JPH08243515A - 洗浄装置及び洗浄方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 フルオロカーボン（ＦＣ）蒸気により形成さ
れる蒸気洗浄域で被洗浄物の最終洗浄及び乾燥を行なう
多槽式洗浄装置及び洗浄方法において、前段の洗浄工程
で発生する石油系などの洗浄液蒸気や低沸点汚れ成分が
蒸気洗浄域に含まれず、被洗浄物への再付着の恐れがな
い洗浄装置及び洗浄方法である。 【構成】 加熱槽及び冷却槽を下部に内蔵し、上部に冷
却手段を備えた洗浄装置において、該冷却手段よりも下
方の加熱槽側洗浄装置壁に蒸気凝縮器、該冷却手段より
も下方の冷却槽側洗浄装置壁に蒸気供給部が設置されて
いる。この装置の蒸気供給部からフルオロカーボン（Ｆ
Ｃ）蒸気を供給して凝縮器方向へのＦＣ蒸気流を形成さ
せると共に洗浄装置の上半部にＦＣ蒸気洗浄域を形成さ
せた状態で被洗浄物を導入して加熱槽、冷却槽の順に浸
漬し、次いで蒸気洗浄域中で蒸気洗浄して取り出す。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、再汚染を防止できる洗
浄装置及び洗浄方法に関するものである。更に詳しく
は、機械部品、電子部品、プリント基板等の洗浄作業に
際して被洗浄物に付着した洗浄液を素早く有効に除去す
ると共に、被洗浄物に洗浄液や低沸点の汚れ成分を再付
着させない洗浄装置及び洗浄方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、機械部品、電子部品、プリント基
板等の脱脂洗浄やフラックス洗浄を行なうには、不燃性
で引火の危険がないこと、適度な溶解力を持つこと等か
ら、塩弗化アルカンや塩素系洗浄液が用いられていた。
しかし近年オゾン問題により塩素を含んだ洗浄液の使用
が規制されつつある。代替品の一つであるパーフルオロ
カーボンやハイドロフルオロカーボンは汚れ成分の溶解
力が劣るため、先ず被洗浄物を溶解力に優れた石油系洗
浄液、テルペン系洗浄液、シリコン系洗浄液、又はアル
コール系洗浄液等で浸漬洗浄、超音波洗浄もしくはシャ
ワー洗浄した後、物品に付着した洗浄液をパーフルオロ
カーボン或はハイドロフルオロカーボンもしくはそれら
を主成分とするすすぎ液ですすぎ洗浄を行なうことが提
唱されている。

【０００３】従来用いられている多槽式洗浄装置１は、
図３に示すように、加熱槽２、冷却槽３及び蒸気供給部
４を順次隣接した状態で下部に内蔵し、上部壁内周に冷
却手段１２を備えたものである。洗浄装置、加熱槽及び
冷却槽はいずれも上部が開口し、その開口部を通じて被
洗浄物の出し入れを行なえるようになっている。符号２
１は加熱槽２の底部に設けた加熱手段、符号４１は蒸気
供給部４の底部に設けた加熱手段である。この多槽式洗
浄装置１の加熱槽２に洗浄液、例えば石油系洗浄液、テ
ルペン系洗浄液、シリコン系洗浄液、又はアルコール系
洗浄液などの汚れ成分に対する溶解力が優れた洗浄液を
満たし、冷却槽３及び蒸気供給部４にフルオロカーボ
ン、例えばパーフルオロカーボン又はハイドロフルオロ
カーボンのような低沸点で乾燥性の良好なフルオロカー
ボンを満たし、被洗浄物を洗浄装置１の開口した上部か
ら導入し、加熱槽２、冷却槽３の順に浸漬し、次いで蒸
気供給部４から発生するフルオロカーボン蒸気（細い矢
印で示す）により容器上部空間に形成される蒸気洗浄域
５中に滞留させ蒸気洗浄してから取り出す。加熱槽２に
満たされた洗浄液は、洗浄力を高めるために沸騰状態に
しても良い。冷却槽３に満たされたフルオロカーボンは
その露点以下の温度に保たれていなければならない。被
洗浄物の表面に付着していた油脂やフラックスなどの汚
れ成分は加熱槽２で除去され、被洗浄物の表面に付着し
た石油系等の洗浄液は、冷却槽３に満たされているフル
オロカーボンに溶解して除去される共に被洗浄物は冷却
される。この被洗浄物は装置から取り出される際に蒸気
洗浄域５を通過することになり、その際冷却された表面
にフルオロカーボン蒸気が凝縮して滴下分離するので、
最終的に蒸気洗浄と乾燥が行なわれることになる。なお
容器上部の内周に備えられた冷却手段１２は、蒸気洗浄
域５を越えて外部へ流出しようとするフルオロカーボン
蒸気を冷却して装置内へ還流（下向き矢印）させるため
のものである。冷却手段１２で冷却され液化したフルオ
ロカーボンの一部は冷却手段１２の直下に設けられた堰
１３などで捕集され、冷却槽３に還流される。このよう
にして冷却槽３は低温に維持される。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】この多槽式洗浄装置
は、最終的には蒸気供給部４より発生するフルオロカー
ボンの蒸気によって物品のすすぎ洗浄及び乾燥を行なっ
ている。しかし上記従来構造の洗浄装置を用いて石油系
などの洗浄液で洗浄した被洗浄物の最終洗浄及び乾燥を
行なうと、加熱槽２から発生する石油系などの洗浄液蒸
気や低沸点の汚れ成分などの蒸気（太い矢印で示す）が
蒸気洗浄域５に混入し、この汚れたフルオロカーボン蒸
気に被洗浄物が曝され、石油系などの洗浄液や低沸点の
汚れ成分が再付着するので完全には浄化されないという
欠点がある。洗浄装置外の洗浄装置を用いて、被洗浄物
を石油系などの洗浄液で予備洗浄してからフルオロカー
ボンを満たした加熱槽に導入しても、石油系洗浄液が被
洗浄物に付着して加熱槽に持ち込まれるので、石油系な
どの洗浄液蒸気や低沸点の汚れ成分が蒸気洗浄域に混入
することは避けられなかった。そこで蒸気洗浄域５に石
油系などの洗浄液蒸気や低沸点汚れ成分の蒸気が含まれ
ず被洗浄物への再付着の恐れがない洗浄装置及び洗浄方
法が望まれている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明にかかわる洗浄装
置は、上記のごとき問題点を解決するためのもので、加
熱槽及び冷却槽を下部に内蔵し、上部に冷却手段を備え
た洗浄装置において、該冷却手段よりも下方の加熱槽側
洗浄装置壁に蒸気凝縮器、該冷却手段よりも下方の冷却
槽側洗浄装置壁に蒸気供給部が設置されていることを特
徴とする。洗浄装置、加熱槽及び冷却槽はいずれも上部
が開口し、その開口部を通じて被洗浄物の出し入れを行
なえるタイプのものであることは、先に説明した従来の
多槽式洗浄装置と同様である。加熱槽及び冷却槽は、そ
れぞれ複数個の槽から構成されていても良い。

【０００６】本発明の洗浄装置を図１により説明する
と、加熱槽２及び冷却槽３を下部に内蔵し、上部に冷却
手段１２を備えた洗浄装置１において、該冷却手段１２
よりも下方の加熱槽側洗浄装置壁に蒸気凝縮器６、該冷
却手段よりも下方の冷却槽側洗浄装置壁に蒸気供給部４
が設置されている。蒸気供給部４は、図１に示すように
洗浄装置１の内壁側に設けられていても良いし、後述の
図２に示すように洗浄装置１の外壁側に設けられていて
も良い。凝縮器６には冷却手段６２が設けられている。
洗浄装置１上部に備えられた冷却手段１２としては、被
洗浄物の出し入れの邪魔にならないよう、洗浄装置１上
部壁の内周を巡るように設置された冷却配管が好ましく
用いられる。加熱槽２には、洗浄液となる溶剤を高温又
は沸騰状態に維持するため、底部に加熱手段２１を備え
ている。溶剤の蒸気が加熱槽２から大量に上部空間に流
出しないよう、加熱槽２上部の内周に冷却手段２２を備
えていることが好ましい。この冷却手段２２も、被洗浄
物の出し入れの邪魔にならないよう、加熱槽２上部壁の
内周を巡るように設置された冷却配管が好ましく用いら
れる。また冷却槽３中の溶剤（フルオロカーボン使用）
はその露点以下の温度に保つ必要があるので、必要に応
じて冷却手段を設けても良いが、通常は洗浄装置上部壁
の内周に備えられた冷却手段１２での凝縮液を堰１３な
どで捕集して還流することにより冷却槽中の溶剤をその
露点以下の温度に保つことができる。蒸気凝縮器６と加
熱槽側洗浄装置壁との連通部分は、蒸気供給部４から供
給される蒸気（フルオロカーボン蒸気）の流れが幅広く
加熱槽２及び冷却槽３の表面を覆うよう、横方向のスリ
ット状又は連続孔状に構成されていることが好ましい。

【０００７】図２は加熱槽を２個設けた洗浄装置を示
し、図１により説明した加熱槽２の後に第２の加熱槽２
Ａを設けたものである。そして冷却槽３には超音波発振
器９を備えている。前段の加熱槽２に充填する溶剤と後
段の加熱槽２Ａに満たす溶剤は同じものであっても良い
し、異なる種類のものであってもよい。例えば、最初の
加熱槽２及び次の加熱槽２Ａの両方に溶解力に優れた石
油系洗浄液、テルペン系洗浄液、シリコン系洗浄液、又
はアルコール系洗浄液等を満たし、高温で２段階の汚れ
除去を行っても良いし、或いは最初の加熱槽２で高温の
溶解力に優れた石油系洗浄液、テルペン系洗浄液、シリ
コン系洗浄液、またはアルコール系洗浄液等による高温
洗浄した後、次の加熱槽２Ａで高温のフルオロカーボン
を用いて前記洗浄液のすすぎ洗浄を行なっても良い。い
ずれの場合も、冷却槽３で低温のフルオロカーボンすす
ぎ洗浄と被洗浄物の冷却を行なう。また図２では蒸気供
給部４を洗浄装置１の外壁側に設けた実施態様を示して
いる。蒸気供給部４と冷却槽側洗浄装置壁との連通部分
及び蒸気凝縮器６と加熱槽側洗浄装置壁との連通部分
は、蒸気供給部４から供給される蒸気（フルオロカーボ
ン蒸気）の流れが幅広く加熱槽２及び冷却槽３の表面を
覆うよう、横方向の帯状又は連続孔状に構成されている
ことが好ましい。

【０００８】本発明の洗浄装置の加熱槽に溶剤、冷却槽
及び蒸気供給部にフルオロカーボンを満たし、蒸気供給
部４の加熱手段４１及び洗浄装置１の冷却手段１２を稼
働させると、蒸気供給部４で加熱されて発生したフルオ
ロカーボン蒸気（細い矢印で示す）は洗浄装置１内部の
空間に充満して洗浄装置上部に蒸気洗浄のための蒸気洗
浄域５を形成する。洗浄装置１上部の開口部から外部へ
流出しようとするフルオロカーボン蒸気は冷却手段１２
で冷却され液化して洗浄装置１内へ還流（下向き矢印で
示す）し、蒸気洗浄域５を湿り蒸気とする。冷却手段１
２で冷却され液化したフルオロカーボンの一部は冷却手
段１２の直下に設けられた堰１３などで捕集され、冷却
槽３に還流される。更に、本発明の特徴である加熱槽２
側［即ち蒸気供給部４とは反対側］の洗浄装置壁に設け
られた凝縮器６の冷却手段６２を稼働させると、ここで
フルオロカーボン蒸気の凝縮が活発に行なわれ、蒸気供
給部４で発生したフルオロカーボン蒸気は図１及び図２
に横矢印で示すようにフルオロカーボン蒸気の凝縮器６
の方向への流れを生じる。この横方向へのフルオロカー
ボン蒸気の流れが、加熱槽２から蒸発する微量の洗浄剤
成分及び汚れ成分を含む蒸気（太い矢印で示す）が蒸気
洗浄域５まで拡散するのを防止する。洗浄装置１の冷却
手段１２と、凝縮器６との間の空間が、実質的に溶剤成
分や汚れ成分を含まないフルオロカーボン蒸気のみから
なる蒸気洗浄域５となる。この蒸気洗浄域の高さは、下
方の横方向の流れの影響を避けるために、５０ｃｍ以上
とすることが好ましい。

【０００９】また本発明に関る洗浄方法は、上述の洗浄
装置を使用して、蒸気供給部４からフルオロカーボン蒸
気を供給して凝縮器６方向へのフルオロカーボン蒸気流
を形成させると共に洗浄装置の上半部にフルオロカーボ
ン蒸気洗浄域５を形成させた状態で、被洗浄物を洗浄装
置の上部から導入して加熱槽２、冷却槽３の順に浸漬
し、次いで前記蒸気洗浄域５中で蒸気洗浄してから取り
出すことを特徴とする。被洗浄物の表面に付着している
油脂やフラックスなどの汚れ成分は加熱槽２で除去さ
れ、被洗浄物の表面に付着した石油系などの溶剤は、冷
却槽３に満たされているフルオロカーボンに溶解して除
去される共に被洗浄物は冷却される。この被洗浄物は蒸
気洗浄域５を通過して取り出される際にその冷却された
表面にフルオロカーボン蒸気が凝縮して滴下分離するの
で、最終的に蒸気洗浄と乾燥が行なわれる。この洗浄メ
カニズムは従来装置と同様であるが、加熱槽２から発生
する石油系などの溶剤蒸気や汚れ成分などの蒸気（太い
矢印で示す）は、蒸気供給部４で発生し加熱槽２側の洗
浄装置壁に配置された蒸気凝縮器６に向かう横方向のフ
ルオロカーボン蒸気の流れ（図１及び図２に横矢印で示
す）に遮られ、その流れと合流して凝縮器６で凝縮され
るので、加熱槽２から蒸発する洗浄剤成分及び低沸点汚
れ成分を含む蒸気が蒸気洗浄域５まで拡散するのを防止
する。従って蒸気洗浄域５のフルオロカーボン蒸気は高
純度に保たれ、被洗浄物へ洗浄剤成分や汚れ成分が再付
着する恐れがない。

【００１０】本発明においては蒸気洗浄域５により最終
的なすすぎ洗浄を行なうものであるから、蒸気洗浄域５
をできるだけ高純度に保つことが重要で、そのためには
蒸気供給部４中のフルオロカーボンをできるだけ高純度
に保つ必要があり、その点を考慮して装置内のフルオロ
カーボンの循環経路を設定するのが良い。一例として図
１に示すように、洗浄装置１上部壁の内周に備えられた
冷却手段１２により凝縮した純度の高いフルオロカーボ
ンを冷却槽３に供給（ライン９１）し、冷却槽３のオー
バーフロー液（ライン９２）及び凝縮器６の凝縮液（ラ
イン９５）をフルオロカーボン分離器７で高純度化して
蒸気供給部に供給（ライン９４）する経路が考えられ
る。

【００１１】加熱槽２には被洗浄物に付着していた汚れ
成分が蓄積するので、加熱槽２内の液の一部を抜き出
し、分離器８で汚れ成分を分離して加熱槽２に循環する
のが良い。

【００１２】油脂、フラックスなどの汚れ成分が付着し
た被洗浄物は、そのまま加熱槽に導入しても良いし、或
は本装置外の洗浄装置で予備洗浄してから加熱槽に導入
しても良い。加熱槽に当初石油系洗浄液、テルペン系洗
浄液、シリコン系洗浄液、又はアルコール系洗浄液のみ
を満たしても、加熱槽の上部空間にはフルオロカーボン
の湿り蒸気が充満しているので、時間の経過とともに、
フルオロカーボンの湿り蒸気が凝縮して加熱槽中に混入
し、加熱槽内部の液は石油系洗浄液、テルペン系洗浄
液、シリコン系洗浄液、又はアルコール系洗浄液とパー
フルオロカーボン又はハイドロフルオロカーボンなどの
フルオロカーボンとの混合物になる。また前記の如く被
洗浄物を本装置外の洗浄装置で予備洗浄してから加熱槽
に導入した場合には、溶剤が被洗浄物に付着して加熱槽
に持ち込まれるので、仮に加熱槽に当初フルオロカーボ
ンのみを満たしてあったとしても、時間の経過と共に、
加熱槽内部の液は石油系洗浄液、テルペン系洗浄液、シ
リコン系洗浄液、又はアルコール系洗浄液などの溶剤と
パーフルオロカーボン又はハイドロフルオロカーボンな
どのフルオロカーボンとの混合物になる。必要に応じて
適宜分離操作を行う。被洗浄物を本装置外の洗浄装置で
予備洗浄してからフルオロカーボンを満たした加熱槽に
導入する場合は、加熱槽での石油系洗浄液、テルペン系
洗浄液の溶解性を増加させるために、ジイソブチル二塩
基酸エステル（ＤＢＥ−ＩＢ）やその他の液体を含んだ
フルオロカーボンであっても良い。

【００１３】加熱槽における溶剤としては、揮発性有機
化合物溶剤又は水が挙げられ、揮発性有機化合物溶剤と
しては脂肪族化合物、炭素環式化合物又は複素環式化合
物の少なくとも一種、或いはこれらとフルオロカーボン
との混合物が挙げられる。例えば石油系溶剤、テルペン
系溶剤、シリコン系溶剤、又はアルコール系溶剤などの
中から、被洗浄物に付着している油脂、フラックスなど
の汚れ成分に対する溶解力が優れているものを選択すれ
ば良いが、凝縮器６で凝縮される溶剤成分を含んだフル
オロカーボンから溶剤成分とフルオロカーボン成分を分
離して循環使用することを考慮すれば、沸点差などによ
りフルオロカーボンと容易に分離できるものが好まし
い。

【００１４】フルオロカーボンとしては、オゾン問題に
より塩素を含んだフロンの使用が規制されているので、
パーフルオロカーボン又はハイドロフルオロカーボンが
好ましい。これらは主鎖が炭素であるものに限られるも
のではなく、一部エーテル結合のように酸素を含むもの
や、窒素や珪素を含むものを用いることもできる。また
それらは鎖状のものでも、環状のものでも良い。パーフ
ルオロカーボンとしては、ドデカフルオロペンタン、テ
トラデカフルオロヘキサン、ヘキサデカフルオロヘプタ
ン、オクタデカフルオロオクタンや１，２−（トリフル
オロメチル）−１，２，３，３，４，４−ヘキサフルオ
ロシクロブタン等が例示される。ハイドロフルオロカー
ボンとしては、デカフルオロペンタンやオクタフルオロ
ブタン等が例示される。特に好ましくはHFC43-10mee(1,
1,1,2,3,4,4,5,5,5-デカフルオロペンタン）、HFC338pc
c （1,1,2,2,3,3,4,4-オクタフルオロブタン）が挙げら
れる。またオゾン破壊係数の小さなハイドロフルオロカ
ーボン、例えばHCFC-225ca（3,3-ジクロロ−1,1,1,2,2-
ペンタフルオロプロパン）も好ましい。

【００１５】

【実施例１】図２に示した洗浄装置における加熱槽２
に、溶剤（米国デュポン社製：“アクサレル”9100：脂
肪族炭化水素系洗浄剤：沸点２２１〜２９５℃）を１０
％含有させたフルオロカーボン (米国デュポン社製“バ
ートレル”ＸＦ：HFC43-10mee：沸点５４℃）を入れ、
また第２段の加熱槽２Ａ、冷却槽３および蒸気供給部４
にフルオロカーボン (HFC43-10mee)を入れ、加熱槽２の
ヒーター２１、第２段の加熱槽２Ａのヒーター２１Ａお
よび蒸気供給部４のヒーター４１を加熱して加熱槽２、
第２段の加熱槽２Ａ及び蒸気供給部４の液を沸騰させ
た。また洗浄装置１上部の内周に備えられた冷却管１
２、加熱槽２の冷却管２２、及び凝縮器６の冷却管６２
に冷水を通した。５時間運転後、蒸気洗浄域５における
アクサレル9100の濃度をガスクロマトグラフィーにて分
析した。結果を表１に示す。

【００１６】

【比較例１】実施例１で使用した装置のフルオロカーボ
ン蒸気の凝縮器６の入口を閉鎖した以外は、実施例１と
同様にして５時間運転後、蒸気洗浄域５におけるアクサ
レル9100の濃度をガスクロマトグラフィーにて分析し
た。結果を表１に示す。

【００１７】

【表１】

【００１８】

【実施例２】長さ６０ｍｍ、幅１０ｍｍ、厚さ１ｍｍの
鉄製テストピースを研磨しアクサレル9100に浸漬後、実
施例１の状態にある洗浄装置で以下の条件で洗浄した。 加熱槽２への浸漬 １分 第２の加熱槽２Ａへ振動しながら浸漬 １分 冷却槽３への浸漬 １分 蒸気洗浄域５でのすすぎ洗浄 １分 洗浄後のテストピースの洗浄度を目視にて評価した。結
果を表２に示す。

【００１９】

【比較例２】比較例１で使用した状態の洗浄装置を使用
した以外は実施例１と同様にして鉄製テストピースの洗
浄を行なった。結果を表２に示す。

【００２０】

【表２】

【００２１】

【発明の効果】フルオロカーボン蒸気により被洗浄物品
の最終洗浄及び乾燥を行なう多槽式洗浄装置において、
前段の洗浄工程で発生する溶剤蒸気や低沸点汚れ成分の
蒸気が蒸気洗浄域に拡散し滞留するのを抑制できるた
め、被洗浄物品への溶剤や汚れ成分の再付着を防止する
ことが可能となり、特に石油系などの有機溶剤で洗浄し
た後のすすぎ洗浄がより効果的に行なわれる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の洗浄装置の基本的構成を示す図であ
る。

【図２】本発明の洗浄装置の異なる実施態様を示す図で
ある。

【図３】従来の洗浄装置の構成を示す図である。

【符号の説明】

１ 洗浄装置 １２ 洗浄装置上部の冷却手段 １３ 堰 ２ 加熱槽 ２１ 加熱槽の加熱手段 ２２ 加熱槽上部の冷却手段 ２Ａ 第２の加熱槽 ２１Ａ 第２の加熱槽の加熱手段 ４ 蒸気供給部 ４１ 蒸気供給部の加熱手段 ５ 蒸気洗浄域 ６ 凝縮器 ６２ 凝縮器の冷却手段 ７ フルオロカーボンの分離器 ８ 溶剤の分離器 ９ 超音波発振器 ９１ フルオロカーボンの循環経路 ９２ フルオロカーボンの循環経路 ９３ フルオロカーボンの循環経路 ９４ フルオロカーボンの循環経路 ９５ フルオロカーボンの循環経路

Claims (13)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 加熱槽及び冷却槽を下部に内蔵し、上部
   に冷却手段を備えた洗浄装置において、該冷却手段より
   も下方の加熱槽側洗浄装置壁に蒸気凝縮器、該冷却手段
   よりも下方の冷却槽側洗浄装置壁に蒸気供給部が設置さ
   れていることを特徴とする洗浄装置。
2. 【請求項２】 加熱槽が複数個の槽から構成されている
   請求項１に記載の洗浄装置。
3. 【請求項３】 冷却槽が複数個の槽から構成されている
   請求項１又は請求項２に記載の洗浄装置。
4. 【請求項４】 加熱槽及び冷却槽を下部に内蔵し、上部
   に冷却手段、該冷却手段よりも下方の加熱槽側洗浄装置
   壁に蒸気凝縮器、該冷却手段よりも下方の冷却槽側洗浄
   装置壁に蒸気供給部が設置されている洗浄装置の蒸気供
   給部からフルオロカーボン蒸気を供給して凝縮器方向へ
   のフルオロカーボン蒸気流を形成させると共に洗浄装置
   の上半部にフルオロカーボン蒸気洗浄域を形成させ、被
   洗浄物を洗浄装置の上部から導入して加熱槽、冷却槽の
   順に浸漬し、次いで前記蒸気洗浄域中で蒸気洗浄してか
   ら取り出すことを特徴とする洗浄方法。
5. 【請求項５】 フルオロカーボンが、パーフルオロカー
   ボン、ハイドロフルオロカーボン及びハイドロクロロフ
   ルオロカーボンのうちのいずれかである請求項４に記載
   の洗浄方法。
6. 【請求項６】 ハイドロフルオロカーボンが、デカフル
   オロペンタン又はオクタフルオロブタンである請求項５
   に記載の洗浄方法。
7. 【請求項７】 ハイドロクロロフルオロカーボンが、ジ
   クロロペンタフルオロブタンである請求項５に記載の洗
   浄方法。
8. 【請求項８】 ハイドロフルオロカーボンが、1,1,2,2,
   3,3,4,4-オクタフルオロブタンである請求項５に記載の
   洗浄方法。
9. 【請求項９】 ハイドロフルオロカーボンが、1,1,1,2,
   3,4,4,5,5,5-デカフルオロペンタンである請求項５に記
   載の洗浄方法。
10. 【請求項１０】 加熱槽に揮発性有機化合物溶剤又は水
    が存在する状態で実施する請求項４に記載の洗浄方法。
11. 【請求項１１】 揮発性有機化合物溶剤が脂肪族化合
    物、炭素環式化合物又は複素環式化合物である請求項９
    に記載の洗浄方法。
12. 【請求項１２】 揮発性有機化合物溶剤が脂肪族化合
    物、炭素環式化合物又は複素環式化合物の少なくとも一
    種とフルオロカーボンとの混合物である請求項１０に記
    載の洗浄方法。
13. 【請求項１３】 冷却槽にフルオロカーボンが存在する
    状態で実施する請求項４に記載の洗浄方法。