DE1937271A1 - Lecksuchgeraet - Google Patents

Description

8QB9-69A^Ö/^S ;

US Serial No. 747,505 '

Convention Date: -

July 25, 1968 · . . : ...

Norton Company, Worcester, Massachusetts, V.St.A.

Lecksuchgerät

Die Erfindung betrifft ein Lecksuchgerät nach der Mass ensρektrometerMethode zum Prüfen von Halbleiter- und Milcroschaltungsbaueinhei ten, 'Wärmeaustauschern, Vakuum- sowie chemischen Apparaturen auf Undichtigkeiten in deren Hohlgehäusen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Gera teanordnung und ein Verfahren zur Leckstiche zu schaffen, die einen erhöhten Väkuumschutz für das Massenspektrometer oder dergl. gasempfindliche Gasprüfinstrument sowie eine beachtliche Wirtschaftlichkeit und Vereinfachung bei der Lecksuche, einschließlich geringerer Gerätekosten und der Möglichkeit der Beschäftigung von Bedienungspersonen geringerer Ausbildung, ergeben.

Die Erfindung betrifft Anordnungen, bei welchen zum Beschicken mit einem das zu messende Leck anzeigenden Testgasstrom eine evakuierte Verbindung des Gaseinlasses mit einem Vakuum-Gasuntersuchungsinstrument-, beispielsweise ^einem au£ ein Testgäs mit ni;edrigem^l Molekulargewicht(z· B. -Helium) eingestellten Massenspektrometer, vorgesehen ist., Erfindungsgemäß wird das Testgas über eine einem Spektrometer zugeordnete Hochvakuumpumpe (beispielsweise eine Diffusionspumpe oder dergl.) gegensinnig zur Pumprich- . tang der Pumpe geleitet, bevor es das Spektrometer erreicht. Das erfindungsgemäße Gerät enthält einen Gaseinlaß zum Verbinden des auf Undichtigkeit zu.

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untersuchenden Prüflings mit einer evakuierten Leitung und einer Hochvakuum-i pumpe, deren Vorvakuum- oder Auslaßleitung an diese Leitung angeschlossen ist und deren Einlaß an ein Gasanalysi erinstrument angeschlossen ist. Et- . waiges durch das Leck in die Leitung eintretendes Testgas: bewegt sich gegen die Pumpwirkung der Hochvakuumpumpe in ausreichendem Maße stromaufwärts zum Gasanalysierinstrument, so daß es zum Zwecke der Lecksuche untersucht werden kann. Bei Verwendung einer Diffusionspumpe ,.oder ähnlichen Pumpe kann die übliche Kühlfalle, die teuer und schwierig zu beschaffen sowie zu bedienen ist, entfallen. Die übliche Hochvakuumventi!ausrüstung kann ganz.oder mindestens teilweise durch eine einfachere Ventilausrüstung ersetzt werden. Die Anfälligkeit des Spektrometers gegen unzulängliches Arbeiten des Lecksuchgerätes ist verringert. . ■ .--

Nachstehend werden Ausführungsbeispiele der -Erfindung an Hand der Zeichnungen erläutert. Es zeigen:

Figur T das Schema eines Lecksuchgerätes gemäß dem Stand der Technik; .

- Figur 2, 3, 4, 5, 6 und 7 Schemata verschiedener Ausführungsformen des

erfindungsgemäßen Gerätes, wobei .die Aus führung sform nach Figur 2 für die meisten Anwendungszwecke außer für die Lecksuche nach der Tast- oder Abfühlmethode ("sniffing") vorzuziehen ist, während.die Ausführungsform nach Figur 3 sich besonders gut für die letztgenannte Methode eignet:- -

:■ - .Figur 1 zeigt das Schema einer typischen Apparatur gemäß dem Stand der Technik. Dabei wird irgendeine der Prüfanordnungen A, B, C, D an den Prüfeinlaß TP angeschlossen. Bei der Anordnung A wird der Leck aus tritt axis einem abgeschlossenen Prüfling, der mit Testgas vorgesättigt ist,' von einer Äbfühlsonde ("sniffer probe") SPI aufgenommen. Bei der Anordnung B wird der Prüfling evakuiert und aiißen an den leckverdächtigen Stellen mit Helium besprüht. Bei der Anordnung C wird der vorgesättigte Prüfling in eine.Vakuumkammer eingebracht. Bei der Anordnung D erfolgt eine Abzapfung von einer vorhandenen Väkuumapparatur mit.einer Vakuumkammer D-1 (deren Dichtigkeit gemessen werden soll), die mittels einer Kühlfalle D-2,einer Diffusions- · pumpe D-3 und einer Vorpumpe D-4 evakuiert wird. Die 'Abzapfung zur Leckprüfung wird dabei an der VorVakuumleitung der Diffusionspumpe vorgenommen. Als Testgas wird, ein Gas niedrigen Molekulargewichtes, z.B. Wasserstoff, Helium oder deren Isotope, verwendet.

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Die Prüfanordnung wird mit dem Lecksuchgerät LD-I Über den Prüfeinlaß» TP und die Einlaßleitung IL gekoppelt. Als erstes wird ein Grobventil RVI geöffnet, um die Prüfanordnung über eine Grobleitung mit einer mechanischen Kreiselpumpe RP mit einer Pumpleistung von mehreren Kubikfuß pro Minute (1 Kubikfuß = 0,02832 cbm) strömungsmäßig zu verbinden. Mittels dieser Grobpumpe wird die Prüfanordnung voreväkuiert, um den Restgehalt an Helium, das in der Luft im Verhältnis von T : 200 000 Teiieh anwesend ist, zu entfernen und den Gesamtdruck der Anlage auf einen für den Massenspektrometerbetrieb geeigneten Wert (θ,0002 Torr oder, niedriger) herunterzusetzen.

Mittlerweile ist das Gasanalysierinstrument, ein Massenspektrometer MS, mittels einer Kühlfalle CT, einer Hochvakuumpumpe (Diffusionspumpt) HVP und einer an die Vorvakuumleitung der Hochvakuumpumpe HVP angeschlossenen Vorpumpe FP auf den gewünschten Druck evakuiert worden.

Nach Beendigung des Grob evakuier ens wird das Grobventil RVI sen und das.Prüfventil TVI geöffnet, so daß die Prüfanordnung mit der Prüf-, leitung TLI, die über die Kühlfalle CT zum Massenspektrometer führt, verbunden wird. Die Kühlfalle pumpt bzw. fängt denjenigen Wasserdampf ab, der mit jeder Lecksuchprobe eintritt, so dall die allmähliche Verschlechterung des Massenspektrometers infolge Verunreinigung; mit Wasserdampf verhindert wird. Die Kühlfalle pumpt bzw. fängt außerdem den Rückstrom von den Pumpen HVP und PP ab. Für das Vorpumpen und das Grobpumpen kann eine einzige Pampe verwendet werden, indem man eine zusätzliche Vorvakuumleitung' vorsieht, wie strichpunktiert angedeutet, und in diese zusätzliche Vorvakuumleitung ein Isolierventil einbaut. Ein Druckschalter PS, ein Druckmesser vom Aneroid- oder Barometertyp, zeigt den Überschüssigen Druck: an oder schaltet die HocIi vakuumpumpe automatisch ab, wenn der Vorvakuumleitungsdruek zu hoch wird«

Beim Prüfen strömt eine Lecksuch-Gasprobe mit einem der Größe des wahrgenommenen Leckes proportionalen Testgas-Par.ti al druck durch den PrÜfeinl-aß TP, die Einlaßleitung IL, die Prüfleitung TLI und die Kühlfalle CT zum Massenspektrometer», das den Testgasgehalt analysiert und die -gemessene Undichtigkeitauf dem Meßinstrument M anzeigt.

Figur 2 veranschaulicht die erfindungsgemäße Lecksuchmethpde. Das Lecksuchgerät LD II hat einen Prüfeinlaß TP, eine Einlaß leitung" IL, eine Grob- \ leitung HL, eine Prüfleitung TL II, ein Grobventil RV II, ein .Prüfventil. TV II. ein Massenspektrometer 'AS, ein Meßinstrument M.-eine Hochvakuumpumpe

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SAÖ

HVP und eine Grobpumpe RP"(mechanische Kreiselpumpe). Die Hochvakuum-Diffusionspumpe HVP bildet im wesentlichen die einzige MolekularstrÖmungspumpe zwischen Einlaß und Spektrometer. Es ist keine Kühlfalle vorhanden. Das Grobventil RV II und das Prüfventil TV TI befinden sich in. diesem Fall in Hochdruckleitungen und brauchen daher weniger strengen Anforderungen zu ge~. nügen als ihre Gegenstücke bei dem Gerät nach" Figur 1, die in Hoehvakuumbe_r— reichen angeordnet sind und eine Hochvakuumabdichtungsfunktion erfüllen.; .--■

Im Betrieb des Gerätes LD-II wird zunächst das Massenspektrometer MS als Vorbereitung für das jeweilige Tagespensum über die einzige Grobpumpe RP "und das" geöffnete Ventil TV II und anschließend über HVP, TV II, RP .(bei stets "geschlossenem Ve,ntil■ RV IT) vorgepumpt. Sodann kann eine Leckprüfung in folgender Weise vorgenommen werden: Der PrüfeinlaS TP wird an eine der üblichen Leckprüfanordnungen, z.B. nach Figur !,angeschlossen. Das Ventil TV II wirdgeschlossenund das Ventil RV II geöffnet. Anschließend wird die Prüfanordnung, falls erforderlich, mittels der Pumpe RP" grobevakuiert, jährend dieser kurzen Gröbevakuierzeit wirkt die Vorvakuumieitung FL der"Pumpe HVP stromaufwärts des geschlossenen Prüfventils TV IT als Ballast- oder Ausgleichs tankv Wenn die Prüfanordnung grobgepumpt Ist, wird das Ventil TV II geöffnet und"mit^: der Undichtigkeitsprüfung begonnen. Während der Undichtigkeitsprüfung dient die Pumpe RP als Vorpumpe. ObWohl'.die Pumpe RP Einströmgas mit entsprechendem Testgasgehalt von der Prüfleitung abzieht, ist der dadurch bedingte Empfindlichkeitsverlust zusammen mit den"Empfindlichkeits-Verlusten beim. D/.irchströnven der ^Diffusionspumpe offenbar ziemlich gering. Ein ausreichender Anteil des gegebenenfalls, durch'."den Prüf ein! aß TP eintretenden Testgases gelangt durch die Pumpe HVP nach rückwärts und erreicht das l-'assens.pektroineter M3, so daß eürfaige Undichtigkei ten erfaßt werden können. Zugleich verhindert die Pumpe HVP, daS andere, mit der Gasprobe einströmende Bestandteile (höherenMolekulargewichts) wie Wasserdampf, Sauerstoff und Stickstoff in das Massenspektrometer HS. eintreten, .so daß.die Anforderungen an den Gasanalysator weniger streng sind und außerdem das Erfordernis der Kühlfalle und die dami t verbundenen Nachteile des Gasströmungswiderstandes und der Kosten entfallen. Außerdem kann die vorliegende.Apparatur größere Ur.dichtigkei ten oder Risse, die bei den Vorbekahnten Lecksuchgeräten mög-; .= licherweise den Gasanalysator gefährden und ein Abschalten der Apparatur . durch .Sicherheitselnrichtungeri zur Folge haben, besser vertragen. ' ',"'."

Zwischen der. einzelnen Undicht!-gkeitsprüfungen einer Testserie mit

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einer Prüfanordnung wird das Gerät mittels der Pumpen HVP und SP jeweils von Testgasresten gesäubert. Nach der Testserie.wird das- Ventil RV II geschlossen und die Prüfanordnung vom Einlaß TP entkoppelt.

Das erfindungsgemäße Gerat erleichtert ungeübten Kräften das Arbeiten und bietet einen größeren Sicherheitsspielraum, so daß sich eine breitere Anwendungsmöglichkeit von Massenspektrometer-Lecksuchgeräten in der Industrie ergibt. Mit dem Gerät lassen sich grobe ITndichtigkeiten unterschiedlichster-Art messen, deren man bisher nur mit Hilfe von speziellen Zusatzeinrichtungen oder durch Hinzuziehung spezieller Fachleute mit herkömmlichen Geräten. Herr •werden konnte·. Ferner wird die Einbuße an Empfindlichkeit bei dem,, Gerät, nach'. Figur 2 teilweise dadurch wieder aufgewogen, daß die Kühlfalle; mitr.-ihrem■· .... Gasströmungswiderstand entfällt. - . ijL^K; '

Für die Geräteteile MS und RP in Figur 2 kann rnan auch beliebige -andere geeignete Einrichtungen, bekannter Art verwenden. Beispielsweise kann MS ein Radioaktivdetektor (für Tritium-Testgas), ein Doppelabienk-Massenspektrometer, ein Kaltkathoden-Massenspektrometer, .ein Ionisationsmanometer oder eine Ionisationspumpe mit Eichung für den Lecksuchbetrieb- sein. Für RP kann man eine Cryopumpe oder Cryosorptions-Grobpumpe oder -pumpenanordnung verwenden (was jedoch weit weniger zweckmäßig ist, da man in diesem Fall mit cryogenen Medien oder mit Kühlung arbeiten muß)»

Für die Hochvakuumpumpe kann man irgendeine der handelsüblichen zweizeiligen und in den meisten Fällen sogar vierzölligen Diffusionsptimpen verwenden.. Auch Saugstrahlpumpen und Molekularpumpen sind, bei· entsprechender Abwandlung geeignet. Auf jeden Fall liefert die Pumpe eine Gesamtluftgeschwindigkeit, die ausreicht, tun das Massenspektrometeryolumen nach bekannten Prinzipien in kurzer Zeit zu evakuieren, sowie ein niedriges DrLickverhältnis für Testgas geringer Masse. Die Pumpe ist mit Einlaß und Vorvakuumleitung so ausgebildet,' daß..sie an ihrem Einlaß' ein Hochvakuum (1O Torr Druck oder niedriger) erzeugt-und, einen Vordruck oberhalb des HochVakuumwertes aufweist (TO Torr oder mehr,- typischerweise 0,1 bis 1 Torr bei Diffusionspumpen). Im allgemeinen ist das Verhältnis von Leistung zu. Durchsatz ungefähr 1,5,oder größer (in Kilowatt Nemil ei stun g, dividiert durch. . llenngeschwindigkeit mal 0,001 Torr), im Gegensatz zu dem. .Verhältniswert , 1,0 bei den meisten modernen Diffusionspumpen. . ■

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Figur 3 zeigt eine Ausführungsform, bei welcher .das Gerät nach Figur 2 " so abgewandelt ist, daß es.sich für die Abfühlmethode (entsprechend der / Prüfanordnung A in Figur 1) eignet. . "-■■■;

Bei dem Gerät nach Figur 3 hat das Ansaugrohr der Abfühlsonde eine erweiterte Öffnung, die eine Einströmung von 0,1 oder mehr ccm/sec atm. ergibt, im. Gegensatz zu der Beschränkung vorbekannter Geräte auf ungefähr . 0,001 ccm/sec atm. Gaseinströmung. Durch diese erhöhte Gaseinströr.tungsrate wird die Empfindlichkeit der Sonde bei der Suche nach kleineren Undichtig-. , keiten verbessert, da eine größere Wahrscheinlichkeit besteht, da3 die Undichtigkeit durchsetzendes Testgas... abgefangen wird. Durch die verbesserte Sondenempfindlichkei.t: bei der Betriebsart des AbfÜhlens wird der infolge '.,-■■ der Rückwärts strömung des Test gas es durch die Hochvakuur_tpumpe entstehende.. : Empfindlichkeitsverlust mindestens teilweise.aufgehoben. Außerdem.ist die bekannte Schwierigkeit, die sich durch das Vers top fen- der Sonde ergibt, =_: stark verringert. . : . . -■ V..·-."

: Die Apparatur nach Figur 3 kann als Sinzweck-Lecksuchgerät ; (für die Abfühlmetho:de) .eingerichtet werden, wobei das Grobventil und das Prüfventil nach Figur 2 entfallen. Die Abfühlsonde selbst bildet, dann den Prüfeinlad,., wobei ihre Ansaugrohrkonstruktion das Grobpumpen ermöglicht-. Stattdessen kann man auch eine, erweiterte Abfühlsonde" auf dem Prüfeitilaß TP nach. Figur montieren. : . ~ . _; .. . ."

Bei der in Figur 4 gezeigten Aus-führungsform sind getrennte mechanische Pumpen, für das Vorpumpen (F.P) und das Grobpumpen (KP) vorgesehen.: Die Ventil-nnd Leitungsanordnung kann irs übrigen wie-bei der Ausführungsform nach_: Figur 2 sein. ..·-■""■ - / . . . ■■'"".. -^: \

Die in Figur 5 gezeigte Ausführungsform, arbeitet mit einer zweistufigen Grobpumpe RP V. Die Prüfeini aß lei'tung, die Grobleitung, die Hochvakuumpumpe und das Spektrometer sind wie in Figur 2 angeordnet. Mittels'.der 'Ven-. tile X und Y kann die Strömung entweder durch beide Pumpstufen zum Grobpur.— pen oder durch nur-die zweite Stufe zum Vorpumpen während der Undichtigkeit^ prüfung geleitet werden. Die niedrigere Vorpumpleistung'während der Undichtigkeitsprüfung ergibt einen geringeren Empfindlichkeitsverlust als'die. volle Grobpumpleistung. ' - , .

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Das in Figur 6 gezeig-te L.ecksuchgerät LD VI besteht aus dem Massenspektrometer KS mit zugehörigem Meßinstrument■(nicht gezeigt) und der Hochvakuumpumpe HVP mit Vor Vakuumleitung FL. Ein beliebiger Punkt der .Vorvaktiumleitung kann dabei als Prüfeiniaß TP für den Eintritt des Testgases angesehen w^:erden. .

Dieses Gerät ist an das Pumpsystem einer Vakuumkammer angeschlossen, deren Dichtigkeit geprüft werden soll (entsprechend der Anordnung D in Figur 1). Die übliche Ventilausrüstung der Vakuumanordnung D kann dabei auch für die. Bedienung des Lecksuchgerätes gemäß der Erfindung verwendet werden.

Um sowohl eine hohe Empfindlichkeit bei der Undichtigkeitsprüfung als auch eine rasche Säuberung der Prüfapparatur zwischen den Tests zu erreichen, kann das Testgasdruckverhältnis der Hochvakuumpumpe durch Erniedrigen der Pumpwirkung von HVP in dem Sinne reguliert werden, daß das Testgasdruckverhältnis in der Hochvakuumpumpe nur während der Prüfung erniedrigt wird, während zwischen den Tests das volle Testgasdruckverhältnis zur raschen Säuberung des Gerätes verfügbar ist. Beispielsweise kann das Testgasdruckverhältnis dadurch erniedrigt werden,' daß man die Öldiffusionspumpe während der Prüfung mit einer niedrigeren Öltemperatur betreibt. Man· kann auch die Vorpumpgeschwindigkeit zwischen den Tests erhöhen.

In Figur 7 sind zwei Diffusionspumpe^ HVPA"und HVPB hintereinander geschaltet, wobei HVPB zusammen mit der mechanischen Pumpe FP das Vorpumpsystem für die Pumpe HVPA bildet. Die Pumpe HVPA hat ein niedrigeres Druckverhältnis für das Testgas als die Pumpe HVPB (z.B. sind .beide Pampen zwei zöllige Öldiffus ionspump en und hat HVPA eine Leistung gleich 2/3 der Leistung der Pumpe HVPB). Die Prüfanordnung wird durch die Pumpe RP über das Ventil RV grobgepumpt. Die Dichtigkeitsprüfung erfolgt durch Schließen des Ventils RV und Einlassen der Sasprobe über das Prüfventil TV in die Vorvakuumleitung FL der Diffusionspumpe HVPA. Während der Prüfung wird eine Drosselplatte TH (eine Platte mit Düsenöffnung) über den Einlaß der Pumpe HVPB herabgelassen, um die effektive Pumpleistung von KVPBauf ungefähr 3 l/sec herabzusetzen, iiach dem Prüfen wird die Drosselplatte aus ihrer .Sperrlage durch einen Magneten abgehoben, um die volle Pumpgeschwindigkeit wiederherzustellen.

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SAO ORIGINAL

Claims (12)

1. _ & _ .. ■■■ ■■■■■./■-■■

   P a t e. η t a n spräche

   :cfcksuch gerät zum Auffinden von Undichitigkeiten in einem Körper, mit

   ysator zum. Wahrnehmen ,eines Testgases mit niedrigem" Molekulargewicht, einem Gasprobeneiniaß für die die gemessene Undichtigkeit anzeigende Testgasströmung und einer Hochvakuumpaimpe mit Einlaßleitung und Vörvakuum— leitung, wobei die EiniaBleitung in Strömungsverbindung mit dem Gasanalysator steht,. dadurch g e k e η η ζ e■. ί. c h. η e t _r daß die Hochvakuumpumpe (Ην?) so ausgebildet ist, daß das Testgas entgegen der Pumprichtung W vom. Vorvakuuml ei tungs ende zum Einlaßende bindurchtreten Kann? und daß der Gas.einlafi (ΤΡ) in Verbindung mit der Varwalcuuraleitung der Pumpe steht_r. derart, daß Testgas durch.die Torvalcuurrtleitung und die Pumpe zum Gasanalysator (MS) gegensinnig zur Pumprichtung strömt.
2. 2. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Hochvakuumpumpe eine Diffusionspumpe (HVP, HVPA) ist.
3. 3· Gerät nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch mindestens eine Sekundärpumpe (FP, SP, HYPE), die stromabwärts des Gaseiniasses in Strömungsverbindung mit der Vorvakuumleitung der Hochvakuumpumpe steht, um Gas aus der Vorvakuumleitung zu entfernen.
4. 4· Gerät nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch eine erste Prüfventilanordnung -(RV-II, TV-Il) zum wahlweisen und alternativen Verbinden der Einlaßleitung der Sekundärpumpe mit der Vorvakuumlei tung der Hochvakuumpumpe für den Betrieb als Vorpumpe und mit dem Testgaseiniaß für den Betrieb als Grobpumpe. .
5. 5· Gerät nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet d u r C h eine Grobpumpe (sp) und ein Grobpumpenventil (RV-II, TV-Il) zum Verbinden der Einlassleitung der Grobpumpe mit der Vorvakuumlei tu ng der Hochvakuumpumpe und mit dem Gaseinlaß während der Zeit, da keine Undichtigkeitsprüfung erfolgt. ■ ' .

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6. 6. Gerät nach Anspruch 3, dadurch ge Tc e η η ζ e i c h net, daß die Sekundärpumpe eine zweite Diffusionspumpe (Hyps) ist.
7. 7· Gerät, nach Anspruch 6, dadurch g e k e η «η ζ e i c h η e tt , daß die !Diffusionspumpe, die mit dem Testgaseinlaß an ihre Vorvakuumleitung angeschlossen ist, !'HVPA) das Testgas in größerem Maße entgegen der Pumprichtung durchläßt: als die zweite Diffusionspumpe (HVPB)-
8. fl. Gerät .nach Anspruch >6 oder 7, g e k e η η ζ eic h η e t - d u r ch eine einsteilbare Drosseleinrichtung (TH) zum Verringern des Gasvolumens, das pro Zeiteinheit von der zweiten Diffusionspumpe während der Durchführung einer Tlndichtigkeitsprüfung gepumpt wird.
9. 9. Gerät nach einem Ansprüche 6 Ms 8_t gekennzeichnet, durch eine in Strömungsverbindung mit der Vorvakuumleitung der zweiten Diffusionspumpe stehende Vorpumpe (FP).
10. 10. Gerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch ein zwischen dem Testgaseinlaß und der Hochvakuumpumpe angeordnetes Prüfventil (ffV-Il) zum wahlweisen Öffnen und Schließen des Testgaseinlasses zur Vorvakuumleitung der Hochvakuumpumpe während der Durchführung bzw. der Michtdurchführung von Dichtigkeitsprüfungen.
11. 11. Gerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Abfühlsonde (SP), die so ausgebildet und angeordnet ist, daß sie ein'e Gasströmung von mindestens 0,1 ccm/sec atm. durch den Gaseinlaß in die Vorvakuumleitung der Hochvakuumpumpe liefert.
12. 12. · Verfahren zum Auffinden einer Undichtigkeit in einem Prüfkörper, bei welchem eine leckverdächtige Stelle des Prüfkörpers in Strömungsverbindung mit einer Leitung gebracht, die Leitung unter. Beaufschlagung der leckverdächtigen Stelle mit Testgas evakuiert und das in die Leitung eintretende Gas mittels eines Gasanalysators analysiert wird, um die Anwesenheit und Menge oder .die Abwesenheit von Testgas zu bestimmen, d a du r c_,h g e k e η nz ei c h η e t, daß die Vorvakuumleitung einer Vakuumpumpe mit der Leitung verbunden wird; daß mit dem Einlaß ein Gasanalysator verbunden wird, der»rt,

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    daß die einzige Verbindung der Lei tung mit dem Gasanalysator während der UndichtigfceitsprUfung in stromaufwärtiger Richtung entgegen der Pumprichtung der Pumpe besteht; und daß das entgegen der Pumprichtung der Pumpe sich bewegende Testgas im Gasanalysator analysiert wird.

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