JP6318939B2 - 洗浄方法、及び、洗浄装置 - Google Patents
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Description
一実施形態による洗浄装置1は、「洗浄空間形成部」としての洗浄部10、洗浄液供給部20、減圧部30、「乾燥気体供給部」としての乾燥空気供給部40、排出部50などを備える。洗浄装置1は、洗浄部10が有する洗浄空間100に収容される被洗浄部材5を洗浄する。
カバー12には、洗浄空間100の圧力を検出する圧力センサ122が設けられている。圧力センサ122は、制御部8と電気的に接続している。圧力センサ122は、検出する洗浄空間100の圧力に応じた信号を制御部8に出力する。
このようにして、一実施形態による洗浄方法では、被洗浄部材5を洗浄かつ乾燥する。
(ア)上述の実施形態では、洗浄装置は、洗浄液を加熱する熱交換器を備えるとした。しかしながら、熱交換器は備えなくてもよい。
5 ・・・被洗浄部材、
10 ・・・洗浄部(洗浄空間形成部)
100 ・・・洗浄空間、
21 ・・・洗浄液タンク(洗浄液貯留部)、
22 ・・・供給ポンプ(洗浄液送出手段)、
24 ・・・洗浄液ノズル(洗浄液供給手段)、
31 ・・・減圧ポンプ(減圧手段)。
Claims (2)
- 被洗浄部材(5)を洗浄液で洗浄する洗浄方法であって、
前記洗浄液を供給可能な洗浄空間(100)に前記被洗浄部材を収容する収容工程と、
前記収容工程の後、前記洗浄空間を前記洗浄液が気化可能な第一圧力(P1)まで減圧する第一減圧工程と、
前記第一減圧工程の後、大気圧下における前記洗浄液の沸点に比べ低い温度の前記洗浄液を前記洗浄空間に供給する洗浄工程と、
前記洗浄工程の後、前記洗浄空間を前記第一圧力に比べ低い第二圧力(P2)まで減圧する第二減圧工程と、
前記第二減圧工程の後、乾燥気体を前記洗浄空間に供給する乾燥工程と、
前記乾燥工程の後、前記洗浄空間の前記洗浄液を外部に排出する排出工程と、
を含み、
前記第二圧力は、前記洗浄空間に存在する前記洗浄液の液滴を気化可能な圧力である洗浄方法。 - 被洗浄部材(5)を洗浄液で洗浄する洗浄装置(1)であって、
前記被洗浄部材を収容し前記洗浄液が供給可能な洗浄空間(100)を形成する洗浄空間形成部(10)と、
前記被洗浄部材を洗浄する前記洗浄液を貯留する洗浄液貯留部(21)と、
前記洗浄液貯留部に貯留されている前記洗浄液を送出する洗浄液送出手段(22)と、
前記洗浄液を前記洗浄空間に供給する洗浄液供給手段(24)と、
前記洗浄液貯留部と前記洗浄空間形成部との間に設けられ、前記洗浄液を大気圧下における沸点に比べ低い温度に加熱する熱交換部(23)と、
前記洗浄空間を前記洗浄液が気化可能な第一圧力(P1)、及び、前記第一圧力に比べ低い圧力であって前記洗浄空間に存在する前記洗浄液の液滴を気化可能な第二圧力(P2)まで減圧可能な減圧手段(31)と、
前記洗浄空間に乾燥気体を供給する乾燥気体供給部(40)と、
前記洗浄空間の前記洗浄液を前記洗浄空間の外部に排出する排出部(50)と、
を備えることを特徴とする洗浄装置。
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