JPH0611435B2 - 真空洗浄装置 - Google Patents
真空洗浄装置Info
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- JPH0611435B2 JPH0611435B2 JP24025989A JP24025989A JPH0611435B2 JP H0611435 B2 JPH0611435 B2 JP H0611435B2 JP 24025989 A JP24025989 A JP 24025989A JP 24025989 A JP24025989 A JP 24025989A JP H0611435 B2 JPH0611435 B2 JP H0611435B2
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- solvent
- vacuum pump
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/08—Cleaning involving contact with liquid the liquid having chemical or dissolving effect
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、金属、セラミックス、プラスチックス等の加
工物を有機溶剤で洗浄する真空洗浄装置に関する。
工物を有機溶剤で洗浄する真空洗浄装置に関する。
従来の加工物（加工物を保持または収容する治具等を含
める）を洗浄する装置としては、特開昭６３−２９６８
８１号公報に開示されているものがある。
める）を洗浄する装置としては、特開昭６３−２９６８
８１号公報に開示されているものがある。
これは、加工物の表面に付着する油脂、塵埃等を洗浄す
るために、真空密閉容器の中に加工物を収容し、真空密
閉容器内を真空にし、該加工物に有機溶剤をシャワー状
に噴射して油脂や塵埃を洗い流し、真空密閉容器内に有
機溶剤の蒸気を発生させ、有機溶剤蒸気を加工物の表面
に凝縮させて、前工程で洗い残した油脂を溶解洗浄し、
真空密閉容器内を真空にし、加工物を乾燥して、加工物
を脱脂洗浄する真空洗浄装置である。
るために、真空密閉容器の中に加工物を収容し、真空密
閉容器内を真空にし、該加工物に有機溶剤をシャワー状
に噴射して油脂や塵埃を洗い流し、真空密閉容器内に有
機溶剤の蒸気を発生させ、有機溶剤蒸気を加工物の表面
に凝縮させて、前工程で洗い残した油脂を溶解洗浄し、
真空密閉容器内を真空にし、加工物を乾燥して、加工物
を脱脂洗浄する真空洗浄装置である。
この真空洗浄装置には、洗浄剤として用いる有機溶剤の
使用量が、真空を利用しない他の従来型の洗浄装置に比
べて大幅に低減できるという利点がある。しかしなが
ら、真空密閉容器内の加工物を真空乾燥する際、真空密
閉容器内に残存する有機溶剤蒸気の一部が、真空排気系
の排気口で完全に回収されないで大気中に放出されてし
まうという問題点があった。このため、有機溶剤の使用
量が増大してランニングコストが高くなり、そのうえ作
業環境が悪化し、労働安全衛生上においても問題があっ
た。さらに有機溶剤は大気や地中を汚染し、地球環境の
破壊にもつながる様々な問題を引き起していた。
使用量が、真空を利用しない他の従来型の洗浄装置に比
べて大幅に低減できるという利点がある。しかしなが
ら、真空密閉容器内の加工物を真空乾燥する際、真空密
閉容器内に残存する有機溶剤蒸気の一部が、真空排気系
の排気口で完全に回収されないで大気中に放出されてし
まうという問題点があった。このため、有機溶剤の使用
量が増大してランニングコストが高くなり、そのうえ作
業環境が悪化し、労働安全衛生上においても問題があっ
た。さらに有機溶剤は大気や地中を汚染し、地球環境の
破壊にもつながる様々な問題を引き起していた。
本発明の技術的課題は、上記問題点を解消した真空洗浄
装置を提供することにある。
装置を提供することにある。
技術的課題を解決するために講じた技術的手段は、加工
物を収容する真空密閉容器と、該真空密閉容器より真空
密閉容器内の気体を排気する真空ポンプと、真空容器内
に残った有機溶剤を集めて蒸発させる蒸発槽と、該蒸発
槽で発生した有機溶剤蒸気を集めて液化する冷却器と、
該冷却器で液化した有機溶剤を一時貯溜する補助タンク
と、前記真空密閉容器と配管とにより接続される有機溶
剤を貯溜する溶剤タンクと、前記真空密閉容器内が真空
時に前記溶剤タンク内に貯溜されている有機溶剤を噴射
するシャワー栓とを有し、前記真空密閉容器内に加工物
を収容した後、該真空密閉容器内を前記真空ポンプで排
気して真空にし、前記シャワー栓から前記溶剤タンク内
の有機溶剤を噴射し、加工物に付着している油脂を洗浄
し、さらに洗い残した油脂を有機溶剤蒸気で蒸気洗浄
し、前記真空密閉容器内を真空ポンプで真空排気し、加
工物を乾燥することにより、加工物を脱脂洗浄する真空
洗浄装置において、 前記真空密閉容器内を真空排気して加工物を乾燥する真
空ポンプと、該真空ポンプに接続される有機溶剤を貯溜
する溶剤タンクと、前記真空ポンプと前記溶剤タンクと
の間あるいは溶剤タンクの内部に設ける有機溶剤蒸気を
凝縮する凝縮機とを有し、該溶剤タンクの出口を前記真
空密閉容器の有機溶剤を噴射するシャワー栓に接続され
る有機溶剤流入口に接続し、真空密閉容器から真空ポン
プ、溶剤タンクを経て真空密閉容器に至るまでの溶剤の
閉流路あるいは真空密閉容器から真空ポンプ、凝縮機、
溶剤タンクを経て真空密閉容器に至るまでの溶剤の閉流
路を形成し、並びに真空密閉容器から蒸発槽、冷却機を
経て真空ポンプに至る流路及び冷却器から補助タンクを
経て真空ポンプに至る流路を閉流路に形成することであ
る。
物を収容する真空密閉容器と、該真空密閉容器より真空
密閉容器内の気体を排気する真空ポンプと、真空容器内
に残った有機溶剤を集めて蒸発させる蒸発槽と、該蒸発
槽で発生した有機溶剤蒸気を集めて液化する冷却器と、
該冷却器で液化した有機溶剤を一時貯溜する補助タンク
と、前記真空密閉容器と配管とにより接続される有機溶
剤を貯溜する溶剤タンクと、前記真空密閉容器内が真空
時に前記溶剤タンク内に貯溜されている有機溶剤を噴射
するシャワー栓とを有し、前記真空密閉容器内に加工物
を収容した後、該真空密閉容器内を前記真空ポンプで排
気して真空にし、前記シャワー栓から前記溶剤タンク内
の有機溶剤を噴射し、加工物に付着している油脂を洗浄
し、さらに洗い残した油脂を有機溶剤蒸気で蒸気洗浄
し、前記真空密閉容器内を真空ポンプで真空排気し、加
工物を乾燥することにより、加工物を脱脂洗浄する真空
洗浄装置において、 前記真空密閉容器内を真空排気して加工物を乾燥する真
空ポンプと、該真空ポンプに接続される有機溶剤を貯溜
する溶剤タンクと、前記真空ポンプと前記溶剤タンクと
の間あるいは溶剤タンクの内部に設ける有機溶剤蒸気を
凝縮する凝縮機とを有し、該溶剤タンクの出口を前記真
空密閉容器の有機溶剤を噴射するシャワー栓に接続され
る有機溶剤流入口に接続し、真空密閉容器から真空ポン
プ、溶剤タンクを経て真空密閉容器に至るまでの溶剤の
閉流路あるいは真空密閉容器から真空ポンプ、凝縮機、
溶剤タンクを経て真空密閉容器に至るまでの溶剤の閉流
路を形成し、並びに真空密閉容器から蒸発槽、冷却機を
経て真空ポンプに至る流路及び冷却器から補助タンクを
経て真空ポンプに至る流路を閉流路に形成することであ
る。
本発明では、溶剤の閉流路が真空密閉容器から真空ポン
プ、溶剤タンクを経て真空密閉容器に至るまで、あるい
は真空密閉容器から真空ポンプ、凝縮機、溶剤タンクを
経て真空密閉容器に至るまでの溶剤の閉流路が形成され
るので、真空密閉容器内の有機溶剤は真空密閉容器から
前記真空ポンプにより気化されながら排出され、排出さ
れた有機溶剤の気体は後段の凝縮機で凝縮液化され、さ
らに前記溶剤タンクに液化貯溜され、貯溜された有機溶
剤は、真空密閉容器のシャワー栓から噴射され、有機溶
剤は循環される。このように真空洗浄装置内の有機溶剤
は、真空排除系の排気口から大気中に放出されることな
く完全に回収することが可能となる。
プ、溶剤タンクを経て真空密閉容器に至るまで、あるい
は真空密閉容器から真空ポンプ、凝縮機、溶剤タンクを
経て真空密閉容器に至るまでの溶剤の閉流路が形成され
るので、真空密閉容器内の有機溶剤は真空密閉容器から
前記真空ポンプにより気化されながら排出され、排出さ
れた有機溶剤の気体は後段の凝縮機で凝縮液化され、さ
らに前記溶剤タンクに液化貯溜され、貯溜された有機溶
剤は、真空密閉容器のシャワー栓から噴射され、有機溶
剤は循環される。このように真空洗浄装置内の有機溶剤
は、真空排除系の排気口から大気中に放出されることな
く完全に回収することが可能となる。
本発明を図面の実施例について説明すると、第１図及び
第２図は本発明装置の一実施例を示すブッロク図であ
る。
第２図は本発明装置の一実施例を示すブッロク図であ
る。
本発明の実施例を第１図に従って述べると、加工物１を
収容する円筒形の真空密閉容器２には配管接続口が４ケ
所設けられ、さらに真空密閉容器２の前部には図示して
いないが真空密閉容器への加工物１の搬入搬出口が設け
られ、また底部には有機溶剤を蒸発させるヒータＨ１が
設けられ、第１の配管接続口はバルブＶ１を経て補助真
空ポンプ３（例えば油回転ポンプ）の吸い込み口と配管
で接続されている。そして第２の配管接続口はバルブＶ
２を介して真空ポンプ５（例えば液封式真空ポンプ）の
吸い込み口と配管４で接続され、真空ポンプ５の排出口
は有機溶剤蒸気を液化凝縮する凝縮機６の入口と配管接
続され、さらに凝縮機６の出口は凝縮機で凝縮した有機
溶剤液を貯溜する溶剤タンク７の入口に配管で接続さ
れ、そしてさらに溶剤タンク７の有機溶剤液出口と真空
密閉容器２の第３の配管接続口とはバルブＶ３を介して
配管１０で接続され、また前記第３の配管接続口は真空
密閉容器２内で加工物１に向けて配設された有機溶剤を
噴射するシャワー栓１１に接続されている。
収容する円筒形の真空密閉容器２には配管接続口が４ケ
所設けられ、さらに真空密閉容器２の前部には図示して
いないが真空密閉容器への加工物１の搬入搬出口が設け
られ、また底部には有機溶剤を蒸発させるヒータＨ１が
設けられ、第１の配管接続口はバルブＶ１を経て補助真
空ポンプ３（例えば油回転ポンプ）の吸い込み口と配管
で接続されている。そして第２の配管接続口はバルブＶ
２を介して真空ポンプ５（例えば液封式真空ポンプ）の
吸い込み口と配管４で接続され、真空ポンプ５の排出口
は有機溶剤蒸気を液化凝縮する凝縮機６の入口と配管接
続され、さらに凝縮機６の出口は凝縮機で凝縮した有機
溶剤液を貯溜する溶剤タンク７の入口に配管で接続さ
れ、そしてさらに溶剤タンク７の有機溶剤液出口と真空
密閉容器２の第３の配管接続口とはバルブＶ３を介して
配管１０で接続され、また前記第３の配管接続口は真空
密閉容器２内で加工物１に向けて配設された有機溶剤を
噴射するシャワー栓１１に接続されている。
これで真空閉容器２から真空ポンプ５、凝縮機６、溶剤
タンク７、真空密閉容器２までの溶剤の閉流路が形成さ
れる。なお溶剤タンク７の内部には、液化して貯溜され
ている有機溶剤が再び蒸気化して、溶剤タンク７内の圧
力が上昇するのを防止するための有機溶剤冷却管８が設
けられており、溶剤タンク７の底部には有機溶剤冷液９
が貯溜される。
タンク７、真空密閉容器２までの溶剤の閉流路が形成さ
れる。なお溶剤タンク７の内部には、液化して貯溜され
ている有機溶剤が再び蒸気化して、溶剤タンク７内の圧
力が上昇するのを防止するための有機溶剤冷却管８が設
けられており、溶剤タンク７の底部には有機溶剤冷液９
が貯溜される。
そして真空密閉容器２の底部に設けられた第４の配管接
続口はバルブＶ４を介して有機溶剤を蒸発させる蒸発槽
１２の入口と接続され、蒸発槽１２にはその底部に有機
溶剤を蒸発させるためのヒータＨ２が設けられ、さらに
蒸発した有機溶剤蒸気の出口も設けられ、この蒸発槽１
２の有機溶剤蒸気の出口は有機溶剤蒸気を液化するため
の冷却器１４を介して真空ポンプ５の吸い込み口と配管
１３で接続され、冷却器１４と真空ポンプ５の間にはバ
ルブＶ５が設けられている。
続口はバルブＶ４を介して有機溶剤を蒸発させる蒸発槽
１２の入口と接続され、蒸発槽１２にはその底部に有機
溶剤を蒸発させるためのヒータＨ２が設けられ、さらに
蒸発した有機溶剤蒸気の出口も設けられ、この蒸発槽１
２の有機溶剤蒸気の出口は有機溶剤蒸気を液化するため
の冷却器１４を介して真空ポンプ５の吸い込み口と配管
１３で接続され、冷却器１４と真空ポンプ５の間にはバ
ルブＶ５が設けられている。
一方これとは別に、冷却器１４に設けられている液化し
た有機溶剤液の出口は、バルブＶ６を介して液化した有
機溶剤を一時貯溜する補助タンク１５の入口に配管接続
されている。そしてさらに、補助タンク１５に別に設け
られた有機溶剤の液出口はバルブＶ７を介して真空ポン
プ５の吸い込み口に配管接続されている。
た有機溶剤液の出口は、バルブＶ６を介して液化した有
機溶剤を一時貯溜する補助タンク１５の入口に配管接続
されている。そしてさらに、補助タンク１５に別に設け
られた有機溶剤の液出口はバルブＶ７を介して真空ポン
プ５の吸い込み口に配管接続されている。
以上のように、この発明は構成されているが、その機能
については以下に説明する。
については以下に説明する。
この発明による真空洗浄装置では、まず最初に真空密閉
容器２の搬入口から真空密閉容器２内に油脂の付着した
加工物１を搬入する。このとき真空密閉容器の中には加
工物１と共に大気が混入するので、バルブＶ２とバルブ
３およびバルブＶ４を閉じ、バルブＶ１を開け、補助真
空ポンプ３を作動させて真空密閉容器２内を真空に減圧
し、その後バルブＶ１を閉じ、補助真空ポンプ３の作動
を停止させ、つぎにバルブＶ３を開ける。バルブＶ３を
開けると、真空になっている真空密閉容器２内と溶剤タ
ンク７内との圧力差により、配管１０を経てシャワー栓
１１から溶剤タンク７内の有機溶剤冷液９が加工物１に
噴射される。
容器２の搬入口から真空密閉容器２内に油脂の付着した
加工物１を搬入する。このとき真空密閉容器の中には加
工物１と共に大気が混入するので、バルブＶ２とバルブ
３およびバルブＶ４を閉じ、バルブＶ１を開け、補助真
空ポンプ３を作動させて真空密閉容器２内を真空に減圧
し、その後バルブＶ１を閉じ、補助真空ポンプ３の作動
を停止させ、つぎにバルブＶ３を開ける。バルブＶ３を
開けると、真空になっている真空密閉容器２内と溶剤タ
ンク７内との圧力差により、配管１０を経てシャワー栓
１１から溶剤タンク７内の有機溶剤冷液９が加工物１に
噴射される。
真空密閉容器２内に有機溶剤冷液９が噴射されたとき、
真空密閉容器内は真空状態にあったので、有機溶剤冷液
９は加工物１の細かな上向きまたは下向きの深い凹部や
隙間内に確実に吸い込まれて侵入し、加工物の隅々に至
るまで加工物に付着した油脂を洗い流しながら加工物１
を冷却する。そして、油脂を洗い流した有機溶剤は真空
密閉容器２の底部に貯溜される。
真空密閉容器内は真空状態にあったので、有機溶剤冷液
９は加工物１の細かな上向きまたは下向きの深い凹部や
隙間内に確実に吸い込まれて侵入し、加工物の隅々に至
るまで加工物に付着した油脂を洗い流しながら加工物１
を冷却する。そして、油脂を洗い流した有機溶剤は真空
密閉容器２の底部に貯溜される。
つぎにバルブＶ３を閉じて、真空密閉容器２の底部に配
設されたヒータＨ１により真空密閉容器の底部に貯溜さ
れた有機溶剤を加熱蒸発させ、この有機溶剤蒸気で前工
程で洗い残した加工物１の表面の油脂を溶解洗浄する。
設されたヒータＨ１により真空密閉容器の底部に貯溜さ
れた有機溶剤を加熱蒸発させ、この有機溶剤蒸気で前工
程で洗い残した加工物１の表面の油脂を溶解洗浄する。
このとき有機溶剤蒸気は、前工程で冷却された加工物１
に接触して加工物の表面に凝縮して、加工物の表面に有
機溶剤蒸気の持つエネルギーを放出し、加工物の温度を
有機溶剤蒸気温度まで上昇させる。一方、加工物の表面
で凝縮した有機溶剤は、加工物の表面の油脂を柔らかく
して、これを溶解洗浄する。
に接触して加工物の表面に凝縮して、加工物の表面に有
機溶剤蒸気の持つエネルギーを放出し、加工物の温度を
有機溶剤蒸気温度まで上昇させる。一方、加工物の表面
で凝縮した有機溶剤は、加工物の表面の油脂を柔らかく
して、これを溶解洗浄する。
ついで、バルブＶ４を開け、真空密閉容器２内に残って
いる有機溶剤液を蒸発槽１２に移してからバルブＶ４を
閉じる。その後、バルブＶ５およびバルブＶ７が閉じて
いる状態で、真空ポンプ５を作動してバルブＶ２を開
け、真空密閉容器２内から有機溶剤蒸気および僅かに残
存している有機溶剤液を排出し、真空密閉容器内と加工
物の乾燥を終了する。このとき、有機溶剤液は真空下で
蒸発排出される。真空ポンプ５から排出された有機溶剤
の気体は、後段の凝縮機６で有機溶剤液に凝縮液化さ
れ、後段の溶剤タンク７に貯溜される。ここで凝縮機６
の構成は、従来より知られている公知の凝縮機を使用す
れば十分である。
いる有機溶剤液を蒸発槽１２に移してからバルブＶ４を
閉じる。その後、バルブＶ５およびバルブＶ７が閉じて
いる状態で、真空ポンプ５を作動してバルブＶ２を開
け、真空密閉容器２内から有機溶剤蒸気および僅かに残
存している有機溶剤液を排出し、真空密閉容器内と加工
物の乾燥を終了する。このとき、有機溶剤液は真空下で
蒸発排出される。真空ポンプ５から排出された有機溶剤
の気体は、後段の凝縮機６で有機溶剤液に凝縮液化さ
れ、後段の溶剤タンク７に貯溜される。ここで凝縮機６
の構成は、従来より知られている公知の凝縮機を使用す
れば十分である。
また、この凝縮機６は、溶剤タンク７の外部に設置する
ことも、あるいは溶剤タンクの内部に設置することも自
由である。溶剤タンク７に貯溜された有機溶剤液は溶剤
タンクの内部に設けられている有機溶剤液冷却管８で冷
却され、有機溶剤蒸気が再び蒸気化して、溶剤タンク内
の圧力が上昇するのを防止し、つぎのシャワー栓から噴
射する工程に備える。
ことも、あるいは溶剤タンクの内部に設置することも自
由である。溶剤タンク７に貯溜された有機溶剤液は溶剤
タンクの内部に設けられている有機溶剤液冷却管８で冷
却され、有機溶剤蒸気が再び蒸気化して、溶剤タンク内
の圧力が上昇するのを防止し、つぎのシャワー栓から噴
射する工程に備える。
以上の通り、溶剤の閉流路が真空密閉容器２から真空ポ
ンプ５、凝縮機６、溶剤タンク７を経て真空密閉容器２
に至るまで形成されるので、真空密閉容器内の有機溶剤
は真空密閉容器から前記真空ポンプ５により気化されな
がら排出される。この排出された有機溶剤の気体は、従
来の特開昭６３−２９６８８１号に記載された「冷却
器」あるいは特開昭５６−１１５６７６号に記載された
「液貯槽に設けた冷却手段」が設置されている系路を通
過するものではないから、本発明の有機溶剤の気体を、
従来技術の装置では捕捉して液化することは不可能であ
ったが、本発明では凝縮機６の存在により凝縮液化する
ことができ、さらに溶剤タンク７に液化貯溜され、さら
に溶剤タンク７に液化貯溜され、貯溜された有機溶剤は
真空密閉容器２のシャワー栓１１に接続される有機溶剤
流入口を経てシャワー栓から噴射され、この真空洗浄装
置内の有機溶剤は循環され、真空排気系の排気口から大
気中に放出されることなく完全に回収することが可能と
なる。
ンプ５、凝縮機６、溶剤タンク７を経て真空密閉容器２
に至るまで形成されるので、真空密閉容器内の有機溶剤
は真空密閉容器から前記真空ポンプ５により気化されな
がら排出される。この排出された有機溶剤の気体は、従
来の特開昭６３−２９６８８１号に記載された「冷却
器」あるいは特開昭５６−１１５６７６号に記載された
「液貯槽に設けた冷却手段」が設置されている系路を通
過するものではないから、本発明の有機溶剤の気体を、
従来技術の装置では捕捉して液化することは不可能であ
ったが、本発明では凝縮機６の存在により凝縮液化する
ことができ、さらに溶剤タンク７に液化貯溜され、さら
に溶剤タンク７に液化貯溜され、貯溜された有機溶剤は
真空密閉容器２のシャワー栓１１に接続される有機溶剤
流入口を経てシャワー栓から噴射され、この真空洗浄装
置内の有機溶剤は循環され、真空排気系の排気口から大
気中に放出されることなく完全に回収することが可能と
なる。
前述の説明で、蒸発槽１２に移された有機溶剤液は、蒸
発槽１２に設けられたヒータＨ２で加熱蒸発されること
となる。ここで蒸発した有機溶剤蒸気は真空ポンプ５を
作動させ、バルブＶ５とバルブＶ６およびバルブＶ７を
開けることによって真空ポンプ５に吸引される。有機溶
剤蒸気は真空ポンプ５に吸引される途中で大部分で冷却
器１４で冷却液化されて補助タンク１５に流下する。
発槽１２に設けられたヒータＨ２で加熱蒸発されること
となる。ここで蒸発した有機溶剤蒸気は真空ポンプ５を
作動させ、バルブＶ５とバルブＶ６およびバルブＶ７を
開けることによって真空ポンプ５に吸引される。有機溶
剤蒸気は真空ポンプ５に吸引される途中で大部分で冷却
器１４で冷却液化されて補助タンク１５に流下する。
流下した有機溶剤液は冷却器１４で液化しなかった有機
溶剤蒸気と共に真空ポンプ５に吸引されて凝縮機６に送
られる。有機溶剤液と共に送られた有機溶剤蒸気は濃縮
液化されて溶剤タンク７に貯溜され、シャワー栓から噴
射する工程に備える。
溶剤蒸気と共に真空ポンプ５に吸引されて凝縮機６に送
られる。有機溶剤液と共に送られた有機溶剤蒸気は濃縮
液化されて溶剤タンク７に貯溜され、シャワー栓から噴
射する工程に備える。
つぎに第２の実施例として、第２図を用いて説明する。
加工物１を収容する円筒形の真空密閉容器２には、実施
例１における第１の配管接続口が省略されて、第２〜第
４の配管接続口が３ケ所に設けられ、真空密閉容器２の
前部には真空密閉容器への加工物の搬入搬出口（図示し
ない）が設けられ、底部にはヒータＨ１が設けられてい
る。そして第２の配管接続口はバルブＶ２を介して真空
ポンプ５（例えばスクリュー式真空ポンプ）の吸い込み
口と配管４で接続され、真空ポンプ５の排出口はバルブ
Ｖ９を介して凝縮機６の入口と配管接続され、真空ポン
プ５とバルブＶ９との間に大気と連通しているバルブＶ
８が接続されている。さらに凝縮機６の出口は溶剤タン
ク７の入口に配管で接続され、そして溶剤タンク７の有
機溶剤液出口と真空密閉容器２の第３の配管接続口とバ
ルブＶ３を介して配管１０で接続され、前記第３の配管
接続口は真空密閉容器内で加工物に向けて配設された有
機溶剤を噴射するシャワー栓１１に接続されている。こ
のようにして真空密閉容器２から真空ポンプ５、凝縮機
６、溶剤タンク７、真空密閉容器２までの溶剤の閉流路
が形成される。
例１における第１の配管接続口が省略されて、第２〜第
４の配管接続口が３ケ所に設けられ、真空密閉容器２の
前部には真空密閉容器への加工物の搬入搬出口（図示し
ない）が設けられ、底部にはヒータＨ１が設けられてい
る。そして第２の配管接続口はバルブＶ２を介して真空
ポンプ５（例えばスクリュー式真空ポンプ）の吸い込み
口と配管４で接続され、真空ポンプ５の排出口はバルブ
Ｖ９を介して凝縮機６の入口と配管接続され、真空ポン
プ５とバルブＶ９との間に大気と連通しているバルブＶ
８が接続されている。さらに凝縮機６の出口は溶剤タン
ク７の入口に配管で接続され、そして溶剤タンク７の有
機溶剤液出口と真空密閉容器２の第３の配管接続口とバ
ルブＶ３を介して配管１０で接続され、前記第３の配管
接続口は真空密閉容器内で加工物に向けて配設された有
機溶剤を噴射するシャワー栓１１に接続されている。こ
のようにして真空密閉容器２から真空ポンプ５、凝縮機
６、溶剤タンク７、真空密閉容器２までの溶剤の閉流路
が形成される。
そして真空密閉容器２の底部に設けられた第４の配管接
続口はバルブＶ４を介して蒸発槽１２の入口と接続さ
れ、蒸発槽の底部にはヒータＨ２が設けられ、さらに蒸
発槽の上部には蒸発した有機溶剤蒸気の出口が設けら
れ、この出口は冷却器１４を介して真空ポンプ５の吸い
込み口と配管１３で接続され、冷却器１４と真空ポンプ
５の間にはバルブＶ５が設けられている。一方、これと
は別に冷却器１４に設けられている液化した有機溶剤液
の出口はバルブＶ６を介して補助タンク１５の入口に配
管接続されている。補助タンク１５に設けられた有機溶
剤の液出口はバルブＶ７を介して真空ポンプ５の吸い込
み口に配管接続されている。
続口はバルブＶ４を介して蒸発槽１２の入口と接続さ
れ、蒸発槽の底部にはヒータＨ２が設けられ、さらに蒸
発槽の上部には蒸発した有機溶剤蒸気の出口が設けら
れ、この出口は冷却器１４を介して真空ポンプ５の吸い
込み口と配管１３で接続され、冷却器１４と真空ポンプ
５の間にはバルブＶ５が設けられている。一方、これと
は別に冷却器１４に設けられている液化した有機溶剤液
の出口はバルブＶ６を介して補助タンク１５の入口に配
管接続されている。補助タンク１５に設けられた有機溶
剤の液出口はバルブＶ７を介して真空ポンプ５の吸い込
み口に配管接続されている。
以上のように第２の実施例は構成されており、その機能
については、実施例１における説明中「真空密閉容器２
の搬入口から真空密閉容器２内に油脂の付着した加工物
１を搬入する。このとき真空密閉容器の中には加工物１
と共に大気が混入するので、バルブＶ２とバルブＶ３お
よびバルブＶ４を閉じ、バルブＶ１を開け、補助真空ポ
ンプ３を作動させて真空密閉容器２内を真空に減圧
し、」とある部分を、「真空密閉容器２の搬入口から真
空密閉容器２内に油脂の付着した加工物１を搬入する。
このとき真空密閉容器の中には加工物１と共に大気が混
入するので、バルブＶ３とバルブＶ４、バルブ５、バル
ブＶ７およびバルブＶ９を閉じ、真空ポンプ５を作動さ
せ、バルブＶ２とバルブＶ８を開けて真空密閉容器２内
を真空に減圧し、」と読み代え、実施例１に加えてバル
ブＶ８およびバルブＶ９の開閉を追加すればよい。
については、実施例１における説明中「真空密閉容器２
の搬入口から真空密閉容器２内に油脂の付着した加工物
１を搬入する。このとき真空密閉容器の中には加工物１
と共に大気が混入するので、バルブＶ２とバルブＶ３お
よびバルブＶ４を閉じ、バルブＶ１を開け、補助真空ポ
ンプ３を作動させて真空密閉容器２内を真空に減圧
し、」とある部分を、「真空密閉容器２の搬入口から真
空密閉容器２内に油脂の付着した加工物１を搬入する。
このとき真空密閉容器の中には加工物１と共に大気が混
入するので、バルブＶ３とバルブＶ４、バルブ５、バル
ブＶ７およびバルブＶ９を閉じ、真空ポンプ５を作動さ
せ、バルブＶ２とバルブＶ８を開けて真空密閉容器２内
を真空に減圧し、」と読み代え、実施例１に加えてバル
ブＶ８およびバルブＶ９の開閉を追加すればよい。
これにより本発明では、補助真空ポンプ３を省略して真
空ポンプ５一台で、真空洗浄装置を実施することが可能
となる。
空ポンプ５一台で、真空洗浄装置を実施することが可能
となる。
したがって上記構成によれば、真空密閉容器内の加工物
を真空乾燥する際、真空密閉容器内に残存する有機溶剤
蒸気の全部を、真空排気系の排気口で完全に回収するこ
とができ、有機溶剤が大気中に放出されなくなったの
で、洗浄剤として用いる有機溶剤の使用量が、他の従来
型の洗浄装置に比べて大幅に低減できるとともに、作業
環境を大幅に改善し、踏動安全衛生上における安全性も
確保できることとなった。
を真空乾燥する際、真空密閉容器内に残存する有機溶剤
蒸気の全部を、真空排気系の排気口で完全に回収するこ
とができ、有機溶剤が大気中に放出されなくなったの
で、洗浄剤として用いる有機溶剤の使用量が、他の従来
型の洗浄装置に比べて大幅に低減できるとともに、作業
環境を大幅に改善し、踏動安全衛生上における安全性も
確保できることとなった。
このように有機溶剤の使用量が大幅に低減できる結果、
ランニングコストも安くなり、かつ大気や地中の汚染を
防止し、地球環境の破壊ということにつながる様々な問
題を解決できる。
ランニングコストも安くなり、かつ大気や地中の汚染を
防止し、地球環境の破壊ということにつながる様々な問
題を解決できる。
上記実施例では、真空密閉容器を円筒形状である場合に
ついて述べたが、真空密閉容器が多角形状であっても直
方体形状であってもかまわない。
ついて述べたが、真空密閉容器が多角形状であっても直
方体形状であってもかまわない。
また加工物の搬入搬出口が真空密閉容器の前部に設けら
れている例について説明したが、真空密閉容器の後部は
もちろん、上部であっても、側面であってもこの発明を
実施する上で妨げにならないものであればかまわない。
れている例について説明したが、真空密閉容器の後部は
もちろん、上部であっても、側面であってもこの発明を
実施する上で妨げにならないものであればかまわない。
凝縮機と溶剤タンクが別々である場合について述べた
が、凝縮機と溶剤タンクが一体的で、一方が他方を内蔵
する内蔵型のものとしてもよい。
が、凝縮機と溶剤タンクが一体的で、一方が他方を内蔵
する内蔵型のものとしてもよい。
さらに真空ポンプ３が油回転ポンプで、真空ポンプが液
封式真空ポンプ、スクリュー式真空ポンプである例につ
いて説明したが、この発明装置に使用する真空ポンプ
は、ルーツ式真空ポンプあるいは他の真空ポンプで、こ
の発明を実施する上で妨げにならないものであればよ
く、好ましくはドライ型の真空ポンプが良好な結果を提
供する。
封式真空ポンプ、スクリュー式真空ポンプである例につ
いて説明したが、この発明装置に使用する真空ポンプ
は、ルーツ式真空ポンプあるいは他の真空ポンプで、こ
の発明を実施する上で妨げにならないものであればよ
く、好ましくはドライ型の真空ポンプが良好な結果を提
供する。
よって本発明によれば、真空密閉容器から真空ポンプ、
溶剤タンクを経て真空密閉容器に至るまで、あるいは真
空密閉容器から真空ポンプ、凝縮機、溶剤タンクを経て
真空密閉容器に至るまでの溶剤の閉流路が形成される。
溶剤タンクを経て真空密閉容器に至るまで、あるいは真
空密閉容器から真空ポンプ、凝縮機、溶剤タンクを経て
真空密閉容器に至るまでの溶剤の閉流路が形成される。
このため真空密閉容器内の有機溶剤は真空密閉容器から
前記真空ポンプにより気化されながら排出され、排出さ
れた有機溶剤の気体は凝縮機で凝縮液化され、溶剤タン
クに液化貯溜され、貯溜された有機溶剤は真空密閉容器
のシャワー栓に接続された有機溶剤流入口を経てシャワ
ー栓から噴射され、再度真空ポンプにより気化されると
いう工程が繰り返えされる。
前記真空ポンプにより気化されながら排出され、排出さ
れた有機溶剤の気体は凝縮機で凝縮液化され、溶剤タン
クに液化貯溜され、貯溜された有機溶剤は真空密閉容器
のシャワー栓に接続された有機溶剤流入口を経てシャワ
ー栓から噴射され、再度真空ポンプにより気化されると
いう工程が繰り返えされる。
このように真空洗浄装置内の有機溶剤は、真空排気系の
排気口から大気中に放出されずに完全に回収されるの
で、洗浄剤として用いられる有機溶剤の使用量を、他の
従来型の洗浄装置に比べて大幅に低減できると共に、作
業環境を大幅に改善し、労働安全衛生上における安全性
も確保できる等のすぐれた効果を有する。
排気口から大気中に放出されずに完全に回収されるの
で、洗浄剤として用いられる有機溶剤の使用量を、他の
従来型の洗浄装置に比べて大幅に低減できると共に、作
業環境を大幅に改善し、労働安全衛生上における安全性
も確保できる等のすぐれた効果を有する。
さらに、有機溶剤の使用量が大幅に低減できる結果、ラ
ンニングコストも安くなり、大気や地中の汚染を防止
し、地球環境の破壊につながる様々な社会問題を解決で
きるという顕著で重要な効果を有する。
ンニングコストも安くなり、大気や地中の汚染を防止
し、地球環境の破壊につながる様々な社会問題を解決で
きるという顕著で重要な効果を有する。
第１図及び第２図は本発明装置の一実施例を示すブッロ
ク図である。 １………加工物 ２………真空密閉容器 ３………補助真空ポンプ ４、１０、１３………配管 ５………真空ポンプ ６………凝縮機 ７………溶剤タンク ８………有機溶剤液冷却管 ９………有機溶剤冷液 １１………シャワー栓 １２………蒸発槽 １４………冷却器 １５………補助タンク Ｈ１、Ｈ２………ヒータ Ｖ１〜Ｖ９………バルブ
ク図である。 １………加工物 ２………真空密閉容器 ３………補助真空ポンプ ４、１０、１３………配管 ５………真空ポンプ ６………凝縮機 ７………溶剤タンク ８………有機溶剤液冷却管 ９………有機溶剤冷液 １１………シャワー栓 １２………蒸発槽 １４………冷却器 １５………補助タンク Ｈ１、Ｈ２………ヒータ Ｖ１〜Ｖ９………バルブ
Claims (1)
- 【請求項１】加工物を収容する真空密閉容器と、該真空
密閉容器より真空密閉容器内の気体を排気する真空ポン
プと、真空容器内に残った有機溶剤を集めて蒸発させる
蒸発槽と、該蒸発槽で発生した有機溶剤蒸気を集めて液
化する冷却器と、該冷却器で液化した有機溶剤を一時貯
溜する補助タンクと、前記真空密閉容器と配管とにより
接続される有機溶剤を貯溜する溶剤タンクと、前記真空
密閉容器内が真空時に前記溶剤タンク内に貯溜されてい
る有機溶剤を噴射するシャワー栓とを有し、前記真空密
閉容器内に加工物を収容した後、該真空密閉容器内を前
記真空ポンプで排気して真空にし、前記シャワー栓から
前記溶剤タンク内の有機溶剤を噴射し、加工物に付着し
ている油脂を洗浄し、さらに洗い残した油脂を有機溶剤
蒸気で蒸気洗浄し、前記真空密閉容器内を真空ポンプで
真空排気し、加工物を乾燥することにより、加工物を脱
脂洗浄する真空洗浄装置において、 前記真空密閉容器内を真空排気して加工物を乾燥する真
空ポンプと、該真空ポンプに接続される有機溶剤を貯溜
する溶剤タンクと、前記真空ポンプと前記溶剤タンクと
の間あるいは溶剤タンクの内部に設ける有機溶剤蒸気を
凝縮する凝縮機とを有し、該溶剤タンクの出口を前記真
空密閉容器の有機溶剤を噴射するシャワー栓に接続され
る有機溶剤流入口に接続し、真空密閉容器から真空ポン
プ、溶剤タンクを経て真空密閉容器に至るまでの溶剤の
閉流路あるいは真空密閉容器から真空ポンプ、凝縮機、
溶剤タンクを経て真空密閉容器に至るまでの溶剤の閉流
路を形成し、並びに真空密閉容器から蒸発槽、冷却器を
経て真空ポンプに至る流路及び冷却器から補助タンクを
経て真空ポンプに至る流路を閉流路に形成することを特
徴とする真空洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24025989A JPH0611435B2 (ja) | 1989-09-18 | 1989-09-18 | 真空洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24025989A JPH0611435B2 (ja) | 1989-09-18 | 1989-09-18 | 真空洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03101881A JPH03101881A (ja) | 1991-04-26 |
| JPH0611435B2 true JPH0611435B2 (ja) | 1994-02-16 |
Family
ID=17056834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24025989A Expired - Lifetime JPH0611435B2 (ja) | 1989-09-18 | 1989-09-18 | 真空洗浄装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0611435B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2535466B2 (ja) * | 1991-10-17 | 1996-09-18 | ジャパン・フィールド株式会社 | 可燃性溶剤を用いた被洗浄物の洗浄装置 |
| DE4136990C2 (de) * | 1991-11-11 | 2002-12-05 | Ald Vacuum Techn Ag | Verfahren zur Entfettung und Reinigung von mit fett- und/oder ölhaltigen Stoffen behaftetem Gut |
| DE4317862A1 (de) * | 1993-05-28 | 1994-12-01 | Aichelin Ind Ofen | Verfahren und Vorrichtung zum Reinigen von metallischen Werkstücken |
| DE4329178B4 (de) * | 1993-08-30 | 2006-11-09 | EMO Oberflächentechnik GmbH | Dampfphasenreinigung |
| JP2584187B2 (ja) * | 1993-10-28 | 1997-02-19 | 中外炉工業株式会社 | 洗浄装置 |
| JP2742238B2 (ja) * | 1995-03-16 | 1998-04-22 | 中外炉工業株式会社 | 有機溶剤を使用する洗浄装置 |
| JP2879812B2 (ja) * | 1994-02-28 | 1999-04-05 | 日本エンバイロ工業 株式会社 | 小物ワーク用洗浄装置 |
| JP3234204B2 (ja) * | 1999-09-13 | 2001-12-04 | ポップリベット・ファスナー株式会社 | 物品等の洗浄方法及び装置 |
| JP4685478B2 (ja) * | 2005-03-11 | 2011-05-18 | 富士通株式会社 | 金属膜パターンの形成方法 |
| JP6318939B2 (ja) * | 2014-07-18 | 2018-05-09 | 株式会社デンソー | 洗浄方法、及び、洗浄装置 |
| CN108686585A (zh) * | 2018-07-13 | 2018-10-23 | 南京卡邦科技有限公司 | 工艺制备柱自动填料自动卸料装置 |
-
1989
- 1989-09-18 JP JP24025989A patent/JPH0611435B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03101881A (ja) | 1991-04-26 |
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