DE2245822B2

DE2245822B2 - Verfahren zum nachweisen von lecks und zu dessen durchfuehrung geeignete leckdetektoranordnung

Info

Publication number: DE2245822B2
Application number: DE19722245822
Authority: DE
Inventors: Walton Ellis Lynnfield Mass. Briggs (V.St.A.)
Original assignee: Varian Associates Inc
Current assignee: Varian Medical Systems Inc
Priority date: 1971-09-24
Filing date: 1972-09-19
Publication date: 1976-04-15
Also published as: DE2245822A1; IT967765B; FR2153362B1; JPS4842788A; GB1382720A; FR2153362A1

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Nachweisen von Lecks, bei dem eine Seite eines Prüflings einem Prüfgas ausgesetzt wird und Gas von der anderen Seite des Prüflings abgepumpt und einem Leckdetektor zugeführt wird.

Bei bekannten Verfahren dieser Art strömt Prüfgas enthaltendes Gas während der Messung kontinuierlich durch den Detektor (DT-OS 15 73 799; US-PS 77 769).

Weist der Prüfling ein grobes Leck auf, so gelangt auf diese Weise eine erhebliche Menge Prüfgas zum Leckdetektor. Bei empfindlichen Leckdetektoren kann das zu erheblichen Beschädigungen, wenn nicht sogar 7ur Zerstörung des eigentlichen Detektors führen.

Es ist deshalb Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren der eingangs genannten Art verfügbar zu machen, bei dem unter allen Umständen nur eine ganz bestimmte Maximalmenge Prüfgas in den Leckdetektor gelangen kann, so daß dieser keinesfalls überlastet oder beschädigt werden kann.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß ein vorbestimmtes Gasvolumen auf der abgepumpten Seite gesammelt wird, das vorbestimmte Volumen gegen die abgepumpte Seite abgeschlossen wird und dann das vorbestimmte Gasvolumen dem Leckdetektor zugeführt wird.

In vielen Fällen ist es erwünscht, eine grobe Klassifizierung der ein Leck aufweisenden Prüflinge in solche mit groben und feinen Lecks vornehmen zu können. Diese Möglichkeit ergibt sich, wenn gemäß einer Weiterbildung der Erfindung wenigstens ein zweites vorbestimmtes Gasvolumen auf der gepumpten Seite gesammelt wird, das größer ist als das erste vorbestimmte Volumen, dann das kleinere vorbestimmte Volumen dem Leckdetektor zugeführt wird und, wenn der Leckdetektor kein Leck anzeigt, das größere vorbestimmte Volumen dem Leckdetektor zugeführt wird.

Weitere Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Verfahrens sind in den Ansprüchen 3 und 4 erläutert.

Die Erfindung betrifft weiterhin eine Leckdetektoranordnung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens. Es ist eine Leckdetektoranordnung bekannt, die aus einer Leitung, mit der ein Prüfgas, das durch den Prüfling leckt, vom Prüfling zu einem Leckdetektor geleitet wird, und zwei in dieser Leitung in Reihe liegenden Ventilen besteht, von denen das erste die Leitung mit einer Kammer für den Prüfling und das zweite die Leitung mit dem Leckdetektor verbindet bzw. davon trennt (IBM Technical Disclosure Bulletin, Band 5, Nr. 1, Juni 1962, S. 19). Bei dieser bekannten Anordnung wird jedoch nicht ein vorbestimmtes Gasvolumen dem Leckdetektor zugeführt, sondern es wird sowohl bei der Prüfung auf grobe Lecks als auch bei der Prüfung auf feine Lecks die Prüfkammer mit dem Leckdetektor verbunden, so daß das Gasvolumen Undefiniert ist.

Zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird deshalb erfindungsgemäß diese bekannte Anordnung in der Weise abgeändert, daß ein drittes Ventil zwischen dem zweiten Ventil und dem Leckdetektor angeordnet ist und das zweite und das dritte Ventil so angeordnet sind, daß sie im geschlossenen Zustand zwischen sich wenigstens ein vorbestimmtes Gasvolumen einschließen, und diese Ventile so betätigbar sind, daß Gas im vorbestimmten Gasvolumen zum Leckdetektor strömen kann, ohne daß weiteres Prüfgas in das vorbestimmte Gasvolumen eintreten kann.

Weitere Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Leckdetektoranordnung sind den Ansprüchen 6 bis 14 zu entnehmen.

Die Erfindung soll an Hand der Zeichnung näher erläutert werden; es zeigt

Fig. 1 schematisch eine Leckdetektoranordnung mit einem einzelnen vorbestimmten Gasvolumen zwischen zwei Ventilen;

F i g. 2 eine Modfikation eines Teils der Anordnung nach Fig. 1 mit zwei vorbestimmten Gasvolumen und drei Ventilen;

F i g. 3 eine teilweise geschnittene Ansicht eines bevorzugten Ventiltyps zur Verwendung in der Anordnung nach F i g. 1 und

Fig. 4 eine teilweise geschnittene Ansicht durch eine Anordnung zur Verwendung des Ventiltyps nach F i g. 3 in Verbindung mit einer Ausführungsform mit

ίο zwei vorbestimmten Gasvolumen.

Gemäß Fig. 1 besteht eine Leckdetektoranordnung aus einer Prüfkammer 1 mit einer angelenkten Tür 2, so daß ein Prüfling 3 in die Kammer eingesetzt werden kann. Die Kammer ist so konstruiert, daß, wenn die Tür 2 geschlossen ist, ein hermetisch dichtes Gefäß um den Prüfling 3 herum gebildet wird. Eine Vakuumleitung 4 führt von der Prüfkammer 1 zum Einlaß einer üblichen mechanischen Vorpumpe 5. Ein übliches Vakuumventil 6 befindet sich links von der Leitung 4, um die Prüfkammer mit der Leitung zu verbinden oder von dieser zu trennen. Ein übliches Ventil 7 ist in der Leitung 4 in der Nachbarschaft der Vorpumpe angeordnet, damit die Verbindung zwischen der Vorpumpe und der Leitung geöffnet oder

as geschlossen werden kann. Um das Ventil 7 führt eine Nebenschlußleitung 8 herum, die eine Trennwand 9 mit einer kleinen Öffnung 10 enthält. Die Größe der Öffnung 10 ist vorzugsweise einstellbar, beispielsweise in Form eines üblichen Nadelventils (nicht dargestellt). Ein übliches Manometer 11 liegt zwischen den Ventilen 6 und 7 in der Vakuumleitung 4. An die Kammer 1 ist eine Luftzutrittsleitung 12 angeschlossen, und in dieser Leitung 12 ist ein übliches Ventil 13 vorgesehen. Die Leitung 12 ist vorgesehen, damit nach einer Prüfung das Ventil 13 geöffnet werden kann, damit Frischluft in die Kammer 1 eintreten kann. Dadurch wird das Vakuum in Kammer 1 beseitigt, so daß die Tür 2 leicht geöffnet werden kann. Die Frischluft verdrängt auch das Prüfgas, das aus dem Prüfling 3 herausgetreten sein kann, so daß sich für den nächsten Prüfling keine fehlerhafte Ablesung ergeben kann.

Eine zusätzliche Vakuumleitung 14 ist zwischen den Ventilen 6 und 7 an die Vakuumleitung 4 angeschlossen. In der Leitung 14 liegen Ventile 15 und 16 in Reihe. Die Ventile 15 und 16 können übliche Vakuumventile sein. Ein vorbestimmtes Gasvolumen wird durch das Leitungsstück 17 zwischen den Sitzen der Ventile 15 und 16 gebildet. Das untere Ende der Leitung 14 ist mit einer üblichen Diffusionspumpe 19 verbunden. Um das Volumen zu vergrößern, in das Gas aus dem vorbestimmten Gasvolumen 17 expandieren kann, um mit einem Leckdetektor nachgewiesen zu werden, bildet eine erweiterte Kammer 20 das untere Ende der Leitung 14. Ein Massenspektrometer-Leckdetektor 21 ist mit der Kammer 20 verbunden. Die Kammer 20 ist durch eine öffnung 24 in einer Trennwand 25 mit der Einlaßseite der Diffusionspumpe verbunden. Eine übliche mechanische Vorvakuumpumpe 26 ist an das Auslaßende der Diffusionspumpe angeschlossen.

Ersichtlich wird durch die Leitung 14 unter dem Ventil 16, einschließlich der Kammer 20 und dem Inneren des Leckdetektors 21 und dessen Anschluß an Kammer 20 ein großes Verteilungsvolumen gebildet. Dieses Verteilungsvolumen ist erheblich größer als das vorbestimmte Gasvolumen 17. Die kritische Beziehung liegt darin, daß, wenn das Gas im vorbe-

stimmten Gasvolumen 17 in das große Verteilungsvolumen entlassen wird, der sich ergebende Druck im großen Verteilungsvolumen, und damit im Leckdetektor 21, 10~⁴Torr nicht überschreiten darf, weil ein höherer Druck den Leckdetektor beschädigen würde. In einer praktischen Ausführungsform hat das vorbestimmte Gasvolumen 17 einen Inhalt von 1 Kubikzentimeter und die Verteilung einen Inhalt von 1 Liter.

Unabhängig von dem Systemtyp, der zum Nachweis von Lecks verwendet wird, gibt es grundsätzlich zwei Wege, den Prüfling an das System anzuschließen. Bei jedem dieser Wege wird eine Seite des Prüflings einem Prüfgas ausgesetzt und von der anderen Seite des Prüflings Gas abgepumpt, um eine Niederdruckzone zu schaffen, in die das Prüfgas durch ein Leck im Prüfling eintreten kann, und dann weiter zum Leckdetektor. Eine Möglichkeit, den Druckunterschied über dem Prüfling zu erreichen, besteht darin, das Innere des Prüflings mit Prüfgas zu füllen. Das kann während der Herstellung des Prüflings geschehen. Statt dessen kann nach der Herstellung des Prüflings dieser in eine Kammer gebracht werden und einem Prüfgas unter hohem Druck ausgesetzt werden. Wenn irgendwelche Lecks im Prüfling vorhanden sind, dringt Gas in das Innere des Prüflings ein. Nachdem der Prüfling nach einem dieser Verfahren geladen worden ist. wird er in die Prüfkammer gebracht, beispielsweise Kammer 1 in Fig. 1. Wenn niedriger Druck in der Prüfkammer 1 erzeugt ist, tritt Prüfgas innerhalb des Prüflings in die Kammer aus, sofern irgendein Leck im Prüfling vorhanden ist. Dieser Weg zur Erzeugung eines Druckunterschiedes über dem Prüfling ist selbstverständlich nur bei Gegenständen anwendbar, die vollständig geschlossen sind, um ein hermetisch dichtes Gefäß zu bilden.

Eine andere Technik wird für Prüflinge verwendet, die kein vollständig dichtes Gefäß bilden, beispielsweise Gegenstände mit einem Gefäß, das in der Wand eine öffnung aufweist, oder ebene Gegenstände, wie Deckel von Tankbehältern. Im Falle von Gegenständen mit einer öffnung in einer Wand, wird die offene Wand des Gegenstandes dicht an das linke Ende der Vakuumleitung 4 angeschlossen, statt daß die Leitung an die Priifkammer 1 angeschlossen wird. In ähnlicher Weise werden ebene Teile, wie Büchsendeckel, dicht gegen das linke Ende der Vakuumleitung 4 gehalten. Der Prüfvorgang ist der gleiche wie in Verbindung mit der Priifkammer 1 beschrieben, nur daß während der Zeit, in das Gas aus der Vakuumleitung 4 gepumpt wird, die linke, oder äußere Seite des Prüflings dem Prüfgas ausgesetzt wird. Diese Exposition kann entweder dadurch erreicht werden, daß Prüfgas um die Außenseite des Prüflings strömt, oder daß die Außenseite des Prüflings mit einer Abdeckung abgeschlossen wird und Prüfgas in den Raum zwischen der Abdeckung und der Außenseite des Prüflings eingelassen wird. Ersichtlich sind das hier beschriebene Verfahren und Leckdetektorsystem bei beiden beschriebenen Verfahren anwendbar, mit denen ein Druckunterschied über den Prüfling erzeugt wird.

Das für die meisten Leckdetektorsysteme bevorzugte Prüfgas, einschließlich dem der Erfindung, ist Helium. Zur Erreichung maximaler Empfindlichkeit wird im wesentlichen reines Helium verwendet. In den meisten Fällen kann jedoch das Helium mit einem bekannten Volumenprozentsatz Luft gemischt werden. Wenn Helium als Prüfgas verwendet wird, wird der Massenspektrometer-Lcckdetektor 20 selbstverständlich so ausgelegt, daß er nur Heliumioner nachweist.

Die in Fig. 1 dargestellte Vorrichtung arbeitet wie folgt: Im Zustand »prüfbereit« sind die Ventile 6 und 16 geschlossen, und die Ventile 15 und 7 sind offen, um Helium von der vorangegangenen Prüfung aus den Leitungen 4 und 14 und der Probenkammer 17 über Pumpe 5 zu entfernen. Irgendwelches Helium im

ίο System unterhalb des Ventils 16 wird selbstverständlich mit der Pumpe 19 entfernt. Dann wird das Ventil 13 geöffnet, um Luft unter Atmosphärendruck zui Kammer 1 zuzulassen, und dann wird die Tür 2 geöffnet. Falls die Prüfung besonders empfindlich ist, ist es erwünscht, frische (im wesentlichen heliumfreie) Luft durch die Leitung 12 zu pumpen, um die Kammer 1 von irgendwelchen Heliumresten aus der vorangegangenen Prüfung zu spülen.

Der Prüfzyklus ist wie folgt: Der Prüfling 3 (mit Helium unter Druck gefüllt) wird in die Kammer 1 gebracht und die Tür 2 wird geschlossen. Das Ventil 13 wird geschlossen und dann wird Ventil 6 geöffnet. Die Pumpe S erzeugt ein vorgegebenes Vakuum in Kammer 1, das mit dem Manometer 11 angezeigt

wird. Typischerweise wird ein Druck von etwa 0.1 Torr gewählt. Dann wird das Ventil 7 geschlossen, so daß die Pumpe S durch die öffnung 10 saugt. Die öffnung IO hat eine feste Größe, oder, falls sie einstellbar ist. wird sie auf eine Größe eingestellt, mit

der es möglich ist, den Durchfluß aufrechtzuerhalten, mit dem ein konstantes, vorgegebenes Vakuum in Kammer 1 aufrechterhalten werden kann. Als nächstes wird Ventil 15 geschlossen, um eine Gasprobe im vorbestimmten Gasvolumen 17 zu fangen. Je nach

dem Typ des Prüflings und der für diePrüfung eingestellten Bedingungen, kann eine kurze Verweilzeit für die Zeit zwischen dem Schließen des Ventils 7 und dem Schließen des Ventils 15 gewählt werden, typischerweise eine Zeitspanne zwischen null und zehn Sekunden. Nachdem das Ventil 15 geschlossen ist, wird das Ventil 6 geschlossen, und dann werden die Ventile 7 und 13 geöffnet, um die Vorrichtung für die Entfernung des Prüflings und das Einsetzen des nächsten Prüflings vorzubereiten. Nachdem das Ventil 15 geschlossen ist, wird das Ventil 16 geöffnet, um die Gasprobe im vorbestimmten Gasvolumen 17 in den Leckdetektor 21 einzulassen. Dann wird das Ventil 16 geschlossen und Ventil 15 wird geöffnet. Zu diesem Zeitpunkt ist die Vorrichtung wieder im Zu-

stand »priifbereit«. Ersichtlich kann die Vorrichtung manuell betätigt werden, oder die ganze Betriebsfolge kann automatisch ablaufen.

Wenn die Prüfgasprobe von Kammer 17 zum Leckdetektor 21 eingelassen wird, signalisiert der Detektor

die in der Gasprobe vorhandene Heliummenge. Vorzugsweise wird der Leckdetektor so konstruiert, daß er »gut« oder »Ausschuß« anzeigt, beispielsweise durch Aufleuchten eines grünen bzw. roten Lichtes. Wie bereits gesagt worden ist, wird der maximale

Druck im Leckdetektor durch die geringe Größe des vorbestimmten Gasvolumens 17 im Vergleich zum großen Verteilungsvolumen zwischen Ventil 16 und öffnung 24, einschließlich des Volumens des Detektors 21. kontrolliert. Es ist jedoch erwünscht, den

Druck im Leckdetektor schnell herabzusetzen, nachdem der Detektor auf die Einführung des Gases vom Probenvolumen 17 reagiert hat. Dementsprechend hat die öffnung 24 eine feste Größe, oder, wenn sie ein-

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stellbar ist, ist sie auf eine Größe eingestellt, die es und hat das große Gasvolumen 17 die gleiche Größe

erlaubt, den Leckdetektor im wesentlichen dem vol- wie das einzelne Gasvolumen 17 in Fig. 1.

len Druckeffekt auszusetzen, der sich durch die Frei- F i g. 3 zeigt eine bevorzugte Ausführungsform

gäbe des Probenvolumens in dem Moment ergibt, eines speziellen Ventils zur Verwendung in der An-

nachdem das Probenvolumen freigegeben ist, und 5 Ordnung nach Fig. 1. Genauer gesagt, die Ventil-

dann schnell einem reduzierten Druck auszusetzen. In konstruktion besteht aus einem Körper 29 mit zwei

einer bevorzugten Ausführungsform beträgt der Druck Enden und einer dazwischen befindlichen Trennwand

im Leckdetektor 10~⁵Torr, ehe das Probenvolumen 32. Die Trennwand 32 weist eine Durchbohrung auf,

freigegeben wird, geht unmittelbar nach der Freigabe die das vorbestimmte Gasvolumen 17 bildet. Eine

auf 10~⁴ Torr, und geht dann sofort zu 10-"'Torr io Ventilkammer wird auf jeder Seite der Wand 32 ge-

zurück. bildet, und jede Kammer enthält einen Ventilstößel

Ein wichtiger Aspekt bezieht sich auf die Erkennt- 33 mit einem Ventilkopf 34, der eine O-Ringdich-

nis, daß bei einigen Typen von Prüflingen die mög- tung 35 trägt. Die Ventilanordnung in der unteren

liehe Differenz der Leckrate so groß ist, daß selbst Hälfte des Ventilkörpers 29 ist mit der Anordnung

mit einem vorbestimmten Gasvolumen 17 es schwie- 15 in der oberen Hälfte identisch. Wenn die Ventilstößel

rig ist, ein kleines Leck nachzuweisen und gleichzeitig 33 sich auf die jeweils zugehörige Seite der Wand 32

den Leckdetektor nicht zu verunreinigen, wenn ein zubewegen, werden ersichtlich die O-Ringe 35 gegen

außergewöhnlich hoher Helium-Teildruck im Falle die Wand gepreßt, so daß das zugehörige Ende des

eines groben Lecks auftritt. Es wurde festgestellt, daß Kanals 17 geschlossen wird. Umgekehrt, wenn die

dieses Problem dadurch gelöst werden kann, daß 20 Stößel 33 von der Wand 32 wegbewegt werden, wer-

mehrere vorbestimmte Gasvolumen unterschiedlicher den die betreffenden Enden des Kanals 17 geöffnet.

Größe vorgesehen werden, wie das im folgenden Jeder der Ventilstößel 33 wird von einem hermetisch

näher beschrieben werden wird. dichten Balgen 37 umgeben, wie das bei Vakuum-

F i g. 2 zeigt eine modifizierte Ausführungsform ventilkonstruktionen üblich ist. Ein üblicher Schraubder Anordnung nach Fig. 1, bei der ein zusätzliches 25 handgriff-Mechanismus kann dazu vorgesehen sein, Ventil 30 in der Vakuumleitung 14 vorgesehen ist, den Ventilstößel 33 in die Ventilkammer hinein bzw. um ein zusätzliches vorbestimmtes Gasvolumen 31 aus dieser heraus zu bewegen. Vorzugsweise wird jezwischen den Ventilen 16 und 30 zu schaffen. Wie doch ein automatischer Antrieb in Form von übim Falle der Ventile 15 und 16 kann es sich beim liehen Zylinder- und Kolben-Antrieben 38 vorgese-Ventil 30 um ein übliches Vakuumventil handeln. 30 hen. Die obere Hälfte des Ventilkörpers 29 bildet Das Verfahren zur Verwendung der Ausführungs- ein Ventil 15', das in seiner Funktion dem Ventil 15 form nach F i g. 2 ist ähnlich dem in Verbindung mit in F i g. 1 entspricht. In ähnlicher Weise bildet die F i g. 1 beschriebenen. Genauer gesagt, das Ventil 30 Unterhälfte des Ventilkörpers in F i g. 3 ein Ventil wird geschlossen, während die Ventile 15 und 16 16', dessen Funktion dem Ventil 16 in Fig. 1 entoffen sind, so daß Gas unter niedrigem Druck in der 35 spricht.

Kammer 1 die beiden vorbestimmten Gasvolumen 17 Fig. 4 zeigt eine Anordnung, mit der zwei vorbe-

und 31 füllt. Nachdem die Volumina 17 und 31 ge- stimmte Gasvolumina 17 und 31 unter Verwendung

laden sind, werden die Ventile 15 und 16 beide ge- von Ventilen der in Fig. 3 gezeigten Art gebildet

schlossen, um die Ladungen einzufangen. Dann wird werden können. Genauer gesagt, Ventile 15' und 16'

das Ventil 30 geöffnet, um die Ladung im Volumen 40 sind mit Leitungen 39 und 40 verbunden, die längs

31 zum Leckdetektor zu leiten. Wenn die kleine Gas- der Leitung 14 in F i g. 1 angeschlossen sind. Gemäß

menge im Volumen 31 nicht zu einer Leckregistrie- F i g. 4 wird das Einzelventil 30 in F i g. 2 durch zwei

rung führt, dann wird das Ventil 16 geöffnet, um die Ventile 41 und 42 ersetzt. Alle Ventile in Fi g. 4 sind

größere Probenladung im Volumen 17 dem Leck- identisch entsprechend Fig. 3 aufgebaut, nur daß

detektor zuzuführen. Im Falle eines groben Leckes 45 die mit den Ventilen verbundenen Leitungen auf dei

oder Bruchs enthält das kleine Gasvolumen 31 genug gleichen Seite des Ventilkörpers angeordnet sind statl

Helium zum Nachweis durch den Leckdetektor, ohne auf beiden Seiten des Ventilkörpers, wie in F i g. 3

daß der Leckdetektor einer zu großen Heliummenge dargestellt ist. Im Betrieb der Anordnung nach

ausgesetzt werden muß. Wenn der Prüfling ein ge- F i g. 4 werden die Ventile 16' und 42 geschlossen

nügend feines Leck oder überhaupt kein Leck auf- 5° während die Ventile 15' und 41 offen sind, um die

weist, liefert der Leckdetektor keine Anzeige für ein Gasvolumina 17 und 31 zu füllen. Dann werden die

Leck, wenn das Ventil 30 geöffnet wird. Das Ventil Ventile 15' und 41 geschlossen, um die Proben ir

16 kann dann ohne Gefahr geöffnet werden, um das den Volumen 17 und 31 zu fangen. Als nächste;

größere Gasvolumen 17 dem Leckdetektor zuzu- wird das Ventil 42 geöffnet, um die Probe im Vo

führen. 55 lumen 31 zum Leckdetektor zu leiten. Wenn keir

In einer bevorzugten Ausführungsform ist das Leck nachgewiesen wird, dann wird das Ventil 16

große vorbestimmte Gasvolumen 17 100-bis lOOOmal geöffnet, um die größere Probe im Volumen 17 den

größer als das kleine vorbestimmte Gasvolumen 31, Leckdetektor zuzuführen.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Verfahren zum Nachweisen von Lecks, bei dem eine Seite eines Prüflings einem Prüfgas pusgesetzt wird und Gas von der anderen Seite des Prüflings abgepumpt und einem Leckdetektor zugeführt wird, dadurch gekennzeichnet, daß ein vorbestimmtes Gasvolumen auf der abgepumpten Seite gesammelt wird, das vorbeslimmte Volumen gegen die abgepumpte Seite abgeschlossen wird und dann das vorbestimmte Gasvolumen dem Leckdetektor zugeführt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein zweites vorbestimmtes Gasvolumen auf der gepumpten Seite gesammelt wird, das größer ist als das erste vorbestimmte Volumen, dann das kleinere vorbestimmte Volumen dem Leckdetektor zugeführt wird und, wenn der Leckdetektor kein Leck anzeigt, das größere vorbestimmte Volumen dem Leckdetektor zugeführt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das vorbestimmte Gasvolumen unter einem vorgewählten Druck gesammelt wird.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das vorbestimmic Volumen in den Leckdetektor expandiert wird und der vorgewählte Druck, das f'iste Volumen und die Expansion so gewählt werden, daß der expandierte Druck im Leckdetektor 10"· Torr nicht überschreitet.

5. Leckdetektoranordnung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bestehend aus einer Leitung, mit der ein Prüfgas, das durch den Prüfling leckt, vom Prüfling zu einem Leckdetektor geleitet wird, und zwei in dieser Leitung in Reihe liegenden Ventilen, von denen das erste die L eitung mit einer Kammer für den Prüfling und das zweite die Leitung mit dem Leckdetektor verbindet bzw. davon trennt, dadurch gekennzeichnet, daß ein drittes Ventil (16) zwischen dem zweiten Ventil (15) und dem Leckdetektor (21) angeordnet ist und das zweite (15) und das dritte (16) Ventil so angeordnet sind, daß sie im geschlossenen Zustand zwischen sich wenigstens ein vorbestimmtes Gasvolumen (17) einschließen, und diese Ventile so betätigbar sind, daß Gas im vorbestimmten Gasvolumen zum Leckdetektor (21) strömen kann, ohne daß weiteres Prüfgas in das vorbestimmte Gasvolumen (17) eintreten kann.

6. Anordnung nach Anspruch 5 zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 2, 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein weiteres Ventil (30) zwischen dem dritten Ventil (16) und dem Leckdetektor (21) angeordnet ist und das zweite (15), dritte (16) und jedes weitere (30) Ventil so angeordnet sind, daß wenigstens zwei vorbestimmte Gasvolumen (17, 31) unterschiedlicher Größe eingeschlossen werden können, und die Ventile (15, 16, 30) so betätigbar sind, daß wahlweise zunächst das kleinere (31) der vorbestimmten Volumen und dann das größere (17) der vorbestimmten Volumen zum Leckdetektor (21) strömen kann.

7. Anordnung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch

gekennzeichnet, daß eine Vakuumpumpe (19) über eine zweite Leitung (20) mit der vom Prüfling (3) zum Leckdetektor (21) führenden Leitung (14) verbunden ist, wobei der Leckdetektor an einer Position zwischen den Ventilen (16, 30) und der Pumpe (19) an die zweite Leitung (20) angeschlossen ist, und daß in der Verbindung zwischen der zweiten Leitung (20) und der Pumpe (19) eine Wand (25) mit einer begrenzten Öffnung (21) vorgesehen ist.

8. Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das durch den Leckdetektor (21) und den Teil der zweiten Leitung (24) zwischen der Wand (25) mit Öffnung (21) und dem bzw. den vorbestimmten Gasvolumen (17, 31) gebildete Verteilungsvolumen wesentlich größer ist als das bzw. die vorbestimmten Volumen (17,31).

9. Anordnung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Verteilungsvolumen wenigstens lOOOmal größer ist als wenigstens ein vorbestimmles Volumen (17, 31).

10. Anordnung nach einem der Ansprüche 5 bis 9, bei dem eine getrennte Pumpe an die Leitung zwischen dem Prüfling und dem Leckdetektor angeschlossen ist, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen dem Prüfling (3) und der Leitung (14) einerseits und der Leitung (14) und der Pumpe (5) andererseits jeweils ein Ventil (6, 7) vorgesehen ist.

11. Anordnung nach einem der Ansprüche 5 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß an die Leitung (14) zwischen Prüfling (3) und Leckdetektor (21) in bekannter Weise ein Manometer angeschlossen ist.

12. Anordnung nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß das Ventil (7) an der getrennten Pumpe (5) mit einem durch eine Öffnung (10) kontrollierten Nebenschluß (8) überbrückt ist.

13. Anordnung nach einem der Ansprüche 5 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß je zwei ein vorbestimmtes Gasvolumen (17, 31) einschließende Ventile (15; 16; 41, 42) aus einem Ventilkörper mit einer Trennwand, die eine Durchbohrung (17, 31) aufweist, die das vorbestimmte Volumen bildet, und zwei Ventilköpfen besteht, die jeweils auf einer Seite der Trennwand angeordnet sind, um das jeweils benachbarte Ende der Bohrung (17, 31) abzuschließen, und daß jede Bohrung (17, 31) einen Teil der Leitung zwischen Prüfling(3) und Leckdetektor (21) bildet (Fig. 4).

14. Anordnung nach einem der Ansprüche 5 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Leckdetektor ein Massenspektrometer ist.