JPH04233428A - ヘリウム漏れ検出器 - Google Patents
ヘリウム漏れ検出器Info
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- JPH04233428A JPH04233428A JP3226093A JP22609391A JPH04233428A JP H04233428 A JPH04233428 A JP H04233428A JP 3226093 A JP3226093 A JP 3226093A JP 22609391 A JP22609391 A JP 22609391A JP H04233428 A JPH04233428 A JP H04233428A
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/22—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
- G01M3/226—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators
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- Investigating Or Analyzing Non-Biological Materials By The Use Of Chemical Means (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はヘリウム漏れ検出器及び
かかる装置の使用方法に係る。
かかる装置の使用方法に係る。
【0002】
【従来の技術】部品又は容器の気密性を検査するための
ヘリウムを用いた漏れ検出器は公知である。かかるヘリ
ウム検出器は部品の気密性を検査するために以下のごと
く使用される。
ヘリウムを用いた漏れ検出器は公知である。かかるヘリ
ウム検出器は部品の気密性を検査するために以下のごと
く使用される。
【0003】・部品の1つ以外の全部の開口を閉鎖する
、 ・開いた状態の開口をヘリウム検出器に接続する、・部
品から空気を排除する、 ・トレーサガスとして使用するヘリウムによって部品を
掃引する、 ・検出器でヘリウムを検出することによって不測の亀裂
の所在を検出し、ヘリウム流量を測定することによって
亀裂の寸法を推定する。
、 ・開いた状態の開口をヘリウム検出器に接続する、・部
品から空気を排除する、 ・トレーサガスとして使用するヘリウムによって部品を
掃引する、 ・検出器でヘリウムを検出することによって不測の亀裂
の所在を検出し、ヘリウム流量を測定することによって
亀裂の寸法を推定する。
【0004】例えば集積回路から数百リッターのタンク
に及ぶ種々の寸法の部品の気密性を同一装置によって検
査することができるように、検出器は、感度、ヘリウム
の吸排速度、所謂「ヘリウム記憶」現象、及び、特にオ
イル蒸気による汚染、などに関するいくつかの要件を満
たす必要がある。
に及ぶ種々の寸法の部品の気密性を同一装置によって検
査することができるように、検出器は、感度、ヘリウム
の吸排速度、所謂「ヘリウム記憶」現象、及び、特にオ
イル蒸気による汚染、などに関するいくつかの要件を満
たす必要がある。
【0005】これらの要件を以下に順番に考察する。
【0006】a.感度
検出器は、10−1ミリバール・リットル/秒に至るか
なりの流量の窒素、水蒸気、オイル蒸気の存在下でも約
10−11 ミリバール・リットル/秒の低流量のヘリ
ウムを測定することが可能でなければならない。従って
検出器が、検査されるべき部品内部のヘリウム分圧、即
ち空気中のヘリウムの圧力を、上記の所望最小流量によ
って与えられる値よりも低い値まで速やかに低下させ得
ることが要求される。検出器は、また、例えば約100
ミリバール・リットル/秒のかなりの漏れに起因するヘ
リウム流量を測定できる必要がある。
なりの流量の窒素、水蒸気、オイル蒸気の存在下でも約
10−11 ミリバール・リットル/秒の低流量のヘリ
ウムを測定することが可能でなければならない。従って
検出器が、検査されるべき部品内部のヘリウム分圧、即
ち空気中のヘリウムの圧力を、上記の所望最小流量によ
って与えられる値よりも低い値まで速やかに低下させ得
ることが要求される。検出器は、また、例えば約100
ミリバール・リットル/秒のかなりの漏れに起因するヘ
リウム流量を測定できる必要がある。
【0007】b.ヘリウムの吸排速度
例えば容積200リットルの部品の気密性検査の際に、
電気信号を迅速に(即ち数秒以内に)供給できるように
、検出器が入力フランジで、例えば約20リットル/秒
の高い空気吸排速度及び高いヘリウム吸排速度を有して
いなければならない。
電気信号を迅速に(即ち数秒以内に)供給できるように
、検出器が入力フランジで、例えば約20リットル/秒
の高い空気吸排速度及び高いヘリウム吸排速度を有して
いなければならない。
【0008】c.ヘリウム記憶
多量の漏れを測定し、従ってかなりのヘリウム流量を測
定した検出器では、その構成部材(ポンプ、パイプなど
)の内部にヘリウム分子が残存しており、この残留ヘリ
ウム分子は、以後の測定で正しい測定値が得られること
を妨害し、実際よりも少ないヘリウム流量に対応する測
定値を与える。これを「ヘリウム記憶」現象と呼ぶ。 高感度検出器は、かかる現象を十分に防止できるように
なっていなければならない。
定した検出器では、その構成部材(ポンプ、パイプなど
)の内部にヘリウム分子が残存しており、この残留ヘリ
ウム分子は、以後の測定で正しい測定値が得られること
を妨害し、実際よりも少ないヘリウム流量に対応する測
定値を与える。これを「ヘリウム記憶」現象と呼ぶ。 高感度検出器は、かかる現象を十分に防止できるように
なっていなければならない。
【0009】d.オイル蒸気による汚染このような汚染
を防止するために、液体窒素トラップが長い間使用され
てきた。この技術は、工業利用の際に極度に厳しい制約
を伴うので、現在では使用されなくなっている。しかし
ながら、検出器及び被検査部品を内部的な原因(ベーン
ポンプ)又は外部的な原因で発生するオイル蒸気から保
護する必要性は残っている。
を防止するために、液体窒素トラップが長い間使用され
てきた。この技術は、工業利用の際に極度に厳しい制約
を伴うので、現在では使用されなくなっている。しかし
ながら、検出器及び被検査部品を内部的な原因(ベーン
ポンプ)又は外部的な原因で発生するオイル蒸気から保
護する必要性は残っている。
【0010】本発明の目的は、従来技術の検出器では果
たせなかった上記の技術的問題を解決し得る検出器を提
供することである。
たせなかった上記の技術的問題を解決し得る検出器を提
供することである。
【0011】従来技術の第1検出器を図1に概略的に示
す。
す。
【0012】参照符号Eは、被検査部品に接続される検
出器の入力を示す。検出器は、第1弁V1を介して入力
Eに接続された第1ベーンポンプP1と、液体窒素トラ
ップPAと第2弁V2とを介して入力Eに接続された拡
散ポンプD1とを有する。第2ベーンポンプP2は、ポ
ンプD1に対して一次ポンプ(低真空ポンプ)の機能を
果たす。分光計Cは液体窒素トラップPAに接続されて
いる。かかる検出器は、弁V1が閉じ弁V2が開いた状
態のときに高感度を与えるが、このためには、セルCに
おけるヘリウム吸排速度が低速でなければならない。従
って入力フランジEにおけるヘリウム吸排速度も低速で
なければならない。このような条件があるとき、分光計
において吸込み可能な最大空気流量は約10−3ミリバ
ール・リットル/秒に制限される。
出器の入力を示す。検出器は、第1弁V1を介して入力
Eに接続された第1ベーンポンプP1と、液体窒素トラ
ップPAと第2弁V2とを介して入力Eに接続された拡
散ポンプD1とを有する。第2ベーンポンプP2は、ポ
ンプD1に対して一次ポンプ(低真空ポンプ)の機能を
果たす。分光計Cは液体窒素トラップPAに接続されて
いる。かかる検出器は、弁V1が閉じ弁V2が開いた状
態のときに高感度を与えるが、このためには、セルCに
おけるヘリウム吸排速度が低速でなければならない。従
って入力フランジEにおけるヘリウム吸排速度も低速で
なければならない。このような条件があるとき、分光計
において吸込み可能な最大空気流量は約10−3ミリバ
ール・リットル/秒に制限される。
【0013】図2は図1の装置の変形を示す。液体窒素
トラップPAが削除され、分光計は拡散ポンプD1に接
続されている。この検出器は図1の検出器と同様の欠点
を有しており、更に、弁V2の開き、従ってEにおける
吸排速度が、被検査部品に由来する水蒸気の脱ガスによ
って制限されるので、その欠点が増幅される。図1の検
出器では液体窒素トラップが存在するので、このような
制限は存在しなかった。
トラップPAが削除され、分光計は拡散ポンプD1に接
続されている。この検出器は図1の検出器と同様の欠点
を有しており、更に、弁V2の開き、従ってEにおける
吸排速度が、被検査部品に由来する水蒸気の脱ガスによ
って制限されるので、その欠点が増幅される。図1の検
出器では液体窒素トラップが存在するので、このような
制限は存在しなかった。
【0014】図3は、「向流」として知られた技術を用
いた検出器を示す。検出器は、弁V1によって入力フラ
ンジEに接続されたベーンポンプP1と、ポンプP1と
弁V1とを接続するパイプに弁V2を介して接続された
分子ポンプT1とを有する。分光計は分子ポンプの低圧
部に接続されている。ヘリウムは、分子ポンプT1を通
過する流れと向流的にセルまで遡る。このため向流と呼
ばれるようになった。かかる装置の感度は、例えばポン
プP1の吸入口従って入力Eにおけるヘリウムの吸排速
度を小さくするという条件を満たせば、約10−11ミ
リバール・リットル/秒になり得る。
いた検出器を示す。検出器は、弁V1によって入力フラ
ンジEに接続されたベーンポンプP1と、ポンプP1と
弁V1とを接続するパイプに弁V2を介して接続された
分子ポンプT1とを有する。分光計は分子ポンプの低圧
部に接続されている。ヘリウムは、分子ポンプT1を通
過する流れと向流的にセルまで遡る。このため向流と呼
ばれるようになった。かかる装置の感度は、例えばポン
プP1の吸入口従って入力Eにおけるヘリウムの吸排速
度を小さくするという条件を満たせば、約10−11ミ
リバール・リットル/秒になり得る。
【0015】図4は従来技術の検出器の別の変形、特に
ALCATEL ASM151T2商品説明書に記載
の検出器を示す。この検出器は、弁V2及びV1のそれ
ぞれを介して検出器の入力フランジEに接続され、一次
ベーンポンプP1及びP2をそれぞれ備えた2つの分子
ポンプT1及びT2を含む。分光計Cは、弁V2と分子
ポンプT1との間に接続されている。この図の例では、
V1が閉じV2が開いているときに高感度を得ることが
でき、粗引き段階ではT2によって高い空気吸排速度を
得ることができるが、その他の場合にはEにおける高い
吸排速度と高感度との双方をT1によって得ることがで
きない。
ALCATEL ASM151T2商品説明書に記載
の検出器を示す。この検出器は、弁V2及びV1のそれ
ぞれを介して検出器の入力フランジEに接続され、一次
ベーンポンプP1及びP2をそれぞれ備えた2つの分子
ポンプT1及びT2を含む。分光計Cは、弁V2と分子
ポンプT1との間に接続されている。この図の例では、
V1が閉じV2が開いているときに高感度を得ることが
でき、粗引き段階ではT2によって高い空気吸排速度を
得ることができるが、その他の場合にはEにおける高い
吸排速度と高感度との双方をT1によって得ることがで
きない。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】従来技術のこれらの装
置は、高感度及び高吸排速度という矛盾すると思われる
2つの要件を両立させることができない。その理由は、
同一ポンプ(図1、図2、及び図4のD1及びT1、図
3のP1)が、Eにおいて高い吸排速度を得るためには
高い吸排速度を要し、高感度を得るためには低い吸排速
度を要するからである。
置は、高感度及び高吸排速度という矛盾すると思われる
2つの要件を両立させることができない。その理由は、
同一ポンプ(図1、図2、及び図4のD1及びT1、図
3のP1)が、Eにおいて高い吸排速度を得るためには
高い吸排速度を要し、高感度を得るためには低い吸排速
度を要するからである。
【0017】本発明の目的は、汎用型ヘリウム検出器、
即ち数百リッターに及ぶあらゆる工業用部品の検査に使
用でき、かなりの蒸気流量の存在下にも極めて微量のヘ
リウムの漏れを検出することが可能な検出器を提供する
ことである。
即ち数百リッターに及ぶあらゆる工業用部品の検査に使
用でき、かなりの蒸気流量の存在下にも極めて微量のヘ
リウムの漏れを検出することが可能な検出器を提供する
ことである。
【0018】本発明の検出器は更に、空気に対してもヘ
リウムと同様の高い吸排速度を有する、「ヘリウム記憶
」が少ない、窒素トラップが存在しないにもかかわらず
汚染から十分に保護される、などの利点を有する。
リウムと同様の高い吸排速度を有する、「ヘリウム記憶
」が少ない、窒素トラップが存在しないにもかかわらず
汚染から十分に保護される、などの利点を有する。
【0019】
【課題を解決するための手段】これらの目的は、低圧排
気口が検出器の入力に接続されており、高圧排気口が、
第1弁と第1の一次ポンプ(低真空ポンプ)とを含む粗
引きアセンブリに接続されるか、又は、低い圧縮比を有
する低い吸排速度の分子ポンプから成る第1選択フィル
タと高い圧縮比を有する低い吸排速度の分子ポンプから
成る第2選択フィルタとを含むヘリウム圧測定アセンブ
リに接続された高い吸排速度の第1の分子ポンプを含ん
でおり、前記第1及び第2のフィルタが第2弁の一端に
接続されており、この第2弁の他端が分子ポンプと第1
弁との間に接続されており、前記検出器が更に前記第2
弁に並列の第3選択フィルタを有しており、前記フィル
タが空気又は蒸気の通過を遮断してヘリウムを通過させ
るようにしたヘリウム漏れ検出器によって達成される。
気口が検出器の入力に接続されており、高圧排気口が、
第1弁と第1の一次ポンプ(低真空ポンプ)とを含む粗
引きアセンブリに接続されるか、又は、低い圧縮比を有
する低い吸排速度の分子ポンプから成る第1選択フィル
タと高い圧縮比を有する低い吸排速度の分子ポンプから
成る第2選択フィルタとを含むヘリウム圧測定アセンブ
リに接続された高い吸排速度の第1の分子ポンプを含ん
でおり、前記第1及び第2のフィルタが第2弁の一端に
接続されており、この第2弁の他端が分子ポンプと第1
弁との間に接続されており、前記検出器が更に前記第2
弁に並列の第3選択フィルタを有しており、前記フィル
タが空気又は蒸気の通過を遮断してヘリウムを通過させ
るようにしたヘリウム漏れ検出器によって達成される。
【0020】好ましくは、高い吸排速度の第1分子ポン
プが、ターボ分子ポンプ又はHolweckポンプであ
り、第1選択フィルタが、ターボ分子ポンプ又はHol
weckポンプであり、第2選択フィルタが、ターボ分
子ポンプ又はHolweckポンプである。
プが、ターボ分子ポンプ又はHolweckポンプであ
り、第1選択フィルタが、ターボ分子ポンプ又はHol
weckポンプであり、第2選択フィルタが、ターボ分
子ポンプ又はHolweckポンプである。
【0021】好ましくは、前記第3フィルタが、例えば
ポリアミドから成る膜である。
ポリアミドから成る膜である。
【0022】
【実施例】添付図面に示す本発明の実施例に関する以下
の記載より本発明が更に十分に理解されよう。
の記載より本発明が更に十分に理解されよう。
【0023】図1〜図4に関しては既に説明済みなので
ここでは繰返し説明しない。
ここでは繰返し説明しない。
【0024】図5では図1〜図4と同じ機能を果たす部
材を同じ参照符号で示す。参照符号Eは漏れ検出器の入
力フランジを示す。本発明の検出器を、実線矩形で囲ん
で示している。この検出器は、点線矩形で囲まれた粗引
きアセンブリ10と点線矩形で囲まれた測定アセンブリ
20とを含む。検出器の入力は弁V3を介して第1分子
ポンプTに接続されている。このポンプは2つの役割を
果たす。
材を同じ参照符号で示す。参照符号Eは漏れ検出器の入
力フランジを示す。本発明の検出器を、実線矩形で囲ん
で示している。この検出器は、点線矩形で囲まれた粗引
きアセンブリ10と点線矩形で囲まれた測定アセンブリ
20とを含む。検出器の入力は弁V3を介して第1分子
ポンプTに接続されている。このポンプは2つの役割を
果たす。
【0025】1.粗引き機能における役割ヘリウムを用
いた気密性検査の第1段階では、被検査部品から空気を
排除する。通常はこの操作がベーンポンプによって行な
われる。本発明では、ターボ分子ポンプ又はHolwe
ckポンプから成る分子ポンプTによって空気を排除す
る。ポンプTによって排除された空気は、弁V3を通過
した後で、弁V1とベーンポンプから成る一次ポンプP
1と圧力計mとを含む粗引きアセンブリ10に吸込まれ
る。
いた気密性検査の第1段階では、被検査部品から空気を
排除する。通常はこの操作がベーンポンプによって行な
われる。本発明では、ターボ分子ポンプ又はHolwe
ckポンプから成る分子ポンプTによって空気を排除す
る。ポンプTによって排除された空気は、弁V3を通過
した後で、弁V1とベーンポンプから成る一次ポンプP
1と圧力計mとを含む粗引きアセンブリ10に吸込まれ
る。
【0026】ポンプTは、被検査部品の空気を高速で排
除し得る高い吸排速度を有していなければならない(前
記要件b)。
除し得る高い吸排速度を有していなければならない(前
記要件b)。
【0027】ポンプTは、空気及び空気中のヘリウムに
対して低い到達圧力(10−5ミリバール)を有してい
なければならない(前記要件a)。
対して低い到達圧力(10−5ミリバール)を有してい
なければならない(前記要件a)。
【0028】ポンプTは最後に、ポンプP1のオイル蒸
気が被検査部品を汚染しないように高い圧縮比を有して
いなければならない(前記要件d)。
気が被検査部品を汚染しないように高い圧縮比を有して
いなければならない(前記要件d)。
【0029】2.測定機能における役割粗引き段階の終
わりに、被検査部品の圧力はポンプTによって強力に低
下させられている(1/1000ミリバール未満)。弁
V1を閉じる。検査の第2段階を開始する。ポンプTと
弁V1との間の点Aに一端が接続され2つの選択フィル
タF1及びF2の入力のそれぞれに他端Rが接続された
弁V2を開いてポンプTを測定アセンブリ20と連通さ
せる。
わりに、被検査部品の圧力はポンプTによって強力に低
下させられている(1/1000ミリバール未満)。弁
V1を閉じる。検査の第2段階を開始する。ポンプTと
弁V1との間の点Aに一端が接続され2つの選択フィル
タF1及びF2の入力のそれぞれに他端Rが接続された
弁V2を開いてポンプTを測定アセンブリ20と連通さ
せる。
【0030】フィルタF2は、一次ポンプP2によって
吸排される分子ポンプである。
吸排される分子ポンプである。
【0031】フィルタF1は、分光測定セルCに接続さ
れた向流形分子ポンプである。
れた向流形分子ポンプである。
【0032】その特性について後述する第3の選択フィ
ルタF3は弁V2に並列である。
ルタF3は弁V2に並列である。
【0033】弁V2を開くと、高い吸排速度でポンプT
から排出されたヘリウムがフィルタ機能を果たす分子ポ
ンプF2を通過し、次いでベーンポンプから成り得る一
次ポンプP2に吸引される。
から排出されたヘリウムがフィルタ機能を果たす分子ポ
ンプF2を通過し、次いでベーンポンプから成り得る一
次ポンプP2に吸引される。
【0034】ポンプF2はあまり高度な吸排性能を有す
る必要がない。その吸排速度は、ポンプP2の吸排速度
と等価でよい(ほぼ数リットル/秒);しかし、ポンプ
F2のヘリウム圧縮比K2は高い値(例えば約1000
)でなければならない。従って、その他のガス又は蒸気
に対しても同様の高い圧縮比を要する。このようにする
と、高いヘリウム流量(例えば0.1ミリバール・リッ
トル/秒)がポンプTによって吸引されてポンプP2に
達するとき、ポンプF2の圧縮比が高いので(前記要件
c)、ポンプP2からセルCに向かって生じる(該ポン
プに蓄積された)ヘリウムの逆拡散は減少する。圧縮比
K2が高い値であるため更に、ポンプP2がポンプP2
のオイル蒸気に対するフィルタの機能も果たし、該蒸気
が点Rに逆流し、そこからセルCに逆流することを阻止
する(前記要件c)。
る必要がない。その吸排速度は、ポンプP2の吸排速度
と等価でよい(ほぼ数リットル/秒);しかし、ポンプ
F2のヘリウム圧縮比K2は高い値(例えば約1000
)でなければならない。従って、その他のガス又は蒸気
に対しても同様の高い圧縮比を要する。このようにする
と、高いヘリウム流量(例えば0.1ミリバール・リッ
トル/秒)がポンプTによって吸引されてポンプP2に
達するとき、ポンプF2の圧縮比が高いので(前記要件
c)、ポンプP2からセルCに向かって生じる(該ポン
プに蓄積された)ヘリウムの逆拡散は減少する。圧縮比
K2が高い値であるため更に、ポンプP2がポンプP2
のオイル蒸気に対するフィルタの機能も果たし、該蒸気
が点Rに逆流し、そこからセルCに逆流することを阻止
する(前記要件c)。
【0035】フィルタF2は、高いヘリウム圧縮比を有
し汚染源とならない任意のポンプシステムから製造され
得る。任意の機械的分子ポンプを使用し得るが、特にH
olweckポンプが適当である。十分なヘリウム圧縮
比を有するが汚染現象を伴うオイル蒸気拡散ポンプの使
用は避ける。EからポンプP2に流れるヘリウムの量の
測定は、向流形分子ポンプであるフィルタF1と分光計
Cとを含むアセンブリから成る圧力計によってRにおけ
るヘリウム分圧を測定することによって行なう。
し汚染源とならない任意のポンプシステムから製造され
得る。任意の機械的分子ポンプを使用し得るが、特にH
olweckポンプが適当である。十分なヘリウム圧縮
比を有するが汚染現象を伴うオイル蒸気拡散ポンプの使
用は避ける。EからポンプP2に流れるヘリウムの量の
測定は、向流形分子ポンプであるフィルタF1と分光計
Cとを含むアセンブリから成る圧力計によってRにおけ
るヘリウム分圧を測定することによって行なう。
【0036】ポンプP2と同様に、ポンプF1もあまり
高度な吸排能力を有する必要がない(数リットル/秒で
十分である)。但しポンプP2と対照的に、Rにおける
ヘリウム圧力が圧縮比K1によってCにおいて過度に減
少しないように、ヘリウム圧縮比K1は小さい値(例え
ば約50)でなければならない(前記要件a)。
高度な吸排能力を有する必要がない(数リットル/秒で
十分である)。但しポンプP2と対照的に、Rにおける
ヘリウム圧力が圧縮比K1によってCにおいて過度に減
少しないように、ヘリウム圧縮比K1は小さい値(例え
ば約50)でなければならない(前記要件a)。
【0037】実際、下記の等式
(Cにおける圧力)=(Rにおける圧力)/K1が成立
する。
する。
【0038】ポンプF1は、ヘリウム圧縮比が小さい値
でありさえすれば、ポンプF2と同種のものでよい。H
olweck型機械的ポンプ又はターボ分子ポンプが適
当である。便利であるが汚染現象を伴うオイル蒸気拡散
ポンプの使用は避ける。
でありさえすれば、ポンプF2と同種のものでよい。H
olweck型機械的ポンプ又はターボ分子ポンプが適
当である。便利であるが汚染現象を伴うオイル蒸気拡散
ポンプの使用は避ける。
【0039】本発明の検出器の構想は、前記a〜dの問
題を解決し得る。入力の高い吸排速度と高感度との間に
従来存在していた矛盾は、性能を別々に処理することに
よって解消される。
題を解決し得る。入力の高い吸排速度と高感度との間に
従来存在していた矛盾は、性能を別々に処理することに
よって解消される。
【0040】入力の高い吸排速度は、ポンプTの高い吸
排速度によって得られる。
排速度によって得られる。
【0041】高感度は、ポンプF1が低い圧縮比を有し
ポンプF2が低い吸排速度を有することによって得られ
る。
ポンプF2が低い吸排速度を有することによって得られ
る。
【0042】高感度が得られる別の理由は、感度を配慮
した制約を免れたポンプTが高速動作できるので、入力
Eで空気及びヘリウムの圧力を急激に低下させることが
可能になったからである。
した制約を免れたポンプTが高速動作できるので、入力
Eで空気及びヘリウムの圧力を急激に低下させることが
可能になったからである。
【0043】このように設計された本発明の検出器は1
0−11 ミリバール・リットル/秒〜0.1ミリバー
ル・リットル/秒までの1010の範囲にわたるヘリウ
ム流量を検出し得る。
0−11 ミリバール・リットル/秒〜0.1ミリバー
ル・リットル/秒までの1010の範囲にわたるヘリウ
ム流量を検出し得る。
【0044】装置の「動作範囲」を更に拡張し1015
の範囲にわたる測定を可能にするために、ポンプTの排
出点Aに配置された圧力計mは、Aにおける圧力が0.
1ミリバール未満に低下しないときに弁V2が開くこと
を阻止する。このとき、弁V1は開いた状態に維持され
、弁2に並列な第3フィルタF3によって、Aにおける
ヘリウム圧力が測定され得る。このフィルタは、空気の
全圧が1000ミリバールのときに、同じ瞬間の10−
3ミリバールのヘリウム分圧を測定できる能力を有して
いなければならない。即ち、空気又は蒸気の通過を完全
に遮断してヘリウムを通過させることが可能でなければ
ならない。
の範囲にわたる測定を可能にするために、ポンプTの排
出点Aに配置された圧力計mは、Aにおける圧力が0.
1ミリバール未満に低下しないときに弁V2が開くこと
を阻止する。このとき、弁V1は開いた状態に維持され
、弁2に並列な第3フィルタF3によって、Aにおける
ヘリウム圧力が測定され得る。このフィルタは、空気の
全圧が1000ミリバールのときに、同じ瞬間の10−
3ミリバールのヘリウム分圧を測定できる能力を有して
いなければならない。即ち、空気又は蒸気の通過を完全
に遮断してヘリウムを通過させることが可能でなければ
ならない。
【0045】フィルタF3はポリアミド膜によって容易
に製造され得る。
に製造され得る。
【図1】従来技術のヘリウム検出器の1つの実施例の概
略図である。
略図である。
【図2】従来技術のヘリウム検出器の変形例の概略図で
ある。
ある。
【図3】従来技術のヘリウム検出器の別の変形例の概略
図である。
図である。
【図4】従来技術のヘリウム検出器の更に別の変形例の
概略図である。
概略図である。
【図5】本発明の検出器の実施例の概略図である。
10 粗引きアセンブリ
20 測定アセンブリ
C 分光測定セル
D1 ポンプ
E 入力
F1、F2、F3 フィルタ
P1、P2 ベーンポンプ
PA 液体窒素トラップ
T、T1 分子ポンプ
V1、V2、V3 弁
Claims (5)
- 【請求項1】 低圧排気口が検出器の入力に接続され
ており、高圧排気口が第1弁と第1の一次ポンプとを含
む粗引きアセンブリに接続されるか、又は低い圧縮比を
有する低い吸排速度の分子ポンプから成る第1選択フィ
ルタと高い圧縮比を有する低い吸排速度の分子ポンプか
ら成る第2選択フィルタとを含むヘリウム圧測定アセン
ブリに接続された高い吸排速度の第1分子ポンプを備え
ており、前記第1及び第2のフィルタが第2弁の一端に
接続されており、該第2弁の他端が前記分子ポンプと前
記第1弁との間に接続されており、前記検出器が更に前
記第2弁に並列である第3選択フィルタを有しており、
該第3選択フィルタが空気又は蒸気の通過を遮断してヘ
リウムを通過させるようにしたことを特徴とするヘリウ
ム漏れ検出器。 - 【請求項2】 高い吸排速度の前記第1分子ポンプが
、ターボ分子ポンプ又はHolweckポンプであるこ
とを特徴とする請求項1に記載の検出器。 - 【請求項3】 前記第1選択フィルタが、ターボ分子
ポンプ又はHolweckポンプであることを特徴とす
る請求項1又は2に記載の検出器。 - 【請求項4】 前記第2選択フィルタが、ターボ分子
ポンプ又はHolweckポンプであることを特徴とす
る請求項1から3のいずれか1項に記載の検出器。 - 【請求項5】 前記第3フィルタが、例えばポリアミ
ドから成る膜であることを特徴とする請求項1から4の
いずれか1項に記載の検出器。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR9011027A FR2666410B1 (fr) | 1990-09-05 | 1990-09-05 | Detecteur de fuite haut flux a trois filtres moleculaires. |
FR9011027 | 1990-09-05 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04233428A true JPH04233428A (ja) | 1992-08-21 |
Family
ID=9400095
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3226093A Pending JPH04233428A (ja) | 1990-09-05 | 1991-09-05 | ヘリウム漏れ検出器 |
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JP (1) | JPH04233428A (ja) |
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DE (1) | DE69103499T2 (ja) |
ES (1) | ES2062635T3 (ja) |
FR (1) | FR2666410B1 (ja) |
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DE4326267A1 (de) * | 1993-08-05 | 1995-02-09 | Leybold Ag | Lecksuchgerät |
DE4326265A1 (de) * | 1993-08-05 | 1995-02-09 | Leybold Ag | Testgasdetektor, vorzugsweise für Lecksuchgeräte, sowie Verfahren zum Betrieb eines Testgasdetektors dieser Art |
DE19846799A1 (de) * | 1998-10-10 | 2000-04-13 | Leybold Vakuum Gmbh | Verfahren zum Betrieb eines Folien-Lecksuchers sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Folien-Lecksucher |
FR2787192B1 (fr) * | 1998-12-10 | 2001-01-05 | Cit Alcatel | Vitesse variable sur le pompage primaire d'un detecteur de fuites par gaz traceur |
US6178700B1 (en) | 1999-07-23 | 2001-01-30 | Alabama Metal Industries Corporation | Door frame reinforcing structure |
DE10156205A1 (de) * | 2001-11-15 | 2003-06-05 | Inficon Gmbh | Testgaslecksuchgerät |
US7204127B2 (en) * | 2003-06-11 | 2007-04-17 | Varian, Inc. | Method and apparatus for large leak testing |
US7290439B2 (en) * | 2003-06-11 | 2007-11-06 | Varian, Inc. | Methods and apparatus for leak detection by the accumulation method |
DE102007043382A1 (de) * | 2007-09-12 | 2009-03-19 | Inficon Gmbh | Schnüffellecksucher |
DE102011107334B4 (de) | 2011-07-14 | 2023-03-16 | Leybold Gmbh | Lecksucheinrichtung sowie Verfahren zum Überprüfen von Gegenständen auf Dichtigkeit mittels einer Lecksucheinrichtung |
CN104330222A (zh) * | 2014-11-21 | 2015-02-04 | 山西新华化工有限责任公司 | 面具水下气密检测系统 |
CN109519407A (zh) * | 2018-12-06 | 2019-03-26 | 北京东方计量测试研究所 | 一种宽量程高精度分子泵压缩比测试装置及方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR1474137A (fr) * | 1966-02-08 | 1967-03-24 | Alcatel Sa | Détecteur de fuites à l'hélium aisément transportable |
US3591827A (en) * | 1967-11-29 | 1971-07-06 | Andar Iti Inc | Ion-pumped mass spectrometer leak detector apparatus and method and ion pump therefor |
US4472962A (en) * | 1981-08-03 | 1984-09-25 | Balzers Aktiengesellschaft | Low pressure leak detector |
US4499752A (en) * | 1983-06-22 | 1985-02-19 | Varian Associates, Inc. | Counterflow leak detector with cold trap |
US4583394A (en) * | 1984-08-07 | 1986-04-22 | Japan Atomic Energy Research Institute | Device and method for leak location |
US4618855A (en) * | 1984-12-14 | 1986-10-21 | Genelco, Inc. | Soil pollution monitoring system |
GB2190204B (en) * | 1986-05-09 | 1990-10-17 | Boc Group Plc | Improvement in leak detectors |
EP0283543B1 (de) * | 1987-03-27 | 1991-12-11 | Leybold Aktiengesellschaft | Lecksuchgerät und Betriebsverfahren dazu |
US4863496A (en) * | 1988-04-13 | 1989-09-05 | E. I. Du Pont De Nemours And Co. | Reactive posttreatment for gas separation membranes |
EP0344345B1 (de) * | 1988-06-01 | 1991-09-18 | Leybold Aktiengesellschaft | Pumpsystem für ein Lecksuchgerät |
FR2653558B1 (fr) * | 1989-10-23 | 1994-06-10 | Cit Alcatel | Systeme de detection de fuites a gaz traceur. |
US5010761A (en) * | 1990-03-01 | 1991-04-30 | Superior Industries International, Inc. | Automated leak detection apparatus and method therefor |
-
1990
- 1990-09-05 FR FR9011027A patent/FR2666410B1/fr not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-09-03 AT AT91114833T patent/ATE110168T1/de not_active IP Right Cessation
- 1991-09-03 ES ES91114833T patent/ES2062635T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1991-09-03 EP EP91114833A patent/EP0475246B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1991-09-03 DE DE69103499T patent/DE69103499T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-09-05 JP JP3226093A patent/JPH04233428A/ja active Pending
- 1991-09-05 US US07/755,243 patent/US5193380A/en not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
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US5193380A (en) | 1993-03-16 |
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DE69103499D1 (de) | 1994-09-22 |
FR2666410A1 (fr) | 1992-03-06 |
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