JPH1038746A - ヘリウムリークディテクターによる薄物試験体の漏洩試験方法 - Google Patents
ヘリウムリークディテクターによる薄物試験体の漏洩試験方法Info
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- JPH1038746A JPH1038746A JP18926196A JP18926196A JPH1038746A JP H1038746 A JPH1038746 A JP H1038746A JP 18926196 A JP18926196 A JP 18926196A JP 18926196 A JP18926196 A JP 18926196A JP H1038746 A JPH1038746 A JP H1038746A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】薄物の試験体に変形をもたらさずに効率よく高
感度で行える漏洩試験の方法を提供すること 【解決手段】薄物試験体１１の内部を常圧のヘリウム雰
囲気としたのち、該試験体の外周を真空ポンプ６により
薄物試験体が変形しない程度の微真空圧とし、該外周の
雰囲気をヘリウムリークディテクター８へ導いて薄物試
験体の漏洩を試験する。該薄物試験体を、流量調整バル
ブ４を備えた気体導入管２と真空ポンプ６に連なる排気
管３とを設けた気密のチャンバー１内に納めて漏洩試験
する。薄物試験体に流量調整バルブを備えた気体導入管
と真空ポンプに連なる排気管を直接設け、薄物試験体を
常圧のヘリウム雰囲気の気密のフード１２内に納めて漏
洩試験する。
感度で行える漏洩試験の方法を提供すること 【解決手段】薄物試験体１１の内部を常圧のヘリウム雰
囲気としたのち、該試験体の外周を真空ポンプ６により
薄物試験体が変形しない程度の微真空圧とし、該外周の
雰囲気をヘリウムリークディテクター８へ導いて薄物試
験体の漏洩を試験する。該薄物試験体を、流量調整バル
ブ４を備えた気体導入管２と真空ポンプ６に連なる排気
管３とを設けた気密のチャンバー１内に納めて漏洩試験
する。薄物試験体に流量調整バルブを備えた気体導入管
と真空ポンプに連なる排気管を直接設け、薄物試験体を
常圧のヘリウム雰囲気の気密のフード１２内に納めて漏
洩試験する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ドラム缶や食品の
パッケージ袋等の圧力変化によって変形を生じる可能性
のある薄物の漏洩試験方法に関する。
パッケージ袋等の圧力変化によって変形を生じる可能性
のある薄物の漏洩試験方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の薄物の漏洩試験法として
水没法や石鹸水塗布法が知られている。また、微少な漏
洩を試験する方法として、試験体の内部又は周囲のいず
れか一方をヘリウムガス雰囲気とすると共に他方を真空
排気して真空雰囲気とし、試験体に漏洩があったときそ
の真空雰囲気に混入するヘリウムガスの有無をヘリウム
リークディテクターで検出する方法も知られている。該
ヘリウムリークディテクターは、真空中のガス分子をイ
オン化し、質量分析管によりヘリウムイオンのみを選別
してイオンコレクターに入射させ、イオン電流として真
空中に漏れるヘリウムガスを定量的に検出できる。
水没法や石鹸水塗布法が知られている。また、微少な漏
洩を試験する方法として、試験体の内部又は周囲のいず
れか一方をヘリウムガス雰囲気とすると共に他方を真空
排気して真空雰囲気とし、試験体に漏洩があったときそ
の真空雰囲気に混入するヘリウムガスの有無をヘリウム
リークディテクターで検出する方法も知られている。該
ヘリウムリークディテクターは、真空中のガス分子をイ
オン化し、質量分析管によりヘリウムイオンのみを選別
してイオンコレクターに入射させ、イオン電流として真
空中に漏れるヘリウムガスを定量的に検出できる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記の水没法は、およ
そ８．８×１０-4Ｐａ・ｍ3／ｓ程度のリーク量を試験
することを目安としており、水没させた試験体を例えば
１分間放置し、直径１ｍｍの水泡が出なければ良品とす
る試験方法であるが、実際には試験体を水没させたとき
水面が揺れ、水中を目視することが困難で、しかも水没
した際に試験体に付着した水泡が上昇するので漏洩が原
因の水泡との区別が判断できず、この水没法では実際は
１０-2Ｐａ・ｍ3／ｓ程度のリーク量の試験が限界であ
る。石鹸水塗布法では、試験体が汚れること及び漏洩箇
所を予測して石鹸水を塗布するので多数の試験体の試験
には不向きである。
そ８．８×１０-4Ｐａ・ｍ3／ｓ程度のリーク量を試験
することを目安としており、水没させた試験体を例えば
１分間放置し、直径１ｍｍの水泡が出なければ良品とす
る試験方法であるが、実際には試験体を水没させたとき
水面が揺れ、水中を目視することが困難で、しかも水没
した際に試験体に付着した水泡が上昇するので漏洩が原
因の水泡との区別が判断できず、この水没法では実際は
１０-2Ｐａ・ｍ3／ｓ程度のリーク量の試験が限界であ
る。石鹸水塗布法では、試験体が汚れること及び漏洩箇
所を予測して石鹸水を塗布するので多数の試験体の試験
には不向きである。
【０００４】また、ヘリウムリークディテクターはヘリ
ウムガスの分子が小さく僅かな隙間を通過するので感度
の高い漏洩試験を行えるが、この装置では試験体を真空
排気しなければならず、試験体が薄物である場合にはそ
の排気のために変形を生じて製品検査には適しない。薄
物試験体の内部をヘリウムガスによって加圧し、外部に
漏れてくるヘリウムガスをヘリウムリークディテクター
で検出するスニファー法という漏洩検査方法も知られて
いるが、漏洩箇所を特定するには適していても製造タク
トタイムに合わせて内容物を順次に充填しなければなら
ない食品包装容器等の漏洩検査には不向きである。
ウムガスの分子が小さく僅かな隙間を通過するので感度
の高い漏洩試験を行えるが、この装置では試験体を真空
排気しなければならず、試験体が薄物である場合にはそ
の排気のために変形を生じて製品検査には適しない。薄
物試験体の内部をヘリウムガスによって加圧し、外部に
漏れてくるヘリウムガスをヘリウムリークディテクター
で検出するスニファー法という漏洩検査方法も知られて
いるが、漏洩箇所を特定するには適していても製造タク
トタイムに合わせて内容物を順次に充填しなければなら
ない食品包装容器等の漏洩検査には不向きである。
【０００５】本発明は、薄物の試験体に変形をもたらさ
ずに効率よく高感度で行える漏洩試験の方法を提供する
ことを目的とするものである。
ずに効率よく高感度で行える漏洩試験の方法を提供する
ことを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明では、薄物試験体
の内部を常圧のヘリウム雰囲気としたのち、該薄物試験
体の外周を真空ポンプにより該薄物試験体が変形しない
程度の微真空圧とし、該外周の雰囲気をヘリウムリーク
ディテクターへ導いて該薄物試験体の漏洩を試験するこ
とにより、上記の目的を達成するようにした。該薄物試
験体の外周を微真空圧とするために、該薄物試験体を、
流量調整バルブを備えた気体導入管と真空ポンプに連な
る排気管とを設けた気密のチャンバー内に納め、該薄物
試験体が変形しない程度に該流量調整バルブで気体導入
管からの気体流入量を調整しながら排気管により排気
し、該排気管を流れる気体の一部をヘリウムリークディ
テクターへ導いて該薄物試験体の漏洩を試験することが
好ましい。また、薄物試験体に、流量調整バルブを備え
た気体導入管と真空ポンプに連なる排気管を設け、該薄
物試験体を常圧のヘリウム雰囲気の気密のフード内に納
め、該薄物試験体が変形しない程度に該流量調整バルブ
で気体導入管からの気体流入量を調整しながら排気管に
より排気し、該排気管を流れる気体の一部をヘリウムリ
ークディテクターへ導いて該薄物試験体の漏洩を試験す
ることによっても、上記の目的は達成できる。
の内部を常圧のヘリウム雰囲気としたのち、該薄物試験
体の外周を真空ポンプにより該薄物試験体が変形しない
程度の微真空圧とし、該外周の雰囲気をヘリウムリーク
ディテクターへ導いて該薄物試験体の漏洩を試験するこ
とにより、上記の目的を達成するようにした。該薄物試
験体の外周を微真空圧とするために、該薄物試験体を、
流量調整バルブを備えた気体導入管と真空ポンプに連な
る排気管とを設けた気密のチャンバー内に納め、該薄物
試験体が変形しない程度に該流量調整バルブで気体導入
管からの気体流入量を調整しながら排気管により排気
し、該排気管を流れる気体の一部をヘリウムリークディ
テクターへ導いて該薄物試験体の漏洩を試験することが
好ましい。また、薄物試験体に、流量調整バルブを備え
た気体導入管と真空ポンプに連なる排気管を設け、該薄
物試験体を常圧のヘリウム雰囲気の気密のフード内に納
め、該薄物試験体が変形しない程度に該流量調整バルブ
で気体導入管からの気体流入量を調整しながら排気管に
より排気し、該排気管を流れる気体の一部をヘリウムリ
ークディテクターへ導いて該薄物試験体の漏洩を試験す
ることによっても、上記の目的は達成できる。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
き説明すると、図１に於いて符号１は気体導入管２と排
気管３を備えた気密のチャンバーを示し、該気体導入管
２には大気中から該チャンバー１内へ導入する気体の量
を調整する流量調整バルブ４を設け、該排気管３にはテ
ストバルブ５と該チャンバー１内の気体を排気するため
のオイルミスト等が発生しないドライポンプの差動排気
用真空ポンプ６を接続した。該流量調整バルブ４は該チ
ャンバー１に設けた圧力計７により該チャンバー１内が
一定の設定圧力になるように制御される。また、該排気
管３のテストバルブ５と真空ポンプ６の間にヘリウムリ
ークディテクター８のガス導入口９を接続する。該ヘリ
ウムリークディテクター８は公知のもので、該ガス導入
口９から可変の導入バルブ１０を介して導入される少量
のガスをイオン化して質量分析管へ導き、所定のイオン
例えばヘリウムイオンを選択してイオンコレクターに入
射させ、該イオンコレクターに流れるイオン電流を検出
することにより、各種試験体の漏洩量を検知するもので
ある。該チャンバー１内には、本発明が漏洩試験の対象
とするドラム缶や食品のパッケージ袋等の薄物試験体１
１であってその内部に適当な濃度でヘリウムガスを混入
した気体を常圧に封入した薄物試験体１１が納められ
る。医薬品、食料品のパッケージを試験するときは、真
空ポンプ６として、オイルを使用しないドライポンプが
最適である。
き説明すると、図１に於いて符号１は気体導入管２と排
気管３を備えた気密のチャンバーを示し、該気体導入管
２には大気中から該チャンバー１内へ導入する気体の量
を調整する流量調整バルブ４を設け、該排気管３にはテ
ストバルブ５と該チャンバー１内の気体を排気するため
のオイルミスト等が発生しないドライポンプの差動排気
用真空ポンプ６を接続した。該流量調整バルブ４は該チ
ャンバー１に設けた圧力計７により該チャンバー１内が
一定の設定圧力になるように制御される。また、該排気
管３のテストバルブ５と真空ポンプ６の間にヘリウムリ
ークディテクター８のガス導入口９を接続する。該ヘリ
ウムリークディテクター８は公知のもので、該ガス導入
口９から可変の導入バルブ１０を介して導入される少量
のガスをイオン化して質量分析管へ導き、所定のイオン
例えばヘリウムイオンを選択してイオンコレクターに入
射させ、該イオンコレクターに流れるイオン電流を検出
することにより、各種試験体の漏洩量を検知するもので
ある。該チャンバー１内には、本発明が漏洩試験の対象
とするドラム缶や食品のパッケージ袋等の薄物試験体１
１であってその内部に適当な濃度でヘリウムガスを混入
した気体を常圧に封入した薄物試験体１１が納められ
る。医薬品、食料品のパッケージを試験するときは、真
空ポンプ６として、オイルを使用しないドライポンプが
最適である。
【０００８】該薄物試験体１１が例えば８００００Ｐａ
で変形してしまうようなものである場合、該真空ポンプ
６の有効排気速度が５Ｌ／ｍｉｎ(8.3×10-5ｍ3／ｓ)で
あるならば、該流量調整バルブ４を調整して気体導入管
２から６．６４Ｐａ・ｍ3／ｓの大気流量が得られるよ
うに設定すれば、該チャンバー１内は微真空圧になり該
試験体１１が圧力で変形することはない。そして該試験
体１１に漏洩箇所があった場合、その内部からヘリウム
ガスがチャンバー１内へ漏出し、排気管３及びポンプ６
を介して該気体導入管２からの気体と共に外部へ排出さ
れるが、排気管３の途中で排気の一部はヘリウムリーク
ディテクター８に導かれ、該試験体１１から漏れ出した
ヘリウムガスが検出される。該流量調整バルブ４は該チ
ャンバー１内の圧力が一定になるように圧力計７からの
信号により制御する。従来の加圧真空法やスニファー法
は真空排気するため排気時間が掛かるが、本発明の場合
は該チャンバー１内を微真空圧とするのでごくわずかな
時間ですみ、漏洩試験時間が大幅に短縮できる。
で変形してしまうようなものである場合、該真空ポンプ
６の有効排気速度が５Ｌ／ｍｉｎ(8.3×10-5ｍ3／ｓ)で
あるならば、該流量調整バルブ４を調整して気体導入管
２から６．６４Ｐａ・ｍ3／ｓの大気流量が得られるよ
うに設定すれば、該チャンバー１内は微真空圧になり該
試験体１１が圧力で変形することはない。そして該試験
体１１に漏洩箇所があった場合、その内部からヘリウム
ガスがチャンバー１内へ漏出し、排気管３及びポンプ６
を介して該気体導入管２からの気体と共に外部へ排出さ
れるが、排気管３の途中で排気の一部はヘリウムリーク
ディテクター８に導かれ、該試験体１１から漏れ出した
ヘリウムガスが検出される。該流量調整バルブ４は該チ
ャンバー１内の圧力が一定になるように圧力計７からの
信号により制御する。従来の加圧真空法やスニファー法
は真空排気するため排気時間が掛かるが、本発明の場合
は該チャンバー１内を微真空圧とするのでごくわずかな
時間ですみ、漏洩試験時間が大幅に短縮できる。
【０００９】尚、気体導入管２から大気を導入する代わ
りに窒素ガスを導入し、ヘリウムリークディテクター８
を窒素ガスを検出できるように設定すれば、大気中に含
有されている５ｐｐｍのヘリウムガスのバックグランド
の影響を受けない検出を行え、高感度の漏洩試験を行え
る。流量調整バルブ４の流量、真空ポンプ６の排気速
度、試験体１１に封入するヘリウムガスの濃度は、検出
する漏洩量、検出濃度によって適当に変更され、例えば
検出濃度を高くしたいときには、真空ポンプ６の排気速
度を落として流量調整バルブ４からの大気の導入を少な
くすることにより実質的にチャンバー１内のヘリウムガ
スの濃度を上げ、或いは試験体１１に封入するヘリウム
ガスの濃度を上げるようにする。また、漏洩検出時間を
短縮したいときには、検出濃度が許される範囲でポンプ
６の排気速度を上げればレスポンスを向上できる。
りに窒素ガスを導入し、ヘリウムリークディテクター８
を窒素ガスを検出できるように設定すれば、大気中に含
有されている５ｐｐｍのヘリウムガスのバックグランド
の影響を受けない検出を行え、高感度の漏洩試験を行え
る。流量調整バルブ４の流量、真空ポンプ６の排気速
度、試験体１１に封入するヘリウムガスの濃度は、検出
する漏洩量、検出濃度によって適当に変更され、例えば
検出濃度を高くしたいときには、真空ポンプ６の排気速
度を落として流量調整バルブ４からの大気の導入を少な
くすることにより実質的にチャンバー１内のヘリウムガ
スの濃度を上げ、或いは試験体１１に封入するヘリウム
ガスの濃度を上げるようにする。また、漏洩検出時間を
短縮したいときには、検出濃度が許される範囲でポンプ
６の排気速度を上げればレスポンスを向上できる。
【００１０】該漏洩試験体１１に、図２に示すように、
流量調整バルブ４を備えた気体導入管２と真空ポンプ６
に連なる排気管３を直接取り付けておき、該試験体１１
を常圧でヘリウム雰囲気の気密のフード１２内に納め、
前記と同様の手法で流量調整バルブ４で気体導入量を調
整しながら排気管３から排気すれば、該薄物試験体１１
を変形させずに漏洩試験を行える。この場合、該試験体
１１に漏洩箇所があると、フード１２内のヘリウムが該
試験体１１内に侵入し、該ディテクター８に於いて検出
される。この場合もヘリウムガスに代え窒素ガスとし、
該リークディテクター８を窒素ガス検出に設定すれば、
高感度の漏洩試験を行える。
流量調整バルブ４を備えた気体導入管２と真空ポンプ６
に連なる排気管３を直接取り付けておき、該試験体１１
を常圧でヘリウム雰囲気の気密のフード１２内に納め、
前記と同様の手法で流量調整バルブ４で気体導入量を調
整しながら排気管３から排気すれば、該薄物試験体１１
を変形させずに漏洩試験を行える。この場合、該試験体
１１に漏洩箇所があると、フード１２内のヘリウムが該
試験体１１内に侵入し、該ディテクター８に於いて検出
される。この場合もヘリウムガスに代え窒素ガスとし、
該リークディテクター８を窒素ガス検出に設定すれば、
高感度の漏洩試験を行える。
【００１１】
（実施例１）図１に示すチャンバー１内に、適当な濃度
の常圧のヘリウムガスを封入した８００００Ｐａで変形
する薄物試験体１１を納め、テストバルブ５を開いてド
ライポンプ６により差動排気した。該ドライポンプ６の
有効排気速度を５Ｌ／ｍｉｎとし、流量調整バルブ４は
気体導入管２から６．６４Ｐａ・ｍ3／ｓの大気流量が
得られるように設定した。該チャンバー１内は５×１０
4Ｐａの一定の微真空圧に維持されて該試験体１１に変
形は生じず、該ドライポンプ６を作動させてから３秒後
に試験体１１に漏洩が存在することをヘリウムリークデ
ィテクター８にて検出することができた。
の常圧のヘリウムガスを封入した８００００Ｐａで変形
する薄物試験体１１を納め、テストバルブ５を開いてド
ライポンプ６により差動排気した。該ドライポンプ６の
有効排気速度を５Ｌ／ｍｉｎとし、流量調整バルブ４は
気体導入管２から６．６４Ｐａ・ｍ3／ｓの大気流量が
得られるように設定した。該チャンバー１内は５×１０
4Ｐａの一定の微真空圧に維持されて該試験体１１に変
形は生じず、該ドライポンプ６を作動させてから３秒後
に試験体１１に漏洩が存在することをヘリウムリークデ
ィテクター８にて検出することができた。
【００１２】（実施例２）１０3Ｐａで変形するドラム
缶の薄物試験体１１に、流量調整バルブ４を備えた気体
導入管２とドライポンプ６に連なる排気管３を設け、該
薄物試験体を常圧のヘリウム雰囲気の気密の合成樹脂製
のフード１２内に納め、テストバルブ５を開いてドライ
ポンプ６により差動排気した。該ドライポンプ６の有効
排気速度を５Ｌ／ｍｉｎとし、流量調整バルブ４は気体
導入管２から６．６４Ｐａ・ｍ3／ｓの大気流量が得ら
れるように設定した。該チャンバー１内は１３２８Ｐａ
の一定の微真空圧に維持されて該試験体１１に変形は生
じず、該ドライポンプ６を作動させてから３秒後に試験
体１１に漏洩が存在することをヘリウムリークディテク
ター８にて検出することができた。
缶の薄物試験体１１に、流量調整バルブ４を備えた気体
導入管２とドライポンプ６に連なる排気管３を設け、該
薄物試験体を常圧のヘリウム雰囲気の気密の合成樹脂製
のフード１２内に納め、テストバルブ５を開いてドライ
ポンプ６により差動排気した。該ドライポンプ６の有効
排気速度を５Ｌ／ｍｉｎとし、流量調整バルブ４は気体
導入管２から６．６４Ｐａ・ｍ3／ｓの大気流量が得ら
れるように設定した。該チャンバー１内は１３２８Ｐａ
の一定の微真空圧に維持されて該試験体１１に変形は生
じず、該ドライポンプ６を作動させてから３秒後に試験
体１１に漏洩が存在することをヘリウムリークディテク
ター８にて検出することができた。
【００１３】
【発明の効果】以上のように本発明によるときは、薄物
試験体の内部を常圧のヘリウム雰囲気としたのち、該薄
物試験体の外周を真空ポンプにより該薄物試験体が変形
しない程度の微真空圧とし、該外周の雰囲気をヘリウム
リークディテクターへ導いて漏洩試験をするので、短時
間の排気で変形しやすい薄物試験体を変形することなく
漏洩試験でき、ガスの種類や濃度を変更することで高感
度の試験を行える効果があり、該試験体に直接流量調整
バルブを備えた気体導入管と真空ポンプに連なる排気管
とを設けて気密のフード内へ納め、該流量調整バルブで
気体導入管から該薄物試験体への気体流入量を調整しな
がら排気管により排気し、該排気管を流れる気体の一部
をヘリウムリークディテクターへ導いて該薄物試験体の
漏洩を試験することによっても該効果が得られる。
試験体の内部を常圧のヘリウム雰囲気としたのち、該薄
物試験体の外周を真空ポンプにより該薄物試験体が変形
しない程度の微真空圧とし、該外周の雰囲気をヘリウム
リークディテクターへ導いて漏洩試験をするので、短時
間の排気で変形しやすい薄物試験体を変形することなく
漏洩試験でき、ガスの種類や濃度を変更することで高感
度の試験を行える効果があり、該試験体に直接流量調整
バルブを備えた気体導入管と真空ポンプに連なる排気管
とを設けて気密のフード内へ納め、該流量調整バルブで
気体導入管から該薄物試験体への気体流入量を調整しな
がら排気管により排気し、該排気管を流れる気体の一部
をヘリウムリークディテクターへ導いて該薄物試験体の
漏洩を試験することによっても該効果が得られる。
【図１】本発明の請求項１、２の実施の形態の説明図
【図２】本発明の請求項３の実施の形態の説明図
１ チャンバー、２ 気体導入管、３ 排気管、４ 流
量調整バルブ、６ 真空ポンプ、８ ヘリウムリークデ
ィテクター、１１ 薄物試験体、１２ フード、
量調整バルブ、６ 真空ポンプ、８ ヘリウムリークデ
ィテクター、１１ 薄物試験体、１２ フード、
Claims (3)
- 【請求項１】薄物試験体の内部を常圧のヘリウム雰囲気
としたのち、該薄物試験体の外周を真空ポンプにより該
薄物試験体が変形しない程度の微真空圧とし、該外周の
雰囲気をヘリウムリークディテクターへ導いて該薄物試
験体の漏洩を試験することを特徴とするヘリウムリーク
ディテクターによる薄物試験体の漏洩試験方法。 - 【請求項２】内部を常圧のヘリウム雰囲気とした薄物試
験体を、流量調整バルブを備えた気体導入管と真空ポン
プに連なる排気管とを設けた気密のチャンバー内に納
め、該薄物試験体が変形しない程度に該流量調整バルブ
で気体導入管からの気体流入量を調整しながら排気管に
より排気し、該排気管を流れる気体の一部をヘリウムリ
ークディテクターへ導いて該薄物試験体の漏洩を試験す
ることを特徴とするヘリウムリークディテクターによる
薄物試験体の漏洩試験方法。 - 【請求項３】薄物試験体に、流量調整バルブを備えた気
体導入管と真空ポンプに連なる排気管を設け、該薄物試
験体を常圧のヘリウム雰囲気の気密のフード内に納め、
該薄物試験体が変形しない程度に該流量調整バルブで気
体導入管からの気体流入量を調整しながら排気管により
排気し、該排気管を流れる気体の一部をヘリウムリーク
ディテクターへ導いて該薄物試験体の漏洩を試験するこ
とを特徴とするヘリウムリークディテクターによる薄物
試験体の漏洩試験方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18926196A JP3701394B2 (ja) | 1996-07-18 | 1996-07-18 | ヘリウムリークディテクターによる薄物試験体の漏洩試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18926196A JP3701394B2 (ja) | 1996-07-18 | 1996-07-18 | ヘリウムリークディテクターによる薄物試験体の漏洩試験方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1038746A true JPH1038746A (ja) | 1998-02-13 |
| JP3701394B2 JP3701394B2 (ja) | 2005-09-28 |
Family
ID=16238351
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18926196A Expired - Lifetime JP3701394B2 (ja) | 1996-07-18 | 1996-07-18 | ヘリウムリークディテクターによる薄物試験体の漏洩試験方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3701394B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006284405A (ja) * | 2005-04-01 | 2006-10-19 | Gunze Ltd | 簡易負圧試験装置 |
| WO2011132365A1 (ja) * | 2010-04-22 | 2011-10-27 | 株式会社アルバック | 漏洩検知方法及び真空処理装置 |
| US8261594B2 (en) | 2009-11-19 | 2012-09-11 | Ulvac, Inc. | Leak detection system |
| JP2015042948A (ja) * | 2013-08-26 | 2015-03-05 | 高千穂精機株式会社 | 漏れ検査装置 |
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