DE2713580A1 - Verfahren zum betrieb einer lecksucheinrichtung sowie dazu geeignete lecksucheinrichtung - Google Patents

Verfahren zum betrieb einer lecksucheinrichtung sowie dazu geeignete lecksucheinrichtung

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DE2713580A1
DE2713580A1 DE19772713580 DE2713580A DE2713580A1 DE 2713580 A1 DE2713580 A1 DE 2713580A1 DE 19772713580 DE19772713580 DE 19772713580 DE 2713580 A DE2713580 A DE 2713580A DE 2713580 A1 DE2713580 A1 DE 2713580A1
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test gas
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Gottfried Dipl Ing Lentges
Joachim Marx
Guenter Dipl Phys Dr Reich
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Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
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Leybold Heraeus GmbH
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/202Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems

Description

  • Verfahren zum Betrieb einer Lecksuchein-
  • richtung sowie dazu geeignete Lecksucheinrichtung Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betrieb einer Lecksucheinrichtung, bei der das auf Vorhandensein von Testgas zu untersuchende Gas über ein Leitungssystem einem Testgasnachweisgerät (Detektor) zugeführt wird. Außerdem bezieht sich die Erfindung auf eine für die Durchführung dieses Betriebsverfahrens geeignete Lecksucheinrichtung.
  • Die Dichtheit von Behältern, Systemen, Verpackungen und dgl.
  • kann dadurch bestimmt werden, daß man prüft, ob ein bestimmtes Testgas durch eine eventuell vorhandene Undichtikgeit von der einen zur anderen Seite der zu prüfenden Wandungen strömt.
  • In der Regel wird dazu das zu prüfende Objekt in eine Testkammer eingebracht. Befindet sich Testgas im Innern des zu untersuchenden Objektes, dann wird die Testkammer evakuiert und das aus der Testkammer abgesaugte Gas einem testgasspezifischen Detektor zugeführt. Ist ein Leck vorhanden, dann gelangt Testgas in die Testkammer und von dort aus in den Detektor. Eine andere Möglichkeit besteht darin, in die Testkammer Testgas einzulassen, im Objekt selbst einen Unterdruck zu erzeugen und das daraus abgesaugte Gas dem Detektor zuzuführen. Ist ein Leck vorhanden, so dringt Testgas in das Objekt und wird dann vom Detektor rigistriert. Es besteht natürlich auch die Möglichkeit, die notwendige Druckdifferenz dadurch herzustellen, daß auf der einen Seite der zu untersuchenden Wandungen ein Überdruck erzeugt wird.
  • Als testgasspezifische Detektoren kommen z.B. Massenspektrometer infrage, die vor allen Dingen bei der Verwendung von Helium als Testgas eingesetzt werden. Es ist aber auch bekannt, Wärmeleitungsdetektoren zu benutzen, mit deren Hilfe die Änderung der Wärmeleitfähigkeit in Gegenwart eines Testgases gemessen wird. Ein weiterer Detektor ist der Langmuir-Taylor-Detektor für Fluor-Chlor-Kohlenwasserstoffe als Testgas.
  • Dem Detektor wird häufig die gesamte zu untersuchende Testgasmenge zugeführt, was auch als Hauptstromprinzip bezeichnet wird. Im Detektor wird dann der Partialdruck des eventuell vorhandenen Testgases gemessen, so daß die Testgaskonzentration feststellbar ist. Dieses Hauptstromprinzip hat den großen Vorteil, daß es sehr empfindlich ist, da die gesamte, im Falle einer Undichtigkeit vorhandene Testgasmenge dem Detektor zugeführt wird. Bei der Verwendung von Massenspektrometern als Detektor ist jedoch Voraussetzung, daß vor dem Anschluß dieses Detektors an die Testkammer der für den Betrieb des Massenspektrometer-Detektors notwendige Unterdruck erzeugt worden ist. Das kann bei sehr großen Lecks dazu führen, daß bereits die gesamte vorhandene Testgasmenge aus der Testkammer abgepumpt worden ist, bevor der Massenspektrometer-Lecksucher zugeschaltet wird. In einem solchen Fall kann also der Detektor nicht zwischen einem Objekt mit sehr großem Leck und einem dichten Objekt unterscheiden. Ein weiterer Nachteil des Hauptstromprinzips besteht darin, daß die max. zulässige dem Detektor zuzuführende Gasmenge relativ klein sein muß, was relativ lange Pumpzeiten zur Folge hat.
  • Bei einer anderen Betriebsweise wird dem Detektor nur ein Bruchteil des zu untersuchenden Gases zugeführt (Teilstromprinzip).
  • Der Vorteil dieses Prinzips besteht darin, daß nur bei Unterdruck betriebsbereite Detektoren bereits sehr früh über eine Druckstufe zugeschaltet werden können, also wesentlich früher mit der Dichtheitskontrolle begonnen werden kann. Das verkürzt einerseits die Pumpzeiten; zum anderen können auch grobe Undichtigkeiten registriert werden. Der Nachteil der Zuführung der Gase zum Detektor nach dem Teilstromprinzip ist jedoch, daß die Empfindlichkeit der Lecksuche wesentlich verringert ist, da nur ein kleiner Teil des durch das Leck strömenden Gases dem Detektor zugeführt wird.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Betrieb einer Lecksucheinrichtung, bei der das auf Vorhandensein von Testgas zu untersuchende Gas über ein Leitungssystem dem Testgasnachweisgerät zugeführt wird, vorzuschlagen, das sowohl in der Lage ist, grobe Lecks festzustellen als auch sehr empfindliche. Außerdem soll eine für die Durchführung dieses Betriebsverfahrens geeignete Vorrichtung geschaffen werden, die insbesondere für die Integrierung in einen automatischenprozeßablauf geeignet ist.
  • Das erfindungsgemäße Verf ahren zum Betrieb einer Lecksucheinrichtung besteht darin, daß dem Nachweisgerät zunächst nur ein Bruchteil des zu untersuchenden Gases über ein Leitungssystem zugeführt wird und daß dieser Bruchteil in Stufen oder stufenlos entweder bis zu 100 % oder bis zur Registrierung eines Lecks vergrößert wird.
  • Bei einem Verfahren dieser Art können selbst nur bei Unterdruck betriebsbereite Detektoren sehr früh zugeschaltet werden, so daß auch grobe Lecks registriert werden. Weiterhin kann die Empfindlichkeit dieses erfindungsgemäßen Lecksuchverfahrens bis zum höchstmöglichen Wert gesteigert werden, da gegen Ende der Lecksuche nach diesem Verfahren die gesamte zu untersuchende Gasmenge dem Detektor zugeführt wird. Dadurch, daß beim erfindungsgemäßen VErfahren vom Teilstromprinzip in Stufen oder stufenlos zum Hauptstromprinzip übergegangen wird, können also die Nachteile dieser beiden Verfahren - einzeln durchgeführt -beseitigt und ihre Vorteile ausgenutzt werden.
  • Darüber hinaus hat das erfindungsgemäße Verfahren noch einen erheblichen, die Verseuchungsgefahr der Detektoren betreffenden Vorteil.Bei der Durchführung der Lecksuchverfahren nach dem Teilstromprinzip ist man, um die Empfindlichketi nicht zu sehr zu verringern, bestrebt, den Bruchteil des dem Lecksucher zuzuführenden Gases nicht zu klein zu wählen. Bei großen Lecks besteht dann die Gefahr, daß dem Detektor Gas mit hoher Testgas-Konzentration zugeführt wird, was eine Verseuchung des Detektors zur Folge haben kann, die nur durch eine mehr oder weniger lange Erholzeit abgebaut werden kann.Währeilldieser Zeit ist die Funktion unterbrochen. Bei der Lecksuche nach dem Hauptstromprinzip, insbesondere beim Arbeiten mit Detektoren, die bereits bei Normaldruck betriebsbereit sind, sind diese Nachteile ebenfalls gegeben.
  • Die vorliegende Erfindung ermöglicht es, diese Verseuchungsgefahr des Detektors zu beseitigen. Dadurch, daß die Lecksuche letzlich doch mit sehr hoher Empfindlichkeit durchgeführt wird, kann der Bruchteil des zu Beginn des erfindungsgemäßen Lecksuchverfahrens dem Detektor zugeführten, zu untersuchenden Gases so klein gewählt werden, daß selbst bei groben Lecks eine Verseuchung des Detektors ausgeschlossen ist.
  • Eine für die Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens geeignete Lecksucheinrichtung weist zweckmäßig ein der Zuführung der zu untersuchenden Gase zum
    Lcitwert-Detektor
    dienendes Leitungssystem auf, dessen Leitwert in Stufen oder stufenlos veränderbar ist.
  • Weitere Vorteile und Einzelheiten des erfindungsgemäßen Verfahrens sowie einer zur Durchführung dieses Verfahrens geeigneten Lecksucheinrichtung sollen anhand von in den Figuren 1 bis 3 schematisch dargestellten Ausführungsbeispiele erläutert werden.
  • In allenFiguren sind die Testkammer mit 1, das darin befindliche, zu untersuchende Objekt mit 2, die zur Erzeugung des notwendigen Differenzdruckes dienende Vakuumpumpe mit 3 und der Lecksuchdetektor mit 4 bezeichnet. Der Lecksuchdetektor 4 ist als Massenspektrometer-Lecksucher ausgebildet und enthält das Massenspektrometer 5 und die zusätzliche Vakuumpumpe 6.
  • Beim Ausführungsbeispiel nach Figur 1 enthält das Objekt 2 Testgas. Mit Hilfe der Vakuumpumpe 3 wird über die Leitung 7 und das Ventil 8 in der Testkammer 1 ein Unterdruck erzeugt.
  • Weist das Objekt 2 ein Leck auf,dann gelangt das daraus entweichende Testgas durch die Leitung 7 ebenfalls zur Vakuumpumpe 3.
  • Zur Registrierung und Messung der Konzentration dieses Testgases ist der Lecksuchdetektor 4 vorgesehen, der über die parallel an die Leitung 7 angeschlossenen Leitungen 9 bis 12 mit den Ventilen 13 bis 16 und die Leitung 17 mit der Testkammer 1 verbunden ist.
  • zu Beginn der Lecksuche sind zunächst nur die Ventile 8 und 13 offen. Dadurch strömt nur ein Bruchteil der aus der Testkammer 1 abgesaugten, gegebenenfalls Testgas enthaltenden Gase durch die Leitung 9 und 17 zum Massenspektrometer 5. Die Größe dieses Bruchteils kann durch Wahl der Leitungsquerschnitte und/oder durch das Saugvermögen der Pumpen 3 und 6 beeinflußt werden. Wird bereits zu diesem Zeitpunkt Testgas vom Massenspektrometer 5 registriert, ist ein relativ grobes Leck vorhanden. Wird noch kein Testgas registriert, wird zusätzlich das Ventil 14 geöffnet. Dadurch vergrößert sich die dem Lecksuchdetektor zugeführte Gasmenge, so daß die Lecksuche mit größerer Empfindlichkeit fortgesetzt werden kann. Wird auch danach kein Leck festgestellt, werden nach und nach die Ventile 15 und 16 geöffnet und schließlich das Ventil 8 geschlossen, so daß die dargestellte Einrichtung gegen Ende des Lecksuchverfahrens nach dem Hauptstromprinzip arbeitet.
  • Beim Ausführungsbeispiel nach Figur 2 sind in den Leitungen 9 bis 12 mit den Ventilen 13 bis 16 zusätzlich Drosseln 18 bis 21 mit steigendem Querschnitt angeordnet. Die Lecksuche mit die.<r Einrichtunq erfolgt in der Weise, daß zunächst das Ventil 13 geöffnet wird, so daß nur eine durch die Drossel 18 bestimmte Gasmenge zum Detektor 4 strömt. Wird kein Leck registriert, dann wird das Ventil 13 geschlossen und das Ventil 14 geöffnet, so daß eine durch die Drossel 19 mit etwas größerem Querschnitt bestimmte Gasmenge dem Detektor 4 zuströmt.
  • In dieser Weise werden nacheinander die Drosseln 20 und 21 mit jeweils größerem Querschnitt eingeschaltet und schließlich das Ventil 8 geschlossen, so daß auch hierbei nach und nach vom Teilstromprinzip zum Hauptstromprinzip übergegangen wird. Beim dargestelltenAusführungsbeispieMnach Figur 2 ist die Leitung 7 mit dem Innern des Objektes 2 verbunden, so daß in dem Objekt 2 ein Unterdruck entsteht. In einem solchen Fall wird die Testkammer 1 mit Testgas geflutet, so daß bei eventuell vorhandenen Lecks Testgas in das Objekt 2 dringt.
  • Beim Ausführungsbeispiel nach Figur 3 ist an die Leitung 7 nur eine zum Lecksuchdetektor 4 führende Leitung 22 angeschlossen.
  • Diese weist ein einziges regelbares Ventil 23 auf, mit dem die Menge der von der Testkammer 1 zum Detektor 4 strömenden Gase regelbar ist. Dem Ventil 23 ist darüberhinaus ein Anzeigeinstrument 24 zugeordnet, das jeweils die Stellung des Ventils anzeigt. Schließlich weist auch der Lecksuchdetektor 4 noch ein Gerät 25 zur Anzeige des Testgasstromes auf. Das erfindungsgemäße Lecksuchverfahren kann mit diesem Ausführungsbeispiel in der Weise erfolgen, daß das Ventil 23 vom Schließzustand stufenlos bis zum max. Öffnungszustand geöffnet und dann das Ventil 8 geschlossen wird.
  • Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Anzeige von Lecks folgendermaßen vorgenommen wird: Das Anzeigegerät 25 wird auf eine feste Testgasstromrate eingestellt. Dadurch wird ein Sollwert gegeben, der mit Hilfe eines Regelkreises die Stellung des Ventils 23 beeinflußt und zwar derart, daß die feste Testgasstromrate nicht überschritten wird. Vorzugsweise erfolgt die Regelung so, daß das Ventil so lange eingeregelt wird, bis entweder seine Offenstellung oder bei einer Zwischenstellung die eingestellte Testgasstromrate erreicht ist. Die Anzeige erfolgt dann in der Weise, daß bei Vorhandensein von Testgas und bei einer geringfügigen Öffnung des Ventils eine große Undichtigkeit und bei einer großen Öffnung des Ventils eine kleine Undichtigkeit vorliegen muß. Die Stellung des Ventils 23 ist also dann ein Maß für die Größe des Lecks. Ein weiterer wesentlicher Vorteil liegt darin, daß der Testgasdetektor mit Sicherheit vor einer Verseuchung geschützt ist Alle in denFiguren 1 bis 3 dargestelltenAusführungsbeispiele eignen sich für den Einsatz in automatisch ablaufende Produktionsanlagen, bei denen ein Objekt von außen nach innen, von innen nach außen oder auch durch Schnüffeln auf Lecks untersucht werden soll. Die dazu notwendigen Steuermittel sind in den Figuren als Block 26 dargestellt. Die jeweils zu steuernden Elemente sind mit dem Block 26 über gestrichelte Linien verbunden. BeimAusführungsbeispiel nach Figur 1 veranlassen die Steuermittel 26 das nacheinander erfolgende Öffnen der Ventile 13 bis 16 und das Schließen des Ventils 8. Beim Ausführungsbeispiel nach Figur 2 werden die Ventile 13 bis 16 automatisch nacheinander geöffnet und wieder geschlossen, bevor das jeweils nächste Ventil geöffnet wird. In der Endphase erfolgt wieder das Schließen des Ventiles 8.
  • Beim Ausführungsbeispiel nach Figur 3 sorgen die Steuermittel 26 dafür, daß sich das VEntil 23 stufenlos öffnet.
  • Außerdem erfolgt mit Hilfe dieser Steuermittel 26 die Kalibrierung des Anzeigeinstrumentes 24 auf konstante Testgasstromanzeige. Auch der Lecksuchdetektor 4 steht bei allenAusführungsbeispielen mit dem Block 26 in Verbindung, so daß der Ablauf des Lecksuchprozesses rechtzeitig unterbrochen werden kann, wenn ein Leck registriert wird. Würde das nicht geschehen, bestände wieder die Gefahr der Verseuchung der Detektoren.

Claims (9)

  1. ANSPRtJCHE 1. Verfahren zum Betrieb einer Lecksucheinrichtung, bei der das auf Vorhandensein von Testgas zu untersuchende Gas über ein Leitungssystem dem Testgasnachweisgerät zugeführt wird, dadurch gekennzeichnet, daß dem Nachweisgerät (4) zunächst nur ein Bruchteil des zu untersuchenden Gases über das Leitungssystem zugeführt wird und daß dieser Bruchteil in Stufen oder stufenlos entweder bis zu 100 % oder bis zur Registrierung eines Lecks vergrößert wird.
  2. 2. Für die Durchführung des Betriebsverfahrens nach Anspruch 1 geeignete Lecksucheinrichtung mit einem der Zuführung der zu untersuchenden Gase zum Testgasnachweisgerät dienenden Leitungssystem, dadurch gekennzeichnet, daß der Leitwert des Leitungssystems in Stufen oder stufenlos veränderbar ist.
  3. 3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Leitungssystem mehrere parallel geschaltete Leitungen (9 bis 12) mit Ventilen (13 bis 16) aufweist.
  4. 4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß in den Leitungen (9 bis 12) Drosseln (19 bis 21) unterschiedlicher Größe angeordnet sind.
  5. 5. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß nur eine Leitung (22) mit einem regelbaren Ventil (23) vorgesehen ist.
  6. 6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß dem Ventil (23) ein seine Stellung anzeigendes Instrument(24) zugeordnet ist.
  7. 7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Anzeige des Gerätes (24) in Testgasstrommenge kalibriert ist.
  8. 8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß elektronische Hilfsmittel (26) zur automatischen Steuerung der Lecksucheinrichtung vorgesehen sind.
  9. 9. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß ein Regelkreis für die Anzeigegeräte (24 und 25) vorgesehen ist mit dessen Hilfe die Stellung des Ventils (23) in Abhängigkeit von dem vom Anzeigegerät (25) gelieferten Sollwert beeinflußt wird.
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