JP3741373B2 - 容器の漏れ検査方法と装置 - Google Patents
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Description
と、容器または格納容器のうち内圧の低い側のオゾン濃度を測定するオゾン濃度検知機器55とを備え、オゾン濃度が所定の値をこえるときに容器にリークがあると判定するものである。
すなわち、オゾンガスの分子量は48であり、空気の分子量約29より大きいため、オゾンガスは空気より重く、容器の上部(例えば巻き締め部)で漏れたオゾンガスがその比重差で下方に流れ落ちる。従って、当然オゾンセンサは最下部に設置するが、オゾンガスの比重差による下降速度は非常に遅い(例えば約3cm/s程度)ため、ドラム缶のように容器が大型の場合、上部から漏れたオゾンガスが最下部のオゾンセンサに到達するのに数十秒必要となり、その分、検査時間が余分に必要となる問題点があった。
本体21は、この例ではOリング21a,21bで気密に連結された3つの部材からなる。この本体21は、中央部に上部が開口した凹部23を有し、上部から流入したガス(破線の矢印で示す)が、本体21の側部に設けられた出口穴21cを通って外部に流出するようになっている。
半導体ガスセンサ22は、凹部23の底部にオゾン検出部23aを上向きに設置されている。ガスガイド24は、この例では下方が細くなったテーパ管であり、凹部23内に設置され、半導体ガスセンサのオゾン検出部23aに循環下降流2を導くようになっている。
この構成により、ガス中に含まれるオゾンガスを常に安定して検出部23aに導くことができ、ガスの流れによる検出の不安定性をなくして常に安定した検出ができる。
この図から、ガスガイドがない場合には検出まで2〜3分間を要しており、ガスガイドがある場合には同一条件で約5secで検出している。従って、ガスガイドを設けることにより、オゾンガスを常に安定して検出部に導くことができ、ガスの流れによる検出の不安定性をなくして常に安定した検出を短時間でできることがわかる。
10 漏れ検査装置、12 減圧チャンバー、13 検査台、
14 減圧ポンプ、15 減圧ライン、15a 開閉弁、
16 ガス循環装置、16a 循環ブロア、
17 循環ガスライン、17a 電磁開閉弁、
18 空気供給装置、18a 空気源、18b 空気ライン、18c 空気供給弁、
20 オゾン検出器、21 本体、22 半導体ガスセンサ、
23 凹部、24 ガスガイド、30 制御装置
Claims (2)
- オゾンガスを封入した被検容器を気密に格納する減圧チャンバーと、該チャンバー内を減圧する減圧ポンプと、チャンバー内のガスを下方から吸引し上方に戻して容器の外側に循環下降流を形成するガス循環装置と、該循環下降流のオゾン濃度を検出するオゾン検出器と、を備え、
前記ガス循環装置は、吸引したガスをチャンバーの上方に戻す循環ガスラインを有し、
前記オゾン検出器は、チャンバー内と連通する凹部を有する本体と、前記凹部内に設置されオゾンを検出する半導体ガスセンサと、前記凹部内に設置され循環下降流を前記半導体ガスセンサのオゾン検出部の表面へ導くガスガイドとを有し、
該ガスガイドは、そのガス出口部から出たガスが、前記オゾン検出部の表面に当たってから該ガス出口部と前記半導体ガスセンサとの隙間を通るように配置され、
前記本体は、前記隙間を通ったガスを前記循環ガスライン側へ排出する出口穴を有する、
ことを特徴とする容器の漏れ検査装置。 - 前記チャンバー内に空気を供給して常圧に戻す空気供給装置を備える、ことを特徴とする請求項1に記載の容器の漏れ検査装置。
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JP2003273913A JP3741373B2 (ja) | 2003-07-14 | 2003-07-14 | 容器の漏れ検査方法と装置 |
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2003
- 2003-07-14 JP JP2003273913A patent/JP3741373B2/ja not_active Expired - Lifetime
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