JPH0371200U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0371200U JPH0371200U JP13095589U JP13095589U JPH0371200U JP H0371200 U JPH0371200 U JP H0371200U JP 13095589 U JP13095589 U JP 13095589U JP 13095589 U JP13095589 U JP 13095589U JP H0371200 U JPH0371200 U JP H0371200U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- casing
- hydraulic oil
- diffusion pump
- oil
- nozzle
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000010720 hydraulic oil Substances 0.000 claims description 9
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 5
- 239000003921 oil Substances 0.000 claims description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
第1図は本考案に係わる油拡散ポンプの一実施
例を示す縦断側面図、第2図は真空排気装置を示
す系統図、第3図は従来の油拡散ポンプを示す縦
断側面図である。 1……ケーシング、2……ノズル、3……作動
油加熱用ヒータ、6……作動油、8……排気管、
10a……作動油抜出口、10b……作動油注入
口、14……油拡散ポンプ。
例を示す縦断側面図、第2図は真空排気装置を示
す系統図、第3図は従来の油拡散ポンプを示す縦
断側面図である。 1……ケーシング、2……ノズル、3……作動
油加熱用ヒータ、6……作動油、8……排気管、
10a……作動油抜出口、10b……作動油注入
口、14……油拡散ポンプ。
Claims (1)
- 作動油を貯えたケーシングと、同ケーシング壁
に設けた作動油加熱用ヒータと、上記作動油から
発生した蒸気をケーシング内を経て排気管へ排出
するノズルとを具えた油拡散ポンプにおいて、前
記ケーシングの上部に作動油注入口を設け、同ケ
ーシングの下部に作動油抜出口を設けたことを特
徴とする油拡散ポンプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13095589U JPH0371200U (ja) | 1989-11-13 | 1989-11-13 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13095589U JPH0371200U (ja) | 1989-11-13 | 1989-11-13 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0371200U true JPH0371200U (ja) | 1991-07-18 |
Family
ID=31678488
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13095589U Pending JPH0371200U (ja) | 1989-11-13 | 1989-11-13 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0371200U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5877934B1 (ja) * | 2014-09-03 | 2016-03-08 | 株式会社シンクロン | 油拡散ポンプ |
-
1989
- 1989-11-13 JP JP13095589U patent/JPH0371200U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP5877934B1 (ja) * | 2014-09-03 | 2016-03-08 | 株式会社シンクロン | 油拡散ポンプ |