JP3391415B2 - 真空脱脂洗浄装置 - Google Patents
真空脱脂洗浄装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体装置や精密機械
等の工業製品を洗浄液によって真空系で脱脂洗浄する装
置に関するものである。
等の工業製品を洗浄液によって真空系で脱脂洗浄する装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術及びその問題点】この種の工業製品の真空
脱脂洗浄装置の第１従来例を図６に示した。この装置１
０は二室型と称されるものであり、洗浄室２１と真空乾
燥室１１とが上下に気密に連結されており、両者の間に
仕切弁１２が設けられ、真空乾燥室１１には被洗浄物５
を出し入れする扉１３が設けられている。又、真空乾燥
室１１には被洗浄物５を洗浄室２１で洗浄液に液浴させ
るための昇降装置１４が設けられ、更にトラップ１５を
介して真空ポンプ１６が接続され、不活性ガスとしての
Ｎ2 ガス源１７が接続されている。一方、洗浄室２１に
は洗浄液が収容されると共に、回収洗浄液タンク２４、
真空蒸溜装置２５、再生洗浄液タンク２６からなる洗浄
液の再生供給系が接続されている。
脱脂洗浄装置の第１従来例を図６に示した。この装置１
０は二室型と称されるものであり、洗浄室２１と真空乾
燥室１１とが上下に気密に連結されており、両者の間に
仕切弁１２が設けられ、真空乾燥室１１には被洗浄物５
を出し入れする扉１３が設けられている。又、真空乾燥
室１１には被洗浄物５を洗浄室２１で洗浄液に液浴させ
るための昇降装置１４が設けられ、更にトラップ１５を
介して真空ポンプ１６が接続され、不活性ガスとしての
Ｎ2 ガス源１７が接続されている。一方、洗浄室２１に
は洗浄液が収容されると共に、回収洗浄液タンク２４、
真空蒸溜装置２５、再生洗浄液タンク２６からなる洗浄
液の再生供給系が接続されている。
【０００３】この作用を説明するに、扉１３から被洗浄
物５を真空乾燥室１１内へ搬入し、昇降装置１４に載置
した後、扉１３を密閉する。次に仕切弁１２を開とし真
空乾燥室１１、洗浄室２１内をＮ2 置換した後に、被洗
浄物５を洗浄室２１内へ降下させ、洗浄液に液浴させて
から、真空乾燥室１１へ引き上げて仕切弁１２を閉とす
る。次いで、真空ポンプ１６で真空乾燥室１１を排気し
て被洗浄物５に付着している洗浄液を蒸発乾燥させる。
この間に洗浄液の再生供給が実施される。真空乾燥の終
了後は真空乾燥室１１に空気を導入し大気圧に戻してか
ら扉１３を開として被洗浄物５を取り出すことにより、
真空脱脂洗浄が完了する。なお、洗浄液には一般には第
３石油類に該当する炭化水素系のものが使用される。
物５を真空乾燥室１１内へ搬入し、昇降装置１４に載置
した後、扉１３を密閉する。次に仕切弁１２を開とし真
空乾燥室１１、洗浄室２１内をＮ2 置換した後に、被洗
浄物５を洗浄室２１内へ降下させ、洗浄液に液浴させて
から、真空乾燥室１１へ引き上げて仕切弁１２を閉とす
る。次いで、真空ポンプ１６で真空乾燥室１１を排気し
て被洗浄物５に付着している洗浄液を蒸発乾燥させる。
この間に洗浄液の再生供給が実施される。真空乾燥の終
了後は真空乾燥室１１に空気を導入し大気圧に戻してか
ら扉１３を開として被洗浄物５を取り出すことにより、
真空脱脂洗浄が完了する。なお、洗浄液には一般には第
３石油類に該当する炭化水素系のものが使用される。
【０００４】この二室型の真空脱脂洗浄装置１０は液浴
方式であるため、洗浄による脱脂率が高いほか、洗浄液
を加温すると洗浄サイクルも２０分程度と従来の洗浄装
置の中では最も短く、更には密閉系であり安全性も高い
が、液浴方式のため洗浄液量が多く、二室型であり、か
つ仕切弁１２を備えていることもあって製造コストが高
いという欠点を有している。
方式であるため、洗浄による脱脂率が高いほか、洗浄液
を加温すると洗浄サイクルも２０分程度と従来の洗浄装
置の中では最も短く、更には密閉系であり安全性も高い
が、液浴方式のため洗浄液量が多く、二室型であり、か
つ仕切弁１２を備えていることもあって製造コストが高
いという欠点を有している。
【０００５】又、一室型と称される第２従来例の装置２
０を図７に示した。洗浄室３１はその蓋３２によって密
閉系とされ、洗浄室３１内には複数個のシャワー・ノズ
ル３３を設けた洗浄液パイプ３４が挿入されている。洗
浄室３１にはトラップ１５を介して真空ポンプ１６が接
続され、不活性ガスとしてのＮ2 ガス源１７が接続され
ているほか、洗浄液の再生供給系としての回収洗浄液タ
ンク２４、真空蒸溜装置２５、再生洗浄液タンク２６が
設けられているのは第１従来例と同様である。ただ、第
２実施例では再生洗浄液タンク２６からの送給配管は洗
浄液パイプ３４に接続されている。
０を図７に示した。洗浄室３１はその蓋３２によって密
閉系とされ、洗浄室３１内には複数個のシャワー・ノズ
ル３３を設けた洗浄液パイプ３４が挿入されている。洗
浄室３１にはトラップ１５を介して真空ポンプ１６が接
続され、不活性ガスとしてのＮ2 ガス源１７が接続され
ているほか、洗浄液の再生供給系としての回収洗浄液タ
ンク２４、真空蒸溜装置２５、再生洗浄液タンク２６が
設けられているのは第１従来例と同様である。ただ、第
２実施例では再生洗浄液タンク２６からの送給配管は洗
浄液パイプ３４に接続されている。
【０００６】そして、その作用は次の如くである。蓋３
２を開け、被洗浄物５を洗浄室３１へ収容してから蓋３
２で密閉し、内部をＮ2 ガスで置換する。次いで再生洗
浄液タンク２６からの洗浄液がシャワー・ノズル３３か
ら被洗浄物５へ吹き付けられる。洗浄室３１の底部に溜
った油脂を含む洗浄液は回収洗浄液タンク２４に一旦収
容され、真空蒸溜装置２５を経て、再生洗浄液タンク２
６に貯留される。洗浄液の吹き付け終了後は真空ポンプ
１６によって洗浄室３１を排気し、被洗浄物５に付着し
ている洗浄液を蒸発させて乾燥させる。この真空乾燥の
終了後は洗浄室３１に空気を導入し大気圧に戻してか
ら、蓋３２を開け被洗浄物５を取り出すことにより、真
空脱脂洗浄が完了する。
２を開け、被洗浄物５を洗浄室３１へ収容してから蓋３
２で密閉し、内部をＮ2 ガスで置換する。次いで再生洗
浄液タンク２６からの洗浄液がシャワー・ノズル３３か
ら被洗浄物５へ吹き付けられる。洗浄室３１の底部に溜
った油脂を含む洗浄液は回収洗浄液タンク２４に一旦収
容され、真空蒸溜装置２５を経て、再生洗浄液タンク２
６に貯留される。洗浄液の吹き付け終了後は真空ポンプ
１６によって洗浄室３１を排気し、被洗浄物５に付着し
ている洗浄液を蒸発させて乾燥させる。この真空乾燥の
終了後は洗浄室３１に空気を導入し大気圧に戻してか
ら、蓋３２を開け被洗浄物５を取り出すことにより、真
空脱脂洗浄が完了する。
【０００７】この一室型真空脱脂洗浄装置２０は二室型
のものと比較して廉価であり、かつ洗浄液の量を４００
リットル以下として消防法が適用除外となるように作製
され得るが、一定のシャワー・ノズル３３を用いるだけ
では、被洗浄物５の形状が変わると、洗浄液の吹き付け
の不十分な個所を生じ、常に高い脱脂率を確保すること
が困難である。従って、被洗浄物５の形状によってシャ
ワー・ノズル３３の位置や吹き付け時間等を変更する必
要があり、これらの条件の設定にかなりの時間を要する
ほか、シャワー・ノズル３３の長さや形状の異なるもの
を多量に用意しておかねばならないという欠点を有して
いる。
のものと比較して廉価であり、かつ洗浄液の量を４００
リットル以下として消防法が適用除外となるように作製
され得るが、一定のシャワー・ノズル３３を用いるだけ
では、被洗浄物５の形状が変わると、洗浄液の吹き付け
の不十分な個所を生じ、常に高い脱脂率を確保すること
が困難である。従って、被洗浄物５の形状によってシャ
ワー・ノズル３３の位置や吹き付け時間等を変更する必
要があり、これらの条件の設定にかなりの時間を要する
ほか、シャワー・ノズル３３の長さや形状の異なるもの
を多量に用意しておかねばならないという欠点を有して
いる。
【０００８】
【発明が解決しようとする問題点】本発明は上述の問題
に鑑みてなされ、一室型で廉価であり使用する洗浄液量
が少なく、かつ被洗浄物の形状に関係なく洗浄効率の良
好な真空脱脂洗浄装置を提供することを目的とする。
に鑑みてなされ、一室型で廉価であり使用する洗浄液量
が少なく、かつ被洗浄物の形状に関係なく洗浄効率の良
好な真空脱脂洗浄装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【問題点を解決するための手段】以上の目的は、被洗浄
物を収容する気密の洗浄室と、該洗浄室へ洗浄液を供給
する洗浄液供給装置と、前記洗浄室内で被洗浄物を真空
乾燥させるための真空排気装置とを備えた真空脱脂洗浄
装置において、前記洗浄室内に設けられ前記洗浄液を前
記被洗浄物に吹き付けるシャワー装置と前記被洗浄物と
が相対的に位置を変化させて洗浄が行なわれ、かつ前記
洗浄液供給装置が回収洗浄液受器と真空蒸溜装置と再生
洗浄液受器とからなり、前記洗浄液の吹き付け時に前記
洗浄液が前記洗浄液供給装置と前記洗浄室との間で循環
されることを特徴とする真空脱脂洗浄装置、によって達
成される。
物を収容する気密の洗浄室と、該洗浄室へ洗浄液を供給
する洗浄液供給装置と、前記洗浄室内で被洗浄物を真空
乾燥させるための真空排気装置とを備えた真空脱脂洗浄
装置において、前記洗浄室内に設けられ前記洗浄液を前
記被洗浄物に吹き付けるシャワー装置と前記被洗浄物と
が相対的に位置を変化させて洗浄が行なわれ、かつ前記
洗浄液供給装置が回収洗浄液受器と真空蒸溜装置と再生
洗浄液受器とからなり、前記洗浄液の吹き付け時に前記
洗浄液が前記洗浄液供給装置と前記洗浄室との間で循環
されることを特徴とする真空脱脂洗浄装置、によって達
成される。
【００１０】
【作用】被洗浄物に洗浄液を吹き付けるシャワー装置と
被洗浄物とが相対的に位置を変化させるので、洗浄液が
くまなくゆきわたり、被洗浄物の形状に関係なく常に一
定の洗浄が行なわれるほか、任意の個所に任意時間、洗
浄液を吹き付けることが可能であり、洗浄液を上記シャ
ワー装置によって被洗浄物に吹き付けて洗浄すること、
更には洗浄液を洗浄室と洗浄液供給装置との間で回収、
再生し循環させて使用することにより、洗浄液の使用量
が少なく、かつ脱脂洗浄効率の高い洗浄が可能である。
被洗浄物とが相対的に位置を変化させるので、洗浄液が
くまなくゆきわたり、被洗浄物の形状に関係なく常に一
定の洗浄が行なわれるほか、任意の個所に任意時間、洗
浄液を吹き付けることが可能であり、洗浄液を上記シャ
ワー装置によって被洗浄物に吹き付けて洗浄すること、
更には洗浄液を洗浄室と洗浄液供給装置との間で回収、
再生し循環させて使用することにより、洗浄液の使用量
が少なく、かつ脱脂洗浄効率の高い洗浄が可能である。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例による真空脱脂洗浄装
置について、図面を参照して説明する。
置について、図面を参照して説明する。
【００１２】図１は第１実施例の真空脱脂洗浄装置３０
を示す側断面図であり、洗浄室４１には密閉可能な前扉
４２が設けられ、被洗浄物５はここから出し入れされ
る。なお、前扉４２はエアシリンダ４３によって滑車４
４を上下させて開閉される。又、洗浄室４１の外壁には
ボイラー４６と接続されている加熱用の水蒸気パイプ４
５が巻装されている。そして、被洗浄物５は洗浄室４１
内で支持台５１上に載置される。
を示す側断面図であり、洗浄室４１には密閉可能な前扉
４２が設けられ、被洗浄物５はここから出し入れされ
る。なお、前扉４２はエアシリンダ４３によって滑車４
４を上下させて開閉される。又、洗浄室４１の外壁には
ボイラー４６と接続されている加熱用の水蒸気パイプ４
５が巻装されている。そして、被洗浄物５は洗浄室４１
内で支持台５１上に載置される。
【００１３】図１における［２］−［２］線方向の断面
を示す図２、及び図１における［３］−［３］線方向の
断面を示す図３も参照して、洗浄室４１の前扉４２と反
対側の側壁の軸心部に回転導入ユニット６５が設けら
れ、洗浄液パイプ６４が挿通されている。洗浄液パイプ
６４は洗浄室４１内で直ちに径方向に屈曲され、ヘッダ
ー６３を介して、洗浄室４１の軸心に平行な３本の分岐
洗浄液パイプ６２に分岐されており、それぞれには各８
個のシャワー・ノズル６１がほぼ等間隔に設けられてい
る。なお、３本の分岐洗浄液パイプ６２はそれぞれ洗浄
室４１の軸心からの距離が等しいように配置され、かつ
３本の分岐洗浄液パイプ６２の長さ方向の中央部におい
て、これらを束ねるアングル材６８に、洗浄室４１の内
壁面上を円周方向に転がる車輪６９が２個固定されてい
る。なお、洗浄液パイプ６４に繋がるヘッダ６３の対称
位置には分岐洗浄液パイプ６２等の重量とバランスさせ
るためのカウンタ・ウエイト７４が取り付けられてい
る。
を示す図２、及び図１における［３］−［３］線方向の
断面を示す図３も参照して、洗浄室４１の前扉４２と反
対側の側壁の軸心部に回転導入ユニット６５が設けら
れ、洗浄液パイプ６４が挿通されている。洗浄液パイプ
６４は洗浄室４１内で直ちに径方向に屈曲され、ヘッダ
ー６３を介して、洗浄室４１の軸心に平行な３本の分岐
洗浄液パイプ６２に分岐されており、それぞれには各８
個のシャワー・ノズル６１がほぼ等間隔に設けられてい
る。なお、３本の分岐洗浄液パイプ６２はそれぞれ洗浄
室４１の軸心からの距離が等しいように配置され、かつ
３本の分岐洗浄液パイプ６２の長さ方向の中央部におい
て、これらを束ねるアングル材６８に、洗浄室４１の内
壁面上を円周方向に転がる車輪６９が２個固定されてい
る。なお、洗浄液パイプ６４に繋がるヘッダ６３の対称
位置には分岐洗浄液パイプ６２等の重量とバランスさせ
るためのカウンタ・ウエイト７４が取り付けられてい
る。
【００１４】そして、回転導入ユニット６５の歯車６６
と駆動モータ７１の回転軸に直結されている歯車７２と
にはチェイン７３が巻装されており、駆動モータ７１の
回転軸の回動によって、３本の分岐洗浄液パイプ６２が
セットになって被洗浄物５の周囲を回動するようになっ
ている。すなわち、図３において、真ん中の分岐洗浄液
パイプ６２が洗浄室４１の軸心の直上方にある時を基準
にして（図３のＡ）、時計回りに１５０度の位置、反時
計方向に１５０度の位置（図３のＢ）まで回動されるよ
うになっている。
と駆動モータ７１の回転軸に直結されている歯車７２と
にはチェイン７３が巻装されており、駆動モータ７１の
回転軸の回動によって、３本の分岐洗浄液パイプ６２が
セットになって被洗浄物５の周囲を回動するようになっ
ている。すなわち、図３において、真ん中の分岐洗浄液
パイプ６２が洗浄室４１の軸心の直上方にある時を基準
にして（図３のＡ）、時計回りに１５０度の位置、反時
計方向に１５０度の位置（図３のＢ）まで回動されるよ
うになっている。
【００１５】更には、駆動モータ７１の正逆の回転、す
なわち回動は図示しないコンピュータによって制御され
ており、それ故、所定位置での所定時間の停止を含め
て、分岐洗浄液パイプ６２は被洗浄物５の周囲を予め設
定されたプログラムに従って回動するようになってい
る。
なわち回動は図示しないコンピュータによって制御され
ており、それ故、所定位置での所定時間の停止を含め
て、分岐洗浄液パイプ６２は被洗浄物５の周囲を予め設
定されたプログラムに従って回動するようになってい
る。
【００１６】図１に戻り、洗浄室４１にバルブ１８とト
ラップ１５とを介して真空ポンプ１６が接続されている
こと、バルブ１９を介し不活性ガスとしてのＮ2 ガス源
１７が接続されていることは従来例と同様であり、洗浄
液の再生供給系としての回収洗浄液タンク２４、真空蒸
溜装置２５、再生洗浄液タンク２６も同様に設けられて
いるが、本実施例では、再生洗浄液タンク２６の外周
に、ボイラー４６と接続された加熱用の水蒸気パイプ２
７が巻装されており、かつ再生洗浄液タンク２６からの
送給配管は洗浄液パイプ６４の接続ジョイント６７に挿
入されている。
ラップ１５とを介して真空ポンプ１６が接続されている
こと、バルブ１９を介し不活性ガスとしてのＮ2 ガス源
１７が接続されていることは従来例と同様であり、洗浄
液の再生供給系としての回収洗浄液タンク２４、真空蒸
溜装置２５、再生洗浄液タンク２６も同様に設けられて
いるが、本実施例では、再生洗浄液タンク２６の外周
に、ボイラー４６と接続された加熱用の水蒸気パイプ２
７が巻装されており、かつ再生洗浄液タンク２６からの
送給配管は洗浄液パイプ６４の接続ジョイント６７に挿
入されている。
【００１７】第１実施例は以上のように構成されるが、
次にその作用について説明する。
次にその作用について説明する。
【００１８】エアシリンダ４３によって滑車４４を上昇
させ前扉４２を開けて、被洗浄物５を洗浄室４１内の支
持台５１上へ載置し、次いで前扉４２をエアシリンダ４
３で下降させ、洗浄室４１を密閉する。バルブ１８を開
として真空ポンプ１６によって洗浄室４１を排気してか
らバルブ１８を閉とし真空ポンプ１６を停止する。次い
で、バルブ１９を開としてＮ2 ガス源１７から洗浄室４
１へＮ2 ガスを大気圧まで導入して洗浄室４１内をＮ2
置換しバルブ１９を閉める。この置換は第３石油類を洗
浄液とする場合に、安全のために行なわれる。
させ前扉４２を開けて、被洗浄物５を洗浄室４１内の支
持台５１上へ載置し、次いで前扉４２をエアシリンダ４
３で下降させ、洗浄室４１を密閉する。バルブ１８を開
として真空ポンプ１６によって洗浄室４１を排気してか
らバルブ１８を閉とし真空ポンプ１６を停止する。次い
で、バルブ１９を開としてＮ2 ガス源１７から洗浄室４
１へＮ2 ガスを大気圧まで導入して洗浄室４１内をＮ2
置換しバルブ１９を閉める。この置換は第３石油類を洗
浄液とする場合に、安全のために行なわれる。
【００１９】外壁に巻装した水蒸気パイプ４５によって
加熱されている洗浄室４１内において、駆動モータ７１
を起動してほぼ半周ずつの正逆回転を行なわせると、こ
れに連動する分岐洗浄液パイプ６２が被洗浄物５の周囲
を回動する。次いで、約１２０℃に加温した再生洗浄液
タンク２６から洗浄液を送液ポンプ８４によって送給す
る。接続ジョイント６７、回転導入ユニット６５を挿通
する洗浄液パイプ６４、分岐洗浄液パイプ６２を経由し
た洗浄液はシャワー・ノズル６１から噴射され被洗浄物
５へ吹き付けられる。分岐洗浄液パイプ６２、すなわち
これに取り付けられているシャワー・ノズル６１は被洗
浄物５の周囲を回動しているので、洗浄液は被洗浄物５
に対し殆ど死角なしにくまなく吹き付けられる。被洗浄
物５の形状によって脱脂しにくい個所がある場合には、
分岐洗浄液パイプ６２を回動の途中でその個所に停止さ
せて洗浄液を吹き付けるというコンピュータ・プログラ
ムを設定して、駆動モータ７１の回動を制御させる。
加熱されている洗浄室４１内において、駆動モータ７１
を起動してほぼ半周ずつの正逆回転を行なわせると、こ
れに連動する分岐洗浄液パイプ６２が被洗浄物５の周囲
を回動する。次いで、約１２０℃に加温した再生洗浄液
タンク２６から洗浄液を送液ポンプ８４によって送給す
る。接続ジョイント６７、回転導入ユニット６５を挿通
する洗浄液パイプ６４、分岐洗浄液パイプ６２を経由し
た洗浄液はシャワー・ノズル６１から噴射され被洗浄物
５へ吹き付けられる。分岐洗浄液パイプ６２、すなわち
これに取り付けられているシャワー・ノズル６１は被洗
浄物５の周囲を回動しているので、洗浄液は被洗浄物５
に対し殆ど死角なしにくまなく吹き付けられる。被洗浄
物５の形状によって脱脂しにくい個所がある場合には、
分岐洗浄液パイプ６２を回動の途中でその個所に停止さ
せて洗浄液を吹き付けるというコンピュータ・プログラ
ムを設定して、駆動モータ７１の回動を制御させる。
【００２０】所定の洗浄が終了後は、再生洗浄液タンク
２６からの洗浄液の供給を停止し、バルブ１８を開とし
て真空ポンプ１６によって洗浄室４１を真空引きし、被
洗浄物５に付着している洗浄液を蒸発乾燥させる。この
時、洗浄室４１が加温されているので、真空乾燥時間は
加温しない場合と比較して大巾に短縮される。その後、
洗浄室４１に空気を導入して大気圧に戻してから前扉４
２を開けて被洗浄物５を取り出す。
２６からの洗浄液の供給を停止し、バルブ１８を開とし
て真空ポンプ１６によって洗浄室４１を真空引きし、被
洗浄物５に付着している洗浄液を蒸発乾燥させる。この
時、洗浄室４１が加温されているので、真空乾燥時間は
加温しない場合と比較して大巾に短縮される。その後、
洗浄室４１に空気を導入して大気圧に戻してから前扉４
２を開けて被洗浄物５を取り出す。
【００２１】なお、洗浄液の吹き付けの過程において、
被洗浄物５に吹き付けられて洗浄室４１の底部に溜る洗
浄液は、回収洗浄液タンク２４に送られ、真空蒸溜装置
２５を経由して再生洗浄液タンク２６に貯留されるが、
この再生供給系の詳細を図４に示した。
被洗浄物５に吹き付けられて洗浄室４１の底部に溜る洗
浄液は、回収洗浄液タンク２４に送られ、真空蒸溜装置
２５を経由して再生洗浄液タンク２６に貯留されるが、
この再生供給系の詳細を図４に示した。
【００２２】図４において、被洗浄物５からの油脂分を
含む洗浄液は洗浄室４１の底部から送液ポンプ２３によ
って回収洗浄液タンク２４へ送られて、ここに一旦貯留
される。回収洗浄液タンク２４内の洗浄液は送液ポンプ
８２によって、開状態のバルブ８３を経て蒸発器８５へ
送られ、水蒸気ジャケット８６で加熱されて洗浄液成分
は気化されるが、真空ポンプ８７で排気され冷却水コイ
ル８８で冷却されている凝縮器８９に導入されて液化さ
れ、再生洗浄液タンク２６に貯留される。再生洗浄液タ
ンク２６内の洗浄液は送液ポンプ８４によって洗浄室４
１へ送給される。一方、回収洗浄液タンク２４からの洗
浄液に含まれている油脂分は蒸発器８５の底部に溜るの
で、洗浄サイクルの終了後に回収洗浄液タンク２４へ落
とされ、バルブ８３を閉、バルブ８１を開として送給ポ
ンプ８２により系外へ排出されて、例えば燃料として使
用される。
含む洗浄液は洗浄室４１の底部から送液ポンプ２３によ
って回収洗浄液タンク２４へ送られて、ここに一旦貯留
される。回収洗浄液タンク２４内の洗浄液は送液ポンプ
８２によって、開状態のバルブ８３を経て蒸発器８５へ
送られ、水蒸気ジャケット８６で加熱されて洗浄液成分
は気化されるが、真空ポンプ８７で排気され冷却水コイ
ル８８で冷却されている凝縮器８９に導入されて液化さ
れ、再生洗浄液タンク２６に貯留される。再生洗浄液タ
ンク２６内の洗浄液は送液ポンプ８４によって洗浄室４
１へ送給される。一方、回収洗浄液タンク２４からの洗
浄液に含まれている油脂分は蒸発器８５の底部に溜るの
で、洗浄サイクルの終了後に回収洗浄液タンク２４へ落
とされ、バルブ８３を閉、バルブ８１を開として送給ポ
ンプ８２により系外へ排出されて、例えば燃料として使
用される。
【００２３】次に、本発明の第２実施例の真空脱脂洗浄
装置４０を図５に示した。第２実施例の装置４０は、第
１実施例における被洗浄物５の支持台５１に替えて、洗
浄室４１の軸心に沿う方向の正逆の直線運動が可能なチ
ェイン・コンベヤ５２が設けられており、これに被洗浄
物５が載置される。それ以外は全く同様に構成され作用
するので、第１実施例と同一の部分には同一の符号を付
し、その説明は省略する。
装置４０を図５に示した。第２実施例の装置４０は、第
１実施例における被洗浄物５の支持台５１に替えて、洗
浄室４１の軸心に沿う方向の正逆の直線運動が可能なチ
ェイン・コンベヤ５２が設けられており、これに被洗浄
物５が載置される。それ以外は全く同様に構成され作用
するので、第１実施例と同一の部分には同一の符号を付
し、その説明は省略する。
【００２４】洗浄液の吹き付け時に、チェイン・コンベ
ヤ５２が図において左右に往復運動するので、被洗浄物
５に対するシャワー・ノズル６１の相対位置が連続的に
変化し、複雑な形状の被洗浄物５についても洗浄液吹き
付けの死角が一層解消されて、脱脂率の向上、洗浄時間
の短縮化が実現される。
ヤ５２が図において左右に往復運動するので、被洗浄物
５に対するシャワー・ノズル６１の相対位置が連続的に
変化し、複雑な形状の被洗浄物５についても洗浄液吹き
付けの死角が一層解消されて、脱脂率の向上、洗浄時間
の短縮化が実現される。
【００２５】以上、本発明の各実施例について説明した
が、勿論、本発明はこれらに限定されることなく、本発
明の技術的思想に基いて種々の変形が可能である。
が、勿論、本発明はこれらに限定されることなく、本発
明の技術的思想に基いて種々の変形が可能である。
【００２６】例えば以上の各実施例においては、洗浄室
４１を横型とし、分岐洗浄液パイプ６２の回動を、シャ
ワー・ノズル６１が洗浄室４１の軸心に垂直な面内で円
運動するような回動としたが、洗浄室を縦型として、分
岐洗浄液パイプの回動を、シャワー・ノズルが水平面で
円運動するように回動させてもよい。このような縦型の
洗浄室として、扉を相対する両側壁に設ければ、被洗浄
物を例えば左側から入れて右側から出すというように被
洗浄物の移動の直線化がはかれる。
４１を横型とし、分岐洗浄液パイプ６２の回動を、シャ
ワー・ノズル６１が洗浄室４１の軸心に垂直な面内で円
運動するような回動としたが、洗浄室を縦型として、分
岐洗浄液パイプの回動を、シャワー・ノズルが水平面で
円運動するように回動させてもよい。このような縦型の
洗浄室として、扉を相対する両側壁に設ければ、被洗浄
物を例えば左側から入れて右側から出すというように被
洗浄物の移動の直線化がはかれる。
【００２７】又、各実施例においては、洗浄室４１と再
生洗浄液タンク２６の加熱手段として水蒸気による加熱
を採用したが、これ以外の公知の加熱手段、例えばシー
ズヒータによる加熱も適用され得る。
生洗浄液タンク２６の加熱手段として水蒸気による加熱
を採用したが、これ以外の公知の加熱手段、例えばシー
ズヒータによる加熱も適用され得る。
【００２８】又各実施例においては、分岐洗浄液パイプ
６２の３本をセットとして回動させたが、２本又は４本
以上としてもよく、又分岐させずに１本のパイプを回動
させてもよい。
６２の３本をセットとして回動させたが、２本又は４本
以上としてもよく、又分岐させずに１本のパイプを回動
させてもよい。
【００２９】又、第１実施例では固定の支持台５１、第
２実施例では洗浄室４１の軸心方向に沿う往復運動のチ
ェイン・コンベヤ５２によって被洗浄物５を支持した
が、これら以外に被洗浄物５に上下方向の移動、洗浄室
４１の軸心方向において被洗浄物５の一端を上昇させ他
端を下降させる傾斜、これと直角方向の傾斜や、垂直線
を軸とする回転円運動などを与える支持台としてもよ
い。分岐洗浄パイプ６２の回動と被洗浄物５の姿勢を全
方向に変え得る支持台との組み合わせによって、洗浄液
吹き付けの死角はより一層解消される。
２実施例では洗浄室４１の軸心方向に沿う往復運動のチ
ェイン・コンベヤ５２によって被洗浄物５を支持した
が、これら以外に被洗浄物５に上下方向の移動、洗浄室
４１の軸心方向において被洗浄物５の一端を上昇させ他
端を下降させる傾斜、これと直角方向の傾斜や、垂直線
を軸とする回転円運動などを与える支持台としてもよ
い。分岐洗浄パイプ６２の回動と被洗浄物５の姿勢を全
方向に変え得る支持台との組み合わせによって、洗浄液
吹き付けの死角はより一層解消される。
【００３０】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の真空脱脂洗
浄装置によれば、一室型の装置でありながら、被洗浄物
の形状に関係なく容易な手順で脱脂効率が高い上に洗浄
サイクルが短時間になるので低コストの脱脂洗浄が可能
であり、かつ洗浄液をシャワー装置で吹き付けているこ
とのほか、洗浄中に洗浄液を回収し再使用するので洗浄
液量が少なくて済み、洗浄液が消防法に該当する場合に
好適である。
浄装置によれば、一室型の装置でありながら、被洗浄物
の形状に関係なく容易な手順で脱脂効率が高い上に洗浄
サイクルが短時間になるので低コストの脱脂洗浄が可能
であり、かつ洗浄液をシャワー装置で吹き付けているこ
とのほか、洗浄中に洗浄液を回収し再使用するので洗浄
液量が少なくて済み、洗浄液が消防法に該当する場合に
好適である。
【図１】本発明の第１実施例による真空脱脂洗浄装置の
側断面図である。
側断面図である。
【図２】図１における［２］−［２］線方向の断面図で
ある。
ある。
【図３】図１における［３］−［３］線方向の断面図で
あり、ＡとＢとは分岐洗浄液パイプの回動位置が異な
る。
あり、ＡとＢとは分岐洗浄液パイプの回動位置が異な
る。
【図４】本発明の第１実施例に設けられる洗浄液の再生
供給系の配管系統図である。
供給系の配管系統図である。
【図５】本発明の第２実施例による真空脱脂洗浄装置の
側断面図である。
側断面図である。
【図６】第１従来例の真空脱脂洗浄装置の側断面図であ
る。
る。
【図７】第２従来例の真空脱脂洗浄装置の側断面図であ
る。
る。
５ 被洗浄物
２４ 回収洗浄液タンク
２５ 真空蒸溜装置
２６ 再生洗浄液タンク
４１ 洗浄室
４２ 前扉
６１ ノズル
６２ 分岐洗浄液パイプ
６５ 回転導入ユニット
６７ 接続ジョイント
７１ 駆動モータ
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 昭60−71077（ＪＰ，Ａ)
特開 平２−266522（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−225874（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
B08B 3/08
Claims (5)
- 【請求項１】 被洗浄物を収容する気密の洗浄室と、該
洗浄室へ洗浄液を供給する洗浄液供給装置と、前記洗浄
室で前記被洗浄物を真空乾燥させるための真空排気装置
とを備えた真空脱脂洗浄装置において、 前記洗浄室内に設けられ前記洗浄液を前記被洗浄物に吹
き付けるシャワー装置と、前記被洗浄物とが相対的に位
置を変化させて洗浄が行なわれ、 かつ前記洗浄液供給
装置が回収洗浄液受器と真空蒸溜装置と再生洗浄液受器
とからなり、前記洗浄液の吹き付け時に前記洗浄液が前
記洗浄液供給装置と前記洗浄室との間で循環されること
を特徴とする真空脱脂洗浄装置。 - 【請求項２】 前記シャワー装置が前記洗浄室の軸心を
回動の中心として前記被洗浄物のほぼ全周を回動するよ
うに設けられている請求項１に記載の真空脱脂洗浄装
置。 - 【請求項３】 前記シャワー装置が、前記回動の中心を
中心にして前記シャワー装置と対向する角度位置に設け
られたカウンター・ウエイトと共に回動される請求項２
に記載の真空脱脂洗浄装置 。 - 【請求項４】 前記被洗浄物を前記洗浄室の軸心に沿っ
て移動させる移動機構が前記洗浄室内に設けられている
請求項１から請求項３までの何れかに記載の真空脱脂洗
浄装置 。 - 【請求項５】 前記再生洗浄液受器に洗浄液の加熱手段
が設けられており、温度上昇された前記洗浄液が前記シ
ャワー装置によって前記被洗浄物に吹き付けられる請求
項１から請求項４までの何れかに記載の真空脱脂洗浄装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34370893A JP3391415B2 (ja) | 1993-12-16 | 1993-12-16 | 真空脱脂洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34370893A JP3391415B2 (ja) | 1993-12-16 | 1993-12-16 | 真空脱脂洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07171520A JPH07171520A (ja) | 1995-07-11 |
| JP3391415B2 true JP3391415B2 (ja) | 2003-03-31 |
Family
ID=18363639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34370893A Expired - Lifetime JP3391415B2 (ja) | 1993-12-16 | 1993-12-16 | 真空脱脂洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3391415B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5655899B2 (ja) * | 2013-06-26 | 2015-01-21 | 株式会社不二越 | 真空脱脂洗浄装置 |
| JP6318939B2 (ja) * | 2014-07-18 | 2018-05-09 | 株式会社デンソー | 洗浄方法、及び、洗浄装置 |
| CN104550946A (zh) * | 2014-12-31 | 2015-04-29 | 苏州米莫金属科技有限公司 | 喷淋式脱脂炉以及脱脂工艺 |
-
1993
- 1993-12-16 JP JP34370893A patent/JP3391415B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07171520A (ja) | 1995-07-11 |
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