DE19846799A1 - Verfahren zum Betrieb eines Folien-Lecksuchers sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Folien-Lecksucher - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betrieb eines Folien-Lecksuchers (1), der zwei jeweils in einem Rahmen (3, 4) eingespannte Folien (5, 6) aufweist, die bei eingelegtem Prüfling (79) einen Testraum (80) begrenzen, und der mit zwei Vakuumpumpen (13, 30) ausgerüstet ist, bei welchem zunächst der Testraum (80) evakuiert und nach dem Evakuierbetrieb auf Lecksuchbetrieb umgeschaltet wird; um Testgasverseuchungen und Verschmutzungen zu vermeiden, wird vorgeschlagen, dass während der ersten Phase der Evakuierung des Testraumes (80) nur eine (13) der beiden Vakuumpumpen verwendet wird und dass während des Lecksuchbetriebs nur die zweite Vakuumpumpe (30) verwendet wird.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betrieb eines Folien-Lecksuchers, der zwei jeweils in einem Rahmen eingespannte Folien aufweist, die bei eingelegtem Prüf­ ling einen Testraum begrenzen, und der mit zwei Vakuum­ pumpen ausgerüstet ist, bei welchem zunächst der Testraum evakuiert und nach dem Evakuierbetrieb auf Lecksuchbetrieb umgeschaltet wird. Außerdem bezieht sich die Erfindung auf einen für die Durchführung des Verfahrens geeigneten Folien-Lecksucher.

Folien-Lecksucher der hier betroffenen Art sind aus der DE-A-196 42 099 bekannt.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Folien-Lecksucher der oben erwähnten Art derart zu betreiben und auszubilden, dass zu Fehlmessungen führende Verseuchungen und/oder Verschmutzungen vermie­ den werden.

Diese Aufgabe wird durch die in den Patentansprüchen enthaltenen Maßnahmen gelöst.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von in den Figuren dargestellten Ausführungsbei­ spielen erläutert werden. Es zeigt

Fig. 1 schematisch einen Folien-Lecksucher nach der Erfindung einschließlich seines Schalt­ schemas,

Fig. 2 einen Teilschnitt durch die Rahmen, in die die Folien eingespannt sind, und weitere De­ tails in Ansicht, sowie

Fig. 3 einen Schnitt durch eine lösbare Verbin­ dung eines an einer Folie befestigten An­ schlussstutzens mit einer weiterführenden Lei­ tung, und

Fig. 4 einen Prüfling mit einem Flickenleck.

Fig. 1 zeigt schematisch den Folien-Lecksucher 1 mit seinen beiden über das Gelenk 2 verbundenen Rahmen 3 und 4 sowie den darin eingespannten Folien 5 und 6. Die Rahmen 3 und 4 sind kreisförmig. Der untere Rahmen stützt sich auf dem Rand 7 eines tellerförmigen Bodens 8 - vorzugsweise aus Stahl - ab. Auf den Folien 5, 6 befindliche Vlies-Abschnitte 9 sichern die Bildung ei­ nes zusammenhängenden Testraumes bei eingelegtem Prüf­ ling. Der prinzipielle Aufbau eines Folien-Lecksuchers dieser Art ist im übrigen aus der DE-A-196 42 099 be­ kannt.

Der untere Rahmen 4 ist mit mehreren im einzelnen nicht dargestellten Bohrungen ausgerüstet, die in das Innere des Testraumes münden, der von den beiden Folien 5, 6 bei eingelegtem Prüfling gebildet wird. An diese Boh­ rungen sind die Leitungsabschnitte 10 angeschlossen, die über die gemeinsame Leitung 11 mit dem Ventil 12 mit der Vorvakuumpumpe 13 in Verbindung stehen. In Be­ zug auf das Ventil 12 stromaufwärts sind an die Leitung 11 noch das Druckmessgerät 14 und das Belüftungsventil 15 angeschlossen.

Die untere Folie 6 ist etwa in ihrer Mitte mit einem Leitungsanschluss 18 ausgerüstet, an die sich der Lei­ tungsabschnitt 19, der Filter 20 und die Leitung 21 mit dem Ventil 22 anschließen. Auch die Leitung 21 ist mit einem Druckmessgerät 23 und mit einem Belüftungsventil 24 ausgerüstet.

Der Abschnitt der Leitung 21, der sich zwischen dem An­ schluss des Druckmessgerätes 23 und dem Ventil 22 be­ findet, steht über zwei zueinander parallele Leitungen 26 und 27 mit einer Leitung 28 in Verbindung, die sich zwischen dem Testgasdetektor 29 und einer zweiten Vor­ vakuumpumpe 30 erstreckt. In der Leitung 26 befindet sich ein Drosselventil 32. Die Leitung 27 ist mit ei­ nem Ventil 33 ausgerüstet.

Die Vorvakuumpumpe 13 ist zweckmäßig einstufig, die Vorvakuumpumpe 30 zweistufig ausgebildet. Die Pumpe 30 ist mit einer Gasballast-Einrichtung ausgerüstet. Bei offenem Ventil 31 strömt Luft (oder auch Inertgas) in die Pumpe 30 ein.

Im Testgasdetektor 29 befindet sich eine Turbomoleku­ larvakuumpumpe 35, deren Auslass mit der Leitung 28 in Verbindung steht. An den Einlass der Turbomolekularva­ kuumpumpe ist ein Massenspektrometer 36 angeschlossen. Außerdem ist ein Druckmessgerät 37 Bestandteil des Leckdetektors 29, welches den Druck in der Leitung 28 misst.

Die beiden Leitungen 11 und 28 stehen in Bezug auf die Ventile 12 und 22 stromabwärts über eine Leitung 38 in Verbindung, in die auch die Leitung 21 mündet. In die­ ser Leitung 38 befinden sich zwischen der Mündung der Leitung 21 und der Leitung 28 die Ventile 41 und 42. In den zwischen den Ventilen 41 und 42 befindlichen Ab­ schnitt der Leitung 38 mündet eine Leitung 44, die mit einer Kupplung 45 in Verbindung steht. Die Kupplung 45 dient der Herstellung der Verbindung der Leitung 44 mit der Schnüffelleitung 47 eines Schnüfflers 48. Die mit 51 bezeichnete Schnüffelsonde des Schnüfflers 48 um­ fasst den Handgriff 52 und die Schnüffelspitze 53.

Für die Ablage der Schnüffelsonde ist ein Halter 54 vorgesehen. Dieser ist entweder am Folien-Lecksucher 1 befestigt oder als separater Ständer ausgebildet. Er weist einen Hohlraum 55 auf, der bei abgelegter Sonde 51 die Schnüffelspitze aufnimmt. Außerdem ist eine Dichtung 56 vorgesehen, die den Hohlraum 55 bei abge­ legter Sonde 51 gegenüber dem Handgriff 52 abdichtet. An den Hohlraum 55 schließt sich eine Leitung 57 an, die über eine Kupplung 58 mit einem im Gehäuse des Fo­ lien-Lecksuchers 1 untergebrachten Unterdruckschalter 59 in Verbindung steht. Als Schnüffelleitung 47 dient in bekannter Weise eine Kapillare (Durchmesser ca. 0,5 mm). Dieses gilt auch für die Leitung 57, damit sich der von der Schnüffelspitze 53 im Raum 55 erzeugte Un­ terdruck schnell auf den Unterdruckschalter 59 aus­ wirkt.

Im Folien-Lecksucher nach Fig. 1 läuft der Lecksuch­ zyklus automatisch ab. Zur Steuerung des Ablaufs ist die nur als Block 61 dargestellte Steuerzentrale vorge­ sehen. Mit ihr sind alle Messgeräte und alle zu steu­ ernden Bauteile verbunden. Dieses gilt auch für einen Schalter, der mit dem Schließen des Testraumes betätigt wird. Beim dargestellten Ausführungsbeispiel handelt es sich um einen Näherungsschalter, der einen am Rahmen 3 vorgesehenen Metallstift 62 und einen am Rahmen 4 ange­ ordneten Sensor 63 umfasst. Der Sensor 62 steht mit der steuerzentrale 2 in Verbindung. Auch andere Schalter, seien sie elektrisch, mechanisch oder optisch betrie­ ben, können zu diesem Zweck eingesetzt werden.

Die Vielzahl der elektrischen Verbindungsleitungen zwi­ schen der steuerzentrale 61 und den Bauteilen sind der Übersichtlichkeit halber nicht dargestellt. Mit der Steuer zentrale verbunden sind auch zwei Signallampen 64, 65, von denen eine grün, wenn ein Prüfling als dicht, und die andere rot aufleuchtet, wenn ein Prüf­ ling als undicht erkannt wird.

Beim betriebsbereiten Folien-Lecksucher 1 sind, wenn der Testraum - wie in Fig. 1 dargestellt - geöffnet bzw. der obere Rahmen 3 vom unteren Rahmen 4 abgehoben ist, sämtliche Ventile - bis auf das Ventil 41 - ge­ schlossen. Nach dem Auflegen eines Prüflings auf die untere Folie 6 und nach dem Auflegen des oberen Rahmens 3 auf den unteren Rahmen 4 löst der Näherungsschalter 62, 63 den Ablauf eines Lecksuchvorganges aus. Dazu wird zunächst geprüft, ob sich im System ein erhöhter Heliumuntergrund befindet, der Leckmessungen verfäl­ schen könnte. Dieses geschieht mit Hilfe des Massen­ spektrometers 36. Meldet es einen zu hohen Untergrund, wird das Ventil 31 geöffnet und die Pumpe 30 so lange mit Gasballast betrieben, bis der Heliumuntergrund ei­ nen unschädlichen Wert angenommen hat.

In der Regel ist ein erhöhter Helium-Untergrund nicht vorhanden, so dass mit dem Schließen des Testraumes auch der eigentliche Lecksuchzyklus beginnt. Zunächst werden die Ventile 12 und 22 geöffnet. Dieses hat eine äußerst schnelle Evakuierung des Raumes zwischen den Folien 5, 6 zur Folge. Außerhalb der Bereiche, in denen sich die Vlies-Abschnitte 9 befinden, bilden die sich unmittelbar berührenden Folien 5, 6 die Abdichtung des Testraumes.

Von Bedeutung ist, dass in der ersten Evakuierphase nur die Ventile 12 und 22 geöffnet sind. Nur in dieser er­ sten Phase geschieht es, dass die auf Lecks zu untersu­ chende Wandung/Verpackung des Prüflings einen Defekt erleiden, z. B. platzen könnte. Da in dieser Phase Ver­ bindungen zwischen dem Testraum und dem Leckdetektor geschlossen ist, besteht nicht die Gefahr einer Helium- Verseuchung oder einer Verschmutzung durch aus dem Prüfling austretendes Produkt.

Bei einem Druck von wenigen 100 mbar (100 bis 300 mbar) wird das Drosselventil 32 geöffnet. Es ist so bemessen, dass der notwendige Vorvakuumdruck der Turbomolekular­ vakuumpumpe 35 keine unzulässig hohen Werte annimmt. Mit dem Öffnen des Drosselventils 32 beginnt die Grob­ lecksuche. Strömt Helium durch das Drosselventil 32, gelangt es im Gegenstrom durch die Turbomolekularpumpe 35 zum Massenspektrometer 36. Wird Helium registriert, ist der Prüfling undicht; der Lecksuchzyklus wird abge­ brochen.

Für den Fall, dass Helium noch nicht registriert wird, wird der Evakuierprozess fortgesetzt. Erreicht der Druck einen mit dem Gerät 23 gemessenen Wert, der in der Größenordnung des Vorvakuumdruckes der Turbomoleku­ larpumpe 35 liegt, werden die Ventile 12, 22 und 32 ge­ schlossen und das Ventil 33 geöffnet. Es beginnt die Phase der empfindlichen Lecksuche. Diese wird abgebro­ chen, wenn entweder Testgas registriert wird, der Prüf­ ling also undicht ist, oder nach einer bestimmten Zeit. Entweder wird eine feste Zeitspanne vorgegeben oder es wird so lange geprüft, bis der Druck (gemessen mit dem Gerät 23) einen bestimmten Wert unterschreitet. Wird innerhalb dieser Zeit Testgas nicht registriert, lässt dieses Ergebnis auf einen dichten Prüfling schließen.

Während der empfindlichen Lecksuchphase stellen nur die Leitungen 19, 21 und 27 die Verbindung zwischen dem Testraum und dem Leckdetektor 29 dar. Ein Platzen des Prüflings ist nicht mehr zu erwarten. Im übrigen befin­ det sich zwischen den Leitungen 19 und 21 der Partikel­ filter 20, der jede Verunreinigung vom Leckdetektor 29 fernhält.

Die Beendigung des Lecksuchzyklus erfolgt in der Weise, dass alle bisher offenen Ventile - bis auf Ventil 41 - ge­ schlossen und die Ventile 15, 24 geöffnet werden. Der Testraum wird belüftet, der obere Rahmen 3 kann vom un­ teren Rahmen 4 abgehoben werden. Zweckmäßig ist es, wenn die beiden gelenkig miteinander verbundenen Rahmen 3, 4 im Bereich des Gelenks 2 unter der Wirkung einer nicht dargestellten Federeinrichtung stehen, deren Kraft ständig in Öffnungsrichtung wirkt. Ihre Kraft sollte so bemessen sein, dass das während der Lecksuche erzeugte Vakuum den Testraum geschlossen hält und dass der Rahmen 3 nach dem Belüftungsvorgang seine Offen­ stellung einnimmt.

Wird während der Leckprüfung festgestellt, dass ein Prüfling undicht ist, dann ist der Benutzer daran in­ teressiert, den Ort des Lecks kennenzulernen. Dazu ist der erfindungsgemäße Folienlecksucher mit einem Schnüffler 48 ausgerüstet. Dieser ist mit seiner Schnüffelleitung 47 über die Kupplung 45 an die Leitung 44 angeschlossen.

Solange der Schnüffler 48 nicht genutzt wird, ist er in einem Halter 54 abgelegt. Dieser Halter 54 ist mit den bereits beschriebenen Mitteln 55 bis 59 ausgerüstet, mit deren Hilfe die Steuerzentrale 61 erkennen kann, ob die Sonde 51 im Halter 54 abgelegt ist oder nicht. Auch andere Mittel - seien es mechanisch, elektrisch oder induktiv betätigte Schalter - können zu diesem Zweck verwendet werden.

Solange sich die Sonde 51 im Halter 54 befindet, wird - wie bereits erwähnt - das Ventil 41 offengehalten. Der Schnüffler befindet sich dadurch ständig im stand by. Erst dann, wenn er aus seinem Halter 54 herausgenommen wird, schließt das Ventil 41 und öffnet das Ventil 42. Der den Schnüffler 48 durchsetzende Gasstrom gelangt dadurch in die Leitung 28 und wird von der Pumpe 30 aufrechterhalten. In diesem Zustand ist die Schnüffel­ lecksuche möglich. Wird Helium von der Schnüffelspitze 53 aufgenommen, gelangt es im Gegenstrom durch die Tur­ bomolekularpumpe 35 zum Massenspektrometer 36.

Die Steuerzentrale 61 ist derart programmiert, dass es zu einer Umschaltung des Schnüfflers 48 von stand by auf Lecksuchbetrieb (Umschaltung der Ventile 41 und 42) nicht kommt, solange der Annäherungsschalter 62, 63 ge­ schlossen ist. Die gleichzeitige, zu Fehlmessungen füh­ rende Lecksuche über den Folien-Lecksucher 1 und über den Schnüffler 48 ist dadurch ausgeschlossen.

Bei der quantitativen Lecksuche interessiert den Besu­ cher in aller Regel die Leckrate eines aufgefundenen Lecks, gemessen in mbar 1/sec.

Bei der Untersuchung von mit hohen Stückzahlen herge­ stellten Prüflingen besteht jedoch auch ein Interesse daran, die Konzentration des Testgases im Prüfling zu messen. Dieses kann dadurch geschehen, dass die Schnüf­ felspitze 53 in den Prüfling eingestochen wird, oder dass der Prüfling mit einem definierten Leck versehen wird und im Folien-Lecksucher 1 ein Lecksuchzyklus aus­ geführt wird. Die Steuerzentrale ist deshalb so ausge­ bildet, dass auf einem nicht dargestellten Display so­ wohl die Leckrate als auch die Konzentration ablesbar ist.

Fig. 2 lässt den Aufbau der Rahmen 3 und 4 erkennen. Sie bestehen aus jeweils einem äußeren Ring 71 bzw. 72 und einem inneren Ring 73, 74. Zwischen den Ringpaaren sind die Folien 5, 6 befestigt, vorzugsweise geklebt. Die jeweils inneren Ringe befinden sich in zueinander korrespondierenden Aussparungen 75, 76. Die Aussparun­ gen sind derart angeordnet, dass die äußeren Ringe 71, 72 in ihren dem Testraum zugewandten Bereichen einander unmittelbar gegenüberliegen und dadurch die Ebenen der eingespannten Folien 5, 6 bestimmen. Im äußeren Bereich liegen die inneren Ringe 73, 74 einander unmittelbar gegenüber. Zwischen ihnen befindet sich eine Lippen­ dichtung 77. Die Folien 5, 6 erstrecken sich durch den winkelförmigen Spalt zwischen den jeweiligen Ringpaaren und sind damit vollflächig verklebt.

In Fig. 2 ist noch ersichtlich, dass die Folien 5, 6 bei einem dazwischen eingelegten Prüfling 79 einen Testraum 80 bilden. Die Vlies-Abschnitte 9 sichern die Bildung eines zusammenhängenden Testraumes 80.

Der Ring 72 des unteren Rahmens 4 stützt sich auf dem Rand 7 des tellerförmigen Bodens 8 ab und ist mit die­ sem verklebt (Klebeschicht 78). Dem oberen Rahmen 3 ist ein Träger zugeordnet, der von einem den Rahmen 3 von außen und teilweise von oben umfassendes Stahlprofil 81 gebildet wird. Der Rahmen 3 ist in axialer Richtung schwimmend am Stahlprofil 81 befestigt, so dass er nach seinem Absenken gleichmäßig dem gesamten Umfang des Rahmens 4 aufliegt. Durch die Evakuierung des Testrau­ mes 80 wird zusätzlich noch eine Anpresskraft erzeugt. In axialer Richtung erstreckt sich das Stahlprofil 81 über den Rahmen 3 hinaus nach unten und bildet in der letzten Phase der Absenkbewegung eine Führung. Zur Ab­ deckung des Stahlringes 81 dient der Detektorring 85.

Fig. 2 zeigt noch, dass der dargestellte Folien- Lecksucher mit einem umlaufenden Handgriff 82 ausgerüs­ tet ist. An diesem ist der Halter 54 für den Schnüffler 48 befestigt. Im Halter 54 befinden sich die bereits zu Fig. 2 beschriebenen Mittel die erkennen lassen, ob die Sonde 51 des Schnüfflers 48 im Halter 54 abgelegt ist oder nicht. Zwischen dem Halter 54 und dem Gehäuse 86 erstreckt sich der Kapillarschlauch 57, der in die Kupplung 58 eingesteckt ist.

Fig. 3 zeigt den Übergang zwischen dem Anschlussstut­ zen 18 und dem weiterführenden Leitungsabschnitt 19. Beide bestehen aus Kunststoff, vorzugsweise Polyamid. Der Leitungsabschnitt 19 ist als Wellrohr ausgebildet und umgibt gemeinsam mit Dichtringen 83, 84 den An­ schlussstutzen 18.

Wie weiter oben erwähnt, kann der Lecksucher 1 auch da­ zu verwendet werden, um die Konzentration des Testgases im Prüfling zu messen, wenn dieser mit einem Leck­ versehen wird. Die Erzeugung eines ausreichend kleinen Lecks in der Wandung eines Prüflings ist schwierig. Be­ reits durch das Einstechen einer relativ dünnen Nadel entsteht ein Grobleck, das keine sichere Konzentrati­ onsmessung mehr zulässt. Es besteht die Gefahr, dass das Testgas bereits zu Beginn des Lecksuchzyklus', also während der Evakuierung des Testraumes und vor dem Um­ schalten auf Leckmessung, vollständig aus dem Prüfling austritt. Im Rahmen der Erfindung wird deshalb weiter vorgeschlagen, den Prüfling mit einem definierten Leck zu versehen. Dieses geschieht dadurch, dass der zu un­ tersuchende Prüfling z. B. mit einer Nadel angestochen und danach das Loch sofort mit einem Flickenleck ver­ schlossen wird. Da der Totaldruck innerhalb und außer­ halb der Packung in aller Regel gleich oder zumindest nicht wesentlich verschieden ist, verändert sich zwi­ schen dem Aufstechen und dem Aufbringen des Flicken­ lecks nichts bzw. nur wenig an der Konzentration im Prüfling. Danach erfolgt eine erneute Lecksuche im Testraum. Das Flickenleck stellt eine definierte Un­ dichtheit dar. Diese Undichtheit ist so gering, dass sich während der Prüfung die Konzentration in der Ver­ packung nicht ändert. Das bei dieser Prüfung angezeigte Leckratensignal ist ein Maß für die in der Packung be­ findliche Testgaskonzentration.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen an Hand einer Figur erläutert werden.

Die Fig. 4 zeigt einen Teil eines Prüflings 80 mit ei­ ner relativ dünnen Wandung 92 (z. B. einer Verpackungs­ hülle) und mit seinem Inhalt 93, bei dem es sich um ei­ nen verpackten Gegenstand beliebiger Art (auch Pulver) handeln kann. Werden Prüflinge 80 dieser Art in großen Stückzahlen hergestellt, dann ist es zweckmäßig, in zu­ mindest einige dieser Prüflinge ein Testgas einzubrin­ gen, um sie stichprobenartig auf Lecks untersuchen zu können. Bei der Verwendung von Helium als Testgas ge­ schieht das zweckmäßig mit einer Konzentration von 5 bis 25%, vorzugsweise 10%. Sollte bei einer stichpro­ benartigen Leckuntersuchung des dargestellten, noch un­ versehrten Prüflings 80 Helium nicht nachgewiesen wor­ den sein, dann muss festgestellt werden, ob es sich tatsächlich um einen dichten Prüfling handelt. Dieses geschieht durch eine Messung der Konzentration des Testgases im Prüfling. Dazu wird der Prüfling z. B. mit einer Nadel mit einem Leck 94 versehen, über das das Flickenleck 95 aufgebracht wird. Danach wird die Ver­ packung nochmals in den Testraum eingelegt und auf ein Leck untersucht. Aus dem Ergebnis lassen sich - wie weiter oben beschrieben - Rückschlüsse auf die Produk­ tionsqualität ableiten.

Das Flickenleck 95 besteht aus einem sehr dünnen, für das Testgas durchlässigen Folienabschnitt 96. Haftet dieser nicht selbst, kann er mit einem Kleberand 97 ausgerüstet sein. Das Flickenleck wird dann nach Art eines Pflasters auf das durch Einstechen der Verpackung erzeugte Leck 94 aufgeklebt. Als Werkstoff für die Fo­ lie hat sich Fluorcarbon als zweckmäßig erwiesen. Die Dicke und die freie Fläche der Folie bestimmen die Leckrate. Bezüglich Helium als Testgas gilt, dass eine
Fluorcarbon-Folie mit einer Dicke von 25 γm eine Leck­ rate von ca. 10^-4 mb.l/s.cm² hat.

Claims (18)

1. Verfahren zum Betrieb eines Folien-Lecksuchers (1), der zwei jeweils in einem Rahmen (3, 4) ein­ gespannte Folien (5, 6) aufweist, die bei einge­ legtem Prüfling einen Testraum begrenzen, und der mit zwei Vakuumpumpen (13, 30) ausgerüstet ist, bei welchem zunächst der Testraum (80) evakuiert und nach dem Evakuierbetrieb auf Lecksuchbetrieb umgeschaltet wird, dadurch gekennzeichnet, dass während der ersten Phase der Evakuierung des Testraumes (80) nur eine (13) der beiden Vakuum­ pumpen verwendet wird und dass während des Lecksuchbetriebs nur die zweite Vakuumpumpe (30) verwendet wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem der Testraum (80) des Folien-Lecksuchers (1) sowohl über Bohrungen, die sich in einem (4) der Ränder (3, 4) befinden, als auch über einen an einer (6) der Folien (5, 6) befestigten Anschlussstutzen (18) evakuierbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Testraum (30) während der ersten Phase der Evaku­ ierung mit Hilfe der ersten Vakuumpumpe (13) nur über die Bohrungen evakuiert wird und dass während des Lecksuchbetriebs nur der mit der zweiten Vakuum­ pumpe (30) in Verbindung stehende Anschlussstut­ zen (18) verwendet wird.

3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass vom Testraum (30) über den Anschlussstutzen (18) strömende Gas über ein Partikelfilter (20) geführt wird.

4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn­ zeichnet, dass vor dem Beginn des Lecksuchzyklus' eine Überprüfung des Testgas-Untergrundes durchge­ führt wird.

5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass zur Entfernung eines erhöhten Testgas-Unter­ grundes die zweite Vakuumpumpe (30) mit Gasballast betrieben wird.

6. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Prüfling (79), der sich bei einer integralen Leckprüfung im Testraum (30) als undicht erwiesen hat, anschließend mit Hilfe eines Schnüfflers (48) zwecks Ortung des Lecks untersucht wird.

7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass sowohl bei der integralen Lecksuche als auch bei der Schnüffel-Lecksuche derselbe Leckdetektor (29) verwendet wird.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die integrale Lecksuche und die Schnüffel­ lecksuche nicht gleichzeitig durchgeführt werden können.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da­ durch gekennzeichnet, dass bei einem Prüfling, aus dem während der integralen Lecksuche Testgas nicht ausgetreten ist, anschließend eine Messung der Testgas-Konzentration des im Prüfling vorhandenen Gases durchgeführt wird.

10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass zur Kontrolle der Testgaskonzentration in den Prüflingen (80) die Testgaskonzentration in min­ destens einem der Prüflinge gemessen wird, indem seine Wandung (92) mit einem Leck (94) versehen wird, und dass mit diesem Prüfling ein Lecksuch­ vorgang durchgeführt wird.

11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeich­ net, dass der Prüfling (80), der der Kontrolle der Testgaskonzentration dient, ein Prüfling ist, der sich bei einem vorhergegangenen Lecksuchvorgang als dicht erwiesen hat.

12. Verfahren nach Anspruch 10 oder 12, dadurch ge­ kennzeichnet, dass das Leck (94) unmittelbar nach seiner Erzeugung mit einem für Testgas durchlässi­ gen Flickenleck (95) verschlossen wird.

13. Für die Durchführung eines das Verfahren nach ei­ nem der Ansprüche 1 bis 12 geeigneter Folien- Lecksucher (1), dadurch gekennzeichnet, dass er mit einer Steuerzentrale (61) ausgerüstet ist.

14. Folien-Lecksucher (1) nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Rahmen (3, 4) mit einem Schalter (62, 63), vorzugsweise mit einem Annähe­ rungsschalter, ausgerüstet sind, der das Aufeinan­ derliegen der Rahmen (3, 4) erkennen lässt.

15. Folien-Lecksucher nach einem der Ansprüche 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass er mit einem Schnüffler (48) ausgerüstet ist und dass ein Hal­ ter (54) für seine Schnüffelsonde (51) mit Mitteln ausgerüstet ist, die ihre Ablage im Halter (54) erkennen lassen.

16. Flickenleck zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass es einen für Testgas durchlässigen Folienabschnitt (6) auf­ weist.

17. Flickenleck nach Anspruch 16, dadurch gekennzeich­ net, dass es auf einer Seite mit einem Haftmittel (7) versehen ist.

18. Flickenleck nach Anspruch 17, dadurch gekennzeich­ net, dass es rund ist und mit einem umlaufenden Kleberand (7) ausgerüstet ist.