JPH0882568A - リーク検出装置およびリーク検出方法 - Google Patents
リーク検出装置およびリーク検出方法Info
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- JPH0882568A JPH0882568A JP21923594A JP21923594A JPH0882568A JP H0882568 A JPH0882568 A JP H0882568A JP 21923594 A JP21923594 A JP 21923594A JP 21923594 A JP21923594 A JP 21923594A JP H0882568 A JPH0882568 A JP H0882568A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 チャンバ内のリーク検出用気体の残留レベル
を下げて、リーク検出精度を高める。 【構成】 リーク検出装置１は、チャンバ２とガス供給
系３とチャンバ排気系４とガス検出器２２とエア供給系
５とを備えている。チャンバ２内には、トルクコンバー
タＴが内部に配置される。チャンバ排気系４はチャンバ
２内を排気する。ガス検出器２２は、チャンバ排気系４
により排気されたチャンバ２内の気体からヘリウムの有
無を検出する。ガス供給系３は１回目のヘリウムをチャ
ンバ２内のトルクコンバータＴ内部に供給し、その結果
ガス検出器２２がヘリウムを検出しなかった場合にのみ
１回目より多量の２回目のヘリウムをトルクコンバータ
Ｔ内部に供給する。
を下げて、リーク検出精度を高める。 【構成】 リーク検出装置１は、チャンバ２とガス供給
系３とチャンバ排気系４とガス検出器２２とエア供給系
５とを備えている。チャンバ２内には、トルクコンバー
タＴが内部に配置される。チャンバ排気系４はチャンバ
２内を排気する。ガス検出器２２は、チャンバ排気系４
により排気されたチャンバ２内の気体からヘリウムの有
無を検出する。ガス供給系３は１回目のヘリウムをチャ
ンバ２内のトルクコンバータＴ内部に供給し、その結果
ガス検出器２２がヘリウムを検出しなかった場合にのみ
１回目より多量の２回目のヘリウムをトルクコンバータ
Ｔ内部に供給する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ワークのリークを検出
するためのリーク検出装置及びリーク検出方法に関す
る。
するためのリーク検出装置及びリーク検出方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来においてワークのリークを検出する
方法としては、水没検出方法、差圧測定方法、及び特定
ガス検出方法がある。特定のガス検出方法に用いられる
リーク検出装置は、ワークが配置されるチャンバと、チ
ャンバ内のワークの内部にリーク検出用気体を供給する
リーク検出用気体供給装置と、チャンバ内を排気する排
気装置と、排気装置により配置されたチャンバ内の気体
からリーク検出用気体を検出するリーク検出用気体検出
装置とを備えている。
方法としては、水没検出方法、差圧測定方法、及び特定
ガス検出方法がある。特定のガス検出方法に用いられる
リーク検出装置は、ワークが配置されるチャンバと、チ
ャンバ内のワークの内部にリーク検出用気体を供給する
リーク検出用気体供給装置と、チャンバ内を排気する排
気装置と、排気装置により配置されたチャンバ内の気体
からリーク検出用気体を検出するリーク検出用気体検出
装置とを備えている。
【０００３】このような装置では、最初に、ワークがチ
ャンバ内に搬入される。続いて、排気装置がチャンバ内
の真空排気を開始する。次に、気体供給装置がワークの
内部にリーク検出用気体を供給する。ここで、検出装置
がチャンバ内の気体からリーク検出用気体の有無を調べ
る。リーク検出用気体が検出されれば、そのワークは不
良品として処理される。
ャンバ内に搬入される。続いて、排気装置がチャンバ内
の真空排気を開始する。次に、気体供給装置がワークの
内部にリーク検出用気体を供給する。ここで、検出装置
がチャンバ内の気体からリーク検出用気体の有無を調べ
る。リーク検出用気体が検出されれば、そのワークは不
良品として処理される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記従来のリーク検出
装置及びリーク検出方法では、連続してワークのリーク
検出を行っていると、チャンバ内にリーク検出用気体が
残留していく。また、ワークに比較的大きな穴がある場
合には、チャンバ内におけるリーク検出用気体の残留レ
ベルが高くなる。以上のようにチャンバ内にリーク検出
用気体が残留すると、リーク検出の精度が低下する。そ
こで従来はチャンバを開いた状態で清浄なエアをチャン
バ周辺に供給してクリーニングを行っていたが、十分に
クリーニングができない。
装置及びリーク検出方法では、連続してワークのリーク
検出を行っていると、チャンバ内にリーク検出用気体が
残留していく。また、ワークに比較的大きな穴がある場
合には、チャンバ内におけるリーク検出用気体の残留レ
ベルが高くなる。以上のようにチャンバ内にリーク検出
用気体が残留すると、リーク検出の精度が低下する。そ
こで従来はチャンバを開いた状態で清浄なエアをチャン
バ周辺に供給してクリーニングを行っていたが、十分に
クリーニングができない。
【０００５】本発明の目的は、チャンバ内のリーク検出
用気体の残留レベルを下げることでリーク検出精度を高
めることにある。
用気体の残留レベルを下げることでリーク検出精度を高
めることにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の一見地に係るリ
ーク検出装置はワークの内部にリーク検出用気体を供給
してリークを検出するための装置であり、チャンバと排
気装置とリーク検出用気体検出装置とリーク検出用気体
供給装置とを備えている。チャンバの内部にはワークが
配置される。排気装置はチャンバ内２を排気する。リー
ク検出用気体検出装置は、排気装置により排気されたチ
ャンバ内の気体からリーク検出用気体の有無を調べる。
リーク検出用気体供給装置は、１回目のリーク検出用気
体をチャンバ内のワーク内部に供給し、その結果検出用
気体検出装置がリーク検出用気体を検出しなかった場合
にのみ１回目より多量の２回目のリーク検出用気体をワ
ーク内部に供給する。
ーク検出装置はワークの内部にリーク検出用気体を供給
してリークを検出するための装置であり、チャンバと排
気装置とリーク検出用気体検出装置とリーク検出用気体
供給装置とを備えている。チャンバの内部にはワークが
配置される。排気装置はチャンバ内２を排気する。リー
ク検出用気体検出装置は、排気装置により排気されたチ
ャンバ内の気体からリーク検出用気体の有無を調べる。
リーク検出用気体供給装置は、１回目のリーク検出用気
体をチャンバ内のワーク内部に供給し、その結果検出用
気体検出装置がリーク検出用気体を検出しなかった場合
にのみ１回目より多量の２回目のリーク検出用気体をワ
ーク内部に供給する。
【０００７】リーク検出用気体供給装置は、気体供給部
と、気体供給部からチャンバ内に延びる気体供給管と、
気体供給管の途中にチャンバ側から順番に配置された第
１バルブ及び第２バルブと、バルブ制御装置とを有して
いるのが好ましい。バルブ制御装置は、第１バルブを閉
じて第２バルブを開けることで両バルブの間の気体供給
管に１回目のリーク検出用気体を溜め、次に第１バルブ
を開けることで１回目のリーク検出用気体をワーク内部
に供給させる。バルブ制御装置は、さらに、第２バルブ
を開けることで気体供給部からの２回目のリーク検出用
気体をワーク内部に供給させる。
と、気体供給部からチャンバ内に延びる気体供給管と、
気体供給管の途中にチャンバ側から順番に配置された第
１バルブ及び第２バルブと、バルブ制御装置とを有して
いるのが好ましい。バルブ制御装置は、第１バルブを閉
じて第２バルブを開けることで両バルブの間の気体供給
管に１回目のリーク検出用気体を溜め、次に第１バルブ
を開けることで１回目のリーク検出用気体をワーク内部
に供給させる。バルブ制御装置は、さらに、第２バルブ
を開けることで気体供給部からの２回目のリーク検出用
気体をワーク内部に供給させる。
【０００８】リーク検出用気体はヘリウムであるのが好
ましい。本発明の他の見地に係るリーク検出方法はワー
クのリークを検出するための方法であり、搬入工程と排
気工程と第１供給工程と第１検出工程と第２供給工程と
第２検出工程とを備えている。搬入工程では、ワークを
チャンバ内に搬入する。排気工程では、搬入工程後にチ
ャンバ内を排気する。第１供給工程では、排気工程中に
ワーク内部に１回目のリーク検出用気体を供給する。第
１検出工程では、排気されたチャンバ内の気体から１回
目のリーク検出用気体の有無を調べる。第２供給工程で
は、第１検出工程によって１回目のリーク検出用気体が
検出されなかった場合にのみ、ワーク内部に１回目のリ
ーク検出用気体より多量の２回目のリーク検出用気体を
供給する。第２検出工程では、排気されたチャンバ内の
気体から２回目のリーク検出用気体の有無を調べる。
ましい。本発明の他の見地に係るリーク検出方法はワー
クのリークを検出するための方法であり、搬入工程と排
気工程と第１供給工程と第１検出工程と第２供給工程と
第２検出工程とを備えている。搬入工程では、ワークを
チャンバ内に搬入する。排気工程では、搬入工程後にチ
ャンバ内を排気する。第１供給工程では、排気工程中に
ワーク内部に１回目のリーク検出用気体を供給する。第
１検出工程では、排気されたチャンバ内の気体から１回
目のリーク検出用気体の有無を調べる。第２供給工程で
は、第１検出工程によって１回目のリーク検出用気体が
検出されなかった場合にのみ、ワーク内部に１回目のリ
ーク検出用気体より多量の２回目のリーク検出用気体を
供給する。第２検出工程では、排気されたチャンバ内の
気体から２回目のリーク検出用気体の有無を調べる。
【０００９】両リーク検出用気体はヘリウムであるのが
好ましい。
好ましい。
【００１０】
【作用】本発明においては、初めにワークをチャンバ内
に搬入する。続いて、チャンバ内を排気する。この排気
中に、ワーク内部に１回目のリーク検出用気体を供給
し、同時に排気されたチャンバ内の気体から１回目のリ
ーク検出用気体の有無を調べる。さらに、リーク検出用
気体が検出されなかった場合にのみ、ワーク内部に１回
目のリーク検出用気体より多量の２回目のリーク検出用
気体を供給する。そして、２回目のリーク検出用気体の
有無を調べる。
に搬入する。続いて、チャンバ内を排気する。この排気
中に、ワーク内部に１回目のリーク検出用気体を供給
し、同時に排気されたチャンバ内の気体から１回目のリ
ーク検出用気体の有無を調べる。さらに、リーク検出用
気体が検出されなかった場合にのみ、ワーク内部に１回
目のリーク検出用気体より多量の２回目のリーク検出用
気体を供給する。そして、２回目のリーク検出用気体の
有無を調べる。
【００１１】以上の工程においては、１回目のリーク検
出用気体を検出することでワークに大リーク箇所がある
か否かを判断できる。すなわち、１回目のリーク検出用
気体が検出されればワークに大リークの箇所があること
になり、２回目のリーク検出用気体の供給及び検出を行
わない。その結果、チャンバ内に大量のリーク検出用気
体が漏れることはない。その結果、連続してワークのリ
ーク検出を行った場合でも、常にチャンバ内のリーク検
出用気体の残留レベルが低下し、リーク検出精度が高く
維持される。
出用気体を検出することでワークに大リーク箇所がある
か否かを判断できる。すなわち、１回目のリーク検出用
気体が検出されればワークに大リークの箇所があること
になり、２回目のリーク検出用気体の供給及び検出を行
わない。その結果、チャンバ内に大量のリーク検出用気
体が漏れることはない。その結果、連続してワークのリ
ーク検出を行った場合でも、常にチャンバ内のリーク検
出用気体の残留レベルが低下し、リーク検出精度が高く
維持される。
【００１２】リーク検出用気体供給装置が気体供給部と
気体供給管と第１バルブ及び第２バルブとバルブ制御装
置とを有している場合は、バルブ制御装置が、第１バル
ブを閉じて第２バルブを開けることで両バルブの間の気
体供給管に１回目のリーク検出用気体を溜め、次に第１
バルブを開けることで１回目のリーク検出用気体をワー
ク内部に供給させる。さらに、バルブ制御装置は、第２
バルブを開けることで気体供給部からの２回目のリーク
検出用気体をワーク内部に供給させる。ここでは、１回
目のリーク検出用気体は第１バルブと第２バルブとの間
に溜められたものであり、そのため少量のリーク検出用
気体を供給する構造が簡単になる。
気体供給管と第１バルブ及び第２バルブとバルブ制御装
置とを有している場合は、バルブ制御装置が、第１バル
ブを閉じて第２バルブを開けることで両バルブの間の気
体供給管に１回目のリーク検出用気体を溜め、次に第１
バルブを開けることで１回目のリーク検出用気体をワー
ク内部に供給させる。さらに、バルブ制御装置は、第２
バルブを開けることで気体供給部からの２回目のリーク
検出用気体をワーク内部に供給させる。ここでは、１回
目のリーク検出用気体は第１バルブと第２バルブとの間
に溜められたものであり、そのため少量のリーク検出用
気体を供給する構造が簡単になる。
【００１３】リーク検出用気体がヘリウムである場合
は、ヘリウムは分子が小さいためにリーク検出精度が向
上する。
は、ヘリウムは分子が小さいためにリーク検出精度が向
上する。
【００１４】
【実施例】図１に示すリーク検出装置１は、溶接終了後
のトルクコンバータＴのリークを検出するための装置で
ある。リーク検出装置１は、主に、チャンバ２とヘリウ
ム供給系３とチャンバ排気系４とエア供給系５と駆動系
６と制御部７（図２）とガス検出器２２とから構成され
ている。
のトルクコンバータＴのリークを検出するための装置で
ある。リーク検出装置１は、主に、チャンバ２とヘリウ
ム供給系３とチャンバ排気系４とエア供給系５と駆動系
６と制御部７（図２）とガス検出器２２とから構成され
ている。
【００１５】チャンバ２は、チャンバ２の上面及び側面
を形成する覆い皿部１１と、チャンバ２の下面を構成す
る底板部１２とから構成されている。底板部１２は、覆
い皿部１１の下部に当接してチャンバ２を形成するとと
もに、駆動系６（後述）により覆い皿部１１に対して離
反可能である。なお、底板部１２には、トルクコンバー
タＴが載置される。
を形成する覆い皿部１１と、チャンバ２の下面を構成す
る底板部１２とから構成されている。底板部１２は、覆
い皿部１１の下部に当接してチャンバ２を形成するとと
もに、駆動系６（後述）により覆い皿部１１に対して離
反可能である。なお、底板部１２には、トルクコンバー
タＴが載置される。
【００１６】ヘリウム供給系３は、主に、ヘリウム供給
口１３とガス供給器１４とガス供給管１５と第１バルブ
１６と第２バルブ１７とから構成されている。ヘリウム
供給口１３は、覆い皿部１１の中央部に設けられ、チャ
ンバ２内に配置されたトルクコンバータＴの油圧取り入
れ口部分に密着するように配置されている。ガス供給器
１４は、ヘリウムタンク等からなり、ガス供給管１５を
介してヘリウム供給口１３に接続されている。なお、ガ
ス供給管１５には、ヘリウム供給口１３側順番に第１バ
ルブ１６と第２バルブ１７とが配置されている。
口１３とガス供給器１４とガス供給管１５と第１バルブ
１６と第２バルブ１７とから構成されている。ヘリウム
供給口１３は、覆い皿部１１の中央部に設けられ、チャ
ンバ２内に配置されたトルクコンバータＴの油圧取り入
れ口部分に密着するように配置されている。ガス供給器
１４は、ヘリウムタンク等からなり、ガス供給管１５を
介してヘリウム供給口１３に接続されている。なお、ガ
ス供給管１５には、ヘリウム供給口１３側順番に第１バ
ルブ１６と第２バルブ１７とが配置されている。
【００１７】チャンバ排気系４は、主に、排気口１８と
真空ポンプ１９と排気管２０と排気バルブ２１とから構
成されている。排気口１８は、覆い皿部１１の上部に設
けられている。真空ポンプ１９は、排気管２０を介して
排気口１８に接続されている。排気管２０には、排気口
１８側から順番に排気バルブ２１とガス検出器２２とが
配置されている。ガス検出器２２は、真空ポンプ１９に
より排気される気体内におけるヘリウムを検出可能な装
置である。
真空ポンプ１９と排気管２０と排気バルブ２１とから構
成されている。排気口１８は、覆い皿部１１の上部に設
けられている。真空ポンプ１９は、排気管２０を介して
排気口１８に接続されている。排気管２０には、排気口
１８側から順番に排気バルブ２１とガス検出器２２とが
配置されている。ガス検出器２２は、真空ポンプ１９に
より排気される気体内におけるヘリウムを検出可能な装
置である。
【００１８】エア供給系５は、主に、エア供給口２５と
エア供給器２６とエア供給管２７とエアバルブ２８とか
ら構成されている。エア供給口２５は、覆い皿部１１の
側部に形成されている。エア供給器２６は、例えば清浄
なエアが充填されたエアタンク等からなり、エア供給管
２７を介してエア供給口２５に接続されている。エア供
給管２７には、エアバルブ２８が設けられている。
エア供給器２６とエア供給管２７とエアバルブ２８とか
ら構成されている。エア供給口２５は、覆い皿部１１の
側部に形成されている。エア供給器２６は、例えば清浄
なエアが充填されたエアタンク等からなり、エア供給管
２７を介してエア供給口２５に接続されている。エア供
給管２７には、エアバルブ２８が設けられている。
【００１９】駆動系６について説明する。底板部１２の
下部には支持部３１が設けられている。支持部３１に
は、駆動部３２が接続されている。底板部１２は、駆動
部３２によって上下動及び側方への移動が可能である。
図２に示す制御部７は、例えばＣＰＵやＲＡＭ，ＲＯＭ
等の記憶装置からなるマイクロコンピュータを含む制御
装置であり、図２に示すように、ガス供給器１４，第１
バルブ１６，第２バルブ１７，排気バルブ２１，ガス検
出器２２，真空ポンプ１９，エア供給器２６，エアバル
ブ２８，駆動部３２及び他の入出力装置に接続されてい
る。
下部には支持部３１が設けられている。支持部３１に
は、駆動部３２が接続されている。底板部１２は、駆動
部３２によって上下動及び側方への移動が可能である。
図２に示す制御部７は、例えばＣＰＵやＲＡＭ，ＲＯＭ
等の記憶装置からなるマイクロコンピュータを含む制御
装置であり、図２に示すように、ガス供給器１４，第１
バルブ１６，第２バルブ１７，排気バルブ２１，ガス検
出器２２，真空ポンプ１９，エア供給器２６，エアバル
ブ２８，駆動部３２及び他の入出力装置に接続されてい
る。
【００２０】図３に示す制御フローチャートを用いて、
制御部７の制御動作を説明する。ステップＳ１では、装
置全体の初期設定を行う。具体的には、第１バルブ１
６，排気バルブ２１およびエアバルブ２８を閉じて、第
２バルブ１７を開く。また、ＲＡＭからなる記憶装置の
内容を初期化する。さらに、ガス供給器１４，真空ポン
プ１９及びエア供給器２６を作動開始させる。ステップ
Ｓ２では、駆動部３２を駆動して底板部１２上に載置さ
れたトルクコンバータＴをチャンバ２内に搬入する。こ
こでトルクコンバータＴ内を真空ポンプ１９を用いて真
空引きする。
制御部７の制御動作を説明する。ステップＳ１では、装
置全体の初期設定を行う。具体的には、第１バルブ１
６，排気バルブ２１およびエアバルブ２８を閉じて、第
２バルブ１７を開く。また、ＲＡＭからなる記憶装置の
内容を初期化する。さらに、ガス供給器１４，真空ポン
プ１９及びエア供給器２６を作動開始させる。ステップ
Ｓ２では、駆動部３２を駆動して底板部１２上に載置さ
れたトルクコンバータＴをチャンバ２内に搬入する。こ
こでトルクコンバータＴ内を真空ポンプ１９を用いて真
空引きする。
【００２１】ステップＳ３では、排気バルブ２１を開い
てチャンバ２内の真空排気を開始する。ステップＳ４で
は、エアバルブ２８を一定時間開いた後に閉じる。この
間に、エア供給器２６から密封されたチャンバ２内に清
浄な空気が供給される。このため、チャンバ２内に残留
していたヘリウムが速やかに排気され、チャンバ２内の
ヘリウム残留レベルが低下する。
てチャンバ２内の真空排気を開始する。ステップＳ４で
は、エアバルブ２８を一定時間開いた後に閉じる。この
間に、エア供給器２６から密封されたチャンバ２内に清
浄な空気が供給される。このため、チャンバ２内に残留
していたヘリウムが速やかに排気され、チャンバ２内の
ヘリウム残留レベルが低下する。
【００２２】ステップＳ５で第２バルブ１７を閉じて、
ステップＳ６で第１バルブ１６を開く。これにより、第
１バルブ１６と第２バルブ１７との間のガス供給管１５
に溜まっていたヘリウムがヘリウム供給口１３からトル
クコンバータＴ内に供給される。ここでは、あらかじめ
トルクコンバータＴ内を真空引きされているために、ヘ
リウムと空気との混合は生じにくい。
ステップＳ６で第１バルブ１６を開く。これにより、第
１バルブ１６と第２バルブ１７との間のガス供給管１５
に溜まっていたヘリウムがヘリウム供給口１３からトル
クコンバータＴ内に供給される。ここでは、あらかじめ
トルクコンバータＴ内を真空引きされているために、ヘ
リウムと空気との混合は生じにくい。
【００２３】ステップＳ７では、ガス検出器２２を作動
させて、チャンバ２内のヘリウムの有無を調べる。な
お、このときトルクコンバータＴに供給されたヘリウム
は少量であるために、トルクコンバータＴのリーク箇所
が大きな場合にのみヘリウムはチャンバ２内に漏れてガ
ス検出器２２によって検出される。このステップではヘ
リウムの有無を記憶し、ヘリウムが検出されなかった場
合はステップＳ８に移行し、ヘリウムが検出された場合
はステップＳ１０に移行する。
させて、チャンバ２内のヘリウムの有無を調べる。な
お、このときトルクコンバータＴに供給されたヘリウム
は少量であるために、トルクコンバータＴのリーク箇所
が大きな場合にのみヘリウムはチャンバ２内に漏れてガ
ス検出器２２によって検出される。このステップではヘ
リウムの有無を記憶し、ヘリウムが検出されなかった場
合はステップＳ８に移行し、ヘリウムが検出された場合
はステップＳ１０に移行する。
【００２４】ステップＳ８では、第２バルブ１７を開
く。すると、ガス供給器１４からの大量のヘリウムがト
ルクコンバータＴ内に供給される。ステップＳ９では、
再びガス検出器２２を作動させてヘリウムの有無を調べ
る。なお、このときトルクコンバータＴ内に作用する圧
は高いため、トルクコンバータＴのリーク箇所が小さく
ても検出可能である。このステップでも、ヘリウムの有
無を記憶しておく。ステップＳ１０では、排気バルブ２
１を閉じてチャンバ２内の真空排気を停止する。
く。すると、ガス供給器１４からの大量のヘリウムがト
ルクコンバータＴ内に供給される。ステップＳ９では、
再びガス検出器２２を作動させてヘリウムの有無を調べ
る。なお、このときトルクコンバータＴ内に作用する圧
は高いため、トルクコンバータＴのリーク箇所が小さく
ても検出可能である。このステップでも、ヘリウムの有
無を記憶しておく。ステップＳ１０では、排気バルブ２
１を閉じてチャンバ２内の真空排気を停止する。
【００２５】なお、ステップＳ７でヘリウムが検出され
なかった場合にはステップＳ８，９での処理をスキップ
するために、リーク箇所が大きなトルクコンバータＴに
大量のヘリウムが供給されない。そのため、従来ではリ
ーク箇所が大きなトルクコンバータＴの場合にチャンバ
２内に大量のヘリウムが漏れていたが、この実施例では
そのようなことは起こらない。
なかった場合にはステップＳ８，９での処理をスキップ
するために、リーク箇所が大きなトルクコンバータＴに
大量のヘリウムが供給されない。そのため、従来ではリ
ーク箇所が大きなトルクコンバータＴの場合にチャンバ
２内に大量のヘリウムが漏れていたが、この実施例では
そのようなことは起こらない。
【００２６】ステップＳ１１では、駆動部３２を駆動し
て底板部１２を下方に移動させてトルクコンバータＴを
チャンバ２から搬出する。ステップＳ１２では、ステッ
プＳ７およびステップＳ９で記憶された結果からトルク
コンバータＴのリークの有無を判断する。両ステップＳ
７，Ｓ９の記憶された結果の両方がリーク無しの場合に
はステップＳ１３に移行して、そこで駆動部３２を駆動
してトルクコンバータＴを良品置場に搬送する。ステッ
プＳ７，Ｓ９で記憶された結果の少なくとも一方にリー
ク有りが記憶されている場合は、ステップＳ１４に移行
して第２バルブ１７を開けて、ステップＳ１５で駆動部
３２を駆動してトルクコンバータＴを不良品置場に搬送
する。ステップＳ１３またはステップＳ１５で搬送が終
了すると、ステップＳ１６で記憶装置を初期化してか
ら、ステップＳ２に戻って次のトルクコンバータＴのリ
ーク検出を行う。
て底板部１２を下方に移動させてトルクコンバータＴを
チャンバ２から搬出する。ステップＳ１２では、ステッ
プＳ７およびステップＳ９で記憶された結果からトルク
コンバータＴのリークの有無を判断する。両ステップＳ
７，Ｓ９の記憶された結果の両方がリーク無しの場合に
はステップＳ１３に移行して、そこで駆動部３２を駆動
してトルクコンバータＴを良品置場に搬送する。ステッ
プＳ７，Ｓ９で記憶された結果の少なくとも一方にリー
ク有りが記憶されている場合は、ステップＳ１４に移行
して第２バルブ１７を開けて、ステップＳ１５で駆動部
３２を駆動してトルクコンバータＴを不良品置場に搬送
する。ステップＳ１３またはステップＳ１５で搬送が終
了すると、ステップＳ１６で記憶装置を初期化してか
ら、ステップＳ２に戻って次のトルクコンバータＴのリ
ーク検出を行う。
【００２７】なお、リーク検査終了後のトルクコンバー
タＴからはヘリウムを回収する。このヘリウムは、空気
が混じっていないため再利用可能である。空気が混じっ
ていないのは、リーク検査前に予めトルクコンバータＴ
内を真空引きしていたからである。リーク検出用気体と
してヘリウムを用いることで、トルクコンバータＴにお
けるリーク箇所が小さくても確実にリーク検出できる。
すなわち、ヘリウムは分子が小さいためにトルクコンバ
ータＴから漏れやすい。また、ヘリウムは大気中に少な
いため、確実に検出される。
タＴからはヘリウムを回収する。このヘリウムは、空気
が混じっていないため再利用可能である。空気が混じっ
ていないのは、リーク検査前に予めトルクコンバータＴ
内を真空引きしていたからである。リーク検出用気体と
してヘリウムを用いることで、トルクコンバータＴにお
けるリーク箇所が小さくても確実にリーク検出できる。
すなわち、ヘリウムは分子が小さいためにトルクコンバ
ータＴから漏れやすい。また、ヘリウムは大気中に少な
いため、確実に検出される。
【００２８】さらに、ヘリウムを用いる利点としては、
ヘリウムは不活性であるためにトルクコンバータＴやリ
ーク検出装置１または周辺の環境に悪影響を及ぼさな
い。以上に説明したように、トルクコンバータＴ内にヘ
リウムを供給する前に予めチャンバ２内のヘリウムの残
留レベルが低下しているために、ガス検出器２２の検出
精度が高まる。また、少量のヘリウムを供給することで
トルクコンバータＴの大リーク箇所を検出し、大リーク
箇所のあるトルクコンバータＴ内のヘリウム圧を高くし
ないことでチャンバ２内の残留ヘリウムレベルが高くな
るのを防止している。その結果、ステップＳ４における
エアの供給時間が短くなる。さらに、以上の２つの効果
が組合わさることにより、ガス検出器２２におけるヘリ
ウム検出精度がさらに向上している。
ヘリウムは不活性であるためにトルクコンバータＴやリ
ーク検出装置１または周辺の環境に悪影響を及ぼさな
い。以上に説明したように、トルクコンバータＴ内にヘ
リウムを供給する前に予めチャンバ２内のヘリウムの残
留レベルが低下しているために、ガス検出器２２の検出
精度が高まる。また、少量のヘリウムを供給することで
トルクコンバータＴの大リーク箇所を検出し、大リーク
箇所のあるトルクコンバータＴ内のヘリウム圧を高くし
ないことでチャンバ２内の残留ヘリウムレベルが高くな
るのを防止している。その結果、ステップＳ４における
エアの供給時間が短くなる。さらに、以上の２つの効果
が組合わさることにより、ガス検出器２２におけるヘリ
ウム検出精度がさらに向上している。
【００２９】
【発明の効果】本発明においては、１回目のリーク検出
用気体を検出することでワークに大リーク箇所があるか
否かを判断できる。すなわち、１回目のリーク検出用気
体が検出されればワークに大リークの箇所があることに
なり、２回目のリーク検出用気体の供給及び検出を行わ
ない。その結果、チャンバ内に大量のリーク検出用気体
が漏れることはない。その結果、連続してワークのリー
ク検出を行った場合でも、常にチャンバ内のリーク検出
用気体の残留レベルが低下し、リーク検出精度が高く維
持される。
用気体を検出することでワークに大リーク箇所があるか
否かを判断できる。すなわち、１回目のリーク検出用気
体が検出されればワークに大リークの箇所があることに
なり、２回目のリーク検出用気体の供給及び検出を行わ
ない。その結果、チャンバ内に大量のリーク検出用気体
が漏れることはない。その結果、連続してワークのリー
ク検出を行った場合でも、常にチャンバ内のリーク検出
用気体の残留レベルが低下し、リーク検出精度が高く維
持される。
【００３０】リーク検出用気体供給装置が気体供給部と
気体供給管と第１バルブ及び第２バルブとバルブ制御装
置とを有している場合は、１回目のリーク検出用気体は
第１バルブと第２バルブとの間に溜められたものであ
り、そのため少量のリーク検出用気体を供給する構造が
簡単になる。リーク検出用気体がヘリウムである場合
は、ヘリウムは分子が小さいためにリーク検出精度が向
上する。
気体供給管と第１バルブ及び第２バルブとバルブ制御装
置とを有している場合は、１回目のリーク検出用気体は
第１バルブと第２バルブとの間に溜められたものであ
り、そのため少量のリーク検出用気体を供給する構造が
簡単になる。リーク検出用気体がヘリウムである場合
は、ヘリウムは分子が小さいためにリーク検出精度が向
上する。
【図１】本発明の一実施例としてのリーク検出装置の概
略構成図。
略構成図。
【図２】リーク検出装置の制御構成を示すブロック図。
【図３】リーク検出装置の制御部の制御動作を示すフロ
ーチャート。
ーチャート。
１ リーク検出装置 ２ チャンバ ３ ヘリウム供給系 ４ チャンバ排気系 ５ エア供給系 ２２ ガス検出器
Claims (5)
- 【請求項１】ワークのリークを検出するためのリーク検
出装置であって、 前記ワークが内部に配置されるチャンバと、 前記チャンバ内を排気する排気装置と、 前記排気装置により排気された前記チャンバ内の気体か
らリーク検出用気体の有無を調べるリーク検出用気体検
出装置と、 １回目のリーク検出用気体を前記チャンバ内の前記ワー
ク内部に供給し、その結果前記リーク検出用気体検出装
置がリーク検出用気体を検出しなかった場合にのみ前記
１回目より多量の２回目のリーク検出用気体を前記ワー
ク内部に供給するリーク検出用気体供給装置と、を備え
たリーク検出装置。 - 【請求項２】前記リーク検出用気体供給装置は、気体供
給部と、前記気体供給部から前記チャンバ内に伸びる気
体供給管と、前記気体供給管の途中に前記チャンバ側か
ら順番に配置された第１バルブおよび第２バルブと、バ
ルブ制御装置とを有し、 前記バルブ制御装置は、 前記第１バルブを閉じて前記第２バルブを開けることで
前記両バルブの間の気体供給管に前記１回目のリーク検
出用気体を溜め、次に第１バルブを開けることで前記１
回目のリーク検出用気体を前記ワーク内部に供給させ、
さらに、 前記第２バルブを開けることで前記気体供給部からの前
記２回目のリーク検出用気体を前記ワーク内部に供給さ
せる、請求項１に記載のリーク検出装置。 - 【請求項３】前記両リーク検出用気体はヘリウムであ
る、請求項１または２に記載のリーク検出装置。 - 【請求項４】ワークのリークを検出するためのリーク検
出方法であって、 前記ワークをチャンバ内に搬入する搬入工程と、 前記搬入工程後に前記チャンバ内を排気する排気工程
と、 前記排気工程中に前記ワーク内部に１回目のリーク検出
用気体を供給する第１供給工程と、 排気された前記チャンバ内の気体から前記１回目のリー
ク検出用気体の有無を調べる第１検出工程と、 前記第１検出工程によって前記１回目のリーク検出用気
体が検出されなかった場合にのみ、前記ワーク内部に前
記１回目のリーク検出用気体より多量の２回目のリーク
検出用気体を供給する第２供給工程と、 排気された前記チャンバ内の気体から前記２回目のリー
ク検出用気体の有無を調べる第２検出工程と、を備えた
リーク検出方法。 - 【請求項５】前記両リーク検出用気体はヘリウムであ
る、請求項４に記載のリーク検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21923594A JPH0882568A (ja) | 1994-09-13 | 1994-09-13 | リーク検出装置およびリーク検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21923594A JPH0882568A (ja) | 1994-09-13 | 1994-09-13 | リーク検出装置およびリーク検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0882568A true JPH0882568A (ja) | 1996-03-26 |
Family
ID=16732333
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21923594A Pending JPH0882568A (ja) | 1994-09-13 | 1994-09-13 | リーク検出装置およびリーク検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0882568A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007147327A (ja) * | 2005-11-24 | 2007-06-14 | Denso Corp | 気密漏れ検査装置 |
| WO2009145991A1 (en) * | 2008-03-31 | 2009-12-03 | Levtech, Inc. | Apparatus and method for the integrity testing of flexible containers |
| CN102175370A (zh) * | 2011-03-04 | 2011-09-07 | 青岛开世密封工业有限公司 | 摩擦扭矩试验机及其旋转轴唇形密封圈摩擦扭矩试验方法 |
| CN102353600A (zh) * | 2011-06-13 | 2012-02-15 | 青岛开世密封工业有限公司 | 油封密封唇口干摩擦试验方法 |
| US9279737B2 (en) | 2012-09-14 | 2016-03-08 | Advanced Scientifics, Inc. | Test system and method for flexible containers |
| US10519415B2 (en) | 2013-12-10 | 2019-12-31 | Abec, Inc. | Attachment device for single use containers |
| US11623200B2 (en) | 2017-10-03 | 2023-04-11 | Abec, Inc. | Reactor systems |
-
1994
- 1994-09-13 JP JP21923594A patent/JPH0882568A/ja active Pending
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007147327A (ja) * | 2005-11-24 | 2007-06-14 | Denso Corp | 気密漏れ検査装置 |
| WO2009145991A1 (en) * | 2008-03-31 | 2009-12-03 | Levtech, Inc. | Apparatus and method for the integrity testing of flexible containers |
| US8910509B2 (en) | 2008-03-31 | 2014-12-16 | Pall Technology Uk Limited | Apparatus and method for the integrity testing of flexible containers |
| CN102175370A (zh) * | 2011-03-04 | 2011-09-07 | 青岛开世密封工业有限公司 | 摩擦扭矩试验机及其旋转轴唇形密封圈摩擦扭矩试验方法 |
| CN102353600A (zh) * | 2011-06-13 | 2012-02-15 | 青岛开世密封工业有限公司 | 油封密封唇口干摩擦试验方法 |
| US9279737B2 (en) | 2012-09-14 | 2016-03-08 | Advanced Scientifics, Inc. | Test system and method for flexible containers |
| US9285291B2 (en) | 2012-09-14 | 2016-03-15 | Advanced Scientific, Inc. | Test system and method for flexible containers |
| US9528905B2 (en) | 2012-09-14 | 2016-12-27 | Advanced Scientifics, Inc. | Test system and method for flexible containers |
| US10519415B2 (en) | 2013-12-10 | 2019-12-31 | Abec, Inc. | Attachment device for single use containers |
| US11168296B2 (en) | 2013-12-10 | 2021-11-09 | Abec, Inc. | Attachment device for single use containers |
| US11649426B2 (en) | 2013-12-10 | 2023-05-16 | Abec, Inc. | Attachment device for single use containers |
| US11623200B2 (en) | 2017-10-03 | 2023-04-11 | Abec, Inc. | Reactor systems |
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