KR950033456A - 누설 검사 방법 및 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 : 진공화가능한 테스트 체임버를 제공하는 단계와; 상기 체임버를 진공화시키기 위한 수단을 제공하는 단계와; 상기 체임버와 상기 진공화 수단을 연결하는 도관 수단을 제공하는 단계와; 상기 체임버와 상기 진공화 수단중에서 상기 체임버 가까이에는 제1밸브 수단을 제공하고 상기 진공화 수단 가까이에는 제2밸브 수단을 제공하여, 상기 도관수단을 통과하는 흐름을 제어하고 아울러 상기 제1밸브 수단가 상기 제2밸브 수단의 사이에 상기 도관 수단과 관련된 “봉입용적(trapped volume)”을 규정하는 단계와; 상기 제1밸브 수단을 폐쇄하고 상기 제2 밸브 수단을 개방하여 상기 “봉입용적”을 진공화시키는 단계와; 상기 제1밸브 수단과 상기 체임버의 중간에 위치된 제1지점과, 상기 제2밸브 수단과 상기 진공화 수단의 중간에 위치된 제2지점간의 압력차를 측정하기 위한 수단을 제공하는 단계와; 상기 제1 지점과 제2지점 사이의 압력차를 측정하고, 압력차 기준점을 결정하는 단계와; 상기 제2밸브 수단을 폐쇄하여 상기 “봉입용적”을 형성하는 단계와; 상기 제1밸브 수단을 개방하여, 상기 “봉입용적”과 상기 체임버를 연통시키는 단계와; 상기 제1지점과 제2지점 사이의 압력차를 측정하고, 그것을 상기 압력차 기준점과 비교하는 단계와; 상기 “봉입용적”과 상기 체임버의 연통이 이루어진 후, 상기 제1지점과 상기 제2지점사이의 압력차의 변화율을 측정하는 단계와; 상기 제2밸브 수단을 개방하여, 상기 체임버와 상기 도관 수단의 추가 진공화 및 퍼지를 허용하는 단계를 포함하는 제품누설 검사방법을 제공한다.

Description

누설 검사 방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
첨부 도면은 본 발명에 따른 누설 검출장치의 개략도로서, 일부는 단면으로 도시함.

Claims (9)

  1. 진공화가능한 테스트 체임버를 제공하는 단계와; 상기 체임버를 진공화시키기 위한 수단을 제공하는 단계와; 상기 체임버와 상기 진공화 수단을 연결하는 도관 수단을 제공하는 단계와; 상기 체임버와 상기 진공화 수단중에서 상기 체임버 가까이에는 제1 밸브 수단을 제공하고 상기 진공화 수단 가까이에는 제2 밸브 수단을 제공하여, 상기 도관수관을 통과하는 흐름을 제어하고 아울러 상기 제1 밸브 수단과 상기 제2 밸브 수단의 상이에 상기 도관 수단과 관련된 “봉입용적(trapped volume)”을 규정하는 단계와; 상기 제1밸브 수단을 폐쇄하고 상기 제2 밸브 수단을 개방하여 상기 “봉입용적”을 진공화시키는 단계와; 상기 제1 밸브 수단과 상기 체임버의 중간에 위치된 제1지점과, 상기 제2밸브 수단과 진공화 수단의 중간에 위치된 제2지점간의 압력차를 측정하기 위한 수단을 제공하는 단계와; 상기 제1지점과 제2지점 사이의 압력차를 측정하고, 압력차 기준점을 결정하는 단계와; 상기 제2밸브 수단을 폐쇄하여, 상기 “봉입용적”을 형성하는 단계와; 상기 제1밸브 수단을 개방하여, 상기 “봉입용적”과 상기 체임버를 연통시키는 단계와; 상기 제1지점과 제2지점 사이의 압력차를 측정하고, 그것을 상기 입력차 기준점과 비교하는 단계와; 상기 제1지점과 제2지점 사이의 압력차를 측정하고, 그것을 상기 압력차 기준점과 비교하는 단계와; 상기 “봉입용적”과 상치 체임버의 연통이 이루어진후, 상기 제1지점과 상기 제2지점사이의 압력차의 변화율을 측정하는 단계와; 상기 제2밸브 수단을 개방하여, 상기 체임버와 상기 도관 수단의 추가 진공화 및 퍼지를 허용하는 단계를 포함하는 제품누설 검사방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 “봉입용적”은 상기 테스트 체임버의 순수 용적의 0.5배 내지 2배인 제품누설 검사 방법.
  3. 제1항에 있어서, 열거된 순서로 순차적으로 수행되는 제품누설 검사방법.
  4. 상기 항중 어느 한 항에 따른 방법에 있어서, i) 상기 압력차 기준점과 상술한 압력차 변화율을 측정함에 의해서 상기 테스트 제품에 누설이 발생했는지를 확인할 수 있는 제1단계와; ⅱ) 상기 제1단계에서 검출되지 않은 누설이 있다면, 상기 테스트 체임버내에 존재하는 가스를 상기 도관을 통해 트레이서 가스 검출수단내로 이동시켜서 진공화되도록 함으로써 확인할 수 있는 제2의 선택적인 단계를 포함하는 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 트레이서 가스 검출수단은 질량 분석계인 방법.
  6. 상기 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 제2밸브 수단의 주변이나 그 내부에 가스의 추출수단이 배열되어 있는 방법.
  7. 상기 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 테스트 제품의 충전영역에 존재하는 트레이서 가스의 존재를 검출하기 위하여 추가 수단이 이용되는 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 추가 수단은 상기 트레이서 가스 검출수단과 관련된 분리된 탐침인 방법.
  9. 제1항 내지 제7항중 어느 한 항의 방법에 따라 제품의 누설을 검사하기 위한 장치로서, 상기 장치는 상기 제품을 수용하기 위한 진공화가능한 테스트 체임버를 포함하는 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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