JP5877934B1 - 油拡散ポンプ - Google Patents
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Abstract
オーバーホール時の作業安全を考慮した油拡散ポンプを提供する。油拡散ポンプ50はポンプ本体としてのケーシング51を有する。ケーシング51は、底部が開放された筒状のケーシング本体51aと、該本体51aの底部側を真空シールするシール材(図示省略)を介して大気側下方から支持して閉塞させる下蓋90とを有する。下蓋90は締結手段92によりケーシング本体51aの下部に着脱自在に取り付けられている。このように本発明では、ケーシング51の底部を筒状の側壁部に対して分離可能に構成したことを特徴とする。
Description
本発明は、各種真空成膜装置(蒸着装置やスパッタ装置など)や真空を使った分析装置などの真空装置の装置本体(真空容器)に接続され、該容器内を真空排気する用途への利用に適した真空ポンプとしての油拡散ポンプに関する。
各種真空成膜装置や真空を使った分析装置では、該装置を構成する真空容器の高真空排気ポンプとして油拡散ポンプが広く利用されている。油拡散ポンプとして、真空容器につながる排気口フランジ、筒状の側壁部および底部を一体化したケーシング、作動油加熱源、並びに加熱された作動油を油蒸気としてノズルからケーシング内へ噴射させるジェットなどの内部機構が組み込まれたものが知られている(特許文献1)。
油拡散ポンプは、可動部がないため故障が少ないものの、その継続的な使用により作動油の消耗以外にジェットや作動油加熱源などの汚れから、排気性能の低下を招いてしまう。このため定期的にオーバーホールを行う必要がある。
油拡散ポンプのオーバーホールは、手作業で行われることが多い。オーバーホール作業は、真空容器から油拡散ポンプを取り外し、ケーシングから内部機構を抜き出し、主にケーシング内と内部機構を洗浄する。分解可能な内部機構は、作業環境が確保された十分な換気ができる場所で安全に洗浄することができる。
これに対し、従来の油拡散ポンプに用いられていたケーシングは、筒状の側壁部と底部の一体物で構成されていたため、これを分解して洗浄することができなかった。その結果、ケーシング内の洗浄は、密閉された不十分な換気の中で行わなければならず、作業安全上の課題があった。特に大型の油拡散ポンプではケーシング上部から手の届く範囲が限られ、ケーシング内の底部の洗浄を行うために作業者は身体をケーシング内に深く入れ作業をすることを余儀なくされていた。密閉された不十分な換気の中でケーシング内部の洗浄を行うにあたり、防毒マスクやメガネの使用などの配慮をしても作業安全上、大きな課題であった。
これに対し、従来の油拡散ポンプに用いられていたケーシングは、筒状の側壁部と底部の一体物で構成されていたため、これを分解して洗浄することができなかった。その結果、ケーシング内の洗浄は、密閉された不十分な換気の中で行わなければならず、作業安全上の課題があった。特に大型の油拡散ポンプではケーシング上部から手の届く範囲が限られ、ケーシング内の底部の洗浄を行うために作業者は身体をケーシング内に深く入れ作業をすることを余儀なくされていた。密閉された不十分な換気の中でケーシング内部の洗浄を行うにあたり、防毒マスクやメガネの使用などの配慮をしても作業安全上、大きな課題であった。
本発明の一側面によれば、オーバーホール時の作業安全を考慮した油拡散ポンプを提供する。
本発明の油拡散ポンプは、ケーシングの底部を筒状の側壁部に対して分離可能に構成したことを特徴とする。
油拡散ポンプの内部機構を取り外した後のケーシング内の洗浄は、一般に、ケーシング内から作動油を抜き取り、その後、ケーシング内に溶剤を入れ、ケーシング上部より内壁面の全面に対して手作業により磨き洗浄が行われる。特にケーシング底部に配置される作動油加熱源の近傍など汚れのこびり付きが激しい場所は念入りな洗浄が必要となる。
本発明によると、油拡散ポンプのケーシング内の底部が筒状の側壁部に対して分離可能に構成されているため、油拡散ポンプのオーバーホール時にケーシング内の底部を筒状の側壁部から分離することにより、ケーシング内の通気性が確保され、ケーシング内の底部は内部機構と同様に分解し、個々に洗浄できる。その結果、ケーシング内の内壁部の洗浄はもとより、これまで作業の安全性が懸念されていたケーシング内の底部にこびり付いた汚れを作業環境が確保された十分な換気ができる場所で安全に洗浄することができる。
1…真空成膜装置、10…真空容器、21,23,25〜29…管路、31…本引き弁、33…リーク弁、35…あら引き弁、37…補助弁、39…リーク弁、
50…油拡散ポンプ、51…ケーシング、51a…ケーシング本体、53…ジェット、53a…ジェットノズル、55…吸気部、57…排気部、58…水冷パイプ、59…油溜め、
60…あら引きポンプ、
70…油蒸気発生器、
8…作動油、
90…下蓋(フランジ)、92…締結手段。
50…油拡散ポンプ、51…ケーシング、51a…ケーシング本体、53…ジェット、53a…ジェットノズル、55…吸気部、57…排気部、58…水冷パイプ、59…油溜め、
60…あら引きポンプ、
70…油蒸気発生器、
8…作動油、
90…下蓋(フランジ)、92…締結手段。
以下、本発明の一例を図面に基づいて説明する。
図1に示す本例の油拡散ポンプ50は、各種真空成膜装置に組み込まれて利用される。詳細は後述する。
図1に示す本例の油拡散ポンプ50は、各種真空成膜装置に組み込まれて利用される。詳細は後述する。
図2に示すように、図1の油拡散ポンプ50を用いた一例としての真空成膜装置1は真空容器10を有する。真空容器10の内部には蒸発源やスパッタ源などの成膜源(図示省略)や、処理対象としての基板を保持する基板ホルダなど、およそ薄膜の形成(成膜)に必要な各種装備が配置してある。真空容器10には管路21の下流側が接続されている。真空容器10には真空計(図示省略)が接続されており、真空容器10内の気圧(真空度)を検出する。
管路21の上流側には本引き弁31を介して吸引管路23の下流側が接続されている。吸引管路23の上流側は本例の油拡散ポンプ50の吸気部55に接続されている。管路21の途中には分岐管路25の下流側が接続されている。分岐管路25の途中には管路26の下流側が接続してあり、管路26の上流側にはリーク弁33が設けられる。
分岐管路25の上流側にはあら引き弁35を介して管路27の下流側が接続されている。管路27の上流側はあら引きポンプ60に接続されている。管路27の途中には管路28の下流側が接続されている。管路28の上流側は補助弁37を介して本例の油拡散ポンプ50の排気部57に接続されている。管路27の管路28接続部には管路29の下流側が接続してあり、管路29の上流側にはリーク弁39が設けられる。管路28内には真空計(図示省略)が接続されており、本例の油拡散ポンプ50内の圧力を検出する。
真空成膜装置1は上述した構成の他に、装置1の動作を制御する制御装置(図示省略)を備えている。本例で備える制御装置は、各種処理回路を含むメイン制御回路(図示省略)と、管路21内に接続された真空計と接続する真空計駆動回路(図示省略)と、あら引きポンプ60を運転制御するあら引きポンプ制御回路(図示省略)と、本例の油拡散ポンプ50を運転制御する油拡散ポンプ制御回路(図示省略)とを含んで構成される。
メイン制御回路には各弁(本引き弁31、リーク弁33,39、あら引き弁35、補助弁37)が接続されており、これらの弁はメイン制御回路の所定のシーケンスに従って開閉される。本例の油拡散ポンプ50にはあら引きポンプ60が接続されており、油拡散ポンプ50が補助弁37を通じて排気した気体は、あら引きポンプ60が吸引し、図示しない経路から排出される。
図1に戻る。本例の油拡散ポンプ50は、ポンプ本体としてのケーシング51を有する。ケーシング51内の底部には、作動油8を加熱して蒸気化させる油蒸気発生器70が組み込まれている。ケーシング51内にはジェット53が配置してあり、ここで油蒸気発生器70にて加熱された作動油8が蒸気化して上昇した油蒸気を取り込み、ノズル53aを通じてあら引き方向へ噴射させる。ケーシング51の上端には吸気部55が設けてあり、ケーシング51の側面には排気部57が設けられている。
本例では油蒸気発生器70として、図3及び図4に示すように、被加熱材料(軟鋼材料やSS400など)で構成される筒状のケース71の外周回りに絶縁材料73を介して誘導コイル75を巻回したものを用い、誘導コイル75に低周波交流を印加することでケース71を加熱させ、この熱により作動油8を蒸気化させるようにした、誘導加熱型の油蒸気発生器を用いる場合を例示したが、本発明において油蒸気発生器の構成は特に限定されない。ヒーター線を含む電熱ヒーターを利用した従来タイプのもの(例えば特許文献1)を用いてもよい。
次に、本例の油拡散ポンプ50の動作を説明する。図1及び図2に示すように、本引き弁31を開放した上で油蒸気発生器70を作動させると、油蒸気発生器70により作動油8が沸点付近まで加熱されて油蒸気化されてジェット53内を満たし、ノズル53aからケーシング51の側壁内面に噴射される。この噴射により吸気部55から吸入される吸入気体(真空容器10内の空気)が噴流の進行方向へはね飛ばされ、排気部57より排気される。これにより真空容器10内の真空引きが行われる。図1中の「マル(○)」は油が蒸気化された油蒸気の状態を模式的に示したものである。なお、作動油8が真空容器10内に入り込まないように、ジェットノズル53aから油蒸気が噴出した後、吸入部55を開放するようにする。
また、ケーシング51は水冷パイプ58により冷却されているのでケーシング51の内壁に付着した作動油8の油蒸気は冷却されて凝縮し、ケーシング51の下方の油溜め59へ戻り、油蒸気発生器70によって再加熱され再度蒸気化されて循環する仕組みとなっている。
図3に示すように、油拡散ポンプ50を構成する本例のケーシング51は、底部の一部が開放された筒状のケーシング本体51aと、該本体51aの底部側を真空シールするシール材(図示省略)を介して大気側下方から支持して閉塞させる下蓋(フランジ)90とを有する。下蓋90はボルトなどの締結手段92によりケーシング本体51aの下部に着脱自在に取り付けられている。下蓋90は、ポンプ50をメインテナンス(定期的なオーバーホールを含む)する際にケーシング本体51aから容易に取り外すことができるようになっている。
本例では、油拡散ポンプ50を構成するケーシング51を、底部の一部が開放された筒状のケーシング本体51aと、該本体51aの底部側を真空シールするシール材(図示省略)を介して大気側下方からボルトなどの締結手段92により着脱自在に支持し閉塞させる下蓋(フランジ)90とで構成したので、ポンプ50をメインテナンス(定期的なオーバーホールを含む)する際、下蓋90をケーシング本体51aから取り外すことにより、ケーシング51の深部あるいは底部にこびり付いた汚れを安全に洗浄することができる。またケーシング51の底部に(本例では図3に示すケーシング本体51aの下部に、板状の架台70a及び所定高さの足部70bを介して)配置されている油蒸気発生器70をケーシング51の下方から取り外すこともでき、ジェット53と同様、十分な換気ができる場所でのオーバーホールまたはメインテナンスの実現が容易となる。
また下蓋90を取り外すことにより、ケーシング51の底部に配置した油蒸気発生器70が故障した場合でも、ポンプ50を真空容器10から取り外すことなく、これを事前に用意した別の油蒸気発生器にいち早く交換でき、ポンプ50の素早い復帰が可能となり、ダウンタイムの短縮が一層向上することが期待される。
なお、上述した例は本発明の理解を容易にするために記載したものであって、本発明を限定するために記載したものではない。従って、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
例えば図3の態様に代え、図5に示すように下蓋(フランジ)90自体を桶状に形成し、その中に、油蒸気発生器70と作動油8を入れる構成とすることもできる。このように構成することで、上記作用に加え、作動油8の抜き作業が簡便化され、ポンプ50のオーバーホールまたはメインテナンス作業のさらなる効率化が期待できる。
上述した例では油拡散ポンプを真空成膜装置に適用した場合を挙げたが、本発明では油拡散ポンプの適用装置に限定はなく、真空を用いた分析装置など他の装置に適用することもできる。
例えば図3の態様に代え、図5に示すように下蓋(フランジ)90自体を桶状に形成し、その中に、油蒸気発生器70と作動油8を入れる構成とすることもできる。このように構成することで、上記作用に加え、作動油8の抜き作業が簡便化され、ポンプ50のオーバーホールまたはメインテナンス作業のさらなる効率化が期待できる。
上述した例では油拡散ポンプを真空成膜装置に適用した場合を挙げたが、本発明では油拡散ポンプの適用装置に限定はなく、真空を用いた分析装置など他の装置に適用することもできる。
Claims (2)
- 筒状側壁部と、その下方を閉塞する底部とが一体化してあるケーシングを有する油拡散ポンプにおいて、前記底部の一部が開放してあり、該開放部分に平坦な下蓋を大気側下方から着脱自在に配置し、自立を妨げる大気側下方への突き出しがないように構成したことを特徴とする油拡散ポンプ。
- 真空容器内を真空引きするための排気装置を備えた真空装置において、前記排気装置として、請求項1記載の油拡散ポンプを用いたことを特徴とする真空装置。
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Family Applications (1)
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---|---|---|---|
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JPH0371200U (ja) * | 1989-11-13 | 1991-07-18 | ||
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- 2014-09-03 WO PCT/JP2014/073165 patent/WO2016035162A1/ja active Application Filing
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