JP3124842B2 - ヘリウム漏れ検出器 - Google Patents
ヘリウム漏れ検出器Info
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- JP3124842B2 JP3124842B2 JP04254696A JP25469692A JP3124842B2 JP 3124842 B2 JP3124842 B2 JP 3124842B2 JP 04254696 A JP04254696 A JP 04254696A JP 25469692 A JP25469692 A JP 25469692A JP 3124842 B2 JP3124842 B2 JP 3124842B2
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- Japan
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- pump
- pressure
- detector
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- stages
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Rotary Pumps (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガス分析器と、Holwec
k タイプの段を少なくとも吐出し側に有する二次ポンプ
とを備え、且つ前記二次ポンプが、10-4mbarに少なくと
も等しい値に吸込み圧力を低下させることを可能にする
タイプであり、その吐出し圧力が、少なくとも２つの段
を有する乾式タイプの一次ポンプ群の吸込み限界圧力に
適合可能であるだけ十分に高いヘリウム漏れ検出器に係
わる。
k タイプの段を少なくとも吐出し側に有する二次ポンプ
とを備え、且つ前記二次ポンプが、10-4mbarに少なくと
も等しい値に吸込み圧力を低下させることを可能にする
タイプであり、その吐出し圧力が、少なくとも２つの段
を有する乾式タイプの一次ポンプ群の吸込み限界圧力に
適合可能であるだけ十分に高いヘリウム漏れ検出器に係
わる。
【０００２】
【従来の技術】このタイプの検出器は、オイルシールポ
ンプを全く必要とせず、且つ非常に厳密な真空を必要と
する用途に使用されることが可能であるが故に特に重要
である。同様にポンプ吸込みされる流れが弱い「ガス探
知(reniflage) 」タイプの機能の場合には低流量の乾式
ポンプで十分であり、このポンプは、オイルシールを有
するベーンポンプよりも軽くて小型であるという利点を
有する。更にこうしたポンプは、いずれの位置において
も容易に作動することが可能である。
ンプを全く必要とせず、且つ非常に厳密な真空を必要と
する用途に使用されることが可能であるが故に特に重要
である。同様にポンプ吸込みされる流れが弱い「ガス探
知(reniflage) 」タイプの機能の場合には低流量の乾式
ポンプで十分であり、このポンプは、オイルシールを有
するベーンポンプよりも軽くて小型であるという利点を
有する。更にこうしたポンプは、いずれの位置において
も容易に作動することが可能である。
【０００３】米国特許第 4 893 497号は、このタイプの
ヘリウム漏れ検出器を説明する。
ヘリウム漏れ検出器を説明する。
【０００４】この文献では、検査される容器に漏れが生
じた場合には、検出器内へのヘリウムの導入が、小さな
漏れに対する圧力が約40mbarである二次ポンプの吐出し
側において生じさせられる。これは、非常に弱い漏れに
対しての優れた感度を保証しない。更に、以前の容器検
査の際に漏れが確認された場合にその後の容器検査のた
めに検出器の脱汚染をするために、二次ポンプの吐出し
領域に従って同様に40mbarに、パージ弁(une vanne de
purge)を有する導管が備えられている。
じた場合には、検出器内へのヘリウムの導入が、小さな
漏れに対する圧力が約40mbarである二次ポンプの吐出し
側において生じさせられる。これは、非常に弱い漏れに
対しての優れた感度を保証しない。更に、以前の容器検
査の際に漏れが確認された場合にその後の容器検査のた
めに検出器の脱汚染をするために、二次ポンプの吐出し
領域に従って同様に40mbarに、パージ弁(une vanne de
purge)を有する導管が備えられている。
【０００５】この圧力レベルで行われる時には、このパ
ージは、二次ポンプの領域における検出器の迅速な清浄
化を保証しない。
ージは、二次ポンプの領域における検出器の迅速な清浄
化を保証しない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、非常
に優れた感度を保証し、さらに（最も重要なことではあ
るが）被検査容器に確認された漏れの結果として検出器
汚染が生じた場合には、検出器の非常に良好で迅速な回
復を可能にする、「ガス探知」タイプの機能に適用可能
な、上記で定義されたタイプの検出器を提案することで
ある。
に優れた感度を保証し、さらに（最も重要なことではあ
るが）被検査容器に確認された漏れの結果として検出器
汚染が生じた場合には、検出器の非常に良好で迅速な回
復を可能にする、「ガス探知」タイプの機能に適用可能
な、上記で定義されたタイプの検出器を提案することで
ある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】従って本発明は、ガス分
析器と、Holweck タイプの段を少なくともその吐出し側
に有する二次ポンプとを備えるヘリウム漏れ検出器を目
的とし、前記二次ポンプが、10-4mbarに少なくとも等し
い値に吸込み圧力を低下させることを可能にするタイプ
であり、その吐出し圧力が、少なくとも２つの段から構
成される乾式タイプの一次ポンプ群の吸込み圧力に適合
可能であるだけ十分に高く、更にこのヘリウム漏れ検出
器は、前記二次ポンプが、その流れの状態がそこでは分
子流である前記二次ポンプの１つの個所において採取装
置の低圧出口に接続され、ガス探知プローブ(une sonde
de reniflage)が前記採取装置の高圧側に接続され、前
記高圧側が更に前記一次ポンプ群の少なくとも２つの段
の間において前記一次ポンプ群に接続されていることに
よって特徴付けられる。
析器と、Holweck タイプの段を少なくともその吐出し側
に有する二次ポンプとを備えるヘリウム漏れ検出器を目
的とし、前記二次ポンプが、10-4mbarに少なくとも等し
い値に吸込み圧力を低下させることを可能にするタイプ
であり、その吐出し圧力が、少なくとも２つの段から構
成される乾式タイプの一次ポンプ群の吸込み圧力に適合
可能であるだけ十分に高く、更にこのヘリウム漏れ検出
器は、前記二次ポンプが、その流れの状態がそこでは分
子流である前記二次ポンプの１つの個所において採取装
置の低圧出口に接続され、ガス探知プローブ(une sonde
de reniflage)が前記採取装置の高圧側に接続され、前
記高圧側が更に前記一次ポンプ群の少なくとも２つの段
の間において前記一次ポンプ群に接続されていることに
よって特徴付けられる。
【０００８】
【実施例】以下では本発明の１つの実施例の説明が、添
付図面を参照して行われるだろう。
付図面を参照して行われるだろう。
【０００９】図１によればガス分析器１は、２つの段2
a、2bを有する二次ポンプ２に接続されており、少なく
とも吐出し側に位置した段2bはHolweck タイプの段であ
る。
a、2bを有する二次ポンプ２に接続されており、少なく
とも吐出し側に位置した段2bはHolweck タイプの段であ
る。
【００１０】この二次ポンプ２は、少なくとも10-4mbar
の真空をその吸込み側に達成することが可能であると同
時に、乾式タイプの一次ポンプ群３の吸込み圧力に適合
可能な圧力をその吐出し側に有する。この一次ポンプ群
３は、少なくとも２つの段3aと3bとを有する。
の真空をその吸込み側に達成することが可能であると同
時に、乾式タイプの一次ポンプ群３の吸込み圧力に適合
可能な圧力をその吐出し側に有する。この一次ポンプ群
３は、少なくとも２つの段3aと3bとを有する。
【００１１】図示された実施例では、段3aは、密封ハウ
ジング４内に収容された乾式ベーンポンプである。ここ
では段3bは、連続した２つの段3b1 と3b2 とで構成され
た膜ポンプから構成されている。
ジング４内に収容された乾式ベーンポンプである。ここ
では段3bは、連続した２つの段3b1 と3b2 とで構成され
た膜ポンプから構成されている。
【００１２】段3bは密封ハウジング４内で吸込みを行
い、乾式ベーンポンプ3aはハウジング４内で吐出しを行
う。
い、乾式ベーンポンプ3aはハウジング４内で吐出しを行
う。
【００１３】二次ポンプ２の吐出し圧力は、一次ポンプ
群３の吸込み圧力に適合した10mbar台である。乾式タイ
プの一次ポンプ群３は、例えば明細書導入部で取り上げ
た従来技術の文献に説明されるような他のタイプの乾式
ポンプから構成されてもよい。
群３の吸込み圧力に適合した10mbar台である。乾式タイ
プの一次ポンプ群３は、例えば明細書導入部で取り上げ
た従来技術の文献に説明されるような他のタイプの乾式
ポンプから構成されてもよい。
【００１４】本発明によるとこの検出器は、例えばニー
ドル弁又は（図示されるような）多孔膜8aを有する採取
装置８を備え、この採取装置の低圧側8bは、導管13によ
って、ポンプの流れ状態が分子流（例えば10-2mbar）で
ある二次ポンプ２の中間点21に接続されている。
ドル弁又は（図示されるような）多孔膜8aを有する採取
装置８を備え、この採取装置の低圧側8bは、導管13によ
って、ポンプの流れ状態が分子流（例えば10-2mbar）で
ある二次ポンプ２の中間点21に接続されている。
【００１５】ガス探知プローブ６は、一方において接続
導管７によって、多孔膜8aに関し高圧側8cにおいて採取
装置８に接続されている。
導管７によって、多孔膜8aに関し高圧側8cにおいて採取
装置８に接続されている。
【００１６】この区画8c内の圧力は、一次ポンプ群３の
段3bの吸込み圧力（例えば約50mbar）と同一である。
段3bの吸込み圧力（例えば約50mbar）と同一である。
【００１７】最後に採取装置８のこの高圧側8cは、一次
ポンプ群３の２つの段3aと3bとの間で、その一次ポンプ
群３に接続されている。
ポンプ群３の２つの段3aと3bとの間で、その一次ポンプ
群３に接続されている。
【００１８】圧力計９が、採取装置８を一次ポンプ群３
に接続する導管30に接続されている。この圧力計９は、
プローブ６の状態を検査し、更に特に、圧力の突発的な
低下を観察することによってそのプローブ６の閉塞を検
出することを可能にする。
に接続する導管30に接続されている。この圧力計９は、
プローブ６の状態を検査し、更に特に、圧力の突発的な
低下を観察することによってそのプローブ６の閉塞を検
出することを可能にする。
【００１９】採取装置８はその検出器自体内に配置さ
れ、従って導管13は非常に短い。プローブ６の接続導管
７は取り外し可能であり、導管７の取り外しは採取装置
８の遮断を与える。
れ、従って導管13は非常に短い。プローブ６の接続導管
７は取り外し可能であり、導管７の取り外しは採取装置
８の遮断を与える。
【００２０】従って、粘性流状態下でプローブ６によっ
て吸い込まれる流れは、採取装置８に非常に迅速に搬送
され、それによって比較的短い移動時間をもたらす。更
に、二次ポンプ２の前記中間点21に、即ちその流れ状態
が既に分子流である分析器１の比較的近くに採取装置８
を接続することは、非常に良好な感度をもたらすことを
可能にする。
て吸い込まれる流れは、採取装置８に非常に迅速に搬送
され、それによって比較的短い移動時間をもたらす。更
に、二次ポンプ２の前記中間点21に、即ちその流れ状態
が既に分子流である分析器１の比較的近くに採取装置８
を接続することは、非常に良好な感度をもたらすことを
可能にする。
【００２１】従ってこの設備は、非常に小さい漏れと大
きな漏れとの両方を測定することを可能にする。
きな漏れとの両方を測定することを可能にする。
【００２２】それから採取装置８の接続個所21によっ
て、この設備は、以前に点検された容器の漏れから結果
的に生じたヘリウムによる装置の汚染の後における卓越
した回復能力を有し、この回復は、自動的で連続的であ
り且つパージ処理は全く必要としない。
て、この設備は、以前に点検された容器の漏れから結果
的に生じたヘリウムによる装置の汚染の後における卓越
した回復能力を有し、この回復は、自動的で連続的であ
り且つパージ処理は全く必要としない。
【００２３】実際には、プローブがヘリウムをもはや吸
い込まずに空気を吸い込むと直ぐに、このことが、二次
ポンプの高圧部分（個所21の上流側）と一次ポンプ群３
の高圧部分との清浄化を確実にすると同時に、下流側に
集められたヘリウムが分光計１に向かって再上昇するこ
とを防止するスクリーンを構成する。
い込まずに空気を吸い込むと直ぐに、このことが、二次
ポンプの高圧部分（個所21の上流側）と一次ポンプ群３
の高圧部分との清浄化を確実にすると同時に、下流側に
集められたヘリウムが分光計１に向かって再上昇するこ
とを防止するスクリーンを構成する。
【００２４】従って、他の容器の新たな検査が非常に迅
速に行われ得る。
速に行われ得る。
【００２５】このことは実験によって確認されている。
実際に、接続導管７が漏れの後に取り外される（上記の
ように、この取り外しは採取装置８を自動的に遮断す
る）場合には、個所21の下流側に集められたヘリウム
が、プローブ６の取り外し以前に存在する空気流の清浄
化によって妨げられないが故に、分光計１におけるその
ヘリウム信号は再び増大する。これとは反対に以前の検
査中に漏れが無く、従ってその装置内にヘリウムが集ま
っていない場合には、プローブの取り外しは、その取り
外し以前には空気中のヘリウムの割合に対応していたヘ
リウム信号の僅かな低下を生じさせる。実際にはこの場
合には、プローブの取り外しは、その装置が行き止まり
までポンプ吸上げを行うことを引き起こし、空気中のヘ
リウム分圧に対応するヘリウム信号を下回るヘリウム信
号が認められる。
実際に、接続導管７が漏れの後に取り外される（上記の
ように、この取り外しは採取装置８を自動的に遮断す
る）場合には、個所21の下流側に集められたヘリウム
が、プローブ６の取り外し以前に存在する空気流の清浄
化によって妨げられないが故に、分光計１におけるその
ヘリウム信号は再び増大する。これとは反対に以前の検
査中に漏れが無く、従ってその装置内にヘリウムが集ま
っていない場合には、プローブの取り外しは、その取り
外し以前には空気中のヘリウムの割合に対応していたヘ
リウム信号の僅かな低下を生じさせる。実際にはこの場
合には、プローブの取り外しは、その装置が行き止まり
までポンプ吸上げを行うことを引き起こし、空気中のヘ
リウム分圧に対応するヘリウム信号を下回るヘリウム信
号が認められる。
【００２６】従って本発明による装置は、その途上で漏
れが検出された検査の後には卓越した回復を可能にする
ことが認められる。
れが検出された検査の後には卓越した回復を可能にする
ことが認められる。
【００２７】図２は、この設備で使用されることが好ま
しいような、２つの同中心の段を有するHolweck タイプ
のポンプ２の実施例の１つを示す。この実施例では、そ
のポンプは外側ケーシング10を有し、螺旋状の溝11が外
側ケーシング10の中に機械加工され、この溝11の深さ
は、吸込みオリフィス12からそのポンプ２の２つの段の
間に位置するスペース21にかけて減少する。図１の採取
装置８への接続を与える中間導管13がスペース21内に通
じている。
しいような、２つの同中心の段を有するHolweck タイプ
のポンプ２の実施例の１つを示す。この実施例では、そ
のポンプは外側ケーシング10を有し、螺旋状の溝11が外
側ケーシング10の中に機械加工され、この溝11の深さ
は、吸込みオリフィス12からそのポンプ２の２つの段の
間に位置するスペース21にかけて減少する。図１の採取
装置８への接続を与える中間導管13がスペース21内に通
じている。
【００２８】ポンプ２は、２つのステータ19と20との間
を高速で回転するロータ15を有する。ロータ15の一方の
面17とステータ19との間に位置した区域は、低圧ポンプ
段を構成し、該ロータ15の他方の面16とステータ20との
間に位置した区域は、高圧ポンプ段を構成する。ステー
タ20は、機械加工された螺旋状の溝18を含み、この溝18
の深さはスペース21から吐出し管14側へと減少する。
を高速で回転するロータ15を有する。ロータ15の一方の
面17とステータ19との間に位置した区域は、低圧ポンプ
段を構成し、該ロータ15の他方の面16とステータ20との
間に位置した区域は、高圧ポンプ段を構成する。ステー
タ20は、機械加工された螺旋状の溝18を含み、この溝18
の深さはスペース21から吐出し管14側へと減少する。
【図１】本発明によるヘリウム漏れ検出器を示すブロッ
ク図である。
ク図である。
【図２】本発明による検出器に使用されることが可能な
二次ポンプの軸方向断面図である。
二次ポンプの軸方向断面図である。
１ ガス分析器 ２ 二次ポンプ ３ 一次ポンプ群 ４ 密封ハウジング ６ ガス探知プローブ ７ 接続導管 ８ 採取装置 ９ 圧力計 10 外側ケーシング 11 螺旋状の溝 12 吸込みオリフィス 13 中間導管 15 ロータ 19、20 ステータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 米国特許4472962（ＵＳ，Ａ) 欧州特許出願公開437671（ＥＰ，Ａ １) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01M 3/20
Claims (2)
- 【請求項１】 ヘリウム漏れ検出器であって、ガス分析
器と、Holweck タイプの段を少なくとも吐出し側に有す
る二次ポンプとを備え、前記二次ポンプが、10-4mbarに
少なくとも等しい値に吸込み圧力を低下させることを可
能にするタイプであり、その吐出し圧力が、少なくとも
２つの段から構成される乾式タイプの一次ポンプ群の吸
込み圧力に適合可能であり、更に前記二次ポンプが、そ
の流れの状態がそこでは分子流である前記二次ポンプの
１つの個所において採取装置の低圧出口に接続され、ガ
ス探知プローブが前記採取装置の高圧側に接続され、前
記高圧側が更に前記一次ポンプ群の少なくとも２つの段
の間において前記一次ポンプに接続されていることを特
徴とする前記検出器。 - 【請求項２】 前記一次ポンプ群の前記第１の段が、密
封ハウジング内に収容された乾式ベーンポンプであっ
て、前記ベーンポンプが前記ハウジンク内に吐き出し、
前記一次ポンプ群の前記第２の段が、前記ハウジング内
で直接的に吸い込むことを特徴とする請求項１に記載の
検出器。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9111755A FR2681688B1 (fr) | 1991-09-24 | 1991-09-24 | Installation de detection de fuites de gaz utilisant la technique de reniflage. |
| FR9111755 | 1991-09-24 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05223681A JPH05223681A (ja) | 1993-08-31 |
| JP3124842B2 true JP3124842B2 (ja) | 2001-01-15 |
Family
ID=9417244
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04254696A Expired - Fee Related JP3124842B2 (ja) | 1991-09-24 | 1992-09-24 | ヘリウム漏れ検出器 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5341671A (ja) |
| EP (1) | EP0534825B1 (ja) |
| JP (1) | JP3124842B2 (ja) |
| AT (1) | ATE129569T1 (ja) |
| DE (1) | DE69205654T2 (ja) |
| DK (1) | DK0534825T3 (ja) |
| ES (1) | ES2078708T3 (ja) |
| FR (1) | FR2681688B1 (ja) |
Families Citing this family (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4228313A1 (de) * | 1992-08-26 | 1994-03-03 | Leybold Ag | Gegenstrom-Lecksucher mit Hochvakuumpumpe |
| US5733104A (en) * | 1992-12-24 | 1998-03-31 | Balzers-Pfeiffer Gmbh | Vacuum pump system |
| DE4343912A1 (de) * | 1993-12-22 | 1995-06-29 | Leybold Ag | Verfahren zum Betrieb eines mit einer Schnüffelleitung ausgerüsteten Testgaslecksuchers sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Testgaslecksucher |
| GB9403184D0 (en) * | 1994-02-18 | 1994-04-06 | Boc Group Plc | Methods and apparatus for leak testing |
| DE4442174A1 (de) * | 1994-11-26 | 1996-05-30 | Leybold Ag | Lecksuchgerät mit Vakuumpumpen und Betriebsverfahren dazu |
| FR2728072B1 (fr) * | 1994-12-07 | 1997-01-10 | Cit Alcatel | Detecteur de fuite |
| ES2192568T3 (es) * | 1994-12-23 | 2003-10-16 | Unaxis Balzers Ag | Procedimiento para el analisis de gases y analizador de gases. |
| DE19504278A1 (de) * | 1995-02-09 | 1996-08-14 | Leybold Ag | Testgas-Lecksuchgerät |
| FR2734633B1 (fr) * | 1995-05-24 | 1997-06-20 | Cit Alcatel | Installation pour detecter la presence d'helium dans un circuit de fluide |
| FR2761776B1 (fr) * | 1997-04-03 | 1999-07-23 | Alsthom Cge Alcatel | Detecteur de fuite a gaz traceur |
| FR2784184B1 (fr) | 1998-10-01 | 2000-12-15 | Cit Alcatel | Detecteur de fuite compact |
| DE10055057A1 (de) * | 2000-11-07 | 2002-05-08 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Leckdetektorpumpe |
| SE518522C2 (sv) * | 2001-03-21 | 2002-10-22 | Sensistor Ab | Metod och anordning vid täthetsprovning och läcksökning |
| DE10156205A1 (de) * | 2001-11-15 | 2003-06-05 | Inficon Gmbh | Testgaslecksuchgerät |
| US6679098B2 (en) * | 2002-02-25 | 2004-01-20 | Advanced Test Products, Inc. | High flow rate sample flow path assembly for electronic gas leak detectors |
| DE102004029637A1 (de) * | 2004-06-18 | 2006-01-05 | Inficon Gmbh | Lecksuchgerät mit Schnüffelsonde |
| GB0424198D0 (en) * | 2004-11-01 | 2004-12-01 | Boc Group Plc | Pumping arrangement |
| DE102005021909A1 (de) * | 2005-05-12 | 2006-11-16 | Inficon Gmbh | Schnüffellecksucher mit Quarzfenstersensor |
| DE102006056215A1 (de) * | 2006-11-29 | 2008-06-05 | Inficon Gmbh | Schnüffellecksuchgerät |
| DE102007035932A1 (de) * | 2007-07-31 | 2009-02-05 | Inficon Gmbh | Lecksuchgerät |
| DE102007043382A1 (de) * | 2007-09-12 | 2009-03-19 | Inficon Gmbh | Schnüffellecksucher |
| DE102009035332A1 (de) * | 2009-07-30 | 2011-02-03 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumpumpe |
| US9038441B2 (en) * | 2012-01-20 | 2015-05-26 | TLI Enterprises, Inc. | High speed helium leak detection system and method |
| DE102016114983A1 (de) * | 2016-08-12 | 2018-02-15 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Vakuumsystem |
| FR3069639B1 (fr) * | 2017-07-26 | 2019-08-30 | Pfeiffer Vacuum | Sonde de reniflage, detecteur de fuites et procede de detection de fuites |
| FR3070489B1 (fr) * | 2017-08-29 | 2020-10-23 | Pfeiffer Vacuum | Detecteur de fuites et procede de detection de fuites pour le controle de l'etancheite d'objets a tester |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2452699A1 (fr) * | 1979-03-28 | 1980-10-24 | Cit Alcatel | Dispositif de reniflage pour detecteur de fuites a helium a spectrometre de masse |
| ATE16217T1 (de) * | 1981-07-22 | 1985-11-15 | Cit Alcatel | Heliumleckdetektor. |
| FR2604522B1 (fr) * | 1986-09-26 | 1989-06-16 | Cit Alcatel | Installation de detection de fuite a gaz traceur et procede d'utilisation |
| EP0283543B1 (de) * | 1987-03-27 | 1991-12-11 | Leybold Aktiengesellschaft | Lecksuchgerät und Betriebsverfahren dazu |
| DE3865012D1 (de) * | 1988-06-01 | 1991-10-24 | Leybold Ag | Pumpsystem fuer ein lecksuchgeraet. |
| US4893497A (en) * | 1988-09-12 | 1990-01-16 | Philip Danielson | Leak detection system |
| FR2653558B1 (fr) * | 1989-10-23 | 1994-06-10 | Cit Alcatel | Systeme de detection de fuites a gaz traceur. |
| DE69016198T2 (de) * | 1990-07-06 | 1995-05-18 | Cit Alcatel | Zweite Stufe für mechanische Vakuumpumpeinheit und Lecküberwachungssystem zur Anwendung dieser Einheit. |
| FR2666410B1 (fr) * | 1990-09-05 | 1993-10-08 | Alcatel Cit | Detecteur de fuite haut flux a trois filtres moleculaires. |
-
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