JP3203528B2 - 気密検査方法及びその装置 - Google Patents
気密検査方法及びその装置Info
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- JP3203528B2 JP3203528B2 JP05528693A JP5528693A JP3203528B2 JP 3203528 B2 JP3203528 B2 JP 3203528B2 JP 05528693 A JP05528693 A JP 05528693A JP 5528693 A JP5528693 A JP 5528693A JP 3203528 B2 JP3203528 B2 JP 3203528B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、特にヘリウムガス等
の漏洩検査媒体を用いて、各種テストワークの気密検査
を行うための方法及び装置に関する。
の漏洩検査媒体を用いて、各種テストワークの気密検査
を行うための方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】種々の工業製品など、その一例としてダ
イキャスト製品に対してこの種の気密検査が行われる。
従来、例えばガス式気密検査装置では、漏洩検査媒体と
してフロンガスを用い、又チャージタンク方式のリーク
ディテクタが使用されている。この気密検査装置によれ
ば、真空工程もしくは真空ポンプ等を必要としないで済
むなどの特徴を有している。漏洩検査媒体としてフロン
ガスを用いる場合、人体等への影響から環境問題が生
じ、装置の使用が実際上、困難になる。
イキャスト製品に対してこの種の気密検査が行われる。
従来、例えばガス式気密検査装置では、漏洩検査媒体と
してフロンガスを用い、又チャージタンク方式のリーク
ディテクタが使用されている。この気密検査装置によれ
ば、真空工程もしくは真空ポンプ等を必要としないで済
むなどの特徴を有している。漏洩検査媒体としてフロン
ガスを用いる場合、人体等への影響から環境問題が生
じ、装置の使用が実際上、困難になる。
【０００３】また、検査媒体としてフロンガスの代わり
にヘリウムガスを使用することが可能である。このヘリ
ウムガスを使用すれば、環境問題を解消することができ
る。一方で、このフロンガス代替のヘリウムガスを使用
する場合、装置のチャンバ内でのヘリウムガスの拡散が
困難であり、このため検査時間が長くかかってしまう等
の問題がある。
にヘリウムガスを使用することが可能である。このヘリ
ウムガスを使用すれば、環境問題を解消することができ
る。一方で、このフロンガス代替のヘリウムガスを使用
する場合、装置のチャンバ内でのヘリウムガスの拡散が
困難であり、このため検査時間が長くかかってしまう等
の問題がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、この種の装
置では、被検体を収容するためのチャンバ及び試料ガス
を採取するためのタンク等を用いるが、上記のヘリウム
ガスを使用する場合、気密検査の際に大気圧下で検査す
る方式と、チャンバ又はタンク等を真空にして検査する
方式とがある。前者の方式では、その装置自体を簡易に
構成し得るが、検査精度は一般には真空方式に比較して
低い。一方、後者の真空方式では、高い検査精度を得る
ことができるが、装置の構成が複雑化する等の問題があ
る。
置では、被検体を収容するためのチャンバ及び試料ガス
を採取するためのタンク等を用いるが、上記のヘリウム
ガスを使用する場合、気密検査の際に大気圧下で検査す
る方式と、チャンバ又はタンク等を真空にして検査する
方式とがある。前者の方式では、その装置自体を簡易に
構成し得るが、検査精度は一般には真空方式に比較して
低い。一方、後者の真空方式では、高い検査精度を得る
ことができるが、装置の構成が複雑化する等の問題があ
る。
【０００５】本発明は上記の点に鑑み、装置構成が比較
的簡単で、且つ検査精度を向上し得る気密検査方法及び
装置を提供することを目的とする。
的簡単で、且つ検査精度を向上し得る気密検査方法及び
装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明の気密検査方法
は、被検体をシーリング状態でチャンバ内の所定位置に
セットして、上記チャンバ内に空気を供給及び排出して
クリーニングした後、上記被検体内に気体を封入して、
差圧漏れ検査を行い、この封入気体を再び排気する工程
と、上記チャンバ内を大気圧状態にして、上記被検体内
にヘリウムガス及び空気を所定圧力で封入・混合する工
程と、上記チャンバ内の試料ガスを一定時間、拡散・攪
拌する工程と、その試料ガスを上記チャンバから試料チ
ャージタンクへ採取する際、該試料チャージタンクを真
空引きする工程と、試料ガスがチャージされた上記試料
チャージタンクからＨｅ−リークディテクタへその試料
ガスを導入する工程と、を有している。
は、被検体をシーリング状態でチャンバ内の所定位置に
セットして、上記チャンバ内に空気を供給及び排出して
クリーニングした後、上記被検体内に気体を封入して、
差圧漏れ検査を行い、この封入気体を再び排気する工程
と、上記チャンバ内を大気圧状態にして、上記被検体内
にヘリウムガス及び空気を所定圧力で封入・混合する工
程と、上記チャンバ内の試料ガスを一定時間、拡散・攪
拌する工程と、その試料ガスを上記チャンバから試料チ
ャージタンクへ採取する際、該試料チャージタンクを真
空引きする工程と、試料ガスがチャージされた上記試料
チャージタンクからＨｅ−リークディテクタへその試料
ガスを導入する工程と、を有している。
【０００７】また本発明の気密検査装置は、被検体を収
容するチャンバと、収容された被検体の内部をチャンバ
室内からシールするシール手段と、上記チャンバ室内に
気体を封入して差圧漏れ検査を行うための手段と、上記
チャンバ室内に空気を給・排気するための手段と、上記
被検体の内部にヘリウムガスを給・排気するための手段
と、上記チャンバ内の試料ガスを拡散・攪拌するための
手段と、上記チャンバ内の試料ガスを採取するための手
段と、この試料ガスを採取するための手段を真空引きす
るための手段と、採取した試料ガスを検査してヘリウム
漏れを検出するリークディテクタと、を備えている。
容するチャンバと、収容された被検体の内部をチャンバ
室内からシールするシール手段と、上記チャンバ室内に
気体を封入して差圧漏れ検査を行うための手段と、上記
チャンバ室内に空気を給・排気するための手段と、上記
被検体の内部にヘリウムガスを給・排気するための手段
と、上記チャンバ内の試料ガスを拡散・攪拌するための
手段と、上記チャンバ内の試料ガスを採取するための手
段と、この試料ガスを採取するための手段を真空引きす
るための手段と、採取した試料ガスを検査してヘリウム
漏れを検出するリークディテクタと、を備えている。
【０００８】上記チャンバ室に接続した排気管には、開
閉バルブが付設され得る。
閉バルブが付設され得る。
【０００９】
【作用】この発明によれば、検査媒体としてヘリウムガ
スを使用することにより、環境問題等の心配を払拭する
ことができるが、この気密検査に際して、被検体を収容
するチャンバ内は大気圧状態にして行うことができ、真
空工程等の必要がなくなる。従って、真空設備及びその
制御等のための装置構成を簡略化することができる。一
方、試料ガスをチャンバから試料チャージタンクへ採取
する際、該試料チャージタンクを真空引きすることによ
り、試料チャージタンク内へ効率良く、そして迅速に試
料ガスを採取することができ、この結果高い測定精度を
得ることができる。
スを使用することにより、環境問題等の心配を払拭する
ことができるが、この気密検査に際して、被検体を収容
するチャンバ内は大気圧状態にして行うことができ、真
空工程等の必要がなくなる。従って、真空設備及びその
制御等のための装置構成を簡略化することができる。一
方、試料ガスをチャンバから試料チャージタンクへ採取
する際、該試料チャージタンクを真空引きすることによ
り、試料チャージタンク内へ効率良く、そして迅速に試
料ガスを採取することができ、この結果高い測定精度を
得ることができる。
【００１０】上記の場合、チャンバ室に接続した排気管
の適所に、開閉バルブが付設され得るが、試料チャージ
タンク内へ試料ガスを導入する際、その開閉バルブを閉
弁しておくことにより、その試料ガスを希釈させること
なく導入し、試料ガスを効率的に採取することができ
る。
の適所に、開閉バルブが付設され得るが、試料チャージ
タンク内へ試料ガスを導入する際、その開閉バルブを閉
弁しておくことにより、その試料ガスを希釈させること
なく導入し、試料ガスを効率的に採取することができ
る。
【００１１】
【実施例】以下、図１に基づき、本発明による気密検査
方法及び装置の一実施例を説明する。図１は、この発明
の気密検査を実施するための装置の全体構成を示してい
る。図において、１は装置本体、２は後述する被検体３
を収容するチャンバである。チャンバ２には掃気用の排
気管２ａが接続されている。４はＯリング等のシール部
材、５はチャンバ２を装置本体１に対して進退させる空
圧もしくは油圧シリンダ等で成る駆動装置である。
方法及び装置の一実施例を説明する。図１は、この発明
の気密検査を実施するための装置の全体構成を示してい
る。図において、１は装置本体、２は後述する被検体３
を収容するチャンバである。チャンバ２には掃気用の排
気管２ａが接続されている。４はＯリング等のシール部
材、５はチャンバ２を装置本体１に対して進退させる空
圧もしくは油圧シリンダ等で成る駆動装置である。
【００１２】この実施例では、上記被検体３として、例
えば車両用のアルミホイール又はロードホイールとす
る。なお、これらの場合の他に種々の被検体３に対して
適用可能であることは勿論である。被検体３は、図示の
ようにチャンバ２内の所定位置に収納・セットされる
が、その際、クランプシール６を介して、シール圧プレ
ート７によりその両側から弾圧される。このシール圧プ
レート７は、空圧もしくは油圧シリンダ等で成る駆動装
置８によって進退する。
えば車両用のアルミホイール又はロードホイールとす
る。なお、これらの場合の他に種々の被検体３に対して
適用可能であることは勿論である。被検体３は、図示の
ようにチャンバ２内の所定位置に収納・セットされる
が、その際、クランプシール６を介して、シール圧プレ
ート７によりその両側から弾圧される。このシール圧プ
レート７は、空圧もしくは油圧シリンダ等で成る駆動装
置８によって進退する。
【００１３】また９，１０及び１１はそれぞれ空気圧源
であり、このうち空気圧源９はチャンバ２内に空気を供
給し、また空気圧源１０，１１は被検体３の内部に空気
を供給する。空気圧源１１には、差圧ゲージ１２が付設
されている。１３は被検体３の内部にヘリウムガスを供
給するヘリウムガス圧源である。１４は被検体３の内部
に通じる排出用管路である。さらに、１５はチャンバ２
内に設置された攪拌用のファンであり、駆動モータ１６
により回転駆動される。
であり、このうち空気圧源９はチャンバ２内に空気を供
給し、また空気圧源１０，１１は被検体３の内部に空気
を供給する。空気圧源１１には、差圧ゲージ１２が付設
されている。１３は被検体３の内部にヘリウムガスを供
給するヘリウムガス圧源である。１４は被検体３の内部
に通じる排出用管路である。さらに、１５はチャンバ２
内に設置された攪拌用のファンであり、駆動モータ１６
により回転駆動される。
【００１４】１７は検査に供する試料ガスを採取するた
めのチャージタンクであり、このチャージタンク１７は
開閉バルブ１８を介してチャンバ２と接続されている。
１９は開閉バルブ２０を介してチャージタンク１７と接
続された真空ポンプ、２１はチャージタンク１７から試
料ガスを導入されるＨｅ−リークディテクタであり、こ
のＨｅ−リークディテクタ２１は、開閉バルブ２２を介
してチャージタンク１７と接続されている。上記の場
合、排気管２ａの適所に、開閉バルブ２３を付設しても
よく、この開閉バルブ２３を適宜開閉制御してチャンバ
２を掃排気することができる。なお上記開閉バルブ１
８，２０，２２、駆動装置５，８及び駆動モータ１６等
は、図示しない制御回路により作動制御されるようにな
っている。
めのチャージタンクであり、このチャージタンク１７は
開閉バルブ１８を介してチャンバ２と接続されている。
１９は開閉バルブ２０を介してチャージタンク１７と接
続された真空ポンプ、２１はチャージタンク１７から試
料ガスを導入されるＨｅ−リークディテクタであり、こ
のＨｅ−リークディテクタ２１は、開閉バルブ２２を介
してチャージタンク１７と接続されている。上記の場
合、排気管２ａの適所に、開閉バルブ２３を付設しても
よく、この開閉バルブ２３を適宜開閉制御してチャンバ
２を掃排気することができる。なお上記開閉バルブ１
８，２０，２２、駆動装置５，８及び駆動モータ１６等
は、図示しない制御回路により作動制御されるようにな
っている。
【００１５】次に、上記気密検査装置による気密検査方
法を説明する。被検体３は、チャンバ２内の所定位置に
セットされるように、該チャンバ２内でセンタリングさ
れ、駆動装置８を前進させることにより、クランプシー
ル６によって両側からシールされる。そして駆動装置５
を前進させることにより、チャンバ２全体を装置本体１
に押圧させ、これによりチャンバ２は外気から大気圧で
遮断され、密閉される。
法を説明する。被検体３は、チャンバ２内の所定位置に
セットされるように、該チャンバ２内でセンタリングさ
れ、駆動装置８を前進させることにより、クランプシー
ル６によって両側からシールされる。そして駆動装置５
を前進させることにより、チャンバ２全体を装置本体１
に押圧させ、これによりチャンバ２は外気から大気圧で
遮断され、密閉される。
【００１６】次に、空気圧源９からチャンバ２内に空気
を供給すると共に、その空気を排気管２ａから排出し、
チャンバ２内をクリーニングする。なおチャンバ２内の
クリーニングを行うための空気は、可能な限り乾燥して
いるものを使用する。また排気管２ａに開閉バルブ２３
を付設した場合、該開閉バルブ２３は開弁される。
を供給すると共に、その空気を排気管２ａから排出し、
チャンバ２内をクリーニングする。なおチャンバ２内の
クリーニングを行うための空気は、可能な限り乾燥して
いるものを使用する。また排気管２ａに開閉バルブ２３
を付設した場合、該開閉バルブ２３は開弁される。
【００１７】チャンバ２内のクリーニング後、空気圧源
１１から上記被検体３内に気体、本実施例では空気（４
ｋｇ／ｃｍ2 Ｇ程度）を封入して、差圧漏れ検査（グロ
スリーク）を行う。この差圧漏れ検査は、被検体３に比
較的大きな穴等が存在するか否かを予め検査する予備検
査であり、このような予備検査結果が可もしくは良であ
れば、その後の検査が続行される。この差圧漏れ検査の
終了後、封入された空気は排出用管路１４を介して再び
排気される。気体として、空気の他、例えば窒素ガスと
空気の混合ガスを用いてもよい。
１１から上記被検体３内に気体、本実施例では空気（４
ｋｇ／ｃｍ2 Ｇ程度）を封入して、差圧漏れ検査（グロ
スリーク）を行う。この差圧漏れ検査は、被検体３に比
較的大きな穴等が存在するか否かを予め検査する予備検
査であり、このような予備検査結果が可もしくは良であ
れば、その後の検査が続行される。この差圧漏れ検査の
終了後、封入された空気は排出用管路１４を介して再び
排気される。気体として、空気の他、例えば窒素ガスと
空気の混合ガスを用いてもよい。
【００１８】予備検査終了後、ヘリウムガス圧源１３か
ら被検体３内にヘリウムガスが封入される。更に空気圧
源１０から被検体３内に空気が供給され、一定圧力まで
加圧し、被検体３内でヘリウムガス及び空気が混合され
る。なおこの場合、ヘリウムガス及び空気を予め適量で
混合させて成る混合ガスを例えば４．５ｋｇ／ｃｍ2Ｇ
程度、被検体３内に直接封入するようにしてもよい。上
記のように被検体３内にヘリウムガス及び空気を所定圧
力で封入・混合した後、駆動モータ１６によりファン１
５を回転駆動させ、チャンバ３内の試料ガスを一定時
間、拡散・攪拌する。
ら被検体３内にヘリウムガスが封入される。更に空気圧
源１０から被検体３内に空気が供給され、一定圧力まで
加圧し、被検体３内でヘリウムガス及び空気が混合され
る。なおこの場合、ヘリウムガス及び空気を予め適量で
混合させて成る混合ガスを例えば４．５ｋｇ／ｃｍ2Ｇ
程度、被検体３内に直接封入するようにしてもよい。上
記のように被検体３内にヘリウムガス及び空気を所定圧
力で封入・混合した後、駆動モータ１６によりファン１
５を回転駆動させ、チャンバ３内の試料ガスを一定時
間、拡散・攪拌する。
【００１９】次に、チャンバ３内で拡散・攪拌された試
料ガスをチャージタンク１７へチャージする際、該試料
チャージタンク１７は、真空ポンプ１９によって真空引
きされる。即ち、開閉バルブ１８及び２０を開弁させ、
一方開閉バルブ２２は閉弁させ、この状態で真空ポンプ
１９を作動させることにより、チャージタンク１７内へ
試料ガスが採取される。なお、この場合先ず開閉バルブ
２０のみを開弁させ、即ち開閉バルブ１８及び２２双方
を閉弁させてチャージタンク１７内を一旦真空状態に
し、この後開閉バルブ１８を開弁させることにより試料
ガスを採取することもできるが、これは、使用する検知
ガスの種類等によりいずれの方法によるべきかが選択さ
れる。そして次に、Ｈｅ検査を開始するが、チャージタ
ンク１７内の攪拌試料ガスをＨｅ−リークディテクタ２
１に導入・採取する際、開閉バルブ２２のみを開弁させ
て行う方法と、開閉バルブ２０及び開閉バルブ２２双方
を開弁させ且つ真空ポンプ１９を作動させて行う方法と
がある。
料ガスをチャージタンク１７へチャージする際、該試料
チャージタンク１７は、真空ポンプ１９によって真空引
きされる。即ち、開閉バルブ１８及び２０を開弁させ、
一方開閉バルブ２２は閉弁させ、この状態で真空ポンプ
１９を作動させることにより、チャージタンク１７内へ
試料ガスが採取される。なお、この場合先ず開閉バルブ
２０のみを開弁させ、即ち開閉バルブ１８及び２２双方
を閉弁させてチャージタンク１７内を一旦真空状態に
し、この後開閉バルブ１８を開弁させることにより試料
ガスを採取することもできるが、これは、使用する検知
ガスの種類等によりいずれの方法によるべきかが選択さ
れる。そして次に、Ｈｅ検査を開始するが、チャージタ
ンク１７内の攪拌試料ガスをＨｅ−リークディテクタ２
１に導入・採取する際、開閉バルブ２２のみを開弁させ
て行う方法と、開閉バルブ２０及び開閉バルブ２２双方
を開弁させ且つ真空ポンプ１９を作動させて行う方法と
がある。
【００２０】このように試料ガスを、チャンバ３からチ
ャージタンク１７へチャージし、更にチャージタンク１
７からＨｅ−リークディテクタ２１に採取・導入するに
あたり、開閉バルブ１８，２０又は２２の開・閉状態を
上記のように設定して、適宜真空引きを行う。これによ
り試料チャージタンク１７内へ、そしてその後Ｈｅ−リ
ークディテクタ２１内へ効率良く、迅速に試料ガスを採
取することができ、この結果高い測定精度を得ることが
できる。またその場合、試料チャージタンク１７内へ試
料ガスをチャージする際、開閉バルブ２３を閉弁してお
くことにより、その試料ガスを希釈させることなく導入
し、試料ガスを効率的に採取することができる。
ャージタンク１７へチャージし、更にチャージタンク１
７からＨｅ−リークディテクタ２１に採取・導入するに
あたり、開閉バルブ１８，２０又は２２の開・閉状態を
上記のように設定して、適宜真空引きを行う。これによ
り試料チャージタンク１７内へ、そしてその後Ｈｅ−リ
ークディテクタ２１内へ効率良く、迅速に試料ガスを採
取することができ、この結果高い測定精度を得ることが
できる。またその場合、試料チャージタンク１７内へ試
料ガスをチャージする際、開閉バルブ２３を閉弁してお
くことにより、その試料ガスを希釈させることなく導入
し、試料ガスを効率的に採取することができる。
【００２１】Ｈｅ−リークディテクタ２１は、採取した
試料ガスに対して、Ｈｅ漏れ検査を行い、被検体３の漏
れ判断が行われる。Ｈｅ漏れ検査完了後、チャージタン
ク１７を真空ポンプ１９によって真空引きし、これによ
り該チャージタンク１７のクリーニングが行われる。
試料ガスに対して、Ｈｅ漏れ検査を行い、被検体３の漏
れ判断が行われる。Ｈｅ漏れ検査完了後、チャージタン
ク１７を真空ポンプ１９によって真空引きし、これによ
り該チャージタンク１７のクリーニングが行われる。
【００２２】Ｈｅ漏れ検査終了後、被検体３内の混合ガ
スは、排出用管路１４を介して外部へ排出又は回収さ
れ、被検体３の内部は大気圧に戻される。またＨｅ漏れ
検査結果が不可（ＮＧ）の場合には、チャンバ２内に残
存している攪拌試料ガスを排気するために、空気圧源９
からチャンバ２内に空気を供給して前記と同様に、チャ
ンバ２内をクリーニングする。なお本発明方法において
は、チャンバ２又は被検体３のクリーニングは、試料ガ
スの採取後であれば、漏れ判断を行う前に行うことがで
きる。最後に、駆動装置５及び駆動装置８にてチャンバ
２及びシール圧プレート７をそれぞれ後退させて、被検
体３をアンクランプし、こうして検査が終了する。
スは、排出用管路１４を介して外部へ排出又は回収さ
れ、被検体３の内部は大気圧に戻される。またＨｅ漏れ
検査結果が不可（ＮＧ）の場合には、チャンバ２内に残
存している攪拌試料ガスを排気するために、空気圧源９
からチャンバ２内に空気を供給して前記と同様に、チャ
ンバ２内をクリーニングする。なお本発明方法において
は、チャンバ２又は被検体３のクリーニングは、試料ガ
スの採取後であれば、漏れ判断を行う前に行うことがで
きる。最後に、駆動装置５及び駆動装置８にてチャンバ
２及びシール圧プレート７をそれぞれ後退させて、被検
体３をアンクランプし、こうして検査が終了する。
【００２３】上記のように、被検体３に対して予備検査
を行い、これにより予め被検体３のグロスリークの検査
・判断を行うことができる。Ｈｅ漏れ検査では、検査媒
体として使用するヘリウムガスは環境問題等の心配がな
い。また特に差圧漏れ検査に際して、被検体３を収容す
るチャンバ２内を大気圧状態にして行うことができ、真
空工程等の必要がなく、これにより真空設備及びその制
御等のための装置構成を簡略化することができる。一
方、ガスをチャンバ２からチャージタンク１７へ採取し
てＨｅ漏れ検査を行う際、該チャージタンク１７を真空
引きすることにより、チャージタンク１７内へ、そして
その後Ｈｅ−リークディテクタ２１内へ効率良く、迅速
に試料ガスを採取することができる。
を行い、これにより予め被検体３のグロスリークの検査
・判断を行うことができる。Ｈｅ漏れ検査では、検査媒
体として使用するヘリウムガスは環境問題等の心配がな
い。また特に差圧漏れ検査に際して、被検体３を収容す
るチャンバ２内を大気圧状態にして行うことができ、真
空工程等の必要がなく、これにより真空設備及びその制
御等のための装置構成を簡略化することができる。一
方、ガスをチャンバ２からチャージタンク１７へ採取し
てＨｅ漏れ検査を行う際、該チャージタンク１７を真空
引きすることにより、チャージタンク１７内へ、そして
その後Ｈｅ−リークディテクタ２１内へ効率良く、迅速
に試料ガスを採取することができる。
【００２４】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、この種の
気密検査において、環境問題を生じさせる危険が全くな
く、安全に実施することができる。更にチャンバ内を大
気圧状態にして検査を行い、これにより装置を簡素化
し、また試料ガスをチャージ，採取する際、適宜真空引
きし、これにより効率良く試料ガスを採取することがで
き、この結果、装置を複雑化することなく、高い測定精
度を得ることができる。
気密検査において、環境問題を生じさせる危険が全くな
く、安全に実施することができる。更にチャンバ内を大
気圧状態にして検査を行い、これにより装置を簡素化
し、また試料ガスをチャージ，採取する際、適宜真空引
きし、これにより効率良く試料ガスを採取することがで
き、この結果、装置を複雑化することなく、高い測定精
度を得ることができる。
【図１】本発明の気密検査装置の一実施例による全体構
成を示す概略断面図である。
成を示す概略断面図である。
１ 装置本体 ２ チャンバ ２ａ 排気管 ３ 被検体 ５ 駆動装置 ６ クランプシール ７ シール圧プレート ８ 駆動装置 ９ 空気圧源 １０ 空気圧源 １１ 空気圧源 １３ ヘリウムガス圧源 １５ ファン １７ チャージタンク １８，２０，２２，２３ 開閉バルブ １９ 真空ポンプ ２１ Ｈｅ−リークディテクタ
Claims (3)
- 【請求項１】 被検体をシーリング状態でチャンバ内の
所定位置にセットして、上記チャンバ内に空気を供給及
び排出してクリーニングした後、 上記被検体内に気体を封入して、差圧漏れ検査を行い、
この封入気体を再び排気し、 次いで、上記チャンバ内を大気圧状態にし、上記被検体
内にヘリウムガス及び空気を所定圧力で封入・混合し、 上記チャンバ内の試料ガスを一定時間、拡散・攪拌し、 その試料ガスを上記チャンバから試料チャージタンクへ
採取する際、該試料チャージタンクを適宜真空引きし、 その後、試料ガスがチャージされた試料チャージタンク
からＨｅ−リークディテクタへその試料ガスを導入する
ようにしたことを特徴とする気密検査方法。 - 【請求項２】 被検体を収容するチャンバと、収容され
た被検体の内部をチャンバ室内からシールするシール手
段と、上記チャンバ室内に気体を封入して差圧漏れ検査
を行うための手段と、上記チャンバ室内に空気を給・排
気するための手段と、上記被検体の内部にヘリウムガス
を給・排気するための手段と、上記チャンバ内の試料ガ
スを拡散・攪拌するための手段と、上記チャンバ内の試
料ガスを採取するための手段と、この試料ガスを採取す
るための手段を真空引きするための手段と、採取した試
料ガスを検査してヘリウム漏れを検出するリークディテ
クタと、を備えていることを特徴とする気密検査装置。 - 【請求項３】 前記チャンバ室に接続した排気管に、開
閉バルブを付設したことを特徴とする、請求項２に記載
の気密検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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