sottoposta alla prima fase A di carico/scarico, la seconda cella (14) à ̈ nella stazione B’ di prevuoto ed à ̈ sottoposta alla seconda fase B di prevuoto, la terza cella (15) à ̈ nella stazione C’ di rilevamento ed à ̈ sottoposta alla fase C di rilevamento, e la quarta cella (16) à ̈ nella stazione di recupero D’ ed à ̈ sottoposta alla fase D di recupero.

Ciascuna cella (13-16) Ã ̈ idonea ad essere sottoposta a tutte le fasi A-D del processo di rilevamento in modo che ciascun oggetto (50) sia successivamente sottoposto alle varie fasi del processo per controllarne le caratteristiche di tenuta.

In altre versioni, il processo di rilevamento può essere frazionato in un diverso numero di fasi, per esempio 6 o 8, prevedendo un corrispondente numero di celle di rilevamento e di stazioni di lavoro, a seconda della produttività che si desidera ottenere, della precisione di rilevamento e del grado di vuoto che si desidera ottenere, della geometria o complessità geometrica degli oggetti da esaminare, come meglio spiegato nel seguito. Ciò consente di incrementare la precisione di rilevamento senza diminuire la produttività dell’apparato e senza incrementarne eccessivamente i costi. Inoltre, prevedendo nell’apparato stazioni di lavoro predisposte ad una particolare fase del processo di rilevamento, e spostando, tramite il dispositivo di spostamento, le celle verso le varie stazioni, pur disponendo di una pluralità di celle e, quindi, un’elevata produttività dell’apparato, si minimizza il numero delle apparecchiature accessorie necessarie, come meglio spiegato nel seguito.

Le varie stazioni di lavoro A’-D’ sono posizionate in posizioni definite dell’apparato (1), preferibilmente equamente spaziate lungo la direzione di spostamento del dispositivo di spostamento previsto, nel caso in esame una rotazione di circa 90° della piattaforma girevole (17) consente di spostare le celle tra due stazioni di lavoro successive. Nel caso di dispositivo di spostamento lineare le varie stazioni di lavoro A’-D’ possono essere posizionate lungo la direzione di spostamento del dispositivo di spostamento stesso. Le diverse fasi A-D vengono effettuate nelle corrispondenti stazioni A’-D’ predefinite dell’apparato (1).

L’apparato (1) comprende, inoltre, un elemento di presa, non mostrato nelle Figure, per prelevare un esaminando oggetto (50) dal dispositivo convogliatore (8) ed alimentarlo ad una determinata cella di rilevamento (13-16), e per prelevare un oggetto esaminato (50), (50") dalla cella di rilevamento (13-16) ed alimentarlo sul primo (9’) o secondo (9†) dispositivo evacuatore a seconda del risultato della rilevazione effettuata e, quindi, del comando ricevuto dal processore.

Le celle di rilevamento (13-16) previste sono uguali tra loro, per cui ne sarà descritta una nel dettaglio, con riferimento alla prova di tenuta di un cerchione (50). La cella (13), mostrata in Figura 3, comprende un piatto inferiore fisso (20) su cui viene appoggiato il cerchione (50) da esaminare, un dispositivo di chiusura conformato a campana (21), spostabile rispetto al piatto inferiore (20) tramite primi attuatori (22), come indicato dalla freccia di traslazione (F1), tra una posizione di chiusura (X) mostrata nelle Figure 3-6, nella quale il bordo (23) della campana (21) à ̈ appoggiato sul piatto inferiore (20) ed una posizione di apertura (Y), mostrata con linee tratteggiate in Figura 3, in cui il bordo (23) della campana (21) à ̈ sollevato rispetto al piatto inferiore (20) consentendo l’inserimento/rimozione del cerchione (50) sul piatto inferiore (20). Il cerchione (50) da esaminare viene posizionato sul piatto inferiore (20) in modo che il bordo inferiore del canale del cerchione (50) poggi sul piatto inferiore (20). Il canale del cerchione à ̈ la parte che deve garantire la tenuta cerchione/pneumatico, altrimenti si verificano perdite di aria che inficiano la tenuta dell'insieme cerchionepneumatico.

La cella (13) comprende, inoltre, un coperchio mobile (24) azionato da un secondo attuatore (25) e scorrevole a tenuta all’interno della campana (21) tra una posizione alta (W), mostrata con linee tratteggiate in Figura 3, in cui il coperchio (24) à ̈ distanziato dal cerchione (50) ed una posizione bassa Z, mostrata nelle Figure 3-6, in cui il coperchio (24) à ̈ abbassato sul cerchione (50) per definire con il piatto inferiore (20) e le pareti della campana (21) una camera esterna (26) del cerchione (50) chiusa a tenuta rispetto all’esterno, e con la volta (21’) e le pareti della campana (21) una camera superiore (26’), in comunicazione con l’esterno. Il cerchione (50) viene posizionato sul piatto inferiore (20) in modo che le sue pareti interne (51) definiscano con quest’ultimo una camera interna (27) chiusa a tenuta. Il coperchio (24) à ̈ conico, tale forma consente di alloggiare correttamente nella cella (13) anche cerchioni (50) e/o ruote aventi razze e mozzo centrale sporgenti.

Ciascuna cella (13-16) Ã ̈ provvista, inoltre, di primi mezzi di collegamento (18) connessi a tenuta alla camera interna (27) tramite un foro (28) previsto sul piatto inferiore (20), e secondi mezzi di collegamento (19) connessi a tenuta alla camera esterna (26) tramite un secondo foro (29) previsto sulla parete della campana (21), i primi (18) ed i secondi (19) mezzi di collegamento essendo idonei ad esser collegati al sistema di rilevazione (7) per effettuare le varie fasi A-D del processo di rilevamento, come meglio spiegato nel seguito.

Con riferimento alla Figura 4, i primi mezzi di collegamento (18) comprendono un condotto (30) innestato sul foro (28), con una diramazione (30’) sulla quale à ̈ posizionata una prima elettrovalvola (31) ed una seconda diramazione (30†) su cui à ̈ posizionata una seconda elettrovalvola (32) e terminante con mezzi di connessione (33) disposti per cooperare con dispositivi di connessione (80) del sistema di rilevazione (7) per connettere i primi mezzi di collegamento (18) al sistema di rilevazione (7) quando i mezzi di connessione (33) e i dispositivi di connessione (80) sono in posizione affacciata e la seconda elettrovalvola (32) à ̈ aperta, e per chiudere a tenuta i primi mezzi di collegamento (18) e, quindi, la camera interna (27) con i mezzi di connessione (33) e i dispositivi di connessione (80) mutuamente allontanati e la seconda elettrovalvola (32) chiusa.

I secondi mezzi di collegamento (19) comprendono un secondo condotto (40) innestato sul secondo foro (29) provvisto di una prima diramazione (40’) su cui à ̈ posizionata una terza elettrovalvola (41), ed una seconda diramazione (40†) sui cui sono posizionati un trasduttore di pressione assoluta (44), ed una quarta elettrovalvola (42) e provvista di secondi mezzi di connessione (43), per connettere i secondi mezzi di collegamento (19) e cooperare con i dispositivi di connessione del sistema di rilevazione (7) per connettere quest’ultimo ai secondi mezzi di collegamento (19) quando i secondi mezzi di connessione (43) e i dispositivi di connessione (80) sono in posizione affacciata e la quarta elettrovalvola (42) à ̈ aperta, e chiudere a tenuta i secondi mezzi di collegamento (19) e, quindi, la camera esterna (26) con i secondi mezzi di connessione (43) e i dispositivi di connessione (80) mutuamente allontanati e la quarta elettrovalvola (42) chiusa.

Il trasduttore di pressione (44) à ̈ operativamente collegato al processore, in modo che qualora il trasduttore (44) rilevi delle macroperdite il processo di rilevamento venga bloccato per evitare danni alle restanti apparecchiature. Il sistema di rilevazione (7) à ̈ provvisto di dispositivi di connessione (80) comprendenti una pluralità di elementi di connessione (80a-80e) e disposti per cooperare con i primi (33) ed i secondi mezzi di connessione (43) di ciascuna cella (13-16) per consentire di connettete il sistema di rilevazione (7) a ciascuna cella (13-16) nelle diverse stazioni A’-D’ per effettuare le distinte fasi A-D del processo.

I primi (33) e i secondi mezzi di connessione (43) e i rispettivi elementi di connessione (80a-80e) sono costituiti da piattelli metallici dotati di una guarnizione O-Ring con opportuno orifizio di portata idonei a stabilire una connessione a tenuta per il vuoto e per la bassa pressione. I piattelli metallici dotati di O-Ring consentono di costituire una connessione a tenuta tipo ISO K.

I primi (33) e i secondi mezzi di connessione (43) e gli elementi di connessione (80a-80e) sono movimentati da rispettivi attuatori, azionati dal processore, per essere reciprocamente affacciati/allontanati per stabilire/chiudere la desiderata connessione tra la camera interna (27) o la camera esterna (26) di ciascuna cella (13-16) ed il sistema di rilevazione (7). Il processore comanda, inoltre, il funzionamento delle elettrovalvole, cioà ̈ la loro apertura/chiusura.

Il sistema di rilevazione (7) comprende un sistema di alimentazione di gas tracciante (12), meglio visibile in Figura 5, provvisto di un serbatoio (60) di accumulo di gas Elio per stoccare una desiderata quantità di Elio, ad una pressione di circa 4,5 bar, e provvisto di un condotto di alimentazione (61), connettibile a ciascuna cella (13-16) tramite i secondi mezzi di collegamento (19).

Sul condotto di alimentazione (61) à ̈ prevista un’elettrovalvola (421) per consentire/impedire il passaggio di Elio verso il secondo condotto (40) per alimentare gas di prova a ciascuna cella (13-16).

Il sistema di alimentazione di gas (12) comprende, inoltre, una pompa del vuoto finale (64) disposta per essere connessa tramite un condotto di aspirazione (641) ed un’elettrovalvola (425) ai secondi mezzi di collegamento (19) per effettuare nella camera esterna (26) un grado di vuoto idoneo alla minimizzazione della diluizione dell’elio o sua miscela, come meglio spiegato nel seguito. La pompa del vuoto finale (64) à ̈ destinata ad affinare un iniziale grado di vuoto ottenuto precedentemente nella camera esterna (26) con opportune pompe di prevuoto, prima di alimentare il gas di rilevamento nella camera esterna (26) per poter effettuare la rilevazioni.

A valle delle elettrovalvole (421) e (425), su una porzione di condotto (610) comune al condotto di aspirazione (641) e al condotto di alimentazione (61) Ã ̈ previsto un primo elemento di connessione (80a) per cooperare con i secondi mezzi di connessione (43) per connettere la camera esterna (26) al serbatoio (60) o alla pompa del vuoto finale (64). Il serbatoio (60) Ã ̈ operativamente connesso ad un sistema di recupero gas (73) per alimentare al serbatoio (60) gas prova recuperato dalla camera esterna (26) al termine della rilevazione.

Il sistema di recupero gas (73), meglio visibile in Figura 6, comprende un condotto di recupero (75) terminante con un’elettrovalvola (422) e un quarto elemento di connessione (80d) per cooperare con i secondi mezzi di connessione (43) per connettere il sistema di recupero gas (73) nella camera esterna (26) per aspirare, tramite un compressore (76) ed una pompa di recupero (77) posti in serie sul condotto di recupero (75), la miscela residua aria/elio presente nella camera esterna (26) e alimentarla nel serbatoio (60) di stoccaggio.

Il sistema di rilevazione (7) comprende, inoltre, una prima pompa di prevuoto (54), meglio visibile in Figura 4, sulla cui aspirazione sono previste due elettrovalvole (320) e (420) disposte per essere connesse tramite un secondo elemento di connessione (80b) e i primi mezzi di connessione (33) e tramite un terzo elemento di connessione (80c) e i secondi mezzi di connessione (43), rispettivamente alla camera interna (27) e alla camera esterna (26) per realizzarvi un primo grado di vuoto.

Il sistema di rilevazione (7) comprende, inoltre, un sistema di rilevamento perdite (11) disposto per essere collegato alla camera interna (27) per rilevare eventuali perdite dei cerchioni (50) in esame.

Il sistema di rilevamento perdite (11), meglio visibile in Figura 5, comprende un condotto di aspirazione (78) disposto per essere connesso tramite un quinto elemento di connessione (80e) ed un’elettrovalvola (321) ai primi mezzi di collegamento (18) e alla camera interna (27). Il sistema di rilevamento perdite (11) comprende pompe del vuoto (70), (70’) posizionate in serie e disposte per aspirare il gas presente nella camera interna (27) e scaricarlo in un apposito camino per realizzare nella camera interna (27) le condizioni di vuoto ottimali per il rilevamento, ed una seconda pompa del vuoto (72) connessa allo spettrometro (71), le pompe del vuoto (70), (70’) e la seconda pompa del vuoto (72) sono disposte su distinte diramazioni (78’) e (78†) del condotto di aspirazione (78).

Come detto, ogni cella (13-16) della pluralità di celle (10) previste nell’apparato (1) à ̈ idonea ad effettuare tutte le fasi A-D del processo di rilevamento, e viene spostata tramite il dispositivo di spostamento tra le varie stazioni di lavoro A’-D’ preposte a condurre le varie fasi del processo. In ciascuna stazione A’-D’ le celle (13-16), tramite i relativi primi (18) e secondi (19) mezzi di collegamento, i primi (33) ed i secondi (43) mezzi di connessione e gli opportuni elementi di connessione (80a-80e) vengono connesse a distinte porzioni del sistema di rilevazione (7) per effettuare le operazioni previste per ciascuna determinata fase A-D.

La connessione tra cella (13-16) e la desiderata porzione del sistema di rilevazione viene effettuata ponendo in posizione mutuamente affacciata i primi (33) ed i secondi mezzi di connessione (43) con gli opportuni elementi di connessione (80a-80e) in modo che i piattelli individuino un unico condotto a tenuta per il passaggio di fluidi. I piattelli, come detto, garantiscono un aggancio/sgancio estremamente rapido in modo da non incrementare i tempi di esecuzione del processo di rilevamento e, al contempo, da realizzare un unico condotto privo di perdite.

Viene ora descritto il funzionamento dell’apparato (1) analizzando le varie stazioni A’-D’ e le rispettive fasi A-D del processo con riferimento alla cella (13).

La cella (13) viene portata nella stazione di lavoro A’, mostrata in Figura 3, in cui viene effettuata la prima fase A del processo di rilevamento.

Quando la cella à ̈ in posizione, la campana (21) viene traslata in posizione di apertura Y, successivamente l’elemento di presa preleva il cerchione (50) precedentemente esaminato caricandolo sul primo (9’) o secondo (9†) dispositivo evacuatore, a seconda del comando ricevuto dal processore, ovvero in base al risultato del rilevamento effettuato. Successivamente l’elemento di presa preleva dal dispositivo convogliatore (8) un cerchione (50) da esaminare e lo carica sul piatto inferiore (20) della cella (13). Si trasla quindi la campana (21) nella posizione di chiusura X.

Le operazioni di carico del cerchione (50) da esaminare e di scarico del cerchione esaminato (50’, 50†) vengono, quindi, effettuate in corrispondenza della medesima posizione di lavoro A’, utilizzando in tal modo un unico elemento di presa.

Nella posizione di chiusura X il coperchio (24) à ̈ abbassato sul cerchione (50) definendo tre distinte zone nella cella (13) tra loro isolate: la camera esterna (26) e la camera interna (27) chiuse a tenuta dall’esterno, e la camera superiore (26’). Durante la fase A le elettrovalvole (31) e (41) vengono eccitate in modo da evitare che nella camera esterna (26) e nella camera interna (27) si generino contropressioni indesiderate.

La prima fase A à ̈ quindi conclusa, e la piattaforma girevole (17) viene ruotata di 90° per portare la cella successiva (16) nella stazione di lavoro A’ preposta ad effettuare la prima fase A, la cella (13) nella stazione di lavoro B’ preposta ad effettuare la seconda fase B del processo di rilevamento, ecc. Nella seconda stazione B’, mostrata in dettaglio in Figura 4, la cella (13) à ̈ sottoposta alla fase B: si connette la camera interna (27) tramite i mezzi di connessione (33) ed il secondo elemento di connessione (80b) alla prima pompa di prevuoto (54), si eccitano le elettrovalvole (320) e (32) in modo da mettere in comunicazione di fluido la camera interna (27) con la prima pompa di prevuoto (54). Si aziona la prima pompa di prevuoto (54) aspirando il contenuto gassoso presente nella camera interna (27). In tal modo si preparano le condizioni di vuoto necessarie per poter successivamente connettere lo spettrometro (71) alla camera interna (27). In questa fase si può raggiungere nella camera interna (27) un grado di vuoto minore di 100 Pa. In tal modo si elimina circa 80%-90% di eventuali tracce di elio presenti nella camera interna (27), rimaste della precedente rilevazione, e che costituirebbero un rumore di fondo deleterio per la precisione delle successive rilevazioni.

Quando nella camera interna (27) viene raggiunto un determinato grado di vuoto, per esempio 100Pa, viene letto il trasduttore di pressione assoluta (44) previsto sui secondi mezzi di collegamento (19), e, quindi connesso alla camera esterna (26). Qualora il trasduttore (44) rilevi un calo di pressione nella camera esterna (26), segnale di eventuali macrodifetti nel cerchione (50) in esame che generano macroperdite, il processo di rilevamento per quel cerchione (50) viene bloccato per evitare danneggiamenti alle altre apparecchiature del sistema di rilevamento (7), soprattutto allo spettrometro (71), e per evitare inutili sprechi di Elio. In tal caso, il cerchione (50) viene mantenuto nella cella e spostato con questa progressivamente tra le varie stazioni (A’-D’) di lavoro, ma senza essere sottoposto ad alcuna fase di rilevamento fino alla prima stazione A’, dove viene prelevato e scartato.

Quando viene raggiunta una pressione di <100 Pa nella camera interna (27) e non viene rilevata nessuna macroperdita dal trasduttore (44), si connettono i secondi mezzi di connessione (43) al terzo elemento di connessione (80c), si eccitano le elettrovalvole (42) e (420) mettendo in comunicazione la prima pompa di prevuoto (54) con la camera esterna (26). La prima pompa di prevuoto (54) aspira l’aria contenuta nella camera esterna (26) e la scarica all’esterno tramite lo scarico (540). Il valore di pressione assoluta residua nella camera esterna (26) viene letto dal trasduttore (44).

In questa fase si può raggiungere, nella camera esterna (26), un grado di vuoto <100 Pa. Incrementando il grado di prevuoto ottenuto in questa fase sia nella camera interna (27) che nella camera esterna (26) si incrementa la durata della fase B riducendo però, a parità di grado di vuoto finale raggiunto, la durata della fase C successiva, e viceversa.

Pertanto il grado di prevuoto raggiunto in questa fase verrà scelto in base al grado di vuoto finale da raggiungere in modo da bilanciare la durata delle due fasi. Eventualmente, in caso si desideri un maggiore grado di vuoto e non si voglia incrementare eccessivamente la durata della fase B e/o C può essere prevista una o più fasi intermedie dedicate all’ottenimento di un grado di vuoto intermedio tra il “prevuoto†raggiunto nella fase B ed il vuoto finale raggiunto nella fase C.

Tale accorgimento può essere adottato in particolare nel caso si richieda un grado di vuoto molto spinto per le rilevazioni e/o la geometria degli oggetti da rilevare sia particolarmente complessa.

Quando la fase B à ̈ terminata si disconnettono i primi (33) ed i secondi mezzi di connessione (43) rispettivamente dal secondo (80b) e terzo (80c) elemento di connessione, separando la cella (13) dal sistema di rilevamento perdite (7) e la piattaforma girevole (17) viene ruotata di 90° portando la cella (13) nella stazione C’ preposta ad effettuare la terza fase C, la cella (14) nella stazione D’, ecc.

Quando la cella (13) arriva nella stazione C’, mostrata in dettaglio in Figura 5, la camera interna (27) e la camera esterna (26) sono già in condizioni di prevuoto (<100 Pa). Nella stazione C’ si connettono i secondi mezzi di connessione (43) al primo elemento di connessione (80a) eccitando le elettrovalvole (42) e (425) si mette in comunicazione la camera esterna (26) con la pompa del vuoto finale (64) proseguendo l’aspirazione dell’aria residua nella camera esterna (26) fino ad un valore di vuoto finale, cioà ̈ idoneo per la rilevazione e per ottenere la minima diluizione dell’elio o della miscela aria/elio, solitamente una pressione assoluta inferiore a <100Pa rilevata dal trasduttore (44).

Si effettua quindi un elevato grado di vuoto nella camera esterna (26), in modo da diminuire fortemente la successiva diluizione dell’Elio o sua miscela, che verrà introdotto nella camera esterna (26) per effettuare la misura delle perdite.

Tale condizione, può essere raggiunta senza incrementare eccessivamente la durata della fase C poiché un certo grado di vuoto era già stato ottenuto nella fase B precedente.

Si connettono quindi i primi mezzi di connessione (33) al quinto elemento di connessione (80e), eccitando le elettrovalvole (32), (321) e (322) si connette la camera interna (27) con le pompe del vuoto (70), (70’) aspirando l’aria residua presente nella camera interna (27). Si realizzano, in tal modo, nella camera interna (27) le condizioni di vuoto ottimali per il rilevamento per poter connettere lo spettrometro (71) per la successiva rilevazione, drasticamente riducendo e/o eliminando il rumore generato da eventuale elio residuo.

Dopo aver raggiunto l’idoneo grado di vuoto finale nella camera interna (27), solitamente 0,2 Pa, si eccita anche l’elettrovalvola (323) connettendo la camera interna (27) con la seconda pompa del vuoto (72) connessa allo spettrometro (71).

La camera interna (27) à ̈ connessa sia alle pompe del vuoto (70), (70’) che alla seconda pompa del vuoto (72) in modo che il flusso di gas in uscita dalla camera interna (27) venga parzializzato in funzione direttamente proporzionale della capacità aspirante delle pompe del vuoto (70), (70’) che lavorano contemporaneamente e che scaricano nel camino e della seconda pompa del vuoto (72) che intercetta una porzione del flusso proveniente dalla camera interna (27) per effettuare la rilevazione con lo spettrometro (71).

Quando il rumore letto dallo spettrometro (71), cioà ̈ la quantità di elio rilevata nel gas aspirato, à ̈ inferiore ad un valore di soglia liberamente programmabile, per esempio 10-5 mbarl/s, ed il valore di pressione residua nella camera esterna (26) à ̈ inferiore ad un valore di soglia anch’esso liberamente programmabile per esempio <100Pa, viene diseccitata l’elettrovalvola (425) isolando la camera esterna (26) dalla pompa del vuoto (64). Si eccita, quindi, l’elettrovalvola (421) prevista sul condotto di alimentazione (61), la differenza di pressione tra la camera esterna (26) (<100 Pa) e il serbatoio (60) (4,5 bar) crea un flusso di elio o sua miscela, che viene alimentato nella camera esterna (26), alla pressione di prova di tenuta, per esempio 1,5–3,5 bar, letta dal trasduttore di pressione (44). Si applica di fatto quindi una pressione differenziale sulle pareti del cerchione (50).

Se nel canale del cerchione (50) in esame, ovvero nella parte destinata a ricevere il pneumatico, ci sono delle imperfezioni che mettono in comunicazione di fluido la camera esterna (26) e la camera interna (27) attraverso la parete del canale del cerchione (50), e attraverso queste imperfezioni può fluire l’elio, questo viene intercettato in flusso parziale dallo spettrometro (71).

Se il valore intercettato à ̈ inferiore ad un valore che possa costituire ragione di inquinamento per lo spettrometro (71), si diseccita l’elettrovalvola (322) scollegando le pompe del vuoto (70), (70’) in modo da connettere in “total flow†, cioà ̈ flusso totale, lo spettrometro (71) alla camera interna (27).

Se il livello di elio intercettato stabilmente dallo spettrometro (71) à ̈ inferiore ad un valore di soglia liberamente programmabile (per esempio 3,2 10<–4>mbarl/s), tale valore dipende dalla precisione della tenuta richiesta per l’oggetto in esame, il cerchione (50) viene dichiarato idoneo, al contrario se il livello di elio intercettato dallo spettrometro (71) à ̈ superiore al valore soglia, il cerchione (50) viene considerato non idoneo.

Si diseccitano, quindi, tutte le elettrovalvole intrappolando nella camera esterna (26) la miscela aria/elio di prova, e mantenendo il vuoto nella camera interna (27).

Si disaccoppia il primo elemento di connessione (80a) dai secondi mezzi di connessione (43), il quinto elemento di connessione (80e) dai primi mezzi di connessione (33) e si provvede quindi a ruotare la piattaforma girevole (17) di 90° portando la cella (13) nella quarta stazione D’ nella quale viene effettuata la quarta fase D del procedimento di rilevamento.

Nella quarta stazione D’, mostrata schematicamente in Figura 6, si accoppia il quarto elemento di connessione (80d) ai secondi mezzi di connessione (43), si eccitano le elettrovalvole (42) e (422), collegando la camera esterna (26) al sistema di recupero gas (73), in tal modo la miscela aria/elio fluisce per differenza di pressione dalla camera esterna (26) nel condotto di recupero (75) e attraverso il compressore (76) à ̈ alimentata al serbatoio (60).

Una volta scaricata tutta la pressione relativa dalla camera esterna (26), entra in azione la pompa di recupero (77) posta sul condotto di recupero (75) che provvede ad aspirare la miscela residua aria/elio presente nella camera esterna (26) e, sempre attraverso il compressore (76), alimentarla nel serbatoio (60).

Questa operazione prosegue fino a raggiungere un valore di pressione residua nella camera esterna (26), inferiore ad un valore di soglia liberamente programmabile, per esempio <100Pa. Il valore di pressione residua à ̈ volutamente molto basso, dato che la miscela rimasta nella camera esterna (26) al termine della fase D andrà sprecata nella fase A all’apertura della campana (21) nello scarico/carico del cerchione (50).

Tale spreco costituisce un inquinamento ambientale da Elio, che aumenta il rumore nelle operazioni successive oltre a incrementare i costi del processo. Successivamente si diseccitano le elettrovalvole (42) e (422) e si eccitano le elettrovalvole (41) e (32), mettendo in comunicazione la camera esterna (26) e la camera interna (27) con l’esterno per ripristinarvi, durante la successiva rotazione della piattaforma girevole (17), la pressione ambientale.

Nella versione mostrata le fasi A-D del processo di rilevamento hanno ciascuna una durata complessiva di circa 8 sec, la rotazione di 90° della piattaforma girevole (17) tra due stazioni A’-D’ successive dura 2 sec.

La presente invenzione supera i limiti della tecnica nota citata, offrendo nel contempo numerosi altri vantaggi.

Tra questi, la possibilità di sottoporre al processo di rilevamento contemporaneamente un desiderato numero di oggetti, ottenendo, quindi una produttività elevata, senza moltiplicazione delle apparecchiature accessorie e, quindi degli spazi di installazione richiesti.

In particolare, viene previsto un unico sistema di rilevazione (7), un unico sistema di alimentazione di gas (12) ed un unico sistema di rilevamento perdite (11), cioà ̈ un unico spettrometro (71), ed un unico serbatoio (60) di accumulo del gas.

I dispositivi di connessione (80) consentono di connettere ciascuna cella (13-16) alla porzione del sistema di rilevazione (7) necessaria in una determinata fase A-D del processo, in modo che su ciascuna cella (13-16) vengano effettuate in successione le varie fasi del processo

Viene prevista una pluralità di pompe il che consente di frazionare, come detto le fasi di ottenimento del vuoto nella camera esterna e nella camera interna, ciò consentendo un risparmio di tempo per ogni ciclo e di incremento del grado di vuoto ottenibile e, quindi, della precisione delle rilevazioni effettuate.

Inoltre, con l’apparato dell’invenzione si minimizzano i consumi e gli sprechi di elio, ciò consente di incrementare la precisione delle rilevazioni per assenza di rumore di fondo nelle celle di rilevamento, di incrementare la purezza della miscela di rilevazione utilizzata e, inoltre, un considerevole risparmio di elio utilizzato/perso ad ogni ciclo con un conseguente notevole risparmio di costi.

La richiedente ha calcolato che si ottiene un risparmio di elio di circa 40'000-50'000 euro di Elio ogni anno di utilizzo e/o ogni 2'000'000 di cicli.

Pertanto, può essere utilizzato anche elio puro, ciò incrementando ulteriormente la precisione delle rilevazioni effettuate.

Il processo dell’invenzione può essere utilizzato per testare diversi oggetti che necessitano di prova di tenuta prima di essere impiegati, per esempio radiatori per fluidi refrigeranti o acqua, scambiatori, serbatoi per carburanti, componenti per l’industria nucleare, aerospaziale, chimica.

Il processo dell’invenzione può essere utilizzato per testare i componenti che devono possedere un tasso di perdita inferiore a 5*10<-7>mbarl/s.

Inoltre il processo à ̈ idoneo a testare componenti aventi anche un volume elevato, anche superiore a 100000cc.

Il processo dell’invenzione à ̈ idoneo a testare oggetti anche non stabilizzati termicamente. In linea di produzione posso esserci saldature che scaldano l’oggetto da testare il quale arriva, quindi, caldo nell’apparato di rilevamento. La temperatura dell’oggetto in esame provoca variazioni adiabatiche, cioà ̈ incrementi di pressione dei gas che non danno fastidio al processo di rilevamento dell’invenzione, in quanto si basa, per individuare le perdite degli oggetti, su analisi chimica, ovvero presenza e flusso di particelle di gas tracciante e non fisica, cioà ̈ sulla pressione del gas.

Inoltre tale processo à ̈ idoneo a testare componenti elastici o che contengano componenti elastici.

Claims (12)

1. RIVENDICAZIONI 1. Apparato di rilevamento (1) per rilevare perdite di oggetti a tenuta (50) mediante gas tracciante comprendente una pluralità di celle (10), disposte per ricevere un oggetto (50) da sottoporre a distinte fasi (A-D) di un processo di rilevamento per rilevare dette perdite, un sistema di rilevazione (7) a gas tracciante disposto per essere connesso tramite opportuni dispositivi di connessione (80, 80a-80e) a ciascuna cella (13, 14, 15, 16) di detta pluralità di celle (10) per effettuare dette fasi (A-D) di detto processo di rilevamento, caratterizzato dal fatto che dette celle (13-16) sono posizionate su un dispositivo di spostamento (17) per essere spostate successivamente verso distinte stazioni di lavoro (A’-D’) di detto apparato (1) per essere sottoposte a dette distinte fasi (A-D) di detto processo di rilevamento.
2. 2. Apparato secondo la rivendicazione 1, in cui detto dispositivo di spostamento comprende un dispositivo di spostamento traslante e/o rotante per spostare dette celle (13-16) verso dette distinte stazioni di lavoro (A’-D’) in modo che possano essere successivamente effettuate su dette celle (13-16) dette fasi di detto processo di rilevamento.
3. 3. Apparato secondo la rivendicazione precedente, in cui detto dispositivo di spostamento comprende una piattaforma girevole (17) suscettibile di rotazione intorno ad un asse di rotazione per spostare dette celle (13-16) verso dette distinte stazioni di lavoro (A’-D’) in modo che possano essere successivamente effettuate su dette celle (13-16) dette fasi di detto processo di rilevamento.
4. 4. Apparato secondo una delle rivendicazioni precedenti, in cui ciascuna cella (13, 14, 15, 16) di detta pluralità di celle (10) comprende un piatto (20) su cui viene posizionato detto oggetto (50), un dispositivo di chiusura (21) mobile rispetto a detto piatto (20) per racchiudere a tenuta in posizione chiusa (X) detto oggetto (50) in detta cella (13-16) in modo da definire una camera esterna (26) tra detto oggetto (50) e pareti di detto dispositivo di chiusura (21) ed una camera interna (27) tra pareti interne di detto oggetto (50) e detto piatto (20), detta camera esterna (26) e detta camera interna (27) essendo provviste di rispettivi mezzi di collegamento (18, 19) disposti per cooperare con detti dispostivi di connessione (80, 80a-80e) di detto sistema di rilevazione (7) per connettere ciascuna cella (13-16) a detto sistema di rilevazione (7) per effettuare dette distinte fasi (A-D) di detto processo di rilevamento.
5. 5. Apparato secondo la rivendicazione 4, in cui detto sistema di rilevazione (7) comprende un sistema di alimentazione di gas (12) per alimentare gas tracciante a detta camera esterna (26) di ciascuna cella (13-16) ed un sistema di rilevamento perdite (11) disposto per essere connesso a detta camera interna (27) per rilevare eventuali perdite di detti oggetti (50).
6. 6. Apparato secondo la rivendicazione 4, in cui detto sistema di rilevazione (7) comprende una pluralità di pompe di aspirazione (54, 64, 70, 70’) disposte per essere successivamente connesse a detta camera esterna (26) e/o a detta camera interna (27) per aspirare gas ivi contenuto, uno spettrometro (71) disposto per essere connesso a detta camera interna (27) per rilevare eventuali difetti di detto oggetto (50), un serbatoio di stoccaggio (60) per detto gas tracciante.
7. 7. Apparato secondo una delle rivendicazioni precedenti, in cui dette stazioni di lavoro (A’-D’) comprendono almeno una stazione di scarico/carico (A’) in cui, tramite un elemento di presa, un oggetto (50) esaminato viene prelevato da detta cella (13-16) e posizionato su un opportuno dispositivo evacuatore (9’, 9†) di detto oggetto esaminato, e in cui un esaminando oggetto (50) viene caricato in detta cella (13-16).
8. 8. Apparato secondo una delle rivendicazioni precedenti, in cui dette stazioni di lavoro (A’-D’) comprendono almeno una stazione di prevuoto (B’) in cui tramite una pompa di prevuoto (54) di detto sistema di rilevazione (7) si effettua un desiderato grado di vuoto in detta camera interna (27) e successivamente in detta camera esterna (26).
9. 9. Apparato secondo una delle rivendicazioni precedenti, in cui dette stazioni di lavoro (A’-D’) comprendono almeno una stazione di rilevamento (C’) in cui tramite una pompa del vuoto finale (64) di detto sistema di rilevazione (7) si aspira gas residuo in detta camera esterna (26) per realizzarvi un desiderato valore di vuoto finale e tramite pompe del vuoto (70, 70’) si aspira gas residuo in detta camera interna (27) e successivamente si connette detta camera interna (27) allo spettrometro (71) di rilevazione per rilevare le perdite di detto oggetto (50).
10. 10. Apparato secondo una delle rivendicazioni precedenti, in cui dette stazioni di lavoro (A’-D’) comprendono almeno una stazione di recupero (D’) in cui tramite un sistema di recupero gas (73) di detto sistema di rilevazione (7) si preleva gas da detta camera esterna (26) e detta camera interna (27) alimentandolo a detto sistema di rilevamento (7).
11. 11. Processo di rilevamento di difetti di oggetti a tenuta (50) mediante gas tracciante secondo una sequenza di fasi (A-D) comprendente: posizionare un oggetto (50) in una cella (13-16) di una pluralità di celle di rilevamento (10); spostare dette celle (13-16) verso distinte stazioni di lavoro (A’-D’) di un apparato di rilevamento per sottoporle a distinte successive fasi (A-D) di detto processo di rilevamento, in cui ciascuna fase (A-D) di detto processo viene effettuata in una specifica stazione di lavoro (A’-D’).
12. 12. Processo secondo la rivendicazione precedente in cui dette fasi comprendono una fase di prevuoto (B) in cui si effettua un desiderato grado di prevuoto in una camera interna (27) e successivamente in una camera esterna (26) di detta cella (13-16) ed una successiva fase di vuoto (C) in cui si aspira gas residuo in detta camera esterna (26) e in detta camera interna (27) per realizzarvi un desiderato grado di vuoto finale.