FR2452699A1 - Dispositif de reniflage pour detecteur de fuites a helium a spectrometre de masse - Google Patents
Dispositif de reniflage pour detecteur de fuites a helium a spectrometre de masseInfo
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Abstract
L'INVENTION EST RELATIVE A UN DISPOSITIF DE RENIFLAGE POUR DETECTEUR DE FUITE A HELIUM DE TYPE A SPECTROMETRE DE MASSE COMPRENANT UN RENIFLEUR 2 RELIE PAR UNE CANALISATION SOUPLE 3 A LA CANALISATION D'ENTREE D'UN ANALYSEUR 1 SOUS VIDE COMPORTANT UNE POMPE A VIDE PRELIMINAIRE 18 A DEUX ETAGES, L'UN 8 A BASSE PRESSION RELIE A L'ANALYSEUR ET L'AUTRE 9 A HAUTE PRESSION RELIE A L'ATMOSPHERE. LE DISPOSITIF EST CARACTERISE EN CE QU'UNE CANALISATION AUXILIAIRE 11 RELIE LE RENIFLEUR A LA CANALISATION DE LIAISON 10 ENTRE LES DEUX ETAGES DE LA POMPE A VIDE PRELIMINAIRE. L'INVENTION S'APPLIQUE AU RENIFLAGE A GRANDE DISTANCE.
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