JPH06120197A - 超音波洗浄乾燥装置 - Google Patents
超音波洗浄乾燥装置Info
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- JPH06120197A JPH06120197A JP26368692A JP26368692A JPH06120197A JP H06120197 A JPH06120197 A JP H06120197A JP 26368692 A JP26368692 A JP 26368692A JP 26368692 A JP26368692 A JP 26368692A JP H06120197 A JPH06120197 A JP H06120197A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 フロンなどを用いず、可燃性溶剤を用いて、
電子、光学、機械等の精密物品を安全、迅速で、かつ高
精度に洗浄乾燥する。 【構成】 可燃性溶剤を収容する洗浄槽と、可燃性溶剤
で物品をリンス及び乾燥する蒸気リンス室と、物品を可
燃性溶剤蒸気の凝縮液でシャワーする溶剤シャワー室
と、洗浄槽内の溶剤を取り出して蒸発し、蒸気リンス室
に可燃性溶剤蒸気を供給する蒸気発生装置と、乾燥ガス
により物品に付着した溶剤液分を乾燥する通気乾燥室か
らなり、蒸気リンス室と溶剤シャワー室の間、または溶
剤シャワー室と通気乾燥室の間にシャッターを設けた超
音波洗浄乾燥装置である。
電子、光学、機械等の精密物品を安全、迅速で、かつ高
精度に洗浄乾燥する。 【構成】 可燃性溶剤を収容する洗浄槽と、可燃性溶剤
で物品をリンス及び乾燥する蒸気リンス室と、物品を可
燃性溶剤蒸気の凝縮液でシャワーする溶剤シャワー室
と、洗浄槽内の溶剤を取り出して蒸発し、蒸気リンス室
に可燃性溶剤蒸気を供給する蒸気発生装置と、乾燥ガス
により物品に付着した溶剤液分を乾燥する通気乾燥室か
らなり、蒸気リンス室と溶剤シャワー室の間、または溶
剤シャワー室と通気乾燥室の間にシャッターを設けた超
音波洗浄乾燥装置である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、精密物品などの物品に
付着した汚れを洗浄乾燥するに際して、特にフロン１１
３、トリクロロエタン等の不燃性溶剤を用いず、可燃性
溶剤を用いて、物品を安全で迅速に洗浄乾燥する超音波
洗浄乾燥装置に関する。
付着した汚れを洗浄乾燥するに際して、特にフロン１１
３、トリクロロエタン等の不燃性溶剤を用いず、可燃性
溶剤を用いて、物品を安全で迅速に洗浄乾燥する超音波
洗浄乾燥装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、フォトマスクガラス、磁気ディス
ク、プリント基板、シリコンウエハ、レンズ等の電子・
光学部品、ベアリング等の機械部品等の精密物品の製造
工程において、物品に付着した油脂分、研摩剤、指紋、
ほこり等の汚れを除去するための洗浄においては、フロ
ン１１３、トリクロロエタン等の不燃性溶剤を使用し、
超音波浸漬上下揺動洗浄、冷却シャワー洗浄、蒸気洗浄
および蒸気乾燥の工程による方法が一般に行われてい
る。また、一部では上記の工程による洗浄乾燥装置を使
用し、アルコール、テレピン油、灯油等の可燃性溶剤を
使用する方法も行われており、この場合には、洗浄乾燥
室内の溶剤ガス濃度を低く抑えたり、酸素ガス濃度を低
くすることによって火災や爆発の危険を防ぐ方法が行わ
れている。
ク、プリント基板、シリコンウエハ、レンズ等の電子・
光学部品、ベアリング等の機械部品等の精密物品の製造
工程において、物品に付着した油脂分、研摩剤、指紋、
ほこり等の汚れを除去するための洗浄においては、フロ
ン１１３、トリクロロエタン等の不燃性溶剤を使用し、
超音波浸漬上下揺動洗浄、冷却シャワー洗浄、蒸気洗浄
および蒸気乾燥の工程による方法が一般に行われてい
る。また、一部では上記の工程による洗浄乾燥装置を使
用し、アルコール、テレピン油、灯油等の可燃性溶剤を
使用する方法も行われており、この場合には、洗浄乾燥
室内の溶剤ガス濃度を低く抑えたり、酸素ガス濃度を低
くすることによって火災や爆発の危険を防ぐ方法が行わ
れている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の方法のうち、一般に広く行われている不燃性溶
剤を使用する方法では、特にフロン１１３、トリクロロ
エタンに就ては、地球を取り巻く大気圏のオゾン層を破
壊して紫外線の透過量が増大して地球上の生物に被害を
及ぼすため、早急に代替溶剤に切り替える必要に迫られ
ている。
た従来の方法のうち、一般に広く行われている不燃性溶
剤を使用する方法では、特にフロン１１３、トリクロロ
エタンに就ては、地球を取り巻く大気圏のオゾン層を破
壊して紫外線の透過量が増大して地球上の生物に被害を
及ぼすため、早急に代替溶剤に切り替える必要に迫られ
ている。
【０００４】一方、可燃性溶剤（以下、溶剤と記載）を
使用する洗浄方法にあっては、火災や爆発の危険性が高
く、その危険防止策として、換気を図ったり、可燃性ガ
ス検知器を設置するなどの方法も取られているが、これ
のみでは全く不十分である。そこで、本出願人は上記問
題を解決するために先に特開平３−１０６４８５の超音
波洗浄乾燥方法および装置を提案した。本発明はその装
置の改良に関するものである。
使用する洗浄方法にあっては、火災や爆発の危険性が高
く、その危険防止策として、換気を図ったり、可燃性ガ
ス検知器を設置するなどの方法も取られているが、これ
のみでは全く不十分である。そこで、本出願人は上記問
題を解決するために先に特開平３−１０６４８５の超音
波洗浄乾燥方法および装置を提案した。本発明はその装
置の改良に関するものである。
【０００５】即ち、上記特開平３−１０６４８５の装置
にあっては、図３に示すように、蒸気リンス室８（又は
溶剤シャワー室８’）と通気乾燥室１４を仕切るシャッ
ターがなく、物品に付着した液分を通気乾燥する際、通
気により蒸気リンス室８（又は溶剤シャワー室８’）と
通気乾燥室１４の気体に乱れが発生し、蒸気リンス室又
は溶剤シャワー室と通気乾燥室の気体が混合され、蒸気
リンス室は本来、溶剤の沸点に近い温度の飽和蒸気であ
るべきものが、低い温度、低い蒸気濃度となり、この状
態で蒸気リンスを行うと、リンス効果が落ち、物品に汚
れ（シミ）が残るようになる。一方、通気乾燥室では低
い蒸気濃度で乾燥させるべきであるのに、蒸気濃度が上
昇するため、乾燥速度が小さくなり、長い乾燥時間を要
するという問題があった。
にあっては、図３に示すように、蒸気リンス室８（又は
溶剤シャワー室８’）と通気乾燥室１４を仕切るシャッ
ターがなく、物品に付着した液分を通気乾燥する際、通
気により蒸気リンス室８（又は溶剤シャワー室８’）と
通気乾燥室１４の気体に乱れが発生し、蒸気リンス室又
は溶剤シャワー室と通気乾燥室の気体が混合され、蒸気
リンス室は本来、溶剤の沸点に近い温度の飽和蒸気であ
るべきものが、低い温度、低い蒸気濃度となり、この状
態で蒸気リンスを行うと、リンス効果が落ち、物品に汚
れ（シミ）が残るようになる。一方、通気乾燥室では低
い蒸気濃度で乾燥させるべきであるのに、蒸気濃度が上
昇するため、乾燥速度が小さくなり、長い乾燥時間を要
するという問題があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者は上記
従来の問題を解決するため種々検討を行った結果、本考
案に到達したものである。すなわち、本発明によれば、
可燃性溶剤を収容するとともに物品を超音波洗浄するた
めの超音波洗浄装置を付設した洗浄槽と、洗浄槽の上部
に設けられ、物品を清浄な可燃性溶剤蒸気でリンス及び
乾燥する蒸気リンス室と、蒸気リンス室の上部に設けら
れ、物品に清浄な可燃性溶剤蒸気の凝縮液をシャワーす
るノズルを有する溶剤シャワー室と、前記洗浄槽内の溶
剤を蒸発して上記蒸気リンス室に清浄な可燃性溶剤蒸気
を供給する蒸気発生装置と、清浄な乾燥ガスにより物品
に付着した溶剤液分を乾燥する通気乾燥室とよりなる超
音波洗浄乾燥装置において、上記蒸気リンス室と上記溶
剤シャワー室の間、または上記溶剤シャワー室と上記通
気乾燥室の間を仕切るシャッターにより遮蔽自在とした
ことを特徴とする超音波洗浄乾燥装置、が提供される。
従来の問題を解決するため種々検討を行った結果、本考
案に到達したものである。すなわち、本発明によれば、
可燃性溶剤を収容するとともに物品を超音波洗浄するた
めの超音波洗浄装置を付設した洗浄槽と、洗浄槽の上部
に設けられ、物品を清浄な可燃性溶剤蒸気でリンス及び
乾燥する蒸気リンス室と、蒸気リンス室の上部に設けら
れ、物品に清浄な可燃性溶剤蒸気の凝縮液をシャワーす
るノズルを有する溶剤シャワー室と、前記洗浄槽内の溶
剤を蒸発して上記蒸気リンス室に清浄な可燃性溶剤蒸気
を供給する蒸気発生装置と、清浄な乾燥ガスにより物品
に付着した溶剤液分を乾燥する通気乾燥室とよりなる超
音波洗浄乾燥装置において、上記蒸気リンス室と上記溶
剤シャワー室の間、または上記溶剤シャワー室と上記通
気乾燥室の間を仕切るシャッターにより遮蔽自在とした
ことを特徴とする超音波洗浄乾燥装置、が提供される。
【０００７】更に本発明によれば、可燃性溶剤を収容す
るとともに物品を超音波洗浄するための超音波洗浄装置
を付設した洗浄槽と、洗浄槽の上部に設けられ、物品を
清浄な可燃性溶剤蒸気でリンス及び乾燥するとともに、
物品に清浄な可燃性溶剤蒸気の凝縮液をシャワーするノ
ズルを有する蒸気リンス・溶剤シャワー室と、前記洗浄
槽内の溶剤を蒸発して上記蒸気リンス・溶剤シャワー室
に清浄な可燃性溶剤蒸気を供給する蒸気発生装置と、清
浄な乾燥ガスにより物品に付着した溶剤液分を乾燥する
通気乾燥室とよりなる超音波洗浄乾燥装置において、上
記蒸気リンス・溶剤シャワー室と上記通気乾燥室の間を
仕切るシャッターにより遮蔽自在としたことを特徴とす
る超音波洗浄乾燥装置、が提供される。
るとともに物品を超音波洗浄するための超音波洗浄装置
を付設した洗浄槽と、洗浄槽の上部に設けられ、物品を
清浄な可燃性溶剤蒸気でリンス及び乾燥するとともに、
物品に清浄な可燃性溶剤蒸気の凝縮液をシャワーするノ
ズルを有する蒸気リンス・溶剤シャワー室と、前記洗浄
槽内の溶剤を蒸発して上記蒸気リンス・溶剤シャワー室
に清浄な可燃性溶剤蒸気を供給する蒸気発生装置と、清
浄な乾燥ガスにより物品に付着した溶剤液分を乾燥する
通気乾燥室とよりなる超音波洗浄乾燥装置において、上
記蒸気リンス・溶剤シャワー室と上記通気乾燥室の間を
仕切るシャッターにより遮蔽自在としたことを特徴とす
る超音波洗浄乾燥装置、が提供される。
【０００８】
【作用】本発明の洗浄乾燥装置の作用を図１に基づいて
説明すると、まず、超音波発振器７を備えた洗浄槽６で
物品２を溶剤洗浄した後、物品２は溶剤シャワー室８’
に入り、清浄溶剤の凝縮液のシャワーによって物品に付
着した洗浄液を洗い落とし、次いで、蒸気リンス室８に
入り、蒸留塔１２において不純物を除去分離された清浄
な溶剤蒸気によってリンス・乾燥した後、通気乾燥室１
４に入り、ガス循環ライン１９で清浄化した温風により
物品に付着した溶剤液分を乾燥させるものである。尚、
溶剤シャワー室と蒸気リンス室が一体となった蒸気リン
ス・溶剤シャワー室を設けた洗浄乾燥装置においては、
物品は蒸気リンス・溶剤シャワー室に入り、清浄溶剤の
凝縮液のシャワーによって物品に付着した洗浄液を洗い
落とし、次いで、蒸発槽２４で加熱蒸発された可燃性溶
剤蒸気によってリンス・乾燥される。
説明すると、まず、超音波発振器７を備えた洗浄槽６で
物品２を溶剤洗浄した後、物品２は溶剤シャワー室８’
に入り、清浄溶剤の凝縮液のシャワーによって物品に付
着した洗浄液を洗い落とし、次いで、蒸気リンス室８に
入り、蒸留塔１２において不純物を除去分離された清浄
な溶剤蒸気によってリンス・乾燥した後、通気乾燥室１
４に入り、ガス循環ライン１９で清浄化した温風により
物品に付着した溶剤液分を乾燥させるものである。尚、
溶剤シャワー室と蒸気リンス室が一体となった蒸気リン
ス・溶剤シャワー室を設けた洗浄乾燥装置においては、
物品は蒸気リンス・溶剤シャワー室に入り、清浄溶剤の
凝縮液のシャワーによって物品に付着した洗浄液を洗い
落とし、次いで、蒸発槽２４で加熱蒸発された可燃性溶
剤蒸気によってリンス・乾燥される。
【０００９】また、本発明では、クローズド系とし、系
内に不活性ガスを送入することにより、系内の酸素濃度
を爆発濃度以下に制御することが好ましく、具体的には
可燃性溶剤としてイソプロパノール（ＩＰＡ）を用いる
場合には１０％以下、好ましくは８％以下に制御する。
酸素濃度が１７％を超えると爆発及び火災の危険性が増
大するため好ましくない。このように系内の酸素濃度を
所定の範囲内に制御することにより可燃性溶剤を使用し
ても火災や爆発の危険がなく、また可燃性溶剤の漏洩も
防止でき、乾燥製品の安定化を図ることができる。
内に不活性ガスを送入することにより、系内の酸素濃度
を爆発濃度以下に制御することが好ましく、具体的には
可燃性溶剤としてイソプロパノール（ＩＰＡ）を用いる
場合には１０％以下、好ましくは８％以下に制御する。
酸素濃度が１７％を超えると爆発及び火災の危険性が増
大するため好ましくない。このように系内の酸素濃度を
所定の範囲内に制御することにより可燃性溶剤を使用し
ても火災や爆発の危険がなく、また可燃性溶剤の漏洩も
防止でき、乾燥製品の安定化を図ることができる。
【００１０】また、通気乾燥室１４の低い濃度の溶剤蒸
気はガス循環ラインに入り、フィルターを経て吹き出し
ノズルより通気乾燥室に乾燥ガスを吹き出し、物品に付
着した溶剤液分を乾燥させて仕上げ乾燥を行う。また、
ガス循環ラインの中で常時、酸素濃度を検出し、酸素濃
度が高い場合には、所定の酸素濃度になるよう窒素ガス
等の不活性ガスを送入する。さらに、溶剤シャワー室
８’と通気乾燥室１４との間、あるいは蒸気リンス室８
と溶剤シャワー室８’との間にシャッター２１を設ける
ことにより、仕上げの通気乾燥を行う場合、蒸気リンス
室８の溶剤の沸点に近い温度の飽和蒸気と、通気乾燥室
１４の低い温度、低い濃度の溶剤蒸気が混ざり合うこと
がないので、装置の運転も円滑に行われ、短時間に高度
の乾燥を行うことができる。特に、蒸気リンス室８と溶
剤シャワー室８’との間にシャッター２１を設け、溶剤
シャワー時及び通気乾燥時にシャッター２１を閉じるよ
うにすれば、蒸気リンス室８は溶剤沸点における飽和蒸
気となり、蒸気リンス時の効果を高めることができる。
気はガス循環ラインに入り、フィルターを経て吹き出し
ノズルより通気乾燥室に乾燥ガスを吹き出し、物品に付
着した溶剤液分を乾燥させて仕上げ乾燥を行う。また、
ガス循環ラインの中で常時、酸素濃度を検出し、酸素濃
度が高い場合には、所定の酸素濃度になるよう窒素ガス
等の不活性ガスを送入する。さらに、溶剤シャワー室
８’と通気乾燥室１４との間、あるいは蒸気リンス室８
と溶剤シャワー室８’との間にシャッター２１を設ける
ことにより、仕上げの通気乾燥を行う場合、蒸気リンス
室８の溶剤の沸点に近い温度の飽和蒸気と、通気乾燥室
１４の低い温度、低い濃度の溶剤蒸気が混ざり合うこと
がないので、装置の運転も円滑に行われ、短時間に高度
の乾燥を行うことができる。特に、蒸気リンス室８と溶
剤シャワー室８’との間にシャッター２１を設け、溶剤
シャワー時及び通気乾燥時にシャッター２１を閉じるよ
うにすれば、蒸気リンス室８は溶剤沸点における飽和蒸
気となり、蒸気リンス時の効果を高めることができる。
【００１１】更に、本装置に前室を併設し、この室を洗
浄乾燥および外気より負圧に保持すると、溶剤の蒸気が
直接、外部に漏出することがなく、好ましい。超音波洗
浄に使用される洗浄剤としては、有機溶剤、アルカリ性
洗剤、界面活性剤、乳化洗剤、酸性洗剤およびそれらの
混合物等があるが、本考案においては、有機溶剤の中で
も、トリクロロエタン、トリクロロエチレン、パークロ
ロエチレン、フロン１１３等の引火性のない溶剤を使用
できることはもちろんであるが、イソプロパノール、ソ
ルベントナフサ、シンナー、ベンジン、アセトン、アル
コール等の引火性のある可燃性溶剤を使用する場合に好
適なものである。また、系内における酸素濃度制御用、
および物品の仕上乾燥用に使用する不活性ガスには、窒
素ガスの他、アルゴンガスや炭酸ガス等を使用すること
もできる。
浄乾燥および外気より負圧に保持すると、溶剤の蒸気が
直接、外部に漏出することがなく、好ましい。超音波洗
浄に使用される洗浄剤としては、有機溶剤、アルカリ性
洗剤、界面活性剤、乳化洗剤、酸性洗剤およびそれらの
混合物等があるが、本考案においては、有機溶剤の中で
も、トリクロロエタン、トリクロロエチレン、パークロ
ロエチレン、フロン１１３等の引火性のない溶剤を使用
できることはもちろんであるが、イソプロパノール、ソ
ルベントナフサ、シンナー、ベンジン、アセトン、アル
コール等の引火性のある可燃性溶剤を使用する場合に好
適なものである。また、系内における酸素濃度制御用、
および物品の仕上乾燥用に使用する不活性ガスには、窒
素ガスの他、アルゴンガスや炭酸ガス等を使用すること
もできる。
【００１２】
【実施例】次に本発明を図示の実施例に基づき更に詳し
く説明するが、本発明はこれらの実施例に限られるもの
ではない。
く説明するが、本発明はこれらの実施例に限られるもの
ではない。
【００１３】（実施例１）図１は本発明の超音波洗浄乾
燥装置の一実施例を示す概要図であり、本装置は精密な
小物物品の洗浄乾燥用に好ましく適用できるものであ
る。まず、洗浄乾燥室１内に窒素ガスを送入し、該室１
内の酸素濃度を設定値にした後、洗浄用の溶剤を洗浄槽
６に充填する。次に、プレス加工による油汚れのある洗
浄用の金属部品（以下、物品と記載）２を７ｋｇ納めた
３００×２００×１５０ｍｍ（高さ）のバスケット状の
容器３を、室内の圧力を外気および洗浄乾燥室１よりも
負圧に保持した前室４に送入する。前室４には、洗浄乾
燥室１より少量漏出してくる可燃性溶剤の蒸気を検知す
るための可燃性溶剤検知器（図示せず）が設けられてい
る。また、前室４と洗浄乾燥室１との隔壁部には遮蔽用
の扉５，５’が設けられている。この前室４は、洗浄乾
燥室１より漏出してくる溶剤の蒸気を直接外部に放出し
ないようにするための緩衝室的な役割を果たしている。
燥装置の一実施例を示す概要図であり、本装置は精密な
小物物品の洗浄乾燥用に好ましく適用できるものであ
る。まず、洗浄乾燥室１内に窒素ガスを送入し、該室１
内の酸素濃度を設定値にした後、洗浄用の溶剤を洗浄槽
６に充填する。次に、プレス加工による油汚れのある洗
浄用の金属部品（以下、物品と記載）２を７ｋｇ納めた
３００×２００×１５０ｍｍ（高さ）のバスケット状の
容器３を、室内の圧力を外気および洗浄乾燥室１よりも
負圧に保持した前室４に送入する。前室４には、洗浄乾
燥室１より少量漏出してくる可燃性溶剤の蒸気を検知す
るための可燃性溶剤検知器（図示せず）が設けられてい
る。また、前室４と洗浄乾燥室１との隔壁部には遮蔽用
の扉５，５’が設けられている。この前室４は、洗浄乾
燥室１より漏出してくる溶剤の蒸気を直接外部に放出し
ないようにするための緩衝室的な役割を果たしている。
【００１４】次いで、物品２は洗浄乾燥室１のＡ点に入
り、次に吊り下げ装置（図示せず）によってＢ点の洗浄
用の溶剤溶液イソプロパノール（ＩＰＡ）が満たされた
４００×３００×３５０ｍｍ（高さ）の洗浄槽６の中に
垂下浸漬され、上下揺動を行ないつつ６００Ｗ、周波数
２８ＫＨＺの超音波発振器７から発振される超音波によ
り洗浄される。次に、物品１２は洗浄乾燥室１のＣ点ま
で引き上げられ、溶剤シャワ−室８’において、凝縮器
９によって冷却されて液状となり、ポンプ１０によって
噴射口１１から噴射される清浄な溶剤蒸気の凝縮液によ
りシャワー洗浄を受け、物品２に付着した洗浄液を洗い
落とすとともに、物品２の温度を下げて蒸気が凝縮しや
すくする。
り、次に吊り下げ装置（図示せず）によってＢ点の洗浄
用の溶剤溶液イソプロパノール（ＩＰＡ）が満たされた
４００×３００×３５０ｍｍ（高さ）の洗浄槽６の中に
垂下浸漬され、上下揺動を行ないつつ６００Ｗ、周波数
２８ＫＨＺの超音波発振器７から発振される超音波によ
り洗浄される。次に、物品１２は洗浄乾燥室１のＣ点ま
で引き上げられ、溶剤シャワ−室８’において、凝縮器
９によって冷却されて液状となり、ポンプ１０によって
噴射口１１から噴射される清浄な溶剤蒸気の凝縮液によ
りシャワー洗浄を受け、物品２に付着した洗浄液を洗い
落とすとともに、物品２の温度を下げて蒸気が凝縮しや
すくする。
【００１５】次いで、物品２はＤ点まで引き下げられ、
蒸気リンス室８において、蒸発槽２４で加熱蒸発された
溶剤蒸気によって蒸気洗浄リンスを受け、更に該蒸気に
よって蒸気乾燥を受ける。次に物品２はＡ点に引き上げ
られ、ここで、通気乾燥室１４の低い濃度の溶剤蒸気は
ガス循環ライン１９に入り、凝縮器１５で溶剤を回収さ
れ、次いで循環ブロワー１６、ヒーター１７、フィルタ
ー１８を通り、清浄な温風となつて吹出し口２０から吹
き出して物品２に付着した溶剤液を完全に乾燥する。な
お、ガス循環ライン１９中の酸素濃度を常時検出して、
酸素濃度が高い場合には、所定の酸素濃度になるよう窒
素ガスを送入する。以上の操作によって洗浄乾燥を終っ
た物品２は前室４を経て外部に取り出される。
蒸気リンス室８において、蒸発槽２４で加熱蒸発された
溶剤蒸気によって蒸気洗浄リンスを受け、更に該蒸気に
よって蒸気乾燥を受ける。次に物品２はＡ点に引き上げ
られ、ここで、通気乾燥室１４の低い濃度の溶剤蒸気は
ガス循環ライン１９に入り、凝縮器１５で溶剤を回収さ
れ、次いで循環ブロワー１６、ヒーター１７、フィルタ
ー１８を通り、清浄な温風となつて吹出し口２０から吹
き出して物品２に付着した溶剤液を完全に乾燥する。な
お、ガス循環ライン１９中の酸素濃度を常時検出して、
酸素濃度が高い場合には、所定の酸素濃度になるよう窒
素ガスを送入する。以上の操作によって洗浄乾燥を終っ
た物品２は前室４を経て外部に取り出される。
【００１６】次に、上記のような洗浄乾燥操作は一定と
し、（１）シャッター２１を設置しない場合、（２）溶
剤シャワー室８’と通気乾燥室１４の間にシャッター２
１を設置し、通気乾燥時にはシャッター２１を閉じた場
合（図１）、（３）溶剤シャワー室８’と蒸気リンス室
８の間にシャッター２１を設置し、溶剤シャワー時及び
通気乾燥時にシャッターを閉じた場合（図２）の蒸気リ
ンス室、通気乾燥室の温度、湿度の比較試験を行った。
尚、湿度は測定地点温度における溶剤飽和蒸気圧に対す
る実際の蒸気圧の比率（％）とした。
し、（１）シャッター２１を設置しない場合、（２）溶
剤シャワー室８’と通気乾燥室１４の間にシャッター２
１を設置し、通気乾燥時にはシャッター２１を閉じた場
合（図１）、（３）溶剤シャワー室８’と蒸気リンス室
８の間にシャッター２１を設置し、溶剤シャワー時及び
通気乾燥時にシャッターを閉じた場合（図２）の蒸気リ
ンス室、通気乾燥室の温度、湿度の比較試験を行った。
尚、湿度は測定地点温度における溶剤飽和蒸気圧に対す
る実際の蒸気圧の比率（％）とした。
【００１６】運転条件は以下のようにした。 洗浄槽液温度 ２５℃ 超音波洗浄時間 ３ ｍｉｎ 蒸発槽液温度 ８２．３℃ 溶剤シャワー時間 ０．５ｍｉｎ 凝縮液温度 １５℃ 蒸気リンス時間 ２ ｍｉｎ 乾燥用ガス温度 ５０℃ 通気乾燥時間 １ ｍｉｎ
【００１７】 （１） （２） （３） 溶剤シャワー直後の蒸気リンス室温度 ℃ ４７ ４７ ８２ 〃 〃 湿度 ％ １００ １００ １００ 通気乾燥時の蒸気リンス室温度 ℃ ７０ ８２ ８２ 〃 〃 湿度 ％ ６５ １００ １００ （１） （２） （３） 通気乾燥時の通気乾燥室温度 ℃ ５０ ４５ ４５ 〃 〃 湿度 ％ ４３ １７ １７ 物品の乾燥度 表面に液滴が少 完全に乾燥 完全に乾燥 し残っている 〃 シミ 少しあり ほとんどなし なし
【００１８】以上の結果から、通気乾燥時に通気乾燥室
と蒸気リンス室をシャッターで仕切った場合、両室間の
気体の混合が防止できることがわかった。また、物品の
乾燥度合はシャッターで仕切った場合には完全に乾燥で
き、物品表面上のシミはほとんどなし、または全くなし
となった。また、シャッターの位置については、溶剤シ
ャワー室と蒸気リンス室の間に設置した場合には、溶剤
シャワー時の液滴の侵入がなく蒸気リンス室の高温高湿
の雰囲気をこわさず、好ましいことがわかった。
と蒸気リンス室をシャッターで仕切った場合、両室間の
気体の混合が防止できることがわかった。また、物品の
乾燥度合はシャッターで仕切った場合には完全に乾燥で
き、物品表面上のシミはほとんどなし、または全くなし
となった。また、シャッターの位置については、溶剤シ
ャワー室と蒸気リンス室の間に設置した場合には、溶剤
シャワー時の液滴の侵入がなく蒸気リンス室の高温高湿
の雰囲気をこわさず、好ましいことがわかった。
【００１９】
【発明の効果】以上説明したとおり、本発明によれば、
蒸気リンス室と溶剤シャワー室の間、または溶剤シャワ
ー室と通気乾燥室の間、あるいは蒸気リンス・溶剤シャ
ワー室と通気乾燥室の間にシャッターを設けることによ
って、両室の異質の溶剤蒸気が交じり合うことがなく、
短時間に高度の乾燥を行なうことができる。
蒸気リンス室と溶剤シャワー室の間、または溶剤シャワ
ー室と通気乾燥室の間、あるいは蒸気リンス・溶剤シャ
ワー室と通気乾燥室の間にシャッターを設けることによ
って、両室の異質の溶剤蒸気が交じり合うことがなく、
短時間に高度の乾燥を行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の超音波洗浄乾燥装置の一例を示す概要
図である。
図である。
【図２】本発明の超音波洗浄乾燥装置の他の例を示す概
要図である。
要図である。
【図３】従来の超音波洗浄乾燥装置の例を示す概要図で
ある。
ある。
１ 洗浄乾燥室、２ 洗浄用物品、３ 容器、５，５’
遮蔽用扉、６ 洗浄槽 ７ 超音波発信器、８ 蒸気リンス室、８’ 溶剤シャ
ワー室、９ 凝縮器 １０ ポンプ、１１ ポンプ、１２ 蒸留塔、１３ ド
レン、１４ 通気乾燥室、１５ 凝縮器、１６ 循環ブ
ロワー、１７ ヒーター １８ フィルター、１９ ガス循環ライン、２０ 吹出
し口 ２１ シャッター
遮蔽用扉、６ 洗浄槽 ７ 超音波発信器、８ 蒸気リンス室、８’ 溶剤シャ
ワー室、９ 凝縮器 １０ ポンプ、１１ ポンプ、１２ 蒸留塔、１３ ド
レン、１４ 通気乾燥室、１５ 凝縮器、１６ 循環ブ
ロワー、１７ ヒーター １８ フィルター、１９ ガス循環ライン、２０ 吹出
し口 ２１ シャッター
Claims (2)
- 【請求項１】 可燃性溶剤を収容するとともに物品を超
音波洗浄するための超音波洗浄装置を付設した洗浄槽
と、 洗浄槽の上部に設けられ、物品を清浄な可燃性溶剤蒸気
でリンス及び乾燥する蒸気リンス室と、 蒸気リンス室の上部に設けられ、物品に清浄な可燃性溶
剤蒸気の凝縮液をシャワーするノズルを有する溶剤シャ
ワー室と、 前記洗浄槽内の溶剤を取り出して蒸発し、上記蒸気リン
ス室に清浄な可燃性溶剤蒸気を供給する蒸気発生装置
と、 清浄な乾燥ガスにより物品に付着した溶剤液分を乾燥す
る通気乾燥室とよりなる超音波洗浄乾燥装置において、 上記蒸気リンス室と上記溶剤シャワー室の間、または上
記溶剤シャワー室と上記通気乾燥室の間を仕切るシャッ
ターにより遮蔽自在としたことを特徴とする超音波洗浄
乾燥装置。 - 【請求項２】 可燃性溶剤を収容するとともに物品を超
音波洗浄するための超音波洗浄装置を付設した洗浄槽
と、 洗浄槽の上部に設けられ、物品を清浄な可燃性溶剤蒸気
でリンス及び乾燥するとともに、物品に清浄な可燃性溶
剤蒸気の凝縮液をシャワーするノズルを有する蒸気リン
ス・溶剤シャワー室と、 前記洗浄槽内の溶剤を取り出して蒸発し、上記蒸気リン
ス・溶剤シャワー室に清浄な可燃性溶剤蒸気を供給する
蒸気発生装置と、 清浄な乾燥ガスにより物品に付着した溶剤液分を乾燥す
る通気乾燥室とよりなる超音波洗浄乾燥装置において、 上記蒸気リンス・溶剤シャワー室と上記通気乾燥室の間
を仕切るシャッターにより遮蔽自在としたことを特徴と
する超音波洗浄乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26368692A JPH06120197A (ja) | 1992-10-01 | 1992-10-01 | 超音波洗浄乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26368692A JPH06120197A (ja) | 1992-10-01 | 1992-10-01 | 超音波洗浄乾燥装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06120197A true JPH06120197A (ja) | 1994-04-28 |
Family
ID=17392934
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26368692A Withdrawn JPH06120197A (ja) | 1992-10-01 | 1992-10-01 | 超音波洗浄乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06120197A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0886301A2 (en) * | 1997-06-17 | 1998-12-23 | Tokyo Electron Limited | Cleaning and drying method and apparatus for objects to be processed |
| US6575178B1 (en) | 1997-07-17 | 2003-06-10 | Tokyo Electron Limited | Cleaning and drying method and apparatus |
| US7861731B2 (en) | 2007-10-01 | 2011-01-04 | Fujitsu Limited | Cleaning/drying apparatus and cleaning/drying method |
| JP2014200726A (ja) * | 2013-04-03 | 2014-10-27 | 小島産業株式会社 | 揮発性有機溶剤を使用した洗浄装置 |
| JP2020081959A (ja) * | 2018-11-22 | 2020-06-04 | オリンパス株式会社 | 洗浄装置 |
-
1992
- 1992-10-01 JP JP26368692A patent/JPH06120197A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0886301A2 (en) * | 1997-06-17 | 1998-12-23 | Tokyo Electron Limited | Cleaning and drying method and apparatus for objects to be processed |
| EP0886301A3 (en) * | 1997-06-17 | 2004-03-17 | Tokyo Electron Limited | Cleaning and drying method and apparatus for objects to be processed |
| US6575178B1 (en) | 1997-07-17 | 2003-06-10 | Tokyo Electron Limited | Cleaning and drying method and apparatus |
| US7861731B2 (en) | 2007-10-01 | 2011-01-04 | Fujitsu Limited | Cleaning/drying apparatus and cleaning/drying method |
| JP2014200726A (ja) * | 2013-04-03 | 2014-10-27 | 小島産業株式会社 | 揮発性有機溶剤を使用した洗浄装置 |
| JP2020081959A (ja) * | 2018-11-22 | 2020-06-04 | オリンパス株式会社 | 洗浄装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20000104 |