DE19962006A1 - Verfahren zum Betrieb eines Folien-Lecksuchers sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Folien-Lecksucher - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betrieb eines Folien-Lecksuchers (1), der zwei jeweils in einem Rahmen (3, 4) eingespannte Folien (5, 6) aufweist, die bei eingelegtem Prüfling (79) einen Testraum (80) begrenzen, und der mit zwei Vakuumpumpen (13, 30) ausgerüstet ist, bei welchem zunächst der Testraum (80) evakuiert und nach dem Evakuierbetrieb auf Lecksuchbetrieb umgeschaltet wird; um Beeinträchtigungen der Lecksuche durch schwankende Heliumkonzentrationen in der Umgebungsluft zu vermeiden, wird vorgeschlagen, dass vor dem Beginn des Lecksuchprozesses die Heliumkonzentration der Umgebungsluft gemessen und bei den sich anschließenden Leckmessungen berücksichtigt werden.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betrieb eines Folien-Lecksuchers, der zwei jeweils in einem Rahmen eingespannte Folien aufweist, die bei eingelegtem Prüf­ ling einen Testraum begrenzen, und der mit zwei Vakuum­ pumpen ausgerüstet ist, bei welchem zunächst der Testraum evakuiert und nach dem Evakuierbetrieb auf Lecksuchbetrieb umgeschaltet wird und bei welchem wäh­ rend der ersten Phase der Evakuierung des Testraumes nur eine der beiden Vakuumpumpen und während des Lecksuchbetriebs nur die zweite Vakuumpumpe verwendet wird (nach Patentanmeldung 198 46 799.0). Außerdem be­ zieht sich die Erfindung auf einen für die Durchführung des Verfahrens geeigneten Folien-Lecksucher.

Bei der integralen Lecksuche nach der Hauptanmeldung ist das zu prüfende Objekt vor der Messung bereits mit Testgas, hier Helium, gefüllt. In der Prüfkammer wird das durch ein vorhandenes Leck austretende Helium nach­ gewiesen. Die natürliche Umgebungsluft enthält bereits eine kleine Menge Helium, die jedoch meist vernachläs­ sigbar ist. Durch Abfüllprozesse kann dieser Anteil u. U. stark ansteigen. Das Nachweissystem des Lecksu­ chers kann nun nicht mehr eindeutig unterscheiden, ob das gemessene Helium aus dem Prüfling kommt oder aus der in der Prüfkammer mit eingeschlossenen Umgebungs­ luft. Das Messergebnis wird unsicherer, die Nachweis­ grenze des Lecksuchers wird kleiner.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, den Folien-Lecksucher nach der Hauptanmeldung derart zu betreiben und auszubilden, dass erhöhte Heliumkonzen­ trationen in der Umgebungsluft nicht zu Fehlmessungen führen.

Diese Aufgabe wird durch die in den Patentansprüchen enthaltenen Maßnahmen gelöst.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von in den Figuren dargestellten Ausführungsbei­ spielen erläutert werden. Es zeigen

Fig. 1 schematisch einen Folien-Lecksucher nach der Erfindung einschließlich seines Schalt­ schemas und

Fig. 2 einen Teilschnitt durch die Rahmen, in die die Folien eingespannt sind, und weitere De­ tails in Ansicht.

Fig. 1 zeigt schematisch den Folien-Lecksucher 1 mit seinen beiden über das Gelenk 2 verbundenen Rahmen 3 und 4 sowie den darin eingespannten Folien 5 und 6. Die Rahmen 3 und 4 sind kreisförmig. Der untere Rahmen stützt sich auf dem Rand 7 eines tellerförmigen Bodens 8 - vorzugsweise aus Stahl - ab. Auf den Folien 5, 6 befindliche Vlies-Abschnitte 9 sichern die Bildung ei­ nes zusammenhängenden Testraumes bei eingelegtem Prüf­ ling. Der prinzipielle Aufbau eines Folien-Lecksuchers dieser Art ist im übrigen aus der DE-A-196 42 099 be­ kannt.

Der untere Rahmen 4 ist mit mehreren im einzelnen nicht dargestellten Bohrungen ausgerüstet, die in das Innere des Testraumes münden, der von den beiden Folien S. 6 bei eingelegtem Prüfling gebildet wird. An diese Boh­ rungen sind die Leitungsabschnitte 10 angeschlossen, die über die gemeinsame Leitung 11 mit dem Ventil 12 mit der Vorvakuumpumpe 13 in Verbindung stehen. In Be­ zug auf das Ventil 12 stromaufwärts sind an die Leitung 11 noch das Druckmessgerät 14 und das Belüftungsventil 15 angeschlossen.

Die untere Folie 6 ist etwa in ihrer Mitte mit einem Leitungsanschluss 18 ausgerüstet, an die sich der Lei­ tungsabschnitt 19, der Filter 20 und die Leitung 21 mit dem Ventil 22 anschließen. Auch die Leitung 21 ist mit einem Druckmessgerät 23 und mit einem Belüftungsventil 24 ausgerüstet.

Der Abschnitt der Leitung 21, der sich zwischen dem An­ schluss des Druckmessgerätes 23 und dem Ventil 22 be­ findet, steht über zwei zueinander parallele Leitungen 26 und 27 mit einer Leitung 28 in Verbindung, die sich zwischen dem Testgasdetektor 29 und einer zweiten Vor­ vakuumpumpe 30 erstreckt. In der Leitung 26 befindet sich ein Drosselventil 32. Die Leitung 27 ist mit ei­ nem Ventil 33 ausgerüstet.

Die Vorvakuumpumpe 13 ist zweckmäßig einstufig, die Vorvakuumpumpe 30 zweistufig ausgebildet. Die Pumpe 30 ist mit einer Gasballast-Einrichtung ausgerüstet. Bei offenem Ventil 31 strömt Luft (oder auch Inertgas) in die Pumpe 30 ein.

Im Testgasdetektor 29 befindet sich eine Turbomoleku­ larvakuumpumpe 35, deren Auslass mit der Leitung 28 in Verbindung steht. An den Einlass der Turbomolekularva­ kuumpumpe ist ein Massenspektrometer 36 angeschlossen. Außerdem ist ein Druckmessgerät 37 Bestandteil des Leckdetektors 29, welches den Druck in der Leitung 28 misst.

Die beiden Leitungen 11 und 28 stehen in Bezug auf die Ventile 12 und 22 stromabwärts über eine Leitung 38 in Verbindung, in die auch die Leitung 21 mündet. In die­ ser Leitung 38 befinden sich zwischen der Mündung der Leitung 21 und der Leitung 28 die Ventile 41 und 42. In den zwischen den Ventilen 41 und 42 befindlichen Ab­ schnitt der Leitung 38 mündet eine Leitung 44, die mit einer Kupplung 45 in Verbindung steht. Die Kupplung 45 dient der Herstellung der Verbindung der Leitung 44 mit der Schnüffelleitung 47 eines Schnüfflers 48. Die mit 51 bezeichnete Schnüffelsonde des Schnüfflers 48 um­ fasst den Handgriff 52 und die Schnüffelspitze 53.

Für die Ablage der Schnüffelsonde ist ein Halter 54 vorgesehen. Dieser ist entweder am Folienlecksucher 1 befestigt oder als separater Ständer ausgebildet. Er weist einen Hohlraum 55 auf, der bei abgelegter Sonde 51 die Schnüffelspitze aufnimmt. Außerdem ist eine Dichtung 56 vorgesehen, die den Hohlraum 55 bei abge­ legter Sonde 51 gegenüber dem Handgriff 52 abdichtet. An den Hohlraum 55 schließt sich eine Leitung 57 an, die über eine Kupplung 58 mit einem im Gehäuse des Fo­ lien-Lecksuchers 1 untergebrachten Unterdruckschalter 59 in Verbindung steht. Als Schnüffelleitung 47 dient in bekannter Weise eine Kapillare (Durchmesser ca. 0,5 mm). Dieses gilt auch für die Leitung 57, damit sich der von der Schnüffelspitze 53 im Raum 55 erzeugte Un­ terdruck schnell auf den Unterdruckschalter 59 aus­ wirkt.

Im Folien-Lecksucher nach Fig. 1 läuft der Lecksuch­ zyklus automatisch ab. Zur Steuerung des Ablaufs ist die nur als Block 61 dargestellte Steuerzentrale vorge­ sehen. Mit ihr sind alle Messgeräte und alle zu steu­ ernden Bauteile verbunden. Dieses gilt auch für einen Schalter, der mit dem Schließen des Testraumes betätigt wird. Beim dargestellten Ausführungsbeispiel handelt es sich um einen Näherungsschalter, der einen am Rahmen 3 vorgesehenen Metallstift 62 und einen am Rahmen 4 ange­ ordneten Sensor 63 umfasst. Der Sensor 62 steht mit der Steuerzentrale 2 in Verbindung. Auch andere Sehalter, seien sie elektrisch, mechanisch oder optisch betrie­ ben, können zu diesem Zweck eingesetzt werden.

Die Vielzahl der elektrischen Verbindungsleitungen zwi­ schen der Steuerzentrale 61 und den Bauteilen sind der Übersichtlichkeit halber nicht dargestellt. Mit der Steuerzentrale verbunden sind auch zwei Signallampen 64, 65, von denen eine grün, wenn ein Prüfling als dicht, und die andere rot aufleuchtet, wenn ein Prüf­ ling als undicht erkannt wird.

Beim betriebsbereiten Folien-Lecksucher 1 nach der Hauptanmeldung sind, wenn der Testraum - wie in Fig. 1 dargestellt - geöffnet bzw. der obere Rahmen 3 vom un­ teren Rahmen 4 abgehoben ist, sämtliche Ventile - bis auf das Ventil 41 - geschlossen. Nach dem Auflegen ei­ nes Prüflings auf die untere Folie 6 und nach dem Auf­ legen des oberen Rahmens 3 auf den unteren Rahmen 4 löst der Näherungsschalter 62, 63 den Ablauf eines Lecksuchvorganges aus. Dazu wird zunächst geprüft, ob sich im System ein erhöhter Heliumuntergrund befindet, der Leckmessungen verfälschen könnte. Dieses geschieht mit Hilfe des Massenspektrometers 36. Meldet es einen zu hohen Untergrund, wird das Ventil 31 geöffnet und die Pumpe 30 so lange mit Gasballast betrieben, bis der Heliumuntergrund einen unschädlichen Wert angenommen hat.

In der Regel ist ein erhöhter Helium-Untergrund nicht vorhanden, so dass mit dem Schließen des Testraumes auch der eigentliche Lecksuchzyklus beginnt. Zunächst werden die Ventile 12 und 22 geöffnet. Dieses hat eine äußerst schnelle Evakuierung des Raumes zwischen den Folien 5, 6 zur Folge. Außerhalb der Bereiche, in denen sich die Vlies-Abschnitte 9 befinden, bilden die sich unmittelbar berührenden Folien 5, 6 die Abdichtung des Testraumes.

Beim Lecksuchverfahren nach der Hauptanmeldung wird bei einem Druck von wenigen 100 mbar (100 bis 300 mbar) das Drosselventil 32 geöffnet. Es ist so bemessen, dass der notwendige Vorvakuumdruck der Turbomolekularvakuumpumpe 35 keine unzulässig hohen Werte annimmt. Mit dem Öffnen des Drosselventils 32 beginnt die Groblecksuche. Strömt Helium durch das Drosselventil 32, gelangt es im Gegen­ strom durch die Turbomolekularpumpe 35 zum Massenspek­ trometer 36. Wird Helium registriert, ist der Prüfling undicht; der Lecksuchzyklus wird abgebrochen.

Für den Fall, dass Helium noch nicht registriert wird, wird der Evakuierprozess fortgesetzt. Erreicht der Druck einen mit dem Gerät 23 gemessenen Wert, der in der Größenordnung des Vorvakuumdruckes der Turbomoleku­ larpumpe 35 liegt, werden die Ventile 12, 22 und 32 ge­ schlossen und das Ventil 33 geöffnet. Es beginnt die Phase der empfindlichen Lecksuche. Diese wird abgebro­ chen, wenn entweder Testgas registriert wird, der Prüf­ ling also undicht ist, oder nach einer bestimmten Zeit. Entweder wird eine feste Zeitspanne vorgegeben oder es wird so lange geprüft, bis der Druck (gemessen mit dem Gerät 23) einen bestimmten Wert unterschreitet. Wird innerhalb dieser Zeit Testgas nicht registriert, lässt dieses Ergebnis auf einen dichten Prüfling schließen.

Während der empfindlichen Lecksuchphase stellen nur die Leitungen 19, 21 und 27 die Verbindung zwischen dem Testraum und dem Leckdetektor 29 dar. Ein Platzen des Prüflings ist nicht mehr zu erwarten. Im übrigen befin­ det sich zwischen den Leitungen 19 und 21 der Partikel­ filter 20, der jede Verunreinigung vom Leckdetektor 29 fernhält.

Die Beendigung des Lecksuchzyklus nach der Hauptanmel­ dung erfolgt in der Weise, dass alle bisher offenen Ventile - bis auf Ventil 41 - geschlossen und die Ven­ tile 15, 24 geöffnet werden. Der Testraum wird belüf­ tet, der obere Rahmen 3 kann vom unteren Rahmen 4 abge­ hoben werden. Zweckmäßig ist es, wenn die beiden gelen­ kig miteinander verbundenen Rahmen 3, 4 im Bereich des Gelenks 2 unter der Wirkung einer nicht dargestellten Federeinrichtung stehen, deren Kraft ständig in Öff­ nungsrichtung wirkt. Ihre Kraft sollte so bemessen sein, dass das während der Lecksuche erzeugte Vakuum den Testraum geschlossen hält und dass der Rahmen 3 nach dem Belüftungsvorgang seine Offenstellung ein­ nimmt.

Wird während der Leckprüfung festgestellt, dass ein Prüfling undicht ist, dann ist der Benutzer daran in­ teressiert, den Ort des Lecks kennenzulernen. Dazu ist der erfindungsgemäße Folienlecksucher mit einem Schnüffler 48 ausgerüstet. Dieser ist mit seiner Schnüffelleitung 47 über die Kupplung 45 an die Leitung 44 angeschlossen.

Solange der Schnüffler 48 nicht genutzt wird, ist er in einem Halter 54 abgelegt. Dieser Halter 54 ist mit den bereits beschriebenen Mitteln 55 bis 59 ausgerüstet, mit deren Hilfe die Steuerzentrale 61 erkennen kann, ob die Sonde 51 im Halter 54 abgelegt ist oder nicht. Auch andere Mittel - seien es mechanisch, elektrisch oder induktiv betätigte Schalter - können zu diesem Zweck verwendet werden.

Solange sich die Sonde 51 im Halter 54 befindet, wird -, wie bereits erwähnt - das Ventil 41 offengehalten. Der Schnüffler befindet sich dadurch ständig im stand by. Erst dann, wenn er aus seinem Halter 54 herausgenommen wird, schließt das Ventil 41 und öffnet das Ventil 42. Der den Schnüffler 48 durchsetzende Gasstrom gelangt dadurch in die Leitung 28 und wird von der Pumpe 30 aufrechterhalten. In diesem Zustand ist die Schnüffel­ lecksuche möglich. Wird Helium von der Schnüffelspitze 53 aufgenommen, gelangt es im Gegenstrom durch die Tur­ bomolekularpumpe 35 zum Massenspektrometer 36.

Die Steuerzentrale 61 ist derart programmiert, dass es zu einer Umschaltung des Schnüfflers 48 von stand by auf Lecksuchbetrieb (Umschaltung der Ventile 41 und 42) nicht kommt, solange der Annäherungsschalter 62, 63 ge­ schlossen ist. Die gleichzeitige, zu Fehlmessungen füh­ rende Lecksuche über den Folien-Lecksucher 1 und über den Schnüffler 48 ist dadurch ausgeschlossen.

Bei der quantitativen Lecksuche interessiert den Besu­ cher in aller Regel die Leckrate eines aufgefundenen Lecks, gemessen in mbar 1/sec.

Bei der Untersuchung von mit hohen Stückzahlen herge­ stellten Prüflingen besteht jedoch auch ein Interesse daran, die Konzentration des Testgases im Prüfling zu messen. Dieses kann dadurch geschehen, dass die Schnüf­ felspitze 53 in den Prüfling eingestochen wird, oder dass der Prüfling mit einem definierten Leck versehen wird und im Folien-Lecksucher 1 ein Lecksuchzyklus aus­ geführt wird. Die Steuerzentrale ist deshalb so ausge­ bildet, dass auf einem nicht dargestellten Display so­ wohl die Leckrate als auch die Konzentration ablesbar ist.

Fig. 2 lässt den Aufbau der Rahmen 3 und 4 erkennen. Sie bestehen aus jeweils einem äußeren Ring 71 bzw. 72 und einem inneren Ring 73, 74. Zwischen den Ringpaaren sind die Folien 5, 6 befestigt, vorzugsweise geklebt. Die jeweils inneren Ringe befinden sich in zueinander korrespondierenden Aussparungen 75, 76. Die Aussparun­ gen sind derart angeordnet, dass die äußeren Ringe 71, 72 in ihren dem Testraum zugewandten Bereichen einander unmittelbar gegenüberliegen und dadurch die Ebenen der eingespannten Folien 5, 6 bestimmen. Im äußeren Bereich liegen die inneren Ringe 73, 74 einander unmittelbar gegenüber. Zwischen ihnen befindet sich eine Lippen­ dichtung 77. Die Folien 5, 6 erstrecken sich durch den winkelförmigen Spalt zwischen den jeweiligen Ringpaaren und sind entweder eingespannt oder verklebt.

In Fig. 2 ist noch ersichtlich, dass die Folien 5, 6 bei einem dazwischen eingelegten Prüfling 79 einen Testraum 80 bilden. Die Vlies-Abschnitte 9 sichern die Bildung eines zusammenhängenden Testraumes 80.

Der Ring 72 des unteren Rahmens 4 stützt sich auf dem Rand 7 des tellerförmigen Bodens 8 ab und ist mit die­ sem verklebt (Klebeschicht 78). Dem oberen Rahmen 3 ist ein Träger zugeordnet, der von einem den Rahmen 3 von außen und teilweise von oben umfassendes Stahlprofil 81 gebildet wird. Der Rahmen 3 ist in axialer Richtung schwimmend am Stahlprofil 81 befestigt, so dass er nach seinem Absenken gleichmäßig dem gesamten Umfang des Rahmens 4 aufliegt. Durch die Evakuierung des Testrau­ mes 80 wird zusätzlich noch eine Anpresskraft erzeugt. In axialer. Richtung erstreckt sich das Stahlprofil 81 über den Rahmen 3 hinaus nach unten und bildet in der letzten Phase der Absenkbewegung eine Führung. Zur Ab­ deckung des Stahlringes 81 dient der Detektorring 85.

Fig. 2 zeigt noch, dass der dargestellte Folien- Lecksucher mit einem umlaufenden Handgriff 82 ausgerüs­ tet ist. An diesem ist der Halter 54 für den Schnüffler, 48 befestigt. Im Halter 54 befinden sich die bereits zu Fig. 2 beschriebenen Mittel die erkennen lassen, ob die Sonde 51 des Schnüfflers 48 im Halter 54 abgelegt ist oder nicht. Zwischen dem Halter 54 und dem Gehäuse 86 erstreckt sich der Kapillarschlauch 57, der in die Kupplung 58 eingesteckt ist.

Beim Lecksuchverfahren nach der Hauptanmeldung werden Maßnahmen vorgeschlagen, die es erlauben, Fehlmessungen aufgrund innerer Verseuchungen zu vermeiden. Fehlmes­ sungen sind aber auch möglich, wenn die Umgebungsluft des Lecksuchers eine unbekannte und überhöhte Helium­ konzentration hat. Es ist also von Interesse, zumindest die Größe dieser Heliumkonzentration zu wissen, um z. B. eine eingeschränkte Nachweisgrenze zu erkennen oder in geeigneter Weise zu kompensieren.

Dieses geschieht beim Gegenstand der Zusatzanmeldung dadurch, dass die Heliumkonzentration der Luft gemessen wird, bevor die Testkammer 80 geschlossen wird. Um die­ se Messung zu diesem Zeitpunkt zu ermöglichen, wird das Drosselventil 32, das beim Lecksuchverfahren nach der Hauptanmeldung während der Groblecksuche offen ist, so modifiziert, dass es auch dann offen sein kann, wenn der Druck in der Leitung 21 der Atmosphärendruck ist. Bei geöffneter Kammer 80 gelangt bei offenem Ventil 32 ein kleiner Luftstrom zum Einlaß des Detektors 29. Das Massenspektrometer 36 registriert die in der eindrin­ genden Luft vorhandene Heliumkonzentration. Die ständig gemessenen Werte werden für kurze Zeit (es reichen ei­ nige Sekunden) z. B. in der Steuereinrichtung gespei­ chert.

Durch diese Maßnahmen kann die Heliumkonzentration in der Luft bei sich anschließenden Lecksuchprozessen be­ rücksichtigt werden. Wird ein solcher Prozess durch Auflegen des Rahmens 3 auf den Rahmen 4 ausgelöst, kann ein kurz vor dem Schließen der Testkammer gemessener und gespeicherter Wert der Heliumkonzentration in der Luft bei der Auswertung der Leckmessung berücksichtigt werden. Ist ein Prüfling leck, kann beispielsweise eine automatische Korrektur der Lecksuche durchgeführt wer­ den. Bei allzu hohen Heliumkonzentrationen in der Luft kann auch eine optische oder akustische Warnung ausge­ löst werden.

Wesentlich ist, dass das Drosselventil 32 so ausgebil­ det (ausreichend kleine Drosselöffnung) ist, dass der Vorvakuumdruck der Turbomolekularpumpe 35 auch dann keine unzulässig hohen Werte annimmt, wenn die Leitung 21 unter Atmosphärendruck steht. Das Drosselventil 32 muss zumindest vor dem Beginn eines Lecksuchprozesses bei noch geöffneter Lecksuchkammer 80 offen sein.

Claims (6)

1. Verfahren zum Betrieb eines Folien-Lecksuchers (1), der zwei jeweils in einem Rahmen (3, 4) ein­ gespannte Folien (5, 6) aufweist, die bei einge­ legtem Prüfling einen Testraum begrenzen, und der mit zwei Vakuumpumpen (13, 30) ausgerüstet ist, bei welchem zunächst der Testraum (80) evakuiert und nach dem Evakuierbetrieb auf Lecksuchbetrieb umgeschaltet wird, und bei welchem während der er­ sten Phase der Evakuierung des Testraumes (80) nur eine (13) der beiden Vakuumpumpen und während des Lecksuchbetriebs nur die zweite Vakuumpumpe (30) verwendet wird (nach Patentanmeldung 198 46 799.0), dadurch gekennzeichnet, dass vor dem Be­ ginn des Lecksuchprozesses die Heliumkonzentration der Umgebungsluft festgestellt und bei der an­ schließenden Leckmessung berücksichtigt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem der Testraum (80) des Folien-Lecksuchers (1) sowohl über Bohrungen, die sich in einem (4) der Ränder (3, 4) befinden, als auch über einen an einer (6) der Folien (5, 6) befestigten Anschlussstutzen (18) evakuierbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Testraum (80) während der ersten Phase der Evaku­ ierung mit Hilfe der ersten Vakuumpumpe (13) nur über die Bohrungen evakuiert wird und dass während des Lecksuchbetriebs nur der mit der zweiten Vaku­ umpumpe (30) in Verbindung stehende Anschlussstut­ zen (18) verwendet wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn­ zeichnet, dass ein Drosselventil (32), das beim anschließenden Lecksuchprozess der Groblecksuche dient, vor dem Beginn der Lecksuche offen gehalten wird, dass die Heliumkonzentration der durch das Drosselventil (32) strömenden Ümgebungsluft lau­ fend registriert und gespeichert wird und dass bei der sich anschließenden Leckmessung ein vor dem Schließen des Lecksuchers (1) gemessener und ge­ speicherter Wert der Heliumkonzentration der Umge­ bungsluft berücksichtigt wird.

4. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch ge­ kennzeichnet, dass ein Prüfling (79), der sich bei einer integralen Leckprüfung im Testraum (80) als undicht erwiesen hat, anschließend mit Hilfe eines Schnüfflers (48) zwecks Ortung des Lecks unter­ sucht wird, und dass bei der integralen Lecksuche, bei der Schnüffel-Lecksuche und bei der Feststel­ lung der Helium-Konzentration in der Umgebungsluft derselbe Detektor (29) verwendet wird.

5. Für die Durchführung eines das Verfahren nach ei­ nem der Ansprüche 1 bis 4 geeigneter Folien- Lecksucher (1), dadurch gekennzeichnet, dass er mit einer Steuerzentrale (61) ausgerüstet ist.

6. Lecksucher nach Anspruch 5, dadurch gekennzeich­ net, dass ein Drosselventil (32) so bemessen ist, dass der Vorvakuumdruck der Turbomolekularpumpe (35) auch dann keine unzulässig hohen Werte an­ nimmt, wenn Atmosphärendruck anliegt.