JP2000046682A - ヘリウムリークテスト装置 - Google Patents
ヘリウムリークテスト装置Info
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- JP2000046682A JP2000046682A JP10216270A JP21627098A JP2000046682A JP 2000046682 A JP2000046682 A JP 2000046682A JP 10216270 A JP10216270 A JP 10216270A JP 21627098 A JP21627098 A JP 21627098A JP 2000046682 A JP2000046682 A JP 2000046682A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】被試験体にヘリウムを封入する際に大量のヘリ
ウムがリークして分析管のバックグラウン値を不当に上
昇させる不具合を解消する。 【解決手段】チャンバＣＨ内にセットした被試験体Ｗに
ヘリウムを封入するためのヘリウム導入手段１に、高圧
ヘリウムを導入する高圧ライン１１と低圧ヘリウムを導
入する低圧ライン１２とを選択切換可能に設けたので、
被試験体Ｗに先ず低圧のヘリウムを封入してリークテス
トした後、必要に応じ高圧のヘリウムを封入して再リー
クテストするという２段階のテストが可能となる。
ウムがリークして分析管のバックグラウン値を不当に上
昇させる不具合を解消する。 【解決手段】チャンバＣＨ内にセットした被試験体Ｗに
ヘリウムを封入するためのヘリウム導入手段１に、高圧
ヘリウムを導入する高圧ライン１１と低圧ヘリウムを導
入する低圧ライン１２とを選択切換可能に設けたので、
被試験体Ｗに先ず低圧のヘリウムを封入してリークテス
トした後、必要に応じ高圧のヘリウムを封入して再リー
クテストするという２段階のテストが可能となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、封止検査や密閉検
査などを行う際に利用されるヘリウムリークテスト装置
に関するものである。
査などを行う際に利用されるヘリウムリークテスト装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ヘリウムリークテスト装置は、一般に、
チャンバ内の被試験体にヘリウムを導入して封入するた
めのヘリウム導入手段と、チャンバ内を真空排気しその
際に被試験体から漏出するヘリウムを導いて検出するた
めのヘリウムリークディテクタとを備えている。図２は
その一例を示すもので、チャンバＣＨ内の被試験体Ｗに
対して、ヘリウム導入手段１は、レギュレータＲＥ１及
びバルブＨＨＶを介して高圧ヘリウム源１ａを接続した
構成からなり、ヘリウムリークディテクタＨＥＬＤは、
バルブＴＶを有するテストライン２を介してチャンバＣ
Ｈに接続されている。チャンバＣＨにはこのテストライ
ン２と並列に、チャンバＣＨ内を大気開放するためのバ
ルブＬＶ１を備えた大気開放ライン６も接続されてい
る。
チャンバ内の被試験体にヘリウムを導入して封入するた
めのヘリウム導入手段と、チャンバ内を真空排気しその
際に被試験体から漏出するヘリウムを導いて検出するた
めのヘリウムリークディテクタとを備えている。図２は
その一例を示すもので、チャンバＣＨ内の被試験体Ｗに
対して、ヘリウム導入手段１は、レギュレータＲＥ１及
びバルブＨＨＶを介して高圧ヘリウム源１ａを接続した
構成からなり、ヘリウムリークディテクタＨＥＬＤは、
バルブＴＶを有するテストライン２を介してチャンバＣ
Ｈに接続されている。チャンバＣＨにはこのテストライ
ン２と並列に、チャンバＣＨ内を大気開放するためのバ
ルブＬＶ１を備えた大気開放ライン６も接続されてい
る。
【０００３】一方、前記被試験体Ｗには、その内部を真
空排気するための油回転真空ポンプＲＰ及びバルブＲＶ
を備えた排気ライン３と、その内部を大気開放するため
のバルブＬＶ３を備えた大気開放ライン４と、その内部
を窒素で置換するためのバルブＬＶ２及び窒素源５ａを
備えたパージライン５とが並列に接続されている。この
ような構成におけるリークテストの手順は次による。当
初、ヘリウムリークディテクタＨＥＬＤと真空ポンプＲ
Ｐは起動完了し、各バルブＴＶ、ＨＨＶ、ＲＶ、ＬＶ
１、ＬＶ２、ＬＶ３は閉じている。先ず、バルブＲＶを
開にし、排気ライン３を介して被試験体Ｗを真空排気す
る。次に、バルブＲＶを閉め、バルブＨＨＶを開にして
被試験体Ｗに高圧ヘリウム源１ａからレギュレータＲＥ
１で圧力調整された高圧ヘリウムを導入する。被試験体
Ｗ内が所定圧力になればバルブＨＨＶを閉にし、ヘリウ
ムリークディテクタＨＥＬＤにてチャンバＣＨ内を真空
排気する。これにより、被試験体Ｗにヘリウムの漏出が
ある場合には、そのヘリウムがテストライン２に誘導さ
れ、ヘリウムリークディテクタＨＥＬＤはヘリウムの有
無または漏出量を計測する。計測終了後、バルブＬＶ１
を開にして大気開放ライン６によりチャンバＣＨを大気
開放し、しかる後、バルブＬＶ３を閉、バルブＲＶを開
として被試験体Ｗ内を真空排気し、最後にバルブＲＶを
閉、バルブＬＶ２を開とし、被試験体Ｗ内及びその周辺
ラインを窒素ガスによりパージする。以上の手順を経た
後、被試験体Ｗを取り替え、同様の手順により次のリー
クテストを開始する。
空排気するための油回転真空ポンプＲＰ及びバルブＲＶ
を備えた排気ライン３と、その内部を大気開放するため
のバルブＬＶ３を備えた大気開放ライン４と、その内部
を窒素で置換するためのバルブＬＶ２及び窒素源５ａを
備えたパージライン５とが並列に接続されている。この
ような構成におけるリークテストの手順は次による。当
初、ヘリウムリークディテクタＨＥＬＤと真空ポンプＲ
Ｐは起動完了し、各バルブＴＶ、ＨＨＶ、ＲＶ、ＬＶ
１、ＬＶ２、ＬＶ３は閉じている。先ず、バルブＲＶを
開にし、排気ライン３を介して被試験体Ｗを真空排気す
る。次に、バルブＲＶを閉め、バルブＨＨＶを開にして
被試験体Ｗに高圧ヘリウム源１ａからレギュレータＲＥ
１で圧力調整された高圧ヘリウムを導入する。被試験体
Ｗ内が所定圧力になればバルブＨＨＶを閉にし、ヘリウ
ムリークディテクタＨＥＬＤにてチャンバＣＨ内を真空
排気する。これにより、被試験体Ｗにヘリウムの漏出が
ある場合には、そのヘリウムがテストライン２に誘導さ
れ、ヘリウムリークディテクタＨＥＬＤはヘリウムの有
無または漏出量を計測する。計測終了後、バルブＬＶ１
を開にして大気開放ライン６によりチャンバＣＨを大気
開放し、しかる後、バルブＬＶ３を閉、バルブＲＶを開
として被試験体Ｗ内を真空排気し、最後にバルブＲＶを
閉、バルブＬＶ２を開とし、被試験体Ｗ内及びその周辺
ラインを窒素ガスによりパージする。以上の手順を経た
後、被試験体Ｗを取り替え、同様の手順により次のリー
クテストを開始する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、被試験体Ｗ
にヘリウムを封入する際、あまり高い圧力をかけると、
被試験体Ｗの漏れが大きい場合に、ヘリウムリークディ
テクタＨＥＬＤに大量のヘリウムが入ってしまい、ヘリ
ウムリークディテクタＨＥＬＤのバックグラウンド値が
不当に上昇してしまう。そして、一旦このような状態に
なると、バックグラウンド値が下がるまで待機する以外
になく、長時間に亘って次のリークテストを開始できな
い状況が生じていた。
にヘリウムを封入する際、あまり高い圧力をかけると、
被試験体Ｗの漏れが大きい場合に、ヘリウムリークディ
テクタＨＥＬＤに大量のヘリウムが入ってしまい、ヘリ
ウムリークディテクタＨＥＬＤのバックグラウンド値が
不当に上昇してしまう。そして、一旦このような状態に
なると、バックグラウンド値が下がるまで待機する以外
になく、長時間に亘って次のリークテストを開始できな
い状況が生じていた。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記の問題点を解決する
ために、本発明は、チャンバ内の被試験体にヘリウムを
導入して封入するためのヘリウム導入手段と、チャンバ
内を真空排気しその際に被試験体から漏出するヘリウム
を導いて検出するためのヘリウムリークディテクタとを
具備してなるものにおいて、前記ヘリウム導入手段に、
高圧ヘリウムを導入する高圧ラインと低圧ヘリウムを導
入する低圧ラインとを選択切換可能に設けたことを特徴
とする。
ために、本発明は、チャンバ内の被試験体にヘリウムを
導入して封入するためのヘリウム導入手段と、チャンバ
内を真空排気しその際に被試験体から漏出するヘリウム
を導いて検出するためのヘリウムリークディテクタとを
具備してなるものにおいて、前記ヘリウム導入手段に、
高圧ヘリウムを導入する高圧ラインと低圧ヘリウムを導
入する低圧ラインとを選択切換可能に設けたことを特徴
とする。
【０００６】このような構成のものであれば、予めリー
ク量が大きいことを想定して被試験体に先ず低圧のヘリ
ウムを封入してリークテストを行い、このときリーク量
が大きければそれでリークテストを完了できるし、リー
ク量がそれのみでは正確に測定できないほど少ない場合
に始めて、高圧のヘリウムを封入して再リークテストを
行うことができる。したがって、一律に高圧のヘリウム
を封入してリークテストを行う場合に比べて、分析管の
バックグラウンド値が不当に上昇する可能性を大巾に低
減することが可能となる。
ク量が大きいことを想定して被試験体に先ず低圧のヘリ
ウムを封入してリークテストを行い、このときリーク量
が大きければそれでリークテストを完了できるし、リー
ク量がそれのみでは正確に測定できないほど少ない場合
に始めて、高圧のヘリウムを封入して再リークテストを
行うことができる。したがって、一律に高圧のヘリウム
を封入してリークテストを行う場合に比べて、分析管の
バックグラウンド値が不当に上昇する可能性を大巾に低
減することが可能となる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例を、図を参照して説
明する。なお、図２と共通する部分には同一符号を付し
ている。このヘリウムリークディテクタは、図１に示す
ように、チャンバＣＨ内の被試験体Ｗにヘリウムを導入
して封入するためのヘリウム導入手段１と、チャンバＣ
Ｈ内を真空排気しその際に被試験体Ｗから漏出するヘリ
ウムを導いて検出するためのヘリウムリークディテクタ
ＨＥＬＤとを具備している。
明する。なお、図２と共通する部分には同一符号を付し
ている。このヘリウムリークディテクタは、図１に示す
ように、チャンバＣＨ内の被試験体Ｗにヘリウムを導入
して封入するためのヘリウム導入手段１と、チャンバＣ
Ｈ内を真空排気しその際に被試験体Ｗから漏出するヘリ
ウムを導いて検出するためのヘリウムリークディテクタ
ＨＥＬＤとを具備している。
【０００８】ヘリウム導入手段１は、被試験体Ｗにレギ
ュレータＲＥ１及びバルブＨＨＶを介して高圧ヘリウム
源１ａを接続した高圧ライン１１を主体として構成され
るとともに、前記レギュレータＲＥ１の下流から分岐さ
せてバルブＨＨＶと並行に補助レギュレータＲＥ２及び
バルブＬＨＶを有するバイパスラインＢを接続し、この
バイパスラインＢと前記レギュレータＲＥ１及び高圧ヘ
リウム源１ａとにより低圧ライン１２を選択的に形成し
得るようにしている。
ュレータＲＥ１及びバルブＨＨＶを介して高圧ヘリウム
源１ａを接続した高圧ライン１１を主体として構成され
るとともに、前記レギュレータＲＥ１の下流から分岐さ
せてバルブＨＨＶと並行に補助レギュレータＲＥ２及び
バルブＬＨＶを有するバイパスラインＢを接続し、この
バイパスラインＢと前記レギュレータＲＥ１及び高圧ヘ
リウム源１ａとにより低圧ライン１２を選択的に形成し
得るようにしている。
【０００９】ヘリウムリークディテクタＨＥＬＤは、図
示しない分析管や真空ポンプを備え、ヘリウムのみを選
択してその量を測定し得るようにした通常のもので、バ
ルブＴＶを備えたテストライン２を介して前記チャンバ
ＣＨ内において被試験体Ｗから漏出したヘリウムを誘導
し得る部位に接続されている。チャンバＣＨにはこのテ
ストライン２と並列に、チャンバＣＨ内を大気開放する
ためのバルブＬＶ１を備えた大気開放ライン６も備えて
いる。
示しない分析管や真空ポンプを備え、ヘリウムのみを選
択してその量を測定し得るようにした通常のもので、バ
ルブＴＶを備えたテストライン２を介して前記チャンバ
ＣＨ内において被試験体Ｗから漏出したヘリウムを誘導
し得る部位に接続されている。チャンバＣＨにはこのテ
ストライン２と並列に、チャンバＣＨ内を大気開放する
ためのバルブＬＶ１を備えた大気開放ライン６も備えて
いる。
【００１０】さらに、前記被試験体Ｗには、その内部を
真空排気するための油回転真空ポンプＲＰ及びバルブＲ
Ｖを備えた排気ライン３と、その内部を大気開放するた
めのバルブＬＶ３を備えた大気開放ライン４と、その内
部を窒素で置換するためのバルブＬＶ２及び窒素源５ａ
を備えたパージライン５とが並列に接続されている。次
に、本実施例におけるリークテストの手順について説明
する。当初、ヘリウムリークディテクタＨＥＬＤと真空
ポンプＲＰは起動完了し、各バルブＴＶ、ＨＨＶ、ＬＨ
Ｖ、ＲＶ、ＬＶ１、ＬＶ２、ＬＶ３は閉じている。高圧
用レギュレータＲＥ１は最終的に封入したい圧力（例え
ば３ＭＰａ）、低圧用レギュレータＲＥ２はこれを通過
したヘリウムが大気圧程度となるように設定しておく。
先ずバルブＲＶを開にし、油回転真空ポンプＲＰから排
気ライン３を介して被試験体Ｗ内を真空排気する。次
に、バルブＲＶを閉じ、バルブＬＨＶを開にして、先ず
低圧ライン１２により被試験体Ｗに低圧ヘリウムを導入
する。ヘリウムの封入が完了したら、バルブＴＶを開に
し、テストライン２を介してヘリウムリークディテクタ
ＨＥＬＤによりチャンバＣＨ内を真空排気する。このと
き、ヘリウムリークディテクタＨＥＬＤは被試験体Ｗか
ら漏出するヘリウムの有無またはその量を計測する。測
定値が予め定めた合否判定値より小さければバルブＬＨ
Ｖを閉にした後、バルブＨＨＶを開にし、今度は高圧ラ
イン１１により被試験体Ｗに高圧ヘリウムを導入し、引
き続きヘリウムリークディテクタＨＥＬＤでリーク量を
計測する。リークテスト終了後、チャンバＣＨ側はバル
ブＴＶを閉めた後、バルブＬＶ１を開け、大気開放す
る。また、ヘリウム導入ライン１はバルブＨＨＶを閉め
た後、バルブＬＶ３を開け、先ず被試験体Ｗ内を大気圧
に戻し、しかる後、バルブＬＶ３を閉、バルブＲＶを開
として被試験体Ｗ内を真空排気し、最後にバルブＲＶを
閉、バルブＬＶ２を開とし、被試験体Ｗ内及びその周辺
ラインを窒素ガスによりパージする。
真空排気するための油回転真空ポンプＲＰ及びバルブＲ
Ｖを備えた排気ライン３と、その内部を大気開放するた
めのバルブＬＶ３を備えた大気開放ライン４と、その内
部を窒素で置換するためのバルブＬＶ２及び窒素源５ａ
を備えたパージライン５とが並列に接続されている。次
に、本実施例におけるリークテストの手順について説明
する。当初、ヘリウムリークディテクタＨＥＬＤと真空
ポンプＲＰは起動完了し、各バルブＴＶ、ＨＨＶ、ＬＨ
Ｖ、ＲＶ、ＬＶ１、ＬＶ２、ＬＶ３は閉じている。高圧
用レギュレータＲＥ１は最終的に封入したい圧力（例え
ば３ＭＰａ）、低圧用レギュレータＲＥ２はこれを通過
したヘリウムが大気圧程度となるように設定しておく。
先ずバルブＲＶを開にし、油回転真空ポンプＲＰから排
気ライン３を介して被試験体Ｗ内を真空排気する。次
に、バルブＲＶを閉じ、バルブＬＨＶを開にして、先ず
低圧ライン１２により被試験体Ｗに低圧ヘリウムを導入
する。ヘリウムの封入が完了したら、バルブＴＶを開に
し、テストライン２を介してヘリウムリークディテクタ
ＨＥＬＤによりチャンバＣＨ内を真空排気する。このと
き、ヘリウムリークディテクタＨＥＬＤは被試験体Ｗか
ら漏出するヘリウムの有無またはその量を計測する。測
定値が予め定めた合否判定値より小さければバルブＬＨ
Ｖを閉にした後、バルブＨＨＶを開にし、今度は高圧ラ
イン１１により被試験体Ｗに高圧ヘリウムを導入し、引
き続きヘリウムリークディテクタＨＥＬＤでリーク量を
計測する。リークテスト終了後、チャンバＣＨ側はバル
ブＴＶを閉めた後、バルブＬＶ１を開け、大気開放す
る。また、ヘリウム導入ライン１はバルブＨＨＶを閉め
た後、バルブＬＶ３を開け、先ず被試験体Ｗ内を大気圧
に戻し、しかる後、バルブＬＶ３を閉、バルブＲＶを開
として被試験体Ｗ内を真空排気し、最後にバルブＲＶを
閉、バルブＬＶ２を開とし、被試験体Ｗ内及びその周辺
ラインを窒素ガスによりパージする。
【００１１】また、前記低圧ライン１２を使用して被試
験体Ｗに低圧ヘリウムを導入したときのリークテスト測
定値が合否判定値より大きければ、そこでリークテスト
は終了とし、チャンバＣＨ側はバルブＴＶを閉めた後、
バルブＬＶ１を開け、大気開放する。また、ヘリウム導
入ライン１はバルブＬＨＶを閉めた後、バルブＬＶ３を
開け、先被試験体Ｗ内を大気圧に戻し、しかる後、バル
ブＬＶ３を閉、バルブＲＶを開として被試験体Ｗ内を真
空排気し、最後にバルブＲＶを閉、バルブＬＶ２を開と
し、被試験体Ｗ内及びその周辺ラインを窒素ガスにより
パージする。
験体Ｗに低圧ヘリウムを導入したときのリークテスト測
定値が合否判定値より大きければ、そこでリークテスト
は終了とし、チャンバＣＨ側はバルブＴＶを閉めた後、
バルブＬＶ１を開け、大気開放する。また、ヘリウム導
入ライン１はバルブＬＨＶを閉めた後、バルブＬＶ３を
開け、先被試験体Ｗ内を大気圧に戻し、しかる後、バル
ブＬＶ３を閉、バルブＲＶを開として被試験体Ｗ内を真
空排気し、最後にバルブＲＶを閉、バルブＬＶ２を開と
し、被試験体Ｗ内及びその周辺ラインを窒素ガスにより
パージする。
【００１２】以上のようにしてなる本実施例のヘリウム
リークテスト装置は、予め被試験体Ｗからのリーク量が
大きいことを想定して被試験体Ｗに先ず低圧のヘリウム
を封入してリークテストを行い、このときリーク量が大
きければそれでリークテストを完了できるし、リーク量
がそれのみでは正確に測定できないほど少ない場合に始
めて、被試験体Ｗに高圧のヘリウムを封入して再リーク
テストを行うことができる。したがって、一律に高圧の
ヘリウムを封入してリークテストを行う従来手法に比べ
て、分析管のバックグラウンド値が不当に上昇する可能
性を大巾に低減し、待ち時間を必要とすることなく次々
に被試験体のリークテストを行ってリークテストに係る
効率を従来に比べて飛躍的に向上させることが可能とな
る。
リークテスト装置は、予め被試験体Ｗからのリーク量が
大きいことを想定して被試験体Ｗに先ず低圧のヘリウム
を封入してリークテストを行い、このときリーク量が大
きければそれでリークテストを完了できるし、リーク量
がそれのみでは正確に測定できないほど少ない場合に始
めて、被試験体Ｗに高圧のヘリウムを封入して再リーク
テストを行うことができる。したがって、一律に高圧の
ヘリウムを封入してリークテストを行う従来手法に比べ
て、分析管のバックグラウンド値が不当に上昇する可能
性を大巾に低減し、待ち時間を必要とすることなく次々
に被試験体のリークテストを行ってリークテストに係る
効率を従来に比べて飛躍的に向上させることが可能とな
る。
【００１３】なお、高圧ラインや低圧ラインを選択切換
可能とする構成を含めて、各部の具体的な構成は上述し
た実施例のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨
を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
可能とする構成を含めて、各部の具体的な構成は上述し
た実施例のみに限定されるものではなく、本発明の趣旨
を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。
【００１４】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明のヘリウ
ムリークテスト装置は、チャンバ内にセットした被試験
体にヘリウムを封入するためのヘリウム導入手段に、高
圧ヘリウムを導入する高圧ラインと低圧ヘリウムを導入
する低圧ラインとを選択切換可能に設けて、被試験体に
先ず低圧のヘリウムを封入してリークテストした後、必
要に応じ高圧のヘリウムを封入して再リークテストする
ことができるようにしたものである。このため、被試験
体の漏れが大きい場合でもヘリウムリークディテクタに
大量のヘリウムが入ることを未然に防ぐことができ、バ
ックグラウンド上昇によるヘリウムリークディテクタの
測定不可状態の発生を無くして、リークテストの効率を
従来に比べて飛躍的に高めることが可能となる。
ムリークテスト装置は、チャンバ内にセットした被試験
体にヘリウムを封入するためのヘリウム導入手段に、高
圧ヘリウムを導入する高圧ラインと低圧ヘリウムを導入
する低圧ラインとを選択切換可能に設けて、被試験体に
先ず低圧のヘリウムを封入してリークテストした後、必
要に応じ高圧のヘリウムを封入して再リークテストする
ことができるようにしたものである。このため、被試験
体の漏れが大きい場合でもヘリウムリークディテクタに
大量のヘリウムが入ることを未然に防ぐことができ、バ
ックグラウンド上昇によるヘリウムリークディテクタの
測定不可状態の発生を無くして、リークテストの効率を
従来に比べて飛躍的に高めることが可能となる。
【図１】本発明の一実施例を示す模式的な構成図。
【図２】従来例を示す模式的な構成図。
１…ヘリウム導入手段 １１…高圧ライン １２…低圧ライン ＣＨ…チャンバ ＨＥＬＤ…ヘリウムリークディテクタ Ｗ…被試験体
Claims (1)
- 【請求項１】チャンバ内の被試験体にヘリウムを導入し
て封入するためのヘリウム導入手段と、チャンバ内を真
空排気しその際に被試験体から漏出するヘリウムを導い
て検出するためのヘリウムリークディテクタとを具備し
てなるものにおいて、前記ヘリウム導入手段に、高圧ヘ
リウムを導入する高圧ラインと低圧ヘリウムを導入する
低圧ラインとを選択切換可能に設けたことを特徴とする
ヘリウムリークテスト装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10216270A JP2000046682A (ja) | 1998-07-30 | 1998-07-30 | ヘリウムリークテスト装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10216270A JP2000046682A (ja) | 1998-07-30 | 1998-07-30 | ヘリウムリークテスト装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000046682A true JP2000046682A (ja) | 2000-02-18 |
Family
ID=16685924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10216270A Pending JP2000046682A (ja) | 1998-07-30 | 1998-07-30 | ヘリウムリークテスト装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000046682A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104006930A (zh) * | 2014-06-11 | 2014-08-27 | 沈阳航天新光集团有限公司 | 检漏试验台 |
| KR101613540B1 (ko) * | 2014-08-28 | 2016-04-19 | 한국가스안전공사 | 고압부품용 누수 시험장치 |
| JP2016080438A (ja) * | 2014-10-14 | 2016-05-16 | 日鉄住金ドラム株式会社 | 密閉型ドラム缶の気密検査方法及びそれに用いる気密検査装置 |
| KR102346161B1 (ko) * | 2021-03-15 | 2022-01-03 | (주)대하 | 가스탱크 기밀 시험장치 |
-
1998
- 1998-07-30 JP JP10216270A patent/JP2000046682A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104006930A (zh) * | 2014-06-11 | 2014-08-27 | 沈阳航天新光集团有限公司 | 检漏试验台 |
| KR101613540B1 (ko) * | 2014-08-28 | 2016-04-19 | 한국가스안전공사 | 고압부품용 누수 시험장치 |
| JP2016080438A (ja) * | 2014-10-14 | 2016-05-16 | 日鉄住金ドラム株式会社 | 密閉型ドラム缶の気密検査方法及びそれに用いる気密検査装置 |
| KR102346161B1 (ko) * | 2021-03-15 | 2022-01-03 | (주)대하 | 가스탱크 기밀 시험장치 |
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