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GEBIET DER ERFINDUNG
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Diese
Erfindung betrifft die Erfassung von Lecks in Gegenständen und
im Besonderen ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Helium-Leck-Erfassung über einen
großen
Bereich von Leckraten einschließlich
von großen
Lecks.
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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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Die
Helium-Massenspektrometer-Leckerfassung ist eine allgemein bekannte
Leckerfassungstechnik. Helium wird als ein Spurengas verwendet, das
durch die kleinsten der Lecks in einem dichten Prüfling hindurchtritt.
Nach dem Hindurchtreten durch ein Leck wird eine Testprobe, die
Helium-enthält,
in ein Leckerfassungsinstrument eingesaugt und gemessen. Eine wesentliche
Komponente des Instruments ist eine Massenspektrometerzelle, die das
Helium erfasst und misst. Die eingegebene Testprobe wird ionisiert
und der Massenanalyse durch die Spektrometerzelle unterzogen, um
die Heliumkomponente zu trennen. Bei einem Verfahren wird ein Prüfling mit
Helium beaufschlagt. Eine Schnüffelsonde,
die mit dem Testanschluss der Leckerfassungsvorrichtung verbunden
ist, wird um die Außenseite des
Prüflings
herum bewegt. Das durch die Lecks in dem Prüfling hindurchtretende Helium
wird durch die Sonde angesaugt und durch die Leckerfassungsvorrichtung
gemessen. Bei einem anderen Verfahren wird das Innere des Prüflings mit
dem Testanschluss der Leckerfassungsvorrichtung verbunden und evakuiert.
Das auf die Außenseite
des Prüflings
gesprühte
Helium wird durch ein Leck eingesaugt und durch die Leckerfassungsvorrichtung
gemessen.
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Eine
der mit der Helium-Massenspektrometer-Leckerfassung verbundenen
Schwierigkeiten ist, dass der Einlass der Massenspektrometerzelle
auf einem relativ niedrigen Druck, üblicherweise 2 × 10–4 Torr,
gehalten werden muss. In einer sogenannten herkömmlichen Leckerfassungsvorrichtung
muss der Testanschluss, der mit dem Prüfling oder mit der Schnüffelsonde
verbunden wird, auf einem relativ niedrigen Druck gehalten werden.
Aus diesem Grund ist der Vakuumpumpzyklus relativ lang. Des Weiteren kann
es bei der Prüfung
von undichten oder großvolumigen
Teilen schwierig oder unmöglich sein,
das erforderliche Druckniveau zu erreichen. Wenn das erforderliche
Druckniveau erreicht werden kann, ist der Pumpzyklus übermäßig lang.
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Entsprechend
dem Stand der Technik wurden Techniken vorgeschlagen, um diese Schwierigkeit
zu überwinden.
Eine Gegenstrom-Leckerfassungsvorrichtung, die in dem
U.S.-Patent Nr. 3,690,151 , erteilt
am 12. September 1972 an Briggs, offenbart ist, verwendet eine Technik
des Rückflusses
von Helium durch eine Diffusionspumpe zu dem Massenspektrometer.
Der Testanschluss der Leckerfassungsvorrichtung kann bei dem Druck
der Diffusionspumpen-Vorleitung betrieben werden. Ein ähnliches
Verfahren nutzt den Rückfluss
von Helium durch eine Turbomolekularpumpe. Eine Technik zur Erfassung
eines groben Lecks wird in dem
U.S.-Patent
Nr. 4,735,084 , erteilt am 5. April 1988 an Fruzzetti, offenbart.
Das Spurengas wird in einer Rückwärtsrichtung
durch eine oder zwei Stufen einer mechanischen Vakuumpumpe hindurchgeführt. Diese
Techniken haben ermöglicht,
dass der Druck des Testanschlusses höher als bei herkömmlichen
Leckerfassungsvorrichtungen ist. Dennoch kann das Erreichen des
höheren
Testanschlussdruckes bei der Prüfung von
großen
Volumen, schmutzigen Teilen oder Teilen mit großen Lecks schwierig sein.
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Ein
vereinfachtes schematisches Diagramm einer dem Stand der Technik
entsprechenden Leckerfassungsvorrichtung zur Prüfung auf große Lecks
wird in der 1 dargestellt. Ein Prüfling 10 wird
an einem Einlassflansch 12 befestigt. Der Einlassflansch 12 bildet
einen Testanschluss der Leckerfassungsvorrichtung und ist über ein
Testventil 32 und eine Differenzdrucköffnung 30 mit einer
Testleitung 14 verbunden. Die Leckerfassungsvorrichtung umfasst
eine Vorpumpe 16, eine Vorvakuumpumpe 18, eine
Turbomolekularpumpe (Turbopumpe) 20 sowie ein Massenspektrometer 22.
Eine Vorleitung 24 der Turbopumpe 20 ist mit der
Testleitung 14 verbunden und das Massenspektrometer 22 ist
mit dem Einlass der Turbopumpe 20 verbunden. Eine Mittelstufenleitung 26 der
Turbopumpe 20 kann mit der Testleitung 14 verbunden
werden. Die Vorpumpe 16 unterzieht die Testleitung 14 und
den Prüfling 10 dem Vorvakuumpumpen
von dem Umgebungsdruck und unterstützt ebenfalls die Turbopumpe 20.
Helium, das in den Testanschluss von dem Prüfling 10 eintritt, fließt in einer
Gegenstrom- oder Rückwärtsrichtung durch
die Turbopumpe 20 und in das Massenspektrometer 22.
Das Massenspektrometer 22 erfasst das Helium und zeigt
eine Helium-Leckrate an. Eine alternative dem Stand der Technik
entsprechende Nicht-Gegenstrom-Konfiguration verwendet eine direkte Verbindung 34 zwischen
der Testleitung 14 und dem Einlass des Massenspektrometers 22.
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Bei
der Prüfung
auf große
Lecks, wobei der Testanschlussdruck höher als der zulässige Vorleitungsdruck
der Turbopumpe 20 sein kann, wird die Vorvakuumpumpe 18 in
Leckerfassungsvorrichtungen, die dem Stand der Technik entsprechen,
mit einer Vorvakuumleitung 28 und einem Vorvakuumventil 36 eingesetzt.
Eine Öffnung 30 arbeitet
derart, dass das meiste des Gases zu der Vorvakuumpumpe 18 fließt, während ein
Bruchteil des Gases zu der Vorpumpe 16 fließt, wobei
Helium in einer Rückwärtsrichtung
durch das Massenspektrometer 22 hindurchgeführt wird.
Ein Umgehungsventil 38 wird verwendet, um die Öffnung 30 zu
umgehen. Die Prüfung mit
zwei Pumpen und einer Differenzdrucköffnung ist von Natur aus unzuverlässig, da
die Öffnung
zum Beispiel teilweise durch Verunreinigungen verstopft werden kann,
was zu fehlerhaften Messwerten führt. Darüber hinaus
erhöhen
die Kosten der Vorvakuumpumpe und der dazugehörigen Hardware erheblich die
Kosten.
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Die
europäische Patentanmeldung Nr. 0
352 371 , veröffentlicht
am 31. Januar 1990, offenbart eine Helium-Leckerfassungsvorrichtung,
die eine Ionenpumpe enthält,
die mit einer Sonde in der Form eines Quarzglaskapillarrohrs verbunden
ist. Das Quarzglasrohr wird auf eine Temperatur zwischen 300°C und 900°C erhitzt
und wird dadurch permeabel für Helium.
Das
U.S.-Patent Nr. 5,325,708 ,
erteilt am 5. Juli 1994 an De Simon, offenbart eine Helium-Erfassungseinheit,
die eine Quarzkapillarmembran, einen Heizfaden zum Beheizen der
Membran sowie eine Ionenpumpe nutzt. Das
U.S.-Patent Nr. 5,661,229 , erteilt
am 26. August 1997 an Bohm et al., offenbart eine Leckerfassungsvorrichtung
mit einem Polymer- oder beheizten Quarz-Fenster zum selektiven Hindurchführen von
Helium zu einem gasverbrauchenden Vakuummesser.
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Sämtliche
der dem Stand der Technik entsprechenden Leckerfassungsvorrichtungen
weisen einen oder mehrere Nachteile auf, die begrenzte Druckbereiche,
Empfindlichkeit gegenüber
Verunreinigungen und/oder hohe Kosten einschließen. Dementsprechend besteht
ein Bedarf für
verbesserte Verfahren und Vorrichtungen zur Erfassung eines Lecks.
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US 6014892 offenbart eine
Spurengas-Leckerfassungsvorrichtung, die ein Pumpenprobenahmeelement
zur Stichprobenprüfung
des Flusses in einem Rohr enthält.
Das Probenahmeelement kann eine poröse Membran sein, die ermöglicht,
dass Gase, einschließlich
des Spurengases, hindurch diffundieren.
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US 4773256 offenbart eine
Installation zur Erfassung eines Lecks von Spurengas, die eine Turbomolekular-Sekundärpumpe enthält. Die
Turbomolekular-Sekundärpumpe
kann eine Zwischen-Einlassöffnung
enthalten.
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Entsprechend
einem ersten Aspekt der Erfindung wird eine Vorrichtung zur Erfassung
eines Lecks nach Anspruch 1 bereitgestellt.
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Das
permeable Element kann permeabel für Helium sein. In einigen Ausführungsformen
weist das permeable Element ein Quarzelement auf. Die Vorrichtung
kann weiterhin ein Heizelement in thermischem Kontakt mit dem Quarzelement
sowie eine Steuereinheit aufweisen, die so aufgebaut ist, um das Heizelement
zu steuern. In weiteren Ausführungsformen
weist das permeable Element ein Polymerelement auf.
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Entsprechend
einem zweiten Aspekt der Erfindung wird ein Verfahren zum- Erfassen
eines Lecks nach Anspruch 7 bereitgestellt.
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KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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Für ein besseres
Verständnis
der vorliegenden Erfindung wird Bezug auf die begleitenden Zeichnungen
genommen, die durch Bezugnahme hierin eingeschlossen sind, und wobei:
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1 ein
Blockdiagramm einer dem Stand der Technik entsprechenden Doppelpumpen-Leckerfassungsvorrichtung
zur Prüfung
auf ein großes
Leck ist;
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2 ein
vereinfachtes Blockdiagramm einer Vorrichtung zur Erfassung eines
Lecks in Übereinstimmung
mit einer ersten Ausführungsform
der Erfindung ist;
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3 ein
vereinfachtes Ablaufdiagramm eines Verfahrens zur Erfassung eines
Lecks in der Vorrichtung von 2 ist;
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4 ein
vereinfachtes Blockdiagramm einer Vorrichtung zur Erfassung eines
Lecks in Übereinstimmung
mit einer zweiten Ausführungsform
der Erfindung ist;
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5A ein
vereinfachtes Blockdiagramm einer Vorrichtung zur Erfassung eines
Lecks in Übereinstimmung
mit einer dritten Ausführungsform
der Erfindung ist;
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5B ein
vereinfachtes Blockdiagramm einer Vorrichtung zur Erfassung eines
Lecks in Übereinstimmung
mit einer vierten Ausführungsform
der Erfindung ist; und
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5C ein
vereinfachtes Blockdiagramm einer Vorrichtung zur Erfassung eines
Lecks in Übereinstimmung
mit einer fünften
Ausführungsform
der Erfindung ist.
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AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
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Eine
Vorrichtung zur Erfassung eines Lecks entsprechend einer ersten
Ausführungsform
der Erfindung wird in 2 dargestellt. Ein Prüfling 110,
der ein Testvolumen 111 besitzt, wird an einem Einlassflansch 112 befestigt.
Der Einlassflansch 112 bildet einen Testanschluss einer
Vorrichtung zur Erfassung eines Lecks und ist durch ein Testventil 136 mit
einer Testleitung 114 verbunden. Eine Vorpumpe 116 besitzt
einen mit der Testleitung 114 verbundenen Einlass zum Pumpen
der Testleitung 114 und des Testvolumens 111.
Die Vorrichtung zur Erfassung eines Lecks enthält des Weiteren eine Turbopumpe 120, ein
Massenspektrometer 122, ein Vorleitungsventil 124,
ein Mittelstufenventil 138, ein für Spurengas permeables Element 130,
eine Steuereinheit 132 und dazugehörige Leitungen. Das Massenspektrometer 122 besitzt
einen Einlass 162, der mit einem Einlass der Vakuumpumpe 120 verbunden
ist. Eine Vorleitung 140 der Turbopumpe 120 ist
durch das Vorleitungsventil 124 mit der Testleitung 114 verbunden. Eine
optionale Mittelstufenleitung 142 der Turbopumpe 120 ist
durch das Mittelstufenventil 138 mit der Testleitung 114 verbunden.
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Die
Turbopumpe
120 kann durch eine Diffusionspumpe, eine so
genannte Hybridturbopumpe oder eine Molekular-Drag-Pumpe, ersetzt
werden. Eine Mittelstufenverbindung wird an einer Diffusionspumpe
nicht verwendet. In einer Hybridturbopumpe werden eine oder mehrere
der axialen Pumpstufen durch Scheiben ersetzt, die sich bei hoher
Geschwindigkeit drehen und als Molekular-Drag-Stufen fungieren.
Diese Konfiguration wird in dem
U.S.-Patent
Nr. 5,238,362 , erteilt am 24. August 1993 an Casaro et al.,
offenbart. In jedem Fall ist die Vakuumpumpe durch eine relativ
hohe Rückfluss-Strömungsrate
für leichte
Gase, wie beispielsweise Helium, sowie durch eine relativ niedrige
Rückfluss-Strömungsrate
für schwere
Gase gekennzeichnet, so dass Helium durch die Vakuumpumpe in einer
Rückwärtsrichtung von
der Vorleitung
140 zu dem Massenspektrometer
122 hindurchgeführt wird
und andere Gase im Wesentlichen blockiert werden.
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Das
für Spurengas
permeable Element 130 ist durch eine Leitung 148 zwischen
der Testleitung 114 und dem Einlass 162 des Massenspektrometers 122 verbunden.
Das permeable Element 130 ist ein Material, das für das in
der Leckerfassungsvorrichtung verwendete Spurengas, üblicherweise
Helium, unter speziellen Bedingungen permeabel ist. Das permeable
Element 130 lässt
das Spurengas im Wesentlichen hindurchtreten oder eindringen, während es
andere Gase, Flüssigkeiten
und Partikel im Wesentlichen blockiert. Das permeable Element 130 fungiert
demzufolge als ein Spurengasfenster im Sinne des Ermöglichens
des Hindurchführens
des Spurengases, während
andere Gase, Flüssigkeiten
und Partikel blockiert werden.
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Das
permeable Element 130 kann in einer Halterung 150 eingeschlossen
sein, die mit der Leitung 148 so verbunden ist, dass Gas,
das durch die Leitung 148 zu dem Massenspektrometer 122 hindurchgeführt wird,
durch das permeable Element 130 hindurchgeführt wird.
Das permeable Element 130 kann beispielsweise die Form
einer Scheibe aufweisen.
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Quarz-
oder Kieselglas ist ein Beispiel für ein Material, das permeabel
für Helium
ist. Genauer gesagt, variiert die Helium-Permeabilität von Quarz
mit der Temperatur. Bei erhöhten
Temperaturen in dem Bereich von 300°C bis 900°C weist Quarz eine relativ hohe
Helium-Permeabilität
auf. Bei Raumtemperatur weist Quarz eine relativ niedrige Helium-Permeabilität auf. Die
Leckerfassungsvorrichtung kann mit einem Heizelement in thermischem
Kontakt mit dem permeablen Quarzelement 130 bereitgestellt
sein. Das Heizelement kann durch eine Steuereinheit eingeschaltet
werden, um die Helium-Permeabilität von dem
permeablen Quarzelement 130 zu erhöhen. Durch Steuern der Temperatur
des permeablen Elementes 130 wird ein Helium-Fenster bereitgestellt. Bei
einer relativ hohen Temperatur (zum Beispiel 300°C bis 900°C) ist die Helium-Permeabilität hoch und
das Helium-Fenster ist geöffnet.
Bei einer relativ niedrigen Temperatur (zum Beispiel bei Raumtemperatur)
ist die Helium-Permeabilität
niedrig und das Helium-Fenster ist geschlossen. Weitere geeignete für Spurengas
permeable Elementmaterialien umfassen Polymere, wie beispielsweise
Tetrafluorethylen, das unter dem Handelsnamen Teflon bekannt ist.
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Die
Arbeitsweise der in 2 dargestellten Vorrichtung
zur Erfassung eines Lecks wird unter Bezugnahme auf den Ablaufplan
von 3 beschrieben. In Schritt 200 wird der
Prüfling 110 (2)
an dem Testanschluss der Vorrichtung zur Erfassung eines Lecks befestigt.
Genauer gesagt, wird der Prüfling 110 an
dem Einlassflansch 112 befestigt. In Schritt 202 wird
das Testventil 136 geöffnet
und der Prüfling 110 wird
mit der Vorpumpe 116, üblicherweise
beginnend vom atmosphärischen
Druck, gepumpt. In Schritt 204 wird das Heizelement eingeschaltet
und das Vorleitungsventil 124 sowie das Mittelstufenventil 138 werden
geschlossen. Dadurch wird auf effiziente Weise verhindert, dass
Helium das Massenspektrometer 122 durch die Turbopumpe 120 erreicht,
und die Helium-Permeabilität des permeablen
Elementes 130 erhöht.
Folglich kann das Helium von der Testleitung 114 durch
das permeable Element 130 zu dem Massenspektrometer 122 fließen. Das
permeable Element 130 verhindert, dass andere Gase und
Verunreinigungen in. das Massenspektrometer 122 eintreten.
Demzufolge kann die Leckprüfung
beginnen, sobald die Vorpumpe 116 mit dem Pumpen des Testvolumens
beginnt. In Leckerfassungsvorrichtungen, die dem Stand der Technik
entsprechen, kann die Leckprüfung
erst beginnen, wenn ein ausreichend niedriger Testleitungsdruck
für eine ordnungsgemäße Arbeitsweise
der Turbopumpe und des Massenspektrometers erzeugt wurde. Dieser Vorteil
ist für
viele Anwendungen wichtig. Wenn das Druckniveau in einem Massenspektrometer 122 zu hoch
wird, öffnet
sich automatisch das Vorleitungsventil 124 und das Testventil 136 schließt sich
für eine
kurze Zeitdauer, um die Vorpumpe 116 wieder zu verbinden
und um das gewünschte
Druckniveau wieder herzustellen.
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In
Schritt 206 wird basierend auf der durch das permeable
Element 130 aufgenommenen Menge an Helium eine Feststellung
dahingehend vorgenommen, ob der Prüfling 110 ein großes Leck
aufweist. Wenn ein großes
Leck erfasst wird, wird der Prüfling 110 derart
klassifiziert, dass er den Test nicht bestanden hat, und der Test
wird beendet.
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Wenn
in Schritt 206 kein großes Leck erfasst wird, wird
das Heizelement in Schritt 208 abgeschaltet und die Leckerfassungsvorrichtung
wird für
die Erfassung von mittleren oder kleinen Lecks konfiguriert. Das
Mittelstufenventil 138 wird für die Erfassung von mittleren
Lecks geöffnet
und das Vorleitungsventil 124 wird für die Erfassung von kleinen
Lecks geöffnet.
In einigen Fallen können
sowohl das Mittelstufenventil 138 als auch das Vorleitungsventil 124 geöffnet werden.
In diesem Modus wird das Helium in der Testleitung 114 durch
die Turbopumpe 120 in einer Rückwärtsrichtung von der Vorleitung 140 und/oder
der Mittelstufenleitung 142 zu dem Massenspektrometer 122 hindurchgeführt. Dieser
Modus ermöglicht,
dass die Testleitung 114 bei dem Vorleitungsdruck der Turbopumpe 120 arbeiten
kann. In Schritt 210 wird eine Feststellung dahingehend
vorgenommen, ob der Prüfling 110 ein
mittleres oder kleines Leck aufweist. Die Erfassung eines mittleren oder
kleinen Lecks basiert auf der Menge an Helium, das von der Testleitung 114 durch
die Turbopumpe 120 zu dem Massenspektrometer 122 hindurchgeführt wird.
Wenn in Schritt 210 ein mittleres oder kleines Leck erfasst
wird, wird der Prüfling
als ein Leck aufweisend klassifiziert und besteht den Lecktest nicht.
Wenn in Schritt 210 kein Leck erfasst wird, besteht der
Prüfling
den Lecktest.
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Das
permeable Element 130 kann aus einem beliebigen Material
hergestellt werden, das permeabel für das Spurengas, üblicherweise
Helium, ist und kann eine beliebige Form oder Abmessung aufweisen.
Beispiele von geeigneten Materialien umfassen Quarz und permeable
Polymere. Wenn Quarz verwendet wird, beheizt ein Heizelement das
Quarzmaterial, um die Helium-Permeabilität zu erhöhen, wobei die meisten anderen
Gase, Wasserdampf und Partikel selektiv blockiert werden. Der Quarz
weist eine konstante Permeabilität
für eine
gegebene Temperatur auf. Die Temperatur kann eingestellt werden, um
die Permeabilität
und demzufolge die Empfindlichkeit zu steuern. In dem Fall eines
permeablen Polymers ist kein Heizelement erforderlich. Das permeable
Element kann an dem Einlass des Massenspektrometers angebracht werden.
Das Helium, das durch das permeable Element eindringt, wird durch das
Massenspektrometer erfasst, und das Signal wird in ein Leck-Maß umgewandelt.
Das permeable Element kann bei Vakuum, atmosphärischem Druck oder bei einem
Druck arbeiten, der geringfügig
höher als
der atmosphärische
Druck ist. Das permeable Element kann in einer Atmosphäre, die
Gase, Partikel enthält,
sowie in einer feuchten Umgebung arbeiten. Das permeable Element
ermöglicht
die Erfassung von großen
Lecks in einer Helium-Leckerfassungsvorrichtung
mit einer einzigen Vorvakuumpumpe.
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Eine
Vorrichtung zur Erfassung eines Lecks in Übereinstimmung mit einer zweiten
Ausführungsform,
die nicht Bestandteil der vorliegenden Erfindung ist, wird in 4 dargestellt.
Gleiche Elemente in den 2 und 4 besitzen
dieselben Referenznummern. In der Ausführungsform von 4 ist
das für
Spurengas permeable Element 130 zwischen der Testleitung 114 und
der Vorleitung 140 der Turbopumpe 120 verbunden.
Ein Umgehungsventil 160 ist zwischen der Vorleitung 140 und
der Testleitung 114 verbunden. Das permeable Element 130 wird
umgangen, wenn das Ventil 160 geöffnet ist. In Betrieb wird
Helium in der Testleitung 114 durch das permeable Element 130 zu
der Vorleitung 140 der Turbopumpe 120 hindurchgeführt. Das
Helium wird anschließend
in einer Rückwärtsrichtung
durch die Turbopumpe 120 zu dem Einlass 162 des
Massenspektrometers 122 hindurchgeführt und durch das Massenspektrometer 122 gemessen.
In weiteren Ausführungsformen
kann eine Kombination aus einem für Spurengas permeablen Element 130 und
einem Umgehungsventil 160 mit der Mittelstufenleitung 142 (2)
der Turbopumpe 120 verbunden sein oder kann direkt mit
dem Einlass 162 des Massenspektrometers 122 verbunden
sein.
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Eine
Vorrichtung zur Erfassung eines Lecks in Übereinstimmung mit einer dritten
Ausführungsform,
die nicht Bestandteil der vorliegenden Erfindung ist, wird in 5A dargestellt.
Gleiche Elemente in den 2, 4 und 5A besitzen
dieselben Referenznummern. In der Ausführungsform von 5A ist
die Vorleitung 140 der Turbopumpe 120 mit der
Vorpumpe 116 verbunden und die Testleitung 114 ist
mit einer separaten-Vorvakuumpumpe 170 verbunden.
Das für
Spurengas permeable Element 130 ist zwischen dem Einlass 162 des
Massenspektrometers 122 und der Testleitung 114 verbunden. Das
Umgehungsventil 160 ist parallel zu dem permeablen Element 130 gekoppelt.
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Eine
Vorrichtung zur Erfassung eines Lecks in Übereinstimmung mit einer vierten
Ausführungsform,
die nicht Bestandteil der vorliegenden Erfindung ist, wird in 5B dargestellt.
Gleiche Elemente in den 2, 4, 5A und 5B besitzen dieselben
Referenznummern. In der Ausführungsform
von 5B ist das für
Spurengas permeable Element 130 zwischen der Testleitung 114 und
der Vorleitung 140 der Turbopumpe 120 verbunden.
Das Umgehungsventil 160 ist parallel zu dem permeablen Element 130 gekoppelt.
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Eine
Vorrichtung zur Erfassung eines Lecks in Übereinstimmung mit einer fünften Ausführungsform,
die nicht Bestandteil der vorliegenden Erfindung ist, wird in 5C dargestellt.
Gleiche Elemente in den 2, 4, 5A und 5C besitzen dieselben
Referenznummern. In der Ausführungsform
von 5C ist das für
Spurengas permeable Element 130 zwischen der Testleitung 114 und
der Mittelstufenleitung 142 der Turbopumpe 120 verbunden.
Das Umgehungsventil 160 ist parallel zu dem permeablen
Element 130 gekoppelt.
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Die
vorstehenden Ausführungsformen
illustrieren, dass das permeable Element 130 an verschiedenen
Stellen in der Vorrichtung zur Erfassung eines Lecks eingesetzt
werden kann, um unterschiedliche Leckerfassungsempfindlichkeiten
zu erreichen. Ein optionales Umgehungsventil kann parallel zu dem permeablen
Element 130 gekoppelt sein. Die Vorrichtung zur Erfassung
eines Lecks kann eine einzelne Vorpumpe oder eine Vorpumpe und eine
separate Vorvakuumpumpe nutzen. In weiteren Ausführungsformen können permeable
Elemente an mehr als einer Stelle in der Vorrichtung zur Erfassung
eines Lecks eingesetzt werden.
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Nachdem
nun mehrere Aspekte von wenigstens einer Ausführungsform dieser Erfindung
beschrieben wurden, ist für
eine Person mit gewöhnlicher
Erfahrung auf dem Gebiet der Technik schnell offensichtlich, dass
verschiedene Änderungen,
Modifizierungen und Verbesserungen vorgenommen werden können. Dementsprechend
sind die vorstehende Beschreibung sowie die Zeichnungen lediglich
im Sinne eines Beispiels zu verstehen.