JPH1071370A - 完全密閉式洗浄装置 - Google Patents

完全密閉式洗浄装置

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JPH1071370A
JPH1071370A JP26341896A JP26341896A JPH1071370A JP H1071370 A JPH1071370 A JP H1071370A JP 26341896 A JP26341896 A JP 26341896A JP 26341896 A JP26341896 A JP 26341896A JP H1071370 A JPH1071370 A JP H1071370A
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JP
Japan
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cleaning
steam
function
washing
vacuum
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JP26341896A
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English (en)
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Yasutaka Imashiro
康隆 今城
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II M II KK
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II M II KK
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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 人体並びに環境に支障を来さないために、部
品の洗浄に際して使用する洗浄剤を全く外に排出させな
い、省スペースであり経済的な汎用の完全密閉型洗浄装
置を提供する。 【解決手段】 超音波洗浄、リンス洗浄および蒸気洗浄
を1槽の洗浄機で行ない且つ洗浄剤をリサイクル使用す
るために蒸留機を具備し、併せて蒸気洗浄時に発生する
ミストを急速に回収するために、真空減圧蒸留機10と
洗浄槽1の圧力差を利用してミストを逆流循環させ、冷
却コンデンサーでミストを液化回収することを特徴とし
た完全密閉式洗浄装置

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】[発明の属する技術分野]本発明は,各種
製造業で加工される金属、セラミックス、ガラス、プラ
スチックス、基板、などの脱脂や脱フラックス、表面清
浄などの洗浄を目的とした部品の工業用洗浄装置に関す
る。
【0002】[従来の技術]従来、工業分野の洗浄剤と
しては、フロン系溶剤であるCFC−113などや塩素
系溶剤である1.1.1−トリクロロエタンなどの不燃
性溶剤を用い、洗浄槽と蒸気洗浄槽からなる開放型の洗
浄装置が多数使用されてきた。然るに、オゾン層の破壊
や地球環境汚染などに端を発した諸問題によりこれらが
使えなくなると、炭化水素溶剤やPFC(パーフロロカ
ーボン)などが代替洗浄剤として広く使われ始めている
が、洗浄装置は液の消耗抑制などの工夫はされているも
のの、大筋では従来型のものを改造したものが使用され
ている。
【0003】[発明が解決しようとしている課題]本発
明は、人体への安全性や環境に全く無害であるという物
質はいかなるものもあり得ないという視点にたって提案
するものである。いかなる物質も使用許容濃度というも
のが定められているが、安全性が十分に確認された積り
でも、何年か経つと発癌性や性巣機能に障害を与える物
質であることが発覚したり、地球の温暖化の恐れを招来
することなどの憂うべき知見を耳にすることが少なくな
い。さらには、少量の使用では社会問題にならなかった
ものが後になって大変な問題を引き起こす事例も多々み
かける。半導体製造工程では、フッ酸や砒素のような猛
毒性のある物質を多量に扱っているが、基本的には一滴
も外部に漏らさないという思想に立脚して設備が造られ
ている。そのために、極めて高価な設備になっている。
本発明はこの思想を活かしながら、省スペースであり経
済的な汎用の洗浄装置を提供しようとするものである。
【0004】[課題を解決するための手段]本発明に係
る密閉型洗浄装置は、超音波を作用させて被洗浄物に付
着する油やフラックスを除去する超音波洗浄部、被洗浄
物を収納した複数の部品かごを搬入口から搬出口に左右
に駆動する機能を有した部品かご搭載用のベルトコンベ
ア部、このベルトコンベア部を上下に駆動し洗浄槽内の
液中に浸漬したり元の位置まで戻す機能を有する上下駆
動機構部、超音波洗浄後の部品をリンス洗浄するために
設けられたジェット噴射用ノズルからなるリンス洗浄
部、蒸留機より洗浄剤の蒸気を噴射放出して部品の仕上
げ精密洗浄を行ない併せて精密乾燥をする蒸気洗浄部お
よびこれら全てを収納して且つ部品の搬出入口を設けた
洗浄装置から構成されたものである。
【0005】さらには,洗浄剤をくり返し使用するため
に、当該洗浄槽内の液を常に蒸留し、しかもリンス洗浄
剤としても、また蒸気洗浄剤としても利用するために、
当該密閉型洗浄装置の内部もしくは外部に減圧真空蒸留
機を連結することが実用的な見地から望ましい。
【0006】また,蒸気洗浄後のミストを出来るだけ速
やかに回収し、外部に蒸気をもらさないためにも、完全
密閉式の洗浄槽および減圧真空減圧真空蒸留機内の圧力
差を利用した両室を連結する配管をバルブを開状態にブ
レークし、チラーによる冷却コンデンサを介して蒸気を
回収することを可能とし液の消耗の零化を可能とした。
【0007】またさらには、当該密閉型洗浄装置全体を
自動化するためには、電気制御機構を設置することによ
りこれを可能にする。
【0008】なお、シャッター開閉部の前後には洗浄部
品を搬送するためのベルトコンベアを設置する。
【0009】[発明の実施の形態]以下、本発明に係る
密閉型洗浄装置について説明する。先ず、最初にこの洗
浄装置に適用が可能な洗浄剤は、特段に限定するもので
はないが、まだ発展途上国である期間使用可能である前
述のCFC−113(沸点47℃,以下同様)や1.
1.1−トリクロロエタン(74℃)を含め、トリクロ
ロエチレン(87.2℃,CHCl=CH)、テトラ
クロロエチレン(121.2℃,CCl=CC
)、ジクロロメタン(塩化メチレン,CH
)など、HCFCではHCFC−225ca(5
1.1℃,CFCFCHCCl)、HCFC−2
25cb(56.1℃、CClFCFCHClF)
など、HFCではHFC−43−10mee(55℃,
10)、これと他の共沸化合物と組み合
わせた洗浄剤、例えば、メタノールとの共沸化合物(D
u´pont社、XM(沸点46℃))、エタノールと
の共沸化合物(Du´pont社,XE(沸点52
℃))、トランス−1.2−ジクロロエチレンとの共沸
化合物(Du´pont社,MCA(沸点38℃))、
さらにはMCAとメタノールの共沸化合物(Du´po
nt社、SMT(沸点37℃))など、PFCでは米国
3M社製であるC O−CH(沸点60
℃)、CO−C(沸点73℃)、これらと
メタノールやエタノールなどとの共沸化合物など、臭素
系洗浄剤としては、臭化イソプロピル(イソプロピルブ
ロマイド、沸点60℃、CHCHBrCH)、臭化
(n−)プロピル(プロピルブロマイド、71℃,CH
CHCHBr)などが挙げられる。これら一連の
洗浄剤は、従来から用いられている洗浄剤ばかりでなく
最近開発された洗浄剤を幅広く包含しており、いずれも
不燃性且つ揮発性が少なくない洗浄剤を列記したが、こ
れ以外にも可燃性揮発性有機系洗浄剤、炭化水素系洗浄
剤やシリコーン系洗浄剤、さらには洗浄後の蒸気仕上げ
剤なども本発明による密閉型洗浄装置の適用対象であ
る。上記した洗浄剤は洗浄力を示すKB値がさまざまで
あるので、被洗浄物の汚れの程度に応じて使い別けて使
用されるのが普通である。
【0010】このように洗浄剤にはさまざまな種類があ
り、それぞれの使用許容濃度や毒性レベルも千差万別
(一部の試験中のものを含む)であるが、本発明による
密閉型洗浄装置はどのような洗浄剤といえども基本的に
は一切装置外部に漏らさないという考えに基づいて提案
しようとするものである。次にその考え方による新規な
密閉型洗浄装置の実施の形態を図面に基づいて説明す
る。図1は本発明による密閉型洗浄装置の内部の構造を
表わす第一の実施形態を示したものである。すなわち、
図1には正面図(下段)と上部から見た図面(上段)を
同時に示してある。
【0011】超音波洗浄部は、底部に超音波素子2を有
する洗浄槽1に洗浄剤3を満たされた構成からなる。一
方、リンス洗浄部4は、超音波洗浄後の部品に上下四方
向よりリンス液を噴射してリンス洗浄を行なう部分であ
る。部品かごを上下駆動する機構部5は、被洗浄物の入
った部品を収納した洗浄かご(図中では6個の場合を示
す)を複数個搭載したベルトコンベアで、例えば、エア
シリンダー6で天井から吊り下げられており、当該ベル
トコンベアごと被洗浄物を液中に浸漬したり、元の位置
に戻したり、また後述するように蒸気洗浄後の部品かご
を自動的に電気制御により搬出する機能を有する。シャ
ッター機構部は部品の搬入口7´および搬出口8´に設
けられる。これら超音波洗浄部1〜3、リンス洗浄部
4、上下左右駆動機構部5およびシャター機構部を有す
る左右の開口部7´および8´のそれぞれに設けられた
搬入口シャッタ7および搬出口シャッタ8は、密閉容器
である洗浄装置本体9に収納される。
【0012】真空減圧蒸留機10は、汚れた洗浄剤を蒸
留する機能の他に蒸気洗浄用の蒸気を供給する機能と,
密閉式洗浄装置内の蒸気圧と真空減圧蒸留機内の圧力差
を利用して蒸気を有効に回収する三つの機能を有してい
る。図4に前記した各種溶剤の代表的な蒸気圧特性を示
す。図5は代表的な単一高分子からなる第3石油類の洗
浄剤の蒸気圧曲線を示す。図5の洗浄剤を事例として解
説すると,通常ヒータで蒸留機内の液温をZ(65℃)
に加温した状態で40〜50mmHg(X点)に減圧し
ても蒸気は発生しないが、これを真空ポンプで急速に減
圧して5mmHg以下(Y点以下)にするといっせいに
蒸気が発生する。従って、密閉洗浄槽9と真空減圧蒸留
機10とを連結する配管のバルブ20を開状態にして発
生した蒸気を送り込むことにより蒸気洗浄が可能とな
る。部品の表面に蒸気が露結し、部品の温度が次第に上
昇して露結が終了すると蒸気洗浄は終了するのでバルブ
を閉じて蒸気の搬入を停止する。
【0013】然る後,同様に配置された配管のバルブ2
1を開くと洗浄槽内の圧力は概ね760mmHgで、一
方、真空蒸留機内の圧力は5mmHgなので洗浄槽9内
の空気とこれに含まれた蒸気はいっせいに真空蒸留機1
0内に逆流する。このとき蒸留機内の圧力がY点からX
点方向に急速に移行するので、もはや蒸気の発生は抑制
される。すなわち,蒸気圧が高くなると温液Z点60℃
では蒸気の発生も抑制される。洗浄槽9から蒸留機10
への配管の一部を冷却するとか、冷却コンデンサ22を
設けることで、蒸気の液化を加速することが出来る。さ
らに、21に加え20のバルブを開状態にしポンプ23
を駆動し、洗浄槽9内の蒸気が完全に液化するまで9か
ら10へ冷却コンデンサ22を介して循環させれば、洗
浄剤の消耗量は極限的に零化が実現可能となり、環境に
やさしい経済的な洗浄槽値の提供を可能とした。
【0014】図1において、本発明に係るその他の構成
部を示すと、部品の搬入ベルトコンベア部14、搬出ベ
ルトコンベア部15、被洗浄物を収納した洗浄かご1
6、洗浄装置のモーターやヒーター、センサーなどを集
中的にコントロールする機能を有する電気制御ボックス
17、などが付随する。
【0015】実施形態の一例として上記に詳細説明した
本発明による完全密閉式洗浄装置の作動機能は以下の如
くである。図1において、被洗浄物の入った洗浄かごが
搬入ベルトコンベア14に所定の個数がセットされた
ら、搬入側シャッター7を開いて洗浄装置内に配置され
ているベルトコンベア5´の上に洗浄かごを搬送して
後、当該シャッターを閉じる。
【0016】次に、シリンダー6を下方に駆動してベル
トコンベアー5´の上の部品かご全体を洗浄槽1の中の
洗浄剤3に浸漬し、超音波洗浄素子2を作動させて超音
波洗浄を行なう。この作業は被洗浄物にもよるが通常3
〜5分程度である。然る後、エアシリンダー6を駆動さ
せて当該ベルトコンベア全体を元の位置に戻す。
【0017】次に、リンス液をノズルより勢いよく噴射
してリンス洗浄を行なう。
【0018】上記作業終了後、バルブを開いて蒸留機1
0から容器内に蒸気を噴射充満させて蒸気洗浄を行な
う。すなわち、真空減圧蒸留機内を5mmHg以下に減
圧することにより蒸気を発生させ、バルブ20を開き蒸
気を容器内にポンプで送り蒸気洗浄を行うことが出来
る。
【0019】蒸気洗浄が完了するとバルブ20を閉じ、
逆にバルブ21を開くと両室の圧力差から容器9内の蒸
気を含む空気はいっせいに蒸留機10内に逆流し、蒸気
圧が高くなるので蒸気の発生を抑制し、さらにバルブ2
2およびポンプ23を駆動し、ミスト化された空気を循
環して冷却コンデンサー22でミストを完全に回収す
る。回収が完了したらポンプ23を停止して20、21
のバルブを閉じる。
【0020】次いでシャッター8を開いて部品かごをベ
ルトコンベア15の上に搬出し、シャッター8を閉じ
る。以上で一連の洗浄が完了するので、以下この動作を
くり返すことにより新たな汚損部品の洗浄を継続する。
【0021】[発明の効果]以上詳述したように、本発
明によれば、例え沸点が低く揮発性の大きな洗浄剤であ
っても、洗浄能力に優れていたり安価などの特徴ある洗
浄剤の使用に際して、作業環境への漏れを実質上皆無に
することにより、人体および環境、防災などの安全性に
優れた完全密閉式洗浄装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る完全密閉式洗浄装置の内部構造
【図2】本発明に係る完全密閉式洗浄装置の蒸気洗浄部
の構成
【図3】本発明に係る搬出入口が同一の場合の完全密閉
式洗浄装置
【図4】本発明に係る完全密閉式洗浄装置の実施例に用
いた各種溶剤の代表的な蒸気圧特性
【図5】本発明に係る完全密閉式洗浄装置の実施例に用
いた、代表的な単一高分子からなる第3石油類洗浄剤の
蒸気圧曲線
【符号の説明】
1 …洗浄槽 9…洗浄装置本
体 2 …超音波素子 10…減圧真空蒸
留機 3 …洗浄剤 11,12…開口
部(蒸気流入) 4 …リンス洗浄部 13…ポンプ 5 …上下左右駆動機構部 14…搬入ベルト
コンベア 5´…ベルトコンベア 15…搬出ベルト
コンベア 6 …エアシリンダー 16…洗浄かご 7 …シャッタ(搬入口) 17…電気制御ボ
ックス 7´…搬入口 20,21,23
…ポンプ 8 …シャッタ(搬出口) 22…冷却コンデ
ンサー 8´…搬出口

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 底部に超音波振動子を具備し洗浄剤をた
    くわえた洗浄槽からなる超音波洗浄部、被洗浄物を収納
    した複数の部品かごを搬入口から搬出口に左右に駆動す
    る機能を有した部品かご搭載用のベルトコンベア部、天
    井より四隅をエアシリンダなどでベルトコンベアを吊し
    上下に駆動するなどによりこのベルトコンベア部を洗浄
    液中に浸せきしたり元の位置まで戻す機能を有する上下
    左右駆動機構部、超音波洗浄後の部品をリンスするため
    に上下面よりリンス液を噴射する機能を有するリンス洗
    浄部、減圧真空蒸留機より洗浄剤の蒸気を勢いよく部品
    に噴射し蒸気洗浄と乾燥を行なう機能を有する蒸気洗浄
    部、これら全体を収納し左右に部品かごを搬入したり搬
    出するシャッタ開閉機構、および前記蒸気洗浄の際洗浄
    剤蒸気を容器内に取り入れる蒸気取り入れ口を具備した
    密閉構造からなる完全密閉式洗浄装置
  2. 【請求項2】 請求項1において、洗浄剤をくり返し蒸
    留して使用する機能、併せて清浄なリンス液を供給する
    機能ならびに蒸気を供給するために蒸気を発生させる機
    能を有する減圧真空蒸留機を具備した完全密閉式洗浄装
  3. 【請求項3】 請求項1および請求項2において、真空
    減圧蒸留機内の蒸気圧を自在に変更可能な真空ポンプ、
    液温をある程度に加温するヒータ、当該真空減圧蒸留機
    と完全密閉戦場装置を結ぶ二つの配管、およびこの二つ
    の配管の一つには真空減圧蒸留機内で発生した蒸気を駆
    動して完全密閉式洗浄装置内に注入する機能と停止機能
    を有しており、他方の配管にはチラーによる冷却部を配
    置してあり蒸気が配管を通過するとき冷却され液化され
    るコンデンサ機能を有し洗浄剤の消耗を極限に零化する
    ことを特徴とする完全密閉式洗浄装置
  4. 【請求項4】 請求項1、請求項2および請求項3にお
    いて、洗浄装置の搬入口および搬出口に部品かごを自動
    または手動送り可能なベルトコンベア装置を設置した洗
    浄装置
  5. 【請求項5】 請求項1、請求項2、請求項3および請
    求項4において、洗浄装置における洗浄部品の搬入口お
    よび搬出口の位置を当該洗浄装置の左右に設けるかわり
    に、片側のみに搬出入口を1ヶ所設けると共にベルトコ
    ンベア装置も一方にのみ設けたことを特徴とする省スペ
    ース且つ経済的な洗浄装置
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