JPH0882568A - Device and method for leak detection - Google Patents

Device and method for leak detection

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Publication number
JPH0882568A
JPH0882568A JP21923594A JP21923594A JPH0882568A JP H0882568 A JPH0882568 A JP H0882568A JP 21923594 A JP21923594 A JP 21923594A JP 21923594 A JP21923594 A JP 21923594A JP H0882568 A JPH0882568 A JP H0882568A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
leak detection
chamber
leak
valve
Prior art date
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Pending
Application number
JP21923594A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shuji Kawai
周司 河井
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Exedy Corp
Original Assignee
Exedy Corp
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Filing date
Publication date
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Publication of JPH0882568A publication Critical patent/JPH0882568A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE: To improve leak detection accuracy by decreasing residual level of leak detection gas in a chamber. CONSTITUTION: A leak detection device 1 is provided with a chamber 2, gas supply system 3, chamber exhaust system 4, gas detector 22 and air supply system 5. In the chamber 2, a torque converter T is assigned. The chamber exhaust system 4 exhausts the content of the chamber 2. The gas detector 22 detects presence of helium in the gas of the chamber 2 exhausted by the chamber exhaust system 4. The gas supply system 3 feeds helium, of the first time, into the torque converter T in the chamber 2, and as a result, only when the gas detector 22 does not detect the helium, helium of the second time, which is more than that of the first time, is fed into the torque converter T.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ワークのリークを検出
するためのリーク検出装置及びリーク検出方法に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a leak detecting device and a leak detecting method for detecting a leak of a work.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来においてワークのリークを検出する
方法としては、水没検出方法、差圧測定方法、及び特定
ガス検出方法がある。特定のガス検出方法に用いられる
リーク検出装置は、ワークが配置されるチャンバと、チ
ャンバ内のワークの内部にリーク検出用気体を供給する
リーク検出用気体供給装置と、チャンバ内を排気する排
気装置と、排気装置により配置されたチャンバ内の気体
からリーク検出用気体を検出するリーク検出用気体検出
装置とを備えている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a method for detecting a leak of a work, there are a water immersion detection method, a differential pressure measurement method, and a specific gas detection method. A leak detection device used in a specific gas detection method includes a chamber in which a work is arranged, a leak detection gas supply device that supplies a leak detection gas to the inside of the work in the chamber, and an exhaust device that exhausts the inside of the chamber. And a leak detection gas detection device for detecting the leak detection gas from the gas in the chamber arranged by the exhaust device.

【0003】このような装置では、最初に、ワークがチ
ャンバ内に搬入される。続いて、排気装置がチャンバ内
の真空排気を開始する。次に、気体供給装置がワークの
内部にリーク検出用気体を供給する。ここで、検出装置
がチャンバ内の気体からリーク検出用気体の有無を調べ
る。リーク検出用気体が検出されれば、そのワークは不
良品として処理される。
In such an apparatus, a work is first carried into the chamber. Then, the evacuation device starts evacuation of the chamber. Next, the gas supply device supplies the leak detection gas into the work. Here, the detection device checks the presence or absence of the leak detection gas from the gas in the chamber. If the leak detection gas is detected, the work is treated as a defective product.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】前記従来のリーク検出
装置及びリーク検出方法では、連続してワークのリーク
検出を行っていると、チャンバ内にリーク検出用気体が
残留していく。また、ワークに比較的大きな穴がある場
合には、チャンバ内におけるリーク検出用気体の残留レ
ベルが高くなる。以上のようにチャンバ内にリーク検出
用気体が残留すると、リーク検出の精度が低下する。そ
こで従来はチャンバを開いた状態で清浄なエアをチャン
バ周辺に供給してクリーニングを行っていたが、十分に
クリーニングができない。
In the conventional leak detecting apparatus and leak detecting method described above, when the work leak is continuously detected, the leak detecting gas remains in the chamber. Further, when the work has a relatively large hole, the residual level of the leak detection gas in the chamber becomes high. If the leak detection gas remains in the chamber as described above, the accuracy of leak detection deteriorates. Therefore, conventionally, cleaning was performed by supplying clean air to the periphery of the chamber with the chamber open, but the cleaning cannot be sufficiently performed.

【0005】本発明の目的は、チャンバ内のリーク検出
用気体の残留レベルを下げることでリーク検出精度を高
めることにある。
An object of the present invention is to improve the leak detection accuracy by lowering the residual level of the leak detection gas in the chamber.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明の一見地に係るリ
ーク検出装置はワークの内部にリーク検出用気体を供給
してリークを検出するための装置であり、チャンバと排
気装置とリーク検出用気体検出装置とリーク検出用気体
供給装置とを備えている。チャンバの内部にはワークが
配置される。排気装置はチャンバ内2を排気する。リー
ク検出用気体検出装置は、排気装置により排気されたチ
ャンバ内の気体からリーク検出用気体の有無を調べる。
リーク検出用気体供給装置は、1回目のリーク検出用気
体をチャンバ内のワーク内部に供給し、その結果検出用
気体検出装置がリーク検出用気体を検出しなかった場合
にのみ1回目より多量の2回目のリーク検出用気体をワ
ーク内部に供給する。
A leak detection device according to one aspect of the present invention is a device for supplying a leak detection gas to the inside of a work to detect a leak, and includes a chamber, an exhaust device, and a leak detection device. A gas detection device and a leak detection gas supply device are provided. A work is placed inside the chamber. The exhaust device exhausts the inside 2 of the chamber. The leak detection gas detection device checks the presence or absence of the leak detection gas from the gas in the chamber exhausted by the exhaust device.
The leak detection gas supply device supplies the first leak detection gas to the inside of the work in the chamber, and only when the detection gas detection device does not detect the leak detection gas, a larger amount than the first time is detected. The second leak detection gas is supplied into the work.

【0007】リーク検出用気体供給装置は、気体供給部
と、気体供給部からチャンバ内に延びる気体供給管と、
気体供給管の途中にチャンバ側から順番に配置された第
1バルブ及び第2バルブと、バルブ制御装置とを有して
いるのが好ましい。バルブ制御装置は、第1バルブを閉
じて第2バルブを開けることで両バルブの間の気体供給
管に1回目のリーク検出用気体を溜め、次に第1バルブ
を開けることで1回目のリーク検出用気体をワーク内部
に供給させる。バルブ制御装置は、さらに、第2バルブ
を開けることで気体供給部からの2回目のリーク検出用
気体をワーク内部に供給させる。
The leak detecting gas supply device includes a gas supply part, a gas supply pipe extending from the gas supply part into the chamber,
It is preferable to have a first valve and a second valve arranged in order from the chamber side in the middle of the gas supply pipe, and a valve control device. The valve control device stores the first leak detection gas in the gas supply pipe between both valves by closing the first valve and opening the second valve, and then opens the first valve to open the first leak. A detection gas is supplied into the work. The valve control device further supplies the second leak detection gas from the gas supply unit into the work by opening the second valve.

【0008】リーク検出用気体はヘリウムであるのが好
ましい。本発明の他の見地に係るリーク検出方法はワー
クのリークを検出するための方法であり、搬入工程と排
気工程と第1供給工程と第1検出工程と第2供給工程と
第2検出工程とを備えている。搬入工程では、ワークを
チャンバ内に搬入する。排気工程では、搬入工程後にチ
ャンバ内を排気する。第1供給工程では、排気工程中に
ワーク内部に1回目のリーク検出用気体を供給する。第
1検出工程では、排気されたチャンバ内の気体から1回
目のリーク検出用気体の有無を調べる。第2供給工程で
は、第1検出工程によって1回目のリーク検出用気体が
検出されなかった場合にのみ、ワーク内部に1回目のリ
ーク検出用気体より多量の2回目のリーク検出用気体を
供給する。第2検出工程では、排気されたチャンバ内の
気体から2回目のリーク検出用気体の有無を調べる。
The leak detecting gas is preferably helium. A leak detection method according to another aspect of the present invention is a method for detecting a leak of a work, and includes a carry-in step, an exhaust step, a first supply step, a first detection step, a second supply step, and a second detection step. Is equipped with. In the carry-in step, the work is carried into the chamber. In the exhaust process, the inside of the chamber is exhausted after the carry-in process. In the first supply step, the first leak detection gas is supplied to the inside of the work during the exhaust step. In the first detection step, the presence or absence of the first leak detection gas is checked from the exhausted gas in the chamber. In the second supply step, a larger amount of the second leak detection gas than the first leak detection gas is supplied to the inside of the work only when the first detection step does not detect the first leak detection gas. . In the second detection step, the presence or absence of the second leak detection gas is checked from the exhausted gas in the chamber.

【0009】両リーク検出用気体はヘリウムであるのが
好ましい。
Both leak detecting gases are preferably helium.

【0010】[0010]

【作用】本発明においては、初めにワークをチャンバ内
に搬入する。続いて、チャンバ内を排気する。この排気
中に、ワーク内部に1回目のリーク検出用気体を供給
し、同時に排気されたチャンバ内の気体から1回目のリ
ーク検出用気体の有無を調べる。さらに、リーク検出用
気体が検出されなかった場合にのみ、ワーク内部に1回
目のリーク検出用気体より多量の2回目のリーク検出用
気体を供給する。そして、2回目のリーク検出用気体の
有無を調べる。
In the present invention, the work is first carried into the chamber. Then, the chamber is evacuated. During this evacuation, the first leak detection gas is supplied to the inside of the workpiece, and at the same time, the presence or absence of the first leak detection gas is checked from the exhausted gas in the chamber. Further, only when the leak detecting gas is not detected, the second leak detecting gas is supplied into the work in a larger amount than the first leak detecting gas. Then, the presence or absence of the second leak detection gas is checked.

【0011】以上の工程においては、1回目のリーク検
出用気体を検出することでワークに大リーク箇所がある
か否かを判断できる。すなわち、1回目のリーク検出用
気体が検出されればワークに大リークの箇所があること
になり、2回目のリーク検出用気体の供給及び検出を行
わない。その結果、チャンバ内に大量のリーク検出用気
体が漏れることはない。その結果、連続してワークのリ
ーク検出を行った場合でも、常にチャンバ内のリーク検
出用気体の残留レベルが低下し、リーク検出精度が高く
維持される。
In the above steps, it is possible to determine whether or not there is a large leak portion in the work by detecting the leak detecting gas for the first time. That is, if the first leak detecting gas is detected, there is a large leak portion in the work, and the second leak detecting gas is not supplied and detected. As a result, a large amount of leak detection gas does not leak into the chamber. As a result, even when the leak detection of the work is continuously performed, the residual level of the leak detection gas in the chamber is constantly lowered, and the leak detection accuracy is maintained high.

【0012】リーク検出用気体供給装置が気体供給部と
気体供給管と第1バルブ及び第2バルブとバルブ制御装
置とを有している場合は、バルブ制御装置が、第1バル
ブを閉じて第2バルブを開けることで両バルブの間の気
体供給管に1回目のリーク検出用気体を溜め、次に第1
バルブを開けることで1回目のリーク検出用気体をワー
ク内部に供給させる。さらに、バルブ制御装置は、第2
バルブを開けることで気体供給部からの2回目のリーク
検出用気体をワーク内部に供給させる。ここでは、1回
目のリーク検出用気体は第1バルブと第2バルブとの間
に溜められたものであり、そのため少量のリーク検出用
気体を供給する構造が簡単になる。
When the leak detecting gas supply device has a gas supply portion, a gas supply pipe, a first valve, a second valve and a valve control device, the valve control device closes the first valve and opens the first valve. By opening the two valves, the gas for leak detection for the first time is stored in the gas supply pipe between both valves, and then the first
By opening the valve, the first leak detection gas is supplied into the work. Further, the valve control device is
By opening the valve, the second leak detection gas from the gas supply unit is supplied into the work. Here, the first leak detection gas is stored between the first valve and the second valve, and therefore the structure for supplying a small amount of leak detection gas is simplified.

【0013】リーク検出用気体がヘリウムである場合
は、ヘリウムは分子が小さいためにリーク検出精度が向
上する。
When the leak detecting gas is helium, the helium has a small molecule, so that the leak detecting accuracy is improved.

【0014】[0014]

【実施例】図1に示すリーク検出装置1は、溶接終了後
のトルクコンバータTのリークを検出するための装置で
ある。リーク検出装置1は、主に、チャンバ2とヘリウ
ム供給系3とチャンバ排気系4とエア供給系5と駆動系
6と制御部7(図2)とガス検出器22とから構成され
ている。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A leak detecting device 1 shown in FIG. 1 is a device for detecting a leak of a torque converter T after welding is completed. The leak detection device 1 mainly includes a chamber 2, a helium supply system 3, a chamber exhaust system 4, an air supply system 5, a drive system 6, a controller 7 (FIG. 2), and a gas detector 22.

【0015】チャンバ2は、チャンバ2の上面及び側面
を形成する覆い皿部11と、チャンバ2の下面を構成す
る底板部12とから構成されている。底板部12は、覆
い皿部11の下部に当接してチャンバ2を形成するとと
もに、駆動系6(後述)により覆い皿部11に対して離
反可能である。なお、底板部12には、トルクコンバー
タTが載置される。
The chamber 2 is composed of a cover plate portion 11 forming the upper surface and side surfaces of the chamber 2 and a bottom plate portion 12 forming the lower surface of the chamber 2. The bottom plate portion 12 abuts the lower portion of the cover tray portion 11 to form the chamber 2, and can be separated from the cover tray portion 11 by a drive system 6 (described later). A torque converter T is placed on the bottom plate portion 12.

【0016】ヘリウム供給系3は、主に、ヘリウム供給
口13とガス供給器14とガス供給管15と第1バルブ
16と第2バルブ17とから構成されている。ヘリウム
供給口13は、覆い皿部11の中央部に設けられ、チャ
ンバ2内に配置されたトルクコンバータTの油圧取り入
れ口部分に密着するように配置されている。ガス供給器
14は、ヘリウムタンク等からなり、ガス供給管15を
介してヘリウム供給口13に接続されている。なお、ガ
ス供給管15には、ヘリウム供給口13側順番に第1バ
ルブ16と第2バルブ17とが配置されている。
The helium supply system 3 is mainly composed of a helium supply port 13, a gas supply device 14, a gas supply pipe 15, a first valve 16 and a second valve 17. The helium supply port 13 is provided in the central portion of the cover plate portion 11 and is arranged so as to be in close contact with the hydraulic pressure intake portion of the torque converter T arranged in the chamber 2. The gas supplier 14 is composed of a helium tank or the like, and is connected to the helium supply port 13 via a gas supply pipe 15. A first valve 16 and a second valve 17 are arranged in the gas supply pipe 15 in order of the helium supply port 13 side.

【0017】チャンバ排気系4は、主に、排気口18と
真空ポンプ19と排気管20と排気バルブ21とから構
成されている。排気口18は、覆い皿部11の上部に設
けられている。真空ポンプ19は、排気管20を介して
排気口18に接続されている。排気管20には、排気口
18側から順番に排気バルブ21とガス検出器22とが
配置されている。ガス検出器22は、真空ポンプ19に
より排気される気体内におけるヘリウムを検出可能な装
置である。
The chamber exhaust system 4 is mainly composed of an exhaust port 18, a vacuum pump 19, an exhaust pipe 20 and an exhaust valve 21. The exhaust port 18 is provided in the upper part of the cover plate 11. The vacuum pump 19 is connected to the exhaust port 18 via an exhaust pipe 20. In the exhaust pipe 20, an exhaust valve 21 and a gas detector 22 are arranged in order from the exhaust port 18 side. The gas detector 22 is a device capable of detecting helium in the gas exhausted by the vacuum pump 19.

【0018】エア供給系5は、主に、エア供給口25と
エア供給器26とエア供給管27とエアバルブ28とか
ら構成されている。エア供給口25は、覆い皿部11の
側部に形成されている。エア供給器26は、例えば清浄
なエアが充填されたエアタンク等からなり、エア供給管
27を介してエア供給口25に接続されている。エア供
給管27には、エアバルブ28が設けられている。
The air supply system 5 is mainly composed of an air supply port 25, an air supply device 26, an air supply pipe 27 and an air valve 28. The air supply port 25 is formed on the side portion of the cover tray 11. The air supply device 26 is composed of, for example, an air tank filled with clean air, and is connected to the air supply port 25 via an air supply pipe 27. An air valve 28 is provided in the air supply pipe 27.

【0019】駆動系6について説明する。底板部12の
下部には支持部31が設けられている。支持部31に
は、駆動部32が接続されている。底板部12は、駆動
部32によって上下動及び側方への移動が可能である。
図2に示す制御部7は、例えばCPUやRAM,ROM
等の記憶装置からなるマイクロコンピュータを含む制御
装置であり、図2に示すように、ガス供給器14,第1
バルブ16,第2バルブ17,排気バルブ21,ガス検
出器22,真空ポンプ19,エア供給器26,エアバル
ブ28,駆動部32及び他の入出力装置に接続されてい
る。
The drive system 6 will be described. A support portion 31 is provided below the bottom plate portion 12. The drive unit 32 is connected to the support unit 31. The bottom plate portion 12 can be moved up and down and moved laterally by the drive portion 32.
The control unit 7 shown in FIG. 2 is, for example, a CPU, RAM, ROM
2 is a control device including a microcomputer including a storage device such as a gas supply device, a first gas supply device, and a first gas supply device.
The valve 16, the second valve 17, the exhaust valve 21, the gas detector 22, the vacuum pump 19, the air supplier 26, the air valve 28, the drive unit 32, and other input / output devices are connected.

【0020】図3に示す制御フローチャートを用いて、
制御部7の制御動作を説明する。ステップS1では、装
置全体の初期設定を行う。具体的には、第1バルブ1
6,排気バルブ21およびエアバルブ28を閉じて、第
2バルブ17を開く。また、RAMからなる記憶装置の
内容を初期化する。さらに、ガス供給器14,真空ポン
プ19及びエア供給器26を作動開始させる。ステップ
S2では、駆動部32を駆動して底板部12上に載置さ
れたトルクコンバータTをチャンバ2内に搬入する。こ
こでトルクコンバータT内を真空ポンプ19を用いて真
空引きする。
Using the control flow chart shown in FIG. 3,
The control operation of the control unit 7 will be described. In step S1, the entire device is initialized. Specifically, the first valve 1
6. The exhaust valve 21 and the air valve 28 are closed, and the second valve 17 is opened. Also, the contents of the storage device composed of RAM are initialized. Further, the gas supplier 14, the vacuum pump 19 and the air supplier 26 are activated. In step S2, the drive unit 32 is driven to carry the torque converter T placed on the bottom plate 12 into the chamber 2. Here, the inside of the torque converter T is evacuated using the vacuum pump 19.

【0021】ステップS3では、排気バルブ21を開い
てチャンバ2内の真空排気を開始する。ステップS4で
は、エアバルブ28を一定時間開いた後に閉じる。この
間に、エア供給器26から密封されたチャンバ2内に清
浄な空気が供給される。このため、チャンバ2内に残留
していたヘリウムが速やかに排気され、チャンバ2内の
ヘリウム残留レベルが低下する。
In step S3, the exhaust valve 21 is opened to start the vacuum exhaust of the chamber 2. In step S4, the air valve 28 is opened for a certain period of time and then closed. During this time, clean air is supplied from the air supplier 26 into the sealed chamber 2. Therefore, the helium remaining in the chamber 2 is quickly exhausted, and the residual level of helium in the chamber 2 is lowered.

【0022】ステップS5で第2バルブ17を閉じて、
ステップS6で第1バルブ16を開く。これにより、第
1バルブ16と第2バルブ17との間のガス供給管15
に溜まっていたヘリウムがヘリウム供給口13からトル
クコンバータT内に供給される。ここでは、あらかじめ
トルクコンバータT内を真空引きされているために、ヘ
リウムと空気との混合は生じにくい。
In step S5, the second valve 17 is closed,
In step S6, the first valve 16 is opened. As a result, the gas supply pipe 15 between the first valve 16 and the second valve 17
Helium accumulated in the torque converter T is supplied from the helium supply port 13 into the torque converter T. Here, since the inside of the torque converter T is evacuated in advance, mixing of helium and air is unlikely to occur.

【0023】ステップS7では、ガス検出器22を作動
させて、チャンバ2内のヘリウムの有無を調べる。な
お、このときトルクコンバータTに供給されたヘリウム
は少量であるために、トルクコンバータTのリーク箇所
が大きな場合にのみヘリウムはチャンバ2内に漏れてガ
ス検出器22によって検出される。このステップではヘ
リウムの有無を記憶し、ヘリウムが検出されなかった場
合はステップS8に移行し、ヘリウムが検出された場合
はステップS10に移行する。
In step S7, the gas detector 22 is operated to check whether or not helium is present in the chamber 2. At this time, since the amount of helium supplied to the torque converter T is small, helium leaks into the chamber 2 and is detected by the gas detector 22 only when the torque converter T has a large leak location. In this step, the presence or absence of helium is stored. If helium is not detected, the process proceeds to step S8, and if helium is detected, the process proceeds to step S10.

【0024】ステップS8では、第2バルブ17を開
く。すると、ガス供給器14からの大量のヘリウムがト
ルクコンバータT内に供給される。ステップS9では、
再びガス検出器22を作動させてヘリウムの有無を調べ
る。なお、このときトルクコンバータT内に作用する圧
は高いため、トルクコンバータTのリーク箇所が小さく
ても検出可能である。このステップでも、ヘリウムの有
無を記憶しておく。ステップS10では、排気バルブ2
1を閉じてチャンバ2内の真空排気を停止する。
In step S8, the second valve 17 is opened. Then, a large amount of helium from the gas supplier 14 is supplied into the torque converter T. In step S9,
The gas detector 22 is activated again to check for the presence of helium. Since the pressure acting on the torque converter T at this time is high, it is possible to detect even if the leak location of the torque converter T is small. Also in this step, the presence or absence of helium is stored. In step S10, the exhaust valve 2
1 is closed and the vacuum exhaust in the chamber 2 is stopped.

【0025】なお、ステップS7でヘリウムが検出され
なかった場合にはステップS8,9での処理をスキップ
するために、リーク箇所が大きなトルクコンバータTに
大量のヘリウムが供給されない。そのため、従来ではリ
ーク箇所が大きなトルクコンバータTの場合にチャンバ
2内に大量のヘリウムが漏れていたが、この実施例では
そのようなことは起こらない。
When helium is not detected in step S7, the processing in steps S8 and S9 is skipped, so that a large amount of helium is not supplied to the torque converter T having a large leak point. Therefore, a large amount of helium leaks into the chamber 2 in the case of the torque converter T having a large leak point in the related art, but such a situation does not occur in this embodiment.

【0026】ステップS11では、駆動部32を駆動し
て底板部12を下方に移動させてトルクコンバータTを
チャンバ2から搬出する。ステップS12では、ステッ
プS7およびステップS9で記憶された結果からトルク
コンバータTのリークの有無を判断する。両ステップS
7,S9の記憶された結果の両方がリーク無しの場合に
はステップS13に移行して、そこで駆動部32を駆動
してトルクコンバータTを良品置場に搬送する。ステッ
プS7,S9で記憶された結果の少なくとも一方にリー
ク有りが記憶されている場合は、ステップS14に移行
して第2バルブ17を開けて、ステップS15で駆動部
32を駆動してトルクコンバータTを不良品置場に搬送
する。ステップS13またはステップS15で搬送が終
了すると、ステップS16で記憶装置を初期化してか
ら、ステップS2に戻って次のトルクコンバータTのリ
ーク検出を行う。
In step S11, the drive portion 32 is driven to move the bottom plate portion 12 downward, and the torque converter T is carried out of the chamber 2. In step S12, it is determined whether or not there is a leak in the torque converter T from the results stored in steps S7 and S9. Both steps S
If both of the stored results of 7 and S9 indicate that there is no leak, the process proceeds to step S13, where the drive unit 32 is driven to convey the torque converter T to the good product storage. If at least one of the results stored in steps S7 and S9 indicates that there is a leak, the process proceeds to step S14, the second valve 17 is opened, and the drive unit 32 is driven to drive the torque converter T in step S15. Are transported to the defective product storage area. When the conveyance is completed in step S13 or step S15, the storage device is initialized in step S16, and then the process returns to step S2 to detect the leak of the next torque converter T.

【0027】なお、リーク検査終了後のトルクコンバー
タTからはヘリウムを回収する。このヘリウムは、空気
が混じっていないため再利用可能である。空気が混じっ
ていないのは、リーク検査前に予めトルクコンバータT
内を真空引きしていたからである。リーク検出用気体と
してヘリウムを用いることで、トルクコンバータTにお
けるリーク箇所が小さくても確実にリーク検出できる。
すなわち、ヘリウムは分子が小さいためにトルクコンバ
ータTから漏れやすい。また、ヘリウムは大気中に少な
いため、確実に検出される。
Helium is recovered from the torque converter T after the leak inspection is completed. This helium can be reused because it is not mixed with air. The air is not mixed in the torque converter T before the leak inspection.
This is because the inside was evacuated. By using helium as the leak detection gas, leak detection can be reliably performed even if the leak location in the torque converter T is small.
That is, since the molecule of helium is small, it easily leaks from the torque converter T. Moreover, since helium is small in the atmosphere, it is reliably detected.

【0028】さらに、ヘリウムを用いる利点としては、
ヘリウムは不活性であるためにトルクコンバータTやリ
ーク検出装置1または周辺の環境に悪影響を及ぼさな
い。以上に説明したように、トルクコンバータT内にヘ
リウムを供給する前に予めチャンバ2内のヘリウムの残
留レベルが低下しているために、ガス検出器22の検出
精度が高まる。また、少量のヘリウムを供給することで
トルクコンバータTの大リーク箇所を検出し、大リーク
箇所のあるトルクコンバータT内のヘリウム圧を高くし
ないことでチャンバ2内の残留ヘリウムレベルが高くな
るのを防止している。その結果、ステップS4における
エアの供給時間が短くなる。さらに、以上の2つの効果
が組合わさることにより、ガス検出器22におけるヘリ
ウム検出精度がさらに向上している。
Further, as an advantage of using helium,
Since helium is inactive, it does not adversely affect the torque converter T, the leak detection device 1, or the surrounding environment. As described above, since the residual level of helium in the chamber 2 is reduced in advance before supplying helium into the torque converter T, the detection accuracy of the gas detector 22 is increased. Further, by supplying a small amount of helium, a large leak point of the torque converter T is detected, and by not increasing the helium pressure in the torque converter T where the large leak point exists, the residual helium level in the chamber 2 is increased. To prevent. As a result, the air supply time in step S4 is shortened. Furthermore, by combining the above two effects, the accuracy of helium detection in the gas detector 22 is further improved.

【0029】[0029]

【発明の効果】本発明においては、1回目のリーク検出
用気体を検出することでワークに大リーク箇所があるか
否かを判断できる。すなわち、1回目のリーク検出用気
体が検出されればワークに大リークの箇所があることに
なり、2回目のリーク検出用気体の供給及び検出を行わ
ない。その結果、チャンバ内に大量のリーク検出用気体
が漏れることはない。その結果、連続してワークのリー
ク検出を行った場合でも、常にチャンバ内のリーク検出
用気体の残留レベルが低下し、リーク検出精度が高く維
持される。
According to the present invention, it is possible to judge whether or not there is a large leak portion in the work by detecting the first leak detecting gas. That is, if the first leak detecting gas is detected, there is a large leak portion in the work, and the second leak detecting gas is not supplied and detected. As a result, a large amount of leak detection gas does not leak into the chamber. As a result, even when the leak detection of the work is continuously performed, the residual level of the leak detection gas in the chamber is constantly lowered, and the leak detection accuracy is maintained high.

【0030】リーク検出用気体供給装置が気体供給部と
気体供給管と第1バルブ及び第2バルブとバルブ制御装
置とを有している場合は、1回目のリーク検出用気体は
第1バルブと第2バルブとの間に溜められたものであ
り、そのため少量のリーク検出用気体を供給する構造が
簡単になる。リーク検出用気体がヘリウムである場合
は、ヘリウムは分子が小さいためにリーク検出精度が向
上する。
When the gas supply device for leak detection has a gas supply part, a gas supply pipe, a first valve, a second valve and a valve control device, the first gas for leak detection is the first valve. It is stored between the second valve and the second valve, so that the structure for supplying a small amount of leak detection gas is simplified. When the leak detection gas is helium, the molecule of helium is small, so the leak detection accuracy is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例としてのリーク検出装置の概
略構成図。
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a leak detection device as an embodiment of the present invention.

【図2】リーク検出装置の制御構成を示すブロック図。FIG. 2 is a block diagram showing a control configuration of a leak detection device.

【図3】リーク検出装置の制御部の制御動作を示すフロ
ーチャート。
FIG. 3 is a flowchart showing a control operation of a control unit of the leak detection device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 リーク検出装置 2 チャンバ 3 ヘリウム供給系 4 チャンバ排気系 5 エア供給系 22 ガス検出器 1 Leak Detector 2 Chamber 3 Helium Supply System 4 Chamber Exhaust System 5 Air Supply System 22 Gas Detector

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】ワークのリークを検出するためのリーク検
出装置であって、 前記ワークが内部に配置されるチャンバと、 前記チャンバ内を排気する排気装置と、 前記排気装置により排気された前記チャンバ内の気体か
らリーク検出用気体の有無を調べるリーク検出用気体検
出装置と、 1回目のリーク検出用気体を前記チャンバ内の前記ワー
ク内部に供給し、その結果前記リーク検出用気体検出装
置がリーク検出用気体を検出しなかった場合にのみ前記
1回目より多量の2回目のリーク検出用気体を前記ワー
ク内部に供給するリーク検出用気体供給装置と、を備え
たリーク検出装置。
1. A leak detection device for detecting a leak of a work, comprising a chamber in which the work is disposed, an exhaust device for exhausting the inside of the chamber, and the chamber exhausted by the exhaust device. A leak detection gas detection device for checking the presence or absence of leak detection gas from the gas inside, and a first leak detection gas is supplied to the inside of the work in the chamber, and as a result, the leak detection gas detection device leaks. A leak detection device comprising: a leak detection gas supply device that supplies a second leak detection gas in a larger amount than the first time to the inside of the work only when the detection gas is not detected.
【請求項2】前記リーク検出用気体供給装置は、気体供
給部と、前記気体供給部から前記チャンバ内に伸びる気
体供給管と、前記気体供給管の途中に前記チャンバ側か
ら順番に配置された第1バルブおよび第2バルブと、バ
ルブ制御装置とを有し、 前記バルブ制御装置は、 前記第1バルブを閉じて前記第2バルブを開けることで
前記両バルブの間の気体供給管に前記1回目のリーク検
出用気体を溜め、次に第1バルブを開けることで前記1
回目のリーク検出用気体を前記ワーク内部に供給させ、
さらに、 前記第2バルブを開けることで前記気体供給部からの前
記2回目のリーク検出用気体を前記ワーク内部に供給さ
せる、請求項1に記載のリーク検出装置。
2. The leak detecting gas supply device includes a gas supply unit, a gas supply pipe extending from the gas supply unit into the chamber, and a gas supply pipe disposed in the middle of the gas supply pipe in order from the chamber side. A first valve and a second valve, and a valve control device, wherein the valve control device closes the first valve and opens the second valve so that the gas supply pipe between the valves has the first valve. The gas for leak detection for the second time is stored, and then the first valve is opened.
The gas for leak detection for the second time is supplied to the inside of the work,
The leak detection device according to claim 1, further comprising opening the second valve to supply the second leak detection gas from the gas supply unit into the work.
【請求項3】前記両リーク検出用気体はヘリウムであ
る、請求項1または2に記載のリーク検出装置。
3. The leak detection device according to claim 1, wherein the leak detection gas is helium.
【請求項4】ワークのリークを検出するためのリーク検
出方法であって、 前記ワークをチャンバ内に搬入する搬入工程と、 前記搬入工程後に前記チャンバ内を排気する排気工程
と、 前記排気工程中に前記ワーク内部に1回目のリーク検出
用気体を供給する第1供給工程と、 排気された前記チャンバ内の気体から前記1回目のリー
ク検出用気体の有無を調べる第1検出工程と、 前記第1検出工程によって前記1回目のリーク検出用気
体が検出されなかった場合にのみ、前記ワーク内部に前
記1回目のリーク検出用気体より多量の2回目のリーク
検出用気体を供給する第2供給工程と、 排気された前記チャンバ内の気体から前記2回目のリー
ク検出用気体の有無を調べる第2検出工程と、を備えた
リーク検出方法。
4. A leak detection method for detecting a leak of a work, comprising: a carry-in step of carrying in the work into a chamber; an exhaust step of exhausting the inside of the chamber after the carry-in step; A first supply step of supplying a first leak detection gas into the workpiece, a first detection step of checking the presence or absence of the first leak detection gas from the exhausted gas in the chamber; The second supply step of supplying a larger amount of the second leak detection gas than the first leak detection gas into the workpiece only when the first leak detection gas is not detected in the first detection step. And a second detection step of checking the presence or absence of the second leak detection gas from the exhausted gas in the chamber.
【請求項5】前記両リーク検出用気体はヘリウムであ
る、請求項4に記載のリーク検出方法。
5. The leak detection method according to claim 4, wherein the both leak detection gases are helium.
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