JPH03293072A - 有機溶剤を使用する洗浄装置の運転方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明に係る有機溶剤を使用する洗浄装置の運転方法
は、フロン等の有機溶剤を用いて各種物品の表面に付着
した油等の汚れを落とす場合に利用するものである。

（従来の技術） 金型、空気軸受用の多孔質焼結金属、或はＩＣ基板等、
各種物品の表面に付着した油等の汚れを、フロン、トリ
クロルエチレン等の有機溶剤を使用して洗浄する事が、
−前約に行なわれている。

この様な有機溶剤を洗浄液として使用する事により、洗
浄作業を行なう洗浄装置の１例に就いて、実開平１−１
６３４８６号公報に開示された装置を例にして説明する
。

この洗浄装置は、図面に示す様に、上方が開口した有底
円筒状で、上端開口を気密に塞ぐ事の出来るＭｌを有す
る洗浄槽２と、有機溶剤を加熱蒸発させる為のヒータ３
を内蔵し、管５を通じて洗浄槽２の内部に比較的温度の
高い有機溶剤の蒸気を送り込む蒸気発生器４と、洗浄槽
２の内部に送り込む為の洗浄用有機溶剤を貯溜した貯溜
槽６と、この貯溜槽６と洗浄槽２二を結ぶ管７と、液状
の有機溶剤を加熱蒸発させる為のヒータ１０及び有機溶
剤の蒸気を凝縮させる為の冷却器１１を組み合わせる事
で構成され、凝縮した有機溶剤を上記貯溜槽６に送る蒸
留器１２と、この蒸留器１２と上記貯溜槽６とを結ぶ管
２６と、洗浄槽２の底部に通じる管８の途中に設けた送
液ポンプ９を上記両管７．８に組み合わせ、洗浄槽２と
貯溜槽６或は蒸留器１２との間で液状の有機溶剤の給排
を行なう給排手段２０と、洗浄槽２内に空気を送り込む
吸気管１６と、途中に真空ポンプ１３を設けた排出管１
９の端部にそれぞれ接続され、洗浄槽２から排出した有
機溶剤蒸気を上記蒸留器１２に送り込む排蒸管１４、及
び洗浄槽２がら空気を排出する排気管１５とから構成さ
れている。

上述の様に構成される先発明の洗浄装置により、被洗浄
物１７の洗浄を行なう場合、Ｍｌを開いてこの被洗浄物
１７を洗浄槽２の内部に収納した後、上記Ｍ１を閉して
から真空ポンプ１３を運転し、排気管１５を通じて、こ
の洗浄槽２内の空気を排出する。

洗浄ａ！２内の空気を排出した後、給排手段２０を構成
する管７を通じて、貯溜槽６内の有機溶剤を洗浄槽２内
に送り込み、被洗浄物１７の洗浄を行なう。この際、洗
浄槽２の底面に固定した超音波振動子１８．１８に通電
する事により、洗浄槽２内の有機溶剤に超音波振動を加
え、被洗浄物１７の洗浄が効率良く行なわれる様にする
。

液状の有機溶剤による洗浄作業が完了したならば、給排
手段２０を構成する送液ポンプ９を運転する事により、
管８を通じて洗浄槽２中の液状有機溶剤を、徐々に蒸留
器１２に送り込みつつ、蒸気発生器４から洗浄槽２中に
有機溶剤の蒸気を供給する。

この結果、洗浄槽２中の被洗浄物１７は、その一部が液
状有機溶剤の液面上に露出し、この露出部分で有機溶剤
の蒸気が凝縮して、この凝縮分で被洗浄物１７の表面が
洗浄される、所謂蒸気洗浄が行なわれる。又、蒸留器１
２内に送り込まれた使用済みの汚れた有機溶剤は、この
蒸留器１２に設けたヒータ１０により加熱され蒸発して
から、再び冷却器１１により凝縮液化される事によって
再生され、前記貯溜槽６に戻される。

但し、１回の洗浄作業での有機溶剤の汚れは少ない為、
洗浄作業に使用した有機溶剤を貯溜槽６に戻し、汚れが
著しくなった場合にのみ、洗浄後に有機溶剤を蒸留器１
２に送り込む様に構成する場合もある。

蒸気洗浄を行ないつつ、洗浄４’１２中の液状有機溶剤
を総て蒸留器Ｉ２に送り込んだならば、排出管１９の途
中に設けた真空ポンプ１３を運転し、洗浄槽２内に残留
している有機溶剤蒸気を、排蒸管１４を通じて、蒸留器
１２内に排出する。この様に、排出管１９と排蒸管１４
とを通じて蒸留器１２内に排出された有機溶剤の蒸気は
、この蒸留器１２に設けた冷却器１１により凝縮液化さ
れて回収される。冷却器１１により回収し切れなかった
有ａ！溶剤の蒸気は、二次冷却器２１により回収され、
更にこの二次冷却器２１によっても回収出来なかった、
微量の有機溶剤蒸気は、活性炭フィルタ２２により捕集
される。

真空ポンプ１３の運転に件なって、洗浄槽２内が所定の
真空度に達したならば、上記真空ポンプ１３を停止し、
吸気管１６を通じて洗浄槽２内に空気を送り込む。

この結果、洗浄槽２内の圧力が大気圧程度に迄上昇した
ならば、この洗浄槽２のＭｌを開き、洗浄作業が完了し
た被洗浄物１７の取り出しを行なう。

（発明が解決しようとする課題） ところで、より効率的で良好な洗浄を行なう為には、洗
浄作業中、被洗浄物１７を動かす事が効果がある。

ところが、洗浄槽２は、大気中への有機溶剤の漏洩を防
止する為、密閉構造とされており、外部から被洗浄物１
７を動かそうとした場合には、この洗浄槽２内に収納さ
れた被洗浄物１７を動かす為の構造か複雑になってしま
う。

マグネットカップリングにより、洗浄槽２内に収納され
た被洗浄物１７を動かす場合、比較的簡単な構造で済む
が、被洗浄物１７の種類によっては、強い磁石を組み込
んだマグネットカップリングを使用する事が出来ない。

本発明の有機溶剤を使用する洗浄装置の運転方法は、上
述の様な不都合を解消するものである。

（課題を解決する為の手段） 本発明の有機溶剤を使用する洗浄装置の運転方法は、前
述した従来の有機溶剤を使用する洗浄装置により、被洗
浄物の洗浄を行なう場合と同様に、洗浄装置の洗浄槽２
内に被洗浄物１７を収納し、Ｍｌによりこの洗浄槽２を
密閉した状態で、上記洗浄槽２内に有機溶剤を送り込み
、上記被洗浄物１７を洗浄するものである。

更に、本発明の有機溶剤を使用する洗浄装置の運転方法
に於いては、洗浄［２内に有機溶剤を送り込んだ状態で
真空ポンプ１３を運転する事により、上記洗浄槽２内の
気体を排出し、この洗浄槽２内の圧力を有機溶剤の蒸気
圧以下に迄低下させて、有機溶剤を突沸させる事により
、洗浄槽２内に収納された被洗浄物１７を動かしつつ洗
浄する事を特徴としている。

洗浄作業時に洗浄槽２から排出した気体（有機溶剤蒸気
）は、蒸留器１２に送り込み、この蒸留器１２内で凝縮
液化する事で回収する。

（作　　用） 上述の様に構成される本発明の有機溶剤を使用する洗浄
装置の運転方法により、洗浄槽２内に収納された被洗浄
物１７を洗浄すると、洗浄中に有機溶剤の突沸により生
じた気泡によって、被洗浄物１７が揺り動かされ、この
被洗浄物１７が効率良く洗浄される。

（発明の効果） 本発明の有機溶剤を使用する洗浄装置の運転方法は、以
上に述べた通り構成され作用する為、洗浄装置に面倒な
工作を施す事なく、良好な洗浄を行なえる様になる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の対象となる洗浄装置の１例を示す略縦断
面図である。 １：蓋、２：洗浄槽、３．ヒータ、４：蒸気発生器、５
：管、６：貯溜槽、７．８：管、９：送液ポンプ、１０
：ヒータ、１１・冷却器、１２：蒸留器、１３：真空ポ
ンプ、１４．排蒸管、１５：排気管、１６：吸気管、１
７．被洗浄物、１８超音波振動子、１９：排出管、２０
：給排手段、２１：二次冷却器、２２：活性炭フィルタ
、２３．２４：弁、２５．２６：管。 （二；Ｘ麓各） １

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）洗浄装置の洗浄槽内に被洗浄物を収納し、この洗
   浄槽を密閉した状態で、上記洗浄槽内に有機溶剤を送り
   込み、上記被洗浄物を洗浄する有機溶剤を使用する洗浄
   装置の運転方法に於いて、洗浄槽内に有機溶剤を送り込
   んだ状態で真空ポンプを運転する事により、上記洗浄槽
   内の気体を排出し、この洗浄槽内の圧力を有機溶剤の蒸
   気圧以下に迄低下させて、この洗浄槽内の有機溶剤を突
   沸させる事により、洗浄槽内に収納された被洗浄物を動
   かしつつ洗浄する事を特徴とする、有機溶剤を使用する
   洗浄装置の運転方法。