JPH1082400A - 蒸気ジェット真空ポンプおよびその製造方法 - Google Patents

蒸気ジェット真空ポンプおよびその製造方法

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JPH1082400A
JPH1082400A JP21391697A JP21391697A JPH1082400A JP H1082400 A JPH1082400 A JP H1082400A JP 21391697 A JP21391697 A JP 21391697A JP 21391697 A JP21391697 A JP 21391697A JP H1082400 A JPH1082400 A JP H1082400A
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housing
steam jet
jet pump
casting
boiler
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Application number
JP21391697A
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English (en)
Inventor
Frank Nuzzi
フランク・ヌズィ
Mohamad Sakhtah
モハマド・サクター
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Varian Medical Systems Inc
Original Assignee
Varian Associates Inc
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Publication date
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04FPUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F9/00Diffusion pumps

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Jet Pumps And Other Pumps (AREA)
  • Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 製造コストが安く,製造の容易な蒸気ジェッ
ト真空ポンプを提供する。 【解決手段】 蒸気ジェット真空ポンプがポンプハウジ
ング,ポンプハウジングにシールされたボイラー,およ
びポンプハウジング内に取り付けられるジェット組立体
を含む。ボイラーは液体用の容器を画成するボイラーハ
ウジング,蒸気を形成するために液体を蒸気化するため
のヒーターを含む。ジェット組立体はハウジングに蒸気
ジェットを向ける。好適実施例において,ボイラーハウ
ジングは低多孔性金属鋳造品である。ポンプハウジング
を製造する方法が,二つ以上の低多孔性ハウジングブラ
ンクを鋳造する工程,仕上げ済みのハウジング要素とす
るためにハウジングブランクを機械削りする工程,およ
びポンプハウジングを形成するために仕上げ済みのハウ
ジング要素を互いに取り付ける工程を含む。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は蒸気ジェット真空ポ
ンプに関し,特にポンプハウジングが低多孔性金属鋳造
品である蒸気ジェット真空ポンプ,およびその蒸気ジェ
ット真空ポンプの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】拡散
ポンプとして知られている上記ジェットポンプは取り囲
まれたチェンバーを高真空に真空排気するために広く使
用されている。上記ジェットポンプの基本的な要素は,
一端に入り口と前ラインを有するほぼ円筒形ハウジング
を含む。その前ラインは典型的に,粗引きポンプに連結
され,排気口として機能する。ボイラー組立体がハウジ
ングの他端内にシールされている。ボイラー組立体はオ
イルのような液体のための容器,および液体を蒸気化す
るためのヒーターを含む。ハウジング内に取り付けられ
たジェット組立体が一つまたはそれ以上の蒸気ジェット
をハウジング壁(ここで蒸気が凝縮する)へと向ける。
凝縮した蒸気は液体容器に戻り,このサイクルが繰り返
される。蒸気ジェットはガス分子を,ポンプが取り付け
られ,取り囲まれたチェンバーから引っぱり込み,これ
によりチェンバーが真空排気される。
【0003】蒸気ジェットポンプは一般的に,ヘリウム
質量スペクロトメータ漏れ検出器において使用されてい
る。ヘリウムは,シールされた試験片において,最小の
漏れ口を通過するトレースガスとして使用される。ヘリ
ウムを含む試験用サンプルが漏れ口を通過した後,漏れ
検出装置内に引かれ,質量スペクロトメータにより測定
される。在来の質量スペクトロメータおよび向流質量ス
ペクロトメータの両方とも従来技術として知られてい
る。向流漏れ検出器が,米国特許第3,690,151(ブリッ
グス),米国特許第4,499,752号(フルゼッティイ)お
よび米国特許第4,845,360号(ランドフォーズ)に開示
されている。向流漏れ検出器において,質量スペクトロ
メータ管が蒸気ジェットポンプの入り口に連結され,ヘ
リウムトレースガスが,蒸気ジェットポンプの前ライン
または通常の出力ポートを通して導入される。蒸気ジェ
ットポンプはより重いガスに対して高い圧力比を呈する
が,ヘリウムのようなより軽いガスに対して低い圧力比
を呈する。したがって,ヘリウムは許容比で,蒸気ジェ
ットポンプを通ってスペクトロメータ管へ逆方向に拡散
し,そして測定される。サンプル中のより重いガスは大
部分,蒸気ジェットポンプにより阻止され,スペクトロ
メータ管に戻ることが妨げられる。向流漏れ検出器は,
漏れ検出器試験ポートがスペクロトメータ管の必要な動
作圧力より数次高い圧力動作することを可能にする。
【0004】ハウジングは,蒸気ジェットポンプのコス
トの主要な要因となる。従来のジェットポンプは機械削
りされたハウジング要素を利用していた。いくつかのハ
ウジング要素は,機械削りにより別個に製造され,要素
はハウジングを形成するために互いに組み立てられる。
蒸気ジェットポンプの真空エンベロープを画成する要素
が真空気密にシールされなければならいない。個々に製
造された典型的なハウジング要素はハウジングシェル,
冷却フィン,前ライン導管,前ラインフランジ,ボイラ
ープレート,ヒーター壁,ヒーターフィンおよびサーモ
スタットブロックを含む。これら要素のすべてが個々に
機械削りされ,次にポンプハウジングを形成するために
互いに組み立てられる。従来の蒸気ポンプよりも製造コ
ストが安く,製造の容易な蒸気ジェットポンプ構成を提
供することが望ましい。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の第一の態様に従
って,蒸気ジェットポンプ用のハウジングを製造する方
法が提供される。その方法は,二つ以上の低多孔性のブ
ランクを鋳造する工程,仕上げ済みハウジング要素とす
るためにハウジングブランクを機械削りする工程,なら
びに入り口および前ラインを有する蒸気ジェットポンプ
を形成するために仕上げ済みハウジング要素を互いに取
り付ける工程から含む。鋳造工程はステンレススチール
をインベツトメント鋳造する方法から成ってもよい。ハ
ウジング要素は主ハウジング,前ライン導管およびボイ
ラーハウジングを含んでもよい。
【0006】第一の実施例において,仕上げ済みのウジ
ング要素は,前ライン導管を主ハウジングに溶接し,ボ
イラーハウジングを主ハウジングに溶接することにより
互いに取り付けてもよい。第二の実施例において,仕上
げ済みのハウジング要素は前ライン導管を主ハウジング
に真空ろう付けし,ボイラーハウジングを主ハウジング
に真空ろう付けすることにより互いに取り付けられる。
【0007】好適な実施例において,サイトガラス開口
部が主ハウジングに形成され,光透過性サイトガラスが
サイトガラス開口部にシールされる。サイトガラス開口
部は鋳造または機械削りすることにより形成されてもよ
い。
【0008】本発明の他の態様に従って,蒸気ジェット
ポンプが蒸気ジェットポンプハウジング,そのポンプハ
ウジングにシールされたボイラー,およびポンプハウジ
ング内に取り付けられるジェット組立体を有する。ポン
プハウジングは低多孔性金属鋳造品(キャスティング)
から成り,入り口および前ラインを有する。ボイラーは
液体用の容器を画成するボイラーハウジングおよび蒸気
を形成するためにその液体を蒸気化させるためのヒータ
ーを有する。ジェット組立体はハウジングに少なくとも
一つの蒸気ジェットを向けるものである。金属鋳造品は
多数の冷却フィンを有してもよい。好適実施例におい
て,ボイラーハウジングは低多孔性金属鋳造品(metal
casting)から成る。
【0009】さらに本発明の他の態様にしたがって,蒸
気ジェットポンプ用のハウジングが主ハウジング,前ラ
イン導管およびボイラーハウジングを含む。主ハウジン
グは低多孔性金属鋳造品から成り,内部領域,前ライン
開口部および入り口を画成する。前ライン導管は主ハウ
ジングの前ライン開口部に取り付けられるもので,低多
孔性金属鋳造品から成る。ボイラーハウジングは主ハウ
ジングに取り付けらるが,これも低多孔性金属鋳造品か
ら成る。
【0010】
【発明の実施の形態】本発明にしたがった蒸気ジェット
ポンプの例が図1および図2に示されている。蒸気ジェ
ットポンプの主要な要素は,ハウジング10,ボイラー12
およびジェット組立体14を含む。ハウジング10はほぼ円
筒状のシェル20(これは内部領域22を画成する),およ
び前ライン導管24(これは前ライン28を画成する)を含
む。内部領域への入り口26がシェル20の一端に形成され
ている。入り口26に取り付けられるコールド・キャップ
27が従来より知られいる過剰発散流(overdivergent fl
ow)を抑制する。ボイラー12はシェル20の反対側にシー
ルされている。ハウジング10は冷却フィン30(これは,
互いに間隔があけられ,ほぼ環状形をしたもの),およ
びポンプを覆い部に取り付けるための入り口フランジ32
をさらに含む。前ライン導管24は適当な導管に取り付け
るための前フランジ34を含む。前ライン24に配置された
バッフル(baffle)がオイル蒸気が前ライン27を通って
いずれの方向にも流れないようにする。
【0011】ボイラー12はシェル20の一端にシールされ
た端部プレート42を有するボイラーハウジング40,その
端部プレート42から内部領域22へむかって上に伸長する
フィン構造物を有する。フィン構造物はヒーター50を取
り付けるための円筒形区画室を画成する。ボイラーハウ
ジング40はジェット組立体14の円筒形壁52内に配置され
ている。液体容器54がボイラーハウジング40とジェット
組立体14の円筒形壁52との間に位置している。円筒形シ
ェル56がフィン構造物44を取り囲み,動作中のフィン構
造物44の温度の制御を助ける。ボイラー12はシェル20の
外側から絶縁体58により囲まれ得る。
【0012】ジェット組立体14は,蒸気をボイラー12か
ら第一の環状ポンピングステージ62へ,そして第二のポ
ンピングステージ64へと伝えるための中央通路60を画成
するほぼ円筒形形状をもつ。放出ステージが,ジェット
組立体14の壁を貫通し,前ライン28と整合するノズル66
により形成される。
【0013】動作中において,容器54内のオイルのよう
な液体がヒーター50により蒸気化される。蒸気が通路60
を通ってポンピングステージ62および64へと通過する。
ポンピングステージ62および64のそれぞれは,ほぼ円錐
形の蒸気ジェットとなるように外へ向かい,かつ下方に
向いた環状開口部を有する。各蒸気ジェットの蒸気は比
較温度の低い円筒形外側シェル20により凝縮し,凝縮し
た蒸気は液体容器54に戻る。蒸気ジェットはガス分子
を,ポンプが取り付けられ,覆われたチェンバーから引
き込み,これによりチェンバが真空排気される。排気さ
れたガス分子は前ライン28を通って排気される。円筒形
シェル20の上方部分は典型的に,冷却ファン(図示せ
ず)により冷却される。このファンは,ジェットポンプ
の一部であってもよく,蒸気ジェットポンプが利用され
る装置の一部であってもよい。
【0014】シェル20と一体となって形成せれたブロッ
ク72に取り付けられたサーマルスイッチ70が,液体が蒸
気化し,ポンプが動作状態に入ったときを示すために使
用される。サーマルスイッチ70に隣接した,ブロック72
に取り付けられて第二のサーマルスイッチ(図示せず)
が異常な温度状態を示すために使用できる。
【0015】蒸気ジェットポンプは,ボイラー12の領域
内のポンプの内部を見ることができるサイトガラス組立
体を任意に含み得る。図2に示されているように,サイ
トガラス80がハウジング10内のサイトガラス開口部82を
含む。サイトガラス開口部82は円筒形シェル20から外側
に伸長する壁84により画成される。開口部82はカバープ
レート88により,所定の位置に保持された光透過性サイ
トガラス86によりシールされる。一実施例において,サ
イトガラス86が従来より知られている溝の中に配置され
た弾性リング90により壁84にシールされている。第二の
実施例において,サイトガラス86はガラス金属シールに
より壁84にシールされる。特に,サイトガラス86はKova
rリングに溶融され,Kovarリングは壁84に溶接される。
【0016】ハウジング10は金属鋳造法(metal castin
g)により製造される。特にハウジング10はステンレス
スチールをインベストメント鋳造することにより製造さ
れ得る。ハウジングは真空気密でなければならないの
で,低多孔性のハウジングを製造する鋳造法が必要とな
る。特に,多孔性は5.5×10-9atm cc/secヘリウムより
小さくなければならない。高真空の適用例において,ハ
ウジングの壁の厚さは0.165cm(0.065インチ)以上であ
る。ハウジング用の好適な材料が304ステンレススチー
ルである。鋳造法によりハウジングブランクが製造さ
れ,次に機械削りされる。鋳造法による製造はコストの
面で有効なものになるという特徴をもつ。鋳造によるハ
ウジングの製造は,機械削りによってのみ製造されるハ
ウジングと比較して非常にコストの軽減をはかることが
できる。
【0017】蒸気ジェットポンプのハウジング10は一つ
のハウジング要素または一つ以上のハウジング要素とし
て製造することができる。鋳造金型の複雑さ,コストと
いう実際上の理由から,ハウジングを完成するために互
いに取り付けられる二つ以上のハウジングの要素とし
て,ハウジングを製造することが望ましい。
【0018】好適実施例において,ハウジング10は三つ
の要素,円筒形シェル20,前ライン導管24およびボイラ
ーハウジング40を金属鋳造(metal casting)すること
により製造される。前ライン導管24はシェル20上の前ラ
インフィッティング100にシールされる。ライン102は前
ライン導管26と前ラインフィッティング100との間の境
界を画成する。ボイラーハウジング40の端部プレート42
はシェル20の下方端部にシールされる。
【0019】シェル20の製造のために使用される主ハウ
ジングブランク110が図3および図4に示されている。
主ハウジングブランク110は,入り口フランジ32,冷却
フィン30,および内部通路111とともに形成される。内
部通路111は縦軸線114にそってテーパーが付けられてい
る。ハウジングブランク110は,続く前ラインフィッテ
ィング100(図1)の機械削りのための中実(solid)ブ
ロック116,続くサイトガラス開口部82(図2)の機械
削りのための中実ブロック118および一つ以上のサーマ
ルスイッチを取り付けるためのブロック72を含む。
【0020】仕上げ済み円筒状のシェル(これは蒸気ジ
ェットポンプの主ハウジングを構成する)は図5および
6に示されているが,これらは続いて機械削りが行われ
る。内部壁は,軸線114にそって一様な内径をもつよう
にリーマーで広げられる。開口部120が前ラインのフィ
ッティング100を画成するためにブロック116に形成され
る。入り口フランジ32はコールド・キャップ27(図1)
を取り付ける必要から機械削りされ,冷却フィン30の一
部が前ライン導管24に止め付けるためのクリアランスを
形成するために除去される。サイトガラス開口部82はブ
ロック118で機械削りされ,さらに仕上げ済みのシェル2
0とするために機械削りが行われる。
【0021】仕上げ済みボイラーハウジング40は図7お
よび図8に示されているが,これは機械削りされた後の
ものである。ボイラーハウジングブランクがディスク状
端部プレート42およびカラム130により支持されるフィ
ン構造物44をもつように鋳造される。端部プレート42は
機械削りされた円形のステップ132および134を有する。
外側のステップ132はシェル20に関して,ボイラーハウ
ジング40を中心に配置し,内側ステップ134はシェル20
に関してジェット組立体14を中心に配置する。フィン構
造物44は円筒状中心要素40から放射状に外側に伸長する
フィン138を含む。円筒状のヒーター区画室が端部プレ
ート42,カラム130および中心要素140により上方に形成
される。ヒーター区画室142は蒸気ジェットポンプの真
空領域の外にある。
【0022】仕上げ済みの前ライン導管24は図9に示さ
れているが,これは機械削り後のものである。前ライン
導管ブランクが図9に示されているように,直角の角度
をもつ形状に鋳造される。前ライン導管ブランクは中心
通路148および前ラインフランジ34を含む。溝150が前ラ
インフランジ34に隣接して機械削りされる。
【0023】上記したように,仕上げ済みハウジング要
素は完全なポンプハウジングを形成するために互いに取
り付けられる。特に,前ライン導管24は,典型的に溶接
または真空ろう付けによりシェル20のフィッティング10
0に(ライン120のところで)取り付けられる。ボイラー
ハウジング40のステップ132は典型的に溶接または真空
ろう付けによりシェル20の下方端部に取り付けられてい
る。ハウジング要素は真空気密なシールを形成するため
に,互いに取り付けられる。
【0024】上記したように,ポンプハウジングは一体
の要素としてまたは一つ以上要素として製造してもよ
い。ハウジングの要素の数が増加し,必要な機械削りの
動作数が増加すると,コストも増加する。しかし,各ハ
ウジング要素の複雑さが増すと,鋳造金型のコスト,複
雑さも増す。ここで図示し,説明した三つの要素の形状
は許容可能なものである。しかし,いろいろな形状が本
発明に含まれることは理解されるであろう。例えば,シ
ェル20および前ライン導管24を一体の要素として鋳造し
てもよい。同様に,シェル20およびボイラーハウジング
40も一体の要素として鋳造してもよい。さらに他の形状
として,シェル20,前ライン導管24およびボイラーハウ
ジング40は一体の要素として鋳造される。さらに,いろ
いろな構成要素が機械削りでなく鋳造により形成され
る。たとえば,一つ以上の前ライン開口部120,サイト
ガラス開口部82およびヒーター区画室142を機械削りで
はなく鋳造工程により一体に形成することができる。
【0025】本発明にしたがって金属鋳造により形成さ
れたポンプハウジングは,全体を機械削りにより製造さ
れるポンプハウジングと比較して驚くほどポンプのコス
トを軽減する。ポンプハウジングが,シェル,前ライン
導管およびボイラーハウジングを含む,三つの要素を鋳
造することにより形成される,説明してきた例におい
て,蒸気ジェットポンプの全コストは機械削りされたハ
ウジングを有するポンプと比較して約50%軽減される。
【0026】いままで,本発明の好適実施例と考えられ
るものを示し,説明してきたが,当業者であれば,特許
請求の範囲により画成された本発明の範囲から逸脱する
ことなく種々の変更,修正をなしうることは明らかであ
ろう。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明にしたがった蒸気ジェットポンプの断面
図である。
【図2】図1の蒸気ジェットポンプの,一部切り欠きさ
れた側面図である。
【図3】機械削り前の主ハウジングの断面図である。
【図4】機械削り前の主ハウジング鋳造品の側面図を示
す。
【図5】機械削りが続いて行われた主ハウジング鋳造品
の断面図である。
【図6】機械削りが続いて行われた主ハウジング鋳造品
の,一部切り欠きされた側面図である。
【図7】機械削りが続いて行われたボイラーハウジング
の側面図を示す。
【図8】機械削りが続いて行われたボイラーハウジング
の平面図を示す。
【図9】機械削りが続いて行われた前ライン導管の断面
図を示す。
【符号の説明】
10 ハウジング 12 ボイラー 14 ジェット組立体 20 シェル 22 内部領域 24 導管 26 入り口 27 コールド・キャ
ップ 28 前ライン 30 冷却フィン 32 入り口フランジ 34 前ラインフラン
ジ 36 バッフル 40 ボイラーハウジ
ング 42 端部プレート 44 フィン構造物 50 ヒーター 52 壁 54 容器 56 シェル 58 絶縁体 60 通路 62 ポンピングステージ 64 ポンピングステ
ージ 70 スイッチ 72 ブロック 100 フィッティング 102 ライン
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 モハマド・サクター アメリカ合衆国マサチューセッツ州メイデ ン,キンボール・ストリート151

Claims (22)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 蒸気ジェットポンプを製造する方法であ
    って,二つ以上の低多孔性ハウジングブランクを鋳造す
    る工程と,仕上げ済みのハウジング要素とするために前
    記ハウジングブランクを機械削りする工程と,入り口お
    よび前ラインを含む蒸気ジェットポンプハウジングを形
    成するために,前記仕上げ済みのハウジング要素を互い
    に取り付ける工程と,を含む蒸気ジェットポンプを製造
    する方法。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の蒸気ジェットポンプを
    製造する方法であって,二つ以上のハウジングブランク
    を鋳造する工程がステンレスチールをインベストメント
    鋳造することから成る,蒸気ジェットポンプを製造する
    方法。
  3. 【請求項3】 請求項1に記載の蒸気ジェットポンプを
    製造する方法であって,二つ以上のハウジングブランク
    を鋳造する工程が主ハウジングを鋳造することおよび前
    ライン導管を鋳造することを含む,蒸気ジェットポンプ
    を製造する方法。
  4. 【請求項4】 請求項3に記載の蒸気ジェットポンプを
    製造する方法であって,二つ以上のハウジングブランク
    を鋳造する工程がさらに,ボイラーハウジングを鋳造す
    ることを含む,蒸気ジェットポンプを製造する方法。
  5. 【請求項5】 請求項4に記載の蒸気ジェットポンプを
    製造する方法であって,前記仕上げ済みハウジング要素
    を互いに取り付ける工程が,前記前ライン導管を前記主
    ハウジングに溶接し,前記ボイラーハウジングを前記主
    ハウジングに溶接することを含む,蒸気ジェットポンプ
    を製造する方法。
  6. 【請求項6】 請求項4に記載の蒸気ジェットポンプを
    製造する方法であって,前記仕上げ済みハウジング要素
    を互いに取り付ける工程が,前記前ライン導管を前記主
    ハウジングにろう付けし,前記ボイラーハウジングを前
    記主ハウジングにろう付けすることを含む,蒸気ジェッ
    トポンプを製造する方法。
  7. 【請求項7】 請求項3に記載の蒸気ジェットポンプを
    製造する方法であって,前記主ハウジングを鋳造する工
    程が,サイトガラス開口部のある前記主ハウジングを鋳
    造することを含み,さらに前記サイトガラス開口部に光
    透過性サイトガラスをシールする工程を含む,蒸気ジェ
    ットポンプを製造する方法。
  8. 【請求項8】 請求項3に記載の蒸気ジェットポンプを
    製造する方法であって,前記ハウジングブランクを機械
    削りする工程が,サイトガラス開口部のある前記主ハウ
    ジングを機械削りすることを含み,さらに前記サイトガ
    ラス開口部に光透過性サイトガラスをシールする工程を
    含む,蒸気ジェットポンプを製造する方法。
  9. 【請求項9】 請求項8に記載の蒸気ジェットポンプを
    製造する方法であって,前記サイトガラス開口部に光透
    過性サイトガラスをシールする工程がガラス金属シール
    を形成することを含む,蒸気ジェットポンプを製造する
    方法。
  10. 【請求項10】 蒸気ジェットポンプを製造する方法で
    あって,低多孔性金属の蒸気ジェットポンプハウジング
    ブランクを鋳造する工程と,仕上げ済みポンプハウジン
    グとするために前記ハウジングブランクを機械削りする
    工程と,を含む蒸気ジェットポンプを製造する方法。
  11. 【請求項11】 蒸気ジェットポンプを製造する方法で
    あって,二つ以上の低多孔性ハウジングブランクを鋳造
    する工程と,仕上げ済みのハウジング要素とするために
    前記ハウジングブランクを機械削りする工程と,入り口
    および前ラインを含む蒸気ジェットポンプハウジングを
    形成するために,前記仕上げ済みのハウジング要素を互
    いに取り付ける工程と,一つ以上のボイラー要素を前記
    蒸気ジェットポンプハウジングに据え付ける工程と,ジ
    ェット組立体を前記蒸気ジェットポンプハウジングに据
    え付ける工程と,を含む蒸気ジェットポンプを製造する
    方法。
  12. 【請求項12】 蒸気ジェット真空ポンプであって,低
    多孔性金属鋳造品から成り,入り口および前ラインを有
    する蒸気ジェットポンプハウジングと,液体用の容器を
    画成するボイラーハウジング,および蒸気を形成するた
    めに前記液体を蒸気化するためのヒーターを含み,該ハ
    ウジングにシールされるボイラーと,前記ハウジングに
    向けて少なくとも一つの蒸気ジェットを向ける,前記ハ
    ウジング内にあるジェット組立体と,を含む蒸気ジェッ
    ト真空ポンプ。
  13. 【請求項13】 請求項12に記載の蒸気ジェット真空
    ポンプであって,前記金属鋳造品が多数の冷却フィンを
    含む,蒸気ジェット真空ポンプ。
  14. 【請求項14】 請求項12に記載の蒸気ジェット真空
    ポンプであって,前記ボイラーハウジングが低多孔性金
    属鋳造品から成る,蒸気ジェット真空ポンプ。
  15. 【請求項15】 請求項12に記載の蒸気ジェット真空
    ポンプであって,前記蒸気ジェットポンプハウジングが
    主ハウジングおよび該主ハウジングに取り付けられる前
    ライン導管を含む,蒸気ジェット真空ポンプ。
  16. 【請求項16】 請求項12に記載の蒸気ジェット真空
    ポンプであって,前記蒸気ジェットポンプハウジング
    が,前記蒸気ジェット真空ポンプの内部を見るために設
    けられた光透過性サイトガラスを有するサイトガラス開
    口部を有する,蒸気ジェット真空ポンプ。
  17. 【請求項17】 請求項16に記載の蒸気ジェット真空
    ポンプであって,前記サイトガラスがガラス金属シール
    により前記サイトガラス開口部にシールされる,蒸気ジ
    ェット真空ポンプ。
  18. 【請求項18】 請求項12に記載の蒸気ジェット真空
    ポンプであって,前記蒸気ジェットポンプハウジングが
    5.5×10-9atm cc/secヘリウムより低い多孔性をもつス
    テンレススチールから成る,蒸気ジェット真空ポンプ。
  19. 【請求項19】 蒸気ジェットポンプ用のハウジングで
    あって,内部領域,前ライン開口部および入り口を画成
    し,複数のフィンを有し,低多孔性金属鋳造品から成る
    主ハウジングと,低多孔性金属鋳造品から成り,前記主
    ハウジングの前ライン開口部にシールされる前ライン導
    管と,低多孔性金属鋳造品から成り,容器およびヒータ
    ー区画室を画成する,前記主ハウジングにシールされる
    ボイラーハウジングと,を含む蒸気ジェットポンプ用の
    ハウジング。
  20. 【請求項20】 請求項19に記載の蒸気ジェットポン
    プ用のハウジングであって,前記主ハウジングが光透過
    性サイトガラスを据え付けるためのサイトガラス開口部
    を含む,蒸気ジェットポンプ用のハウジング。
  21. 【請求項21】 請求項19に記載の蒸気ジェットポン
    プ用のハウジングであって,前記主ハウジング,前記ボ
    イラーハウジングおよび前記前ライン導管がそれぞれ,
    5.5×10-9atm cc/secヘリウムより低い多孔性をもつス
    テンレススチールから成る,蒸気ジェット真空ポンプ。
  22. 【請求項22】 請求項19に記載の蒸気ジェットポン
    プ用のハウジングであって,前記ボイラーハウジング
    が,前記主ハウジングの一端に近接するためのボイラー
    プレート,ヒーター区画室および多数のフィンを有する
    フィン構造物を含む,蒸気ジェットポンプ用のハウジン
    グ。
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