JPH03137977A

JPH03137977A - 洗浄装置

Info

Publication number: JPH03137977A
Application number: JP27779589A
Authority: JP
Inventors: Shinichi Mori; 森　真一; Norihiro Nomura; 奉弘野邑
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1989-10-24
Filing date: 1989-10-24
Publication date: 1991-06-12

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、電子部品やプリント回路基板等の洗浄に利用
される洗浄装置に関するものである。

（従来の技術）従来、回路基板等の洗浄には、引火性、腐食性及び毒性
がないため、フロン（ＣＦＣ１１３）が主として用いら
れていたが、フロンによるオゾン層の破壊が明らかにな
り、その使用が制限されるに至っている。

このフロンに代わる洗浄剤としては、ＩＰＡ（イソプロ
ピレンアルコール）等のアルコール類が有望視されてい
る。又、その他、トリクロロエチレン等の各種塩素系有
機溶剤も候補に挙げられている。

（発明が解決しようとする課題）ところが、ＩＰＡ等のアルコール類は燃え易いため危険
性があり、取扱いが難しくなるという問題がある。

又、トリクロロエチレン等の塩素系有機溶剤は洗浄剤と
して有効であるが、人体に対して有害であり、作業環境
の悪化や公害等を起こさないためには、取扱いが極めて
困難になるという問題がある。

本発明は上記従来の問題点に鑑み、公害を発生したり、
人体に悪影響を与えたりする有害物質を用いずに大きな
洗浄能力が得られる洗浄装置を提供することを目的とす
る。

（課題を解決するための手段とその作用）本発明の洗浄
装置は、外気と遮断されると共に被洗浄物を出し入れ可
能に収容する洗浄室と、この洗浄室に過熱水蒸気を供給
する手段と、洗浄室内の過熱水蒸気を排出する手段とを
備えたことを特徴とする請求項１）。

前記洗浄室内の圧力は大気圧とする外、それより高圧又
は低圧とすることも可能である。又洗浄室の典型例とし
て、過熱水蒸気が充満していて完全に無酸素状態である
ものを挙げることができる。

しかし被洗浄物に酸化による悪影響を与えない程度に酸
素（ないし空気）が前記洗浄室内に小量混入している場
合であってもよい。過熱水蒸気の温度は被洗浄物によっ
て適宜設定されるが、一般Ｇこは大気圧下において１５
０°Ｃ〜４００°Ｃが好適である。なお、大気圧より低
圧の場合には１００°Ｃ以下にもできる。

上記構成によれば、洗浄手段に主として過熱水蒸気を用
いていることができるので、公害を生じたり、人体に悪
影響を与えたりすることなく、かつ被洗浄物に付着して
いるゴミは過熱水蒸気の流れにて除去され、しかも油分
によって強固に付着しているゴミの場合もその油分が過
熱水蒸気の熱によって沸騰蒸発し、ゴミが吹き飛ばされ
て除去されるために確実に除去され、また洗浄室が基本
的には無酸素状態となっているのでゴミや油分が、酸化
により容易に除去できないような状態に固着してしまう
ことを防ぐことができるため、被洗浄物に付着している
ゴミを完全に除去することができる。また非常に狭い空
間に付着したゴミも、過熱水蒸気の侵入による沸騰蒸発
作用によって確実に除去することができる。更に、ドラ
イな気体である過熱水蒸気を用いて洗浄するので、洗浄
空間から取り出せば、ドライ洗浄した被洗浄物が得られ
、かつ液体中の不純物により生ずるウォータマークも無
くなる。また、過熱水蒸気を用いているため、それが高
温であっても被洗浄物のガラス質等がヒートショックを
受けて割れるということもない。その理由は明瞭ではな
いが、水蒸気が被洗浄物に接触した瞬間に凝縮し、その
ａ縮した水分を蒸発させるのに熱が吸収されるために、
結果的に熱伝達が徐々に行われ、ヒートショックを生じ
ないものと考えられる。実際、液体の場合９０°Ｃでも
ヒートショックで割れていたものが、過熱水蒸気の場合
には４００°Ｃでも割れなかった。

本発明の洗浄装置において、被洗浄物の汚れの程度や材
質などに適応しうるように、過熱水蒸気の温度を制御す
る手段を備えると好適である。

（請求項２）。

又本発明の洗浄装置において、アルコール類等の溶剤を
洗浄室に供給する手段を備え、洗浄室内の過熱水蒸気中
に前記溶剤を添加するように構成すると好適である（請
求項３）。

このように過熱水蒸気の流れ中にアルコール類、灯油等
の溶剤を添加すると、さらに好ましくは液状で被洗浄物
に向かって噴射するように添加すると、これらの溶剤の
洗浄効果が付加されてより一層洗浄能力が向上する。そ
してこのように溶剤を添加する場合においても、洗浄空
間は基本的に無酸素状態であるので、爆発等を防ぐこと
ができる。

更に前記溶剤は過熱水蒸気と共に洗浄空間より取出され
、そこで凝縮されると水に混合した状態となり、そこで
分離され再利用が可能となる。又ゴミ、臭い等も回収さ
れる。なお過熱水蒸気は凝縮されることによってその体
積が格段に減少するため、その後の処理が容易になり、
又装置のコンパクト化を図ることができる。

更に本発明の洗浄装置において、過熱水蒸気を被洗浄物
に噴射して洗浄効果を高めるために、過熱水蒸気を供給
する手段として、被洗浄物に過熱水蒸気を噴射する分配
噴射ヘッドを備えるように構成すると好適である（請求
項４）。又前記分配噴射ヘッドに加えて、洗浄室全体に
過熱水蒸気を供給する蒸気供給口を設け（請求項５）、
初期運転時に洗浄室が速く所定温度に達するようにする
と好適である。

本発明の洗浄装置は、具体的にはバッチタイプのものと
連続洗浄タイプのものとの２種類に分けることができる
。前者は洗浄室がバッチ式のもの（請求項６）となり、
後者のものとしてスチームカーテンを利用したものが好
適である。

バッチ式のものにおいて、洗浄室の室温を経時的に変化
させる手段を備え、予熱、洗浄、冷却の順で室温が制御
されるように構成すると好適である（請求項７）。この
ように構成すると、被洗浄物のヒートショックを避ける
上で有効であると共に、ウォータマークなどの再汚染を
避ける上で効果がある。

連続洗浄タイプのものにおいて、相対向する側壁に被洗
浄物の搬送手段の通過開口を形成し、この通過開口に過
熱水蒸気流による内外雰囲気の遮断手段を配設して洗浄
室を構成するものが好適である（請求項８）。このよう
に構成すると、搬送手段上に被洗浄物を載置して洗浄室
を通過させることにより被洗浄物を洗浄することができ
、その際ドアの開閉等が不要で、連続的に被洗浄物を洗
浄室に供給、排出することが可能となり、能率的に洗浄
を行うことができる。

連続洗浄タイプのものにおいて、洗浄室の前後に予熱室
と冷却室とを配しく請求項９）、好ましくは予熱室と冷
却室とを前記洗浄室と同様のスチームカーテン構造とす
る（請求項１０）と、ヒートショック回避、再汚染回避
の上で好適である。

前記洗浄室の冷却又は前記冷却室の冷却を共沸混合溶液
噴射による１発冷却で行う（請求項１１）と、冷却が効
果的に行え、又低温過熱蒸気空間を得ることができる。

（実施例）第１図は本発明の第１実施例であるバッチ洗浄式の洗浄
装置を示す。

洗浄室１内の下部に、被洗浄物Ｃを載置支持する支持部
材２が配設され、その上方に適当な間隔を設けて、支持
部材２に向かって略均等な過熱水蒸気Ｓの流れを形成す
る分配噴射ヘッド３が配設されている。この分配噴射ヘ
ッド３には、ボイラ４で生成された水蒸気をさらに第１
過熱器５ａにて所定温度まで過熱して得られた過熱水蒸
気Ｓが供給されている。又ボイラ４で生成された水蒸気
は第２過熱器５ｂにて所定温度まで過熱されて過熱水蒸
気Ｓとなって蒸気供給口１１．Ｊｌ：り洗浄室ｌ内全体
に供給される。過熱器５ａ、５ｂは、ヒータを内蔵して
任意の温度の過熱水蒸気を得ることができるように構成
され、そのための温度制御装置３０ａ、３０ｂを備えて
いる。

ＩＰＡ等の各種溶剤は溶液タンク１２ａ、１２ｂ、１２
ｃより洗浄室１内の溶剤噴射ノズル１゜に導かれ、ここ
より被洗浄物Ｃに向かって略均−に噴射される。溶液タ
ンク１２ａ、１２ｂ、１２Ｃと溶剤噴射ノズル１０との
間の供給通路には各溶剤選択弁３１ａ、３１ｂ、３１ｃ
及び通路切換弁１４が配してあり、選択される一方の供
給通路には気化器１３が配されている。従って、溶剤選
択及び供給通路切換えによって、特定の溶剤又は組合わ
された溶剤を、液状のままの溶剤を供給したり、気化さ
れた溶剤を供給することができる。

洗浄室１の排出口６から排出された溶剤混入の水蒸気は
主として第１三方切換弁１５、三方切換弁１６を通過し
て、凝縮器７に導かれ、液体となって液液分離器１９に
導かれる。前記凝縮器マを冷却する冷水は、温水として
排出されるが、これをボイラ４に供給することにより省
エネルギ化を図ることができる。前記液液分離器１９で
前記溶剤混入の水蒸気は、水と溶剤とに分離され、又ゴ
ミなどがフィルタ手段８などによって除去される。

水はボイラ４に戻され、溶剤は対応する溶液タンク１２
ａ、１２ｂ、１２ｃに戻される。なお、前記第１、第２
三方切換弁１５．１６や前記液液分離器１９のドレン排
出口１９ａからは水などが排出できるようになっており
、これにより洗浄室１内の圧力を調整することができる
。

前記第１三方切換弁１５は排出口６から排出された溶剤
混入の水蒸気（溶剤の混入率が低率のとき、好ましくは
水蒸気のみの場合に適している。

）を分配弁１７側に送ることが可能なようになっている
。そして分配弁１７は第１過熱器５ａ、第２過熱器５ｂ
、分配噴射ヘッド３、洗浄室人口１１のいずれか１つ又
は複数箇所に前記水蒸気を還流させることができる。こ
れにより水蒸気の有する熱エネルギを有効利用できるよ
うになっている。

前記第２三方切換弁１６は排出口６から排出された溶剤
混入の水蒸気を気液分離器としての蒸留塔３２に送るこ
とができるようになっている。ここで気体分離され次い
で凝縮された各溶剤は各溶液タンク１２ａ、１２ｂ、１
２ｃに戻されて再使用される。又前記蒸留塔３２で分離
された水はボイラ４に戻される。

なお、３３は被洗浄物Ｃを出し入れするためのドアであ
って、洗浄室１と共に防爆構造となっていることが好ま
しい。

以上の構成において、被洗浄物Ｃを洗浄するには、それ
に先だってまず、洗浄室１を外部空間に対して閉鎖した
状態で、ボイラ４で生成した水蒸気を過熱器５ａ、５ｂ
にて過熱水蒸気Ｓにして洗浄室１内に供給するとともに
、凝縮器７に冷水を供給して排出口６から排出された過
熱水蒸気Ｓを復水させることによって、洗浄室１内の過
熱水蒸気Ｓを吸引し、洗浄室１内に過熱水蒸気Ｓの流れ
を形成して洗浄室１内の空気、特にその酸素を排出し、
洗浄室１内を１５０°Ｃ〜４００　”Ｃの過熱水蒸気Ｓ
が充満した無酸素状態の雰囲気にする。なお、必要に応
じて溶液タンク１２ａ、１２ｂ、１２ｃから溶剤を供給
し、過熱水蒸気に添加する。

次に、この洗浄室ｌ内の雰囲気を維持しつつ、適宜手段
にて支持部材２上に被洗浄物Ｃを供給して載置支持する
。その際に、高温の過熱水蒸気Ｓを用いていても、それ
が水蒸気であるため、この水蒸気が被洗浄物Ｃに接触し
た瞬間に凝縮し、その凝縮した水分を蒸発させるのに熱
が吸収され、結果的に熱伝達が徐々に行われるため、被
洗浄物Ｃのガラス質等がヒートショックを受けて割れる
というような不都合を生じることはない。

こうして、過熱水蒸気Ｓの流れ中に被洗浄物Ｃを配置す
ることにより、被洗浄物Ｃに付着しているゴミは過熱水
蒸気Ｓの流れにて除去される。また、油分によって強固
に付着しているゴミの場合もその油分が過熱水蒸気Ｓの
熱によって沸騰蒸発してゴミが吹き飛ばされ、さらに洗
浄室１内が無酸素状態となっているので、ゴミや油分が
、容易に除去できないような状態に固着してしまうよう
なこともないため、付着したゴミが確実に除去される。

以上の洗浄を所定時間行った後、洗浄室１内から被洗浄
物Ｃを取り出すと、完全に洗浄されて乾燥した被洗浄物
Ｃが得られる。即ち、高温でドライな気体である過熱水
蒸気Ｓを用いて洗浄しているので、洗浄室１から取り出
せば、ドライ洗浄した被洗浄物Ｃが得られ、また不純物
によるウォータマークも残らないのである。

なお溶剤を過熱水蒸気に添加した場合には、過熱水蒸気
の洗浄作用に加えて、溶剤の洗浄作用が付加されるので
、より一層洗浄能力が向上する。

又ＩＰＡ等の爆発の危険性がある溶剤であっても、基本
的には無酸素状態の洗浄室１内で用いられるので、危険
性がないという利点がある。更に溶剤は水蒸気と共に洗
浄空間から取出された後凝縮され、次いで分離されるの
で、再利用を図ることができる。

バッチ式洗浄装置においても前記洗浄室１の室温を経時
的に変化させて、予熱、洗浄、冷却の３工程が順次行わ
れるようにすることが好ましい。

このための第１の手段としては、洗浄室ｌ内の過熱水蒸
気の給排量をコントロールすることが挙げられる。第２
の手段としては、過熱器５ａ、５ｂに付設した温度制御
装置３０ａ、３０ｂを利用して、洗浄室１内の温度コン
トロールをすることが挙げられる。この場合の予熱工程
では第１図に仮想線で示すようにボイラ４の湿り水蒸気
を直接洗浄室１に導き入れることが可能である。又この
場合の冷却工程は温度の低い（洗浄室１が大気圧の場合
１１０°Ｃ前後）過熱水蒸気を被洗浄物Ｃに吹き付けて
行うと好適である。

この外、予熱、洗浄、冷却工程の内の冷却工程を実現す
るための手段として、■単一溶液噴射による蒸発冷却、
■相互不溶解性混合溶液の噴射による蒸発冷却、■共沸
混合溶液の噴射による蒸発冷却を挙げることができる。

これらはいずれも溶液タンク１２ａ、１２ｂ、１２ｃ等
を利用して行うことができる。■の場合には沸点を下げ
ることができると共に２液の混合割合によって沸点を調
整することができるという利点がある。なお予熱工程に
おいても、溶液タンク１２ａ、！２ｂ、１２ｃの溶剤を
洗゛浄室１に供給することが考えられる。

第２図は本発明の第２実施例である連続洗浄式の洗浄装
置を示す。

５１は洗浄チャンバーで、−直線状に並んだ予熱室５２
と洗浄室５３と冷却室５４の３つの室に区画され、かつ
これらの各室５２．５３．５４の並列方向に相対向する
側壁に通過開口５５ａ〜５５ｄが形成されている。そし
て、これら通過開口５５ａ　〜５５ｄを通って各室５２
．５３．５４を貫通するようにネットコンベア等の搬送
手段５６が配設されている。

各室５２．５３．５４内には、搬送手段５６の上方に適
当な間隔を設けて搬送手段５６に向かって略均等な過熱
水蒸気Ｓの流れを形成する分配噴射ヘッド５７ａ、５７
ｂ、５７ｃが配設されている。これらの分配噴射ヘッド
５７ａ、５７ｂ、５７ｃには、ボイラ５８で生成された
水蒸気をさらに過熱器５９ａ、５９ｂ、５９ｃにて各々
所定温度まで過熱して得られた過熱水蒸気Ｓが供給され
ている。各過熱器５９ａ〜５９ｃは、ヒータを内蔵して
任意の温度の過熱水蒸気を得ることができるように構成
されている。

又、各通過開口５５ａ〜５５ｄの上部にボイラ５８にて
生成され、過熱器５９ａ、５９ｂ、５９Ｃを通過した過
熱水蒸気が供給される水蒸気噴射ノズル４０ａ〜４０ｄ
が配設されるとともに、通過開口５５ａ〜５５ｄの下部
に各水蒸気噴射ノズル４０ａ〜４０ｄに対向して吸引口
４１ａ〜４１ｄが設けられ、各室５２．５３．５４の内
外雰囲気を過熱水蒸気流により遮断する遮断手段４２ａ
〜４２ｄが構成されている。なお、予熱室５２の入口の
水蒸気噴射ノズル４０ａにボイラ５８がらの湿り水蒸気
を供給するようにも構成でき、そのための切換弁７０を
設けている。

一方、各室５２．５３．５４の下部には、排出口４３ａ
、４３ｂ、４３ｃが形成されるとともに、これらの排出
口４３ａ〜４３ｃが復水器（凝縮器）４５に接続されて
いる。又、吸引口４１ａ〜４１ｄにおける吸引力を高め
るためにこれら吸引口４１ａ〜４１ｄを直接排出口４３
ａ　〜４３ｃに連通させる吸引通路４４ａ〜４４ｄが設
けられている。４６は復水器４５内に配設された冷却管
であり、冷水を供給すると水蒸気と熱交換されて温水が
排出される。復水器４５で復水された水はドレンタンク
４７に溜められ、このドレンタンク４７からボイラ５８
に供給されて循環使用される。

４７ａは、ドレンタンク４７の排気管である。尚、復水
された水に含まれるゴミ等は適宜フィルタ手段にて除去
される。

又、洗浄室５３内の分配噴射ヘッド５７ｂと搬送手段５
６の間に、搬送手段５６上の被洗浄物Ｃに向かって略均
−にアルコール類又は有機溶剤を液状のまま噴射する噴
射ノズル４８が配設されている。

尚、図示は省略しているが、アルコール類や有機溶剤を
噴射する場合の安全性のために、洗浄チャンバー５１は
防爆構造に構成されている。又、図示しないが洗浄チャ
ンバー５１の人口部及び出口部に遮断手段４２ａ、４２
ｄから漏れてくる水蒸気等を吸引する手段を配すると好
適である。

以上の構成において、被洗浄物Ｃを洗浄するには、それ
に先だってまず、ボイラ５８で生成した水蒸気を水蒸気
噴射ノズル４０ａ〜４０ｄに供給するとともに、各過熱
器５９ａ〜５９ｃにて過熱水蒸気Ｓにして予熱室５２、
洗浄室５３及び冷却室５４内の分配噴射ヘッド５７ａ〜
５７ｃに供給し、かつ復水器４５の冷却管４６に冷水を
供給して排出口４３ａ〜４３ｃから排出された水蒸気を
復水させる。すると、水蒸気噴射ノズル４０ａ〜４０ｄ
から噴射され吸引口４１ａ〜４１ｄに吸引される水蒸気
流から成る遮断手段４２ａ〜４２ｄにて各通過開口５５
ａ〜５５ｄが遮断されて各室５２．５３．５４の雰囲気
が外部の雰囲気に対して閉鎖され、ゐ・つ各室５２．５
３．５４内の過熱水蒸気Ｓも排出口４３ａ〜４３ｃから
吸引される。

その結果、各室５２．５３．５４内に過熱水蒸気Ｓの流
れが形成されるとともに、各室５２．５３．５４内の空
気、特にその酸素が排出され、各室５２．５３．５４内
が無酸素状態にされる。又、各過熱器５９ａ、５９ｂ、
５９ｃは、それぞれ予熱室５２、洗浄室５３、冷却室５
４内が１５０“０〜４００°Ｃの所定の雰囲気温度にな
るように設定される。例えば、洗浄室５３が２５０°Ｃ
に設定され、予熱室５２と冷却室５４は外気と洗浄室５
３との間で急激な温度変化を生じないように、１５０°
Ｃに設定される。

次に、各室５２．５３．５４内が無酸素状態でかつ所定
温度の過熱水蒸気Ｓの流れがある状態で安定すると、搬
送手段５６上に被洗浄物Ｃを載置して各室５２．５３．
５４に順次送り込む。その際に、被洗浄物Ｃは外気温度
と予熱室５２との間で、高温の過熱水蒸気Ｓに急激に晒
されることになる。しかし、それが水蒸気であるため、
この水蒸気が被洗浄物Ｃに接触した瞬間に凝縮し、その
凝縮した水分を蒸発させるのに熱が吸収され、結果的に
熱伝達が徐々に行われるため、被洗浄物Ｃのガラス質等
がヒートショックを受けて割れるというような不都合を
生じることはない。また、被洗浄物Ｃは洗浄室５３から
冷却室５４を介して外気中に送り出されるので、冷却時
にも急激な温度変化がなく、ヒートショックがない。

このように被洗浄物Ｃは予熱室５２、洗浄室５３、冷却
室５４を通過するが、主として洗浄室５３内で過熱水蒸
気Ｓの流れ中に被洗浄物Ｃが位置する間に、被洗浄物Ｃ
に付着しているゴミは過熱水蒸気Ｓの流れにて除去され
る。また、油分によって強固に付着しているゴミ分場合
もその油分が過熱水蒸気Ｓの熱によって沸騰してゴミが
吹き飛ばされ、さらに洗浄チャンバー５１内が無酸素状
態とされているので、ゴミや油分が酸化して固化し、容
易に除去できないような状態に固着してしまうようなこ
ともないため、付着したゴミが確実に除去される。更に
、必要に応じて噴射ノズル４８から被洗浄物Ｃに向かっ
て液状のアルコール類等の溶剤を噴射することにより、
より一層洗浄能力が向上する。

以上のように被洗浄物Ｃは搬送手段５６にて搬送される
間に順次予備加熱され、洗浄され、徐冷されて洗浄チャ
ンバー５１から搬出され、完全に洗浄されて乾燥した被
洗浄物Ｃが得られる。即ち、高温でドライな気体である
過熱水蒸気Ｓを用いて洗浄しているので、冷却室５４か
ら取り出せば、洗浄・乾燥した被洗浄物Ｃが得られ、ま
た液体の洗浄剤を用いた場合に生ずる不純物によるウォ
ータマークも残らないのである。

尚、上記実施例では、洗浄室５３の両側に予熱室５２と
冷却室５４を設けた例を示したが、洗浄室５３の過熱水
蒸気温度が余り高くない場合はこれらの室を設けず、洗
浄室５３だけにしてもよい。

上記第２実施例に、第１実施例において開示した諸手段
、例えば温度制御装置３０ａ、３０ｂ、蒸留塔３２など
を組合わせることができる。又上記第２実施例において
、アルコール類等の溶剤を予熱室５２に供給してもよい
。

又第１、第２実施例共に、洗浄室１や洗浄チャンバー５
１の側方、から遠赤外線を照射して、過熱水蒸気Ｓがド
ライな状態を維持するように構成すると好適である。

（発明の効果）本発明の洗浄装置によれば、洗浄手段として主として過
熱水蒸気を用いているので、公害を生じたり、人体に悪
影響を与えたりすることはない。

また、被洗浄物に油分によって強固に付着しているゴミ
も、その油分が過熱水蒸気の熱によって沸騰蒸発してゴ
ミが吹き飛ばされ、過熱水蒸気の流れにて除去されるた
めに確実に除去され、かつ洗浄室が基本的には無酸素状
態となっているのでゴミや油分が酸化により容易に除去
できないような状態に固着してしまうことを防ぐことが
できるため、被洗浄物に付着しているゴミを完全に除去
することができる。また、そのために非常に狭い空間に
付着したゴミも過熱水蒸気の侵入にょる沸騰蒸発作用に
よって確実に除去することができる。

また、ドライな気体である過熱水蒸気を用いて洗浄する
ので、洗浄空間から取り出せば、ドライ洗浄した被洗浄
物が得られ、かつ液体中の不純物により生ずるウォータ
マークも無くなる。更に、過熱水蒸気を用いているため
、それが高温であっても被洗浄物のガラス質等がヒート
ショックを受けて割れるということもない等、多大の効
果を発揮する。

さらに、過熱水蒸気の流れ中にアルコール類等の溶剤を
、好ましくは液状で被洗浄物に向がって噴射するように
添加すると、これらの薬剤の洗浄効果が付加されてより
一層洗浄能カが向上する。

更に相対向する側壁に被洗浄物の搬送手段の通過開口を
形成し、この通過開口に過熱水蒸気流による内外雰囲気
の遮断手段を配設して洗浄室を構成すると、搬送手段上
に被洗浄物を載置して洗浄室を通過させることにより、
被洗浄物を洗浄することができ、その際ドアの開閉等が
不要で、連続的に被洗浄物を洗浄室に供給、排出するこ
とが可能となり、能率的に洗浄を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例の構成図、第２図は本発明
の第２実施例の構成図である。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）外気と遮断されると共に被洗浄物を出し入れ可能
に収容する洗浄室と、この洗浄室に過熱水蒸気を供給す
る手段と、洗浄室内の過熱水蒸気を排出する手段とを備
えたことを特徴とする洗浄装置。
（２）過熱水蒸気の温度を制御する制御手段を備えた請
求項１記載の洗浄装置。
（３）アルコール類等の溶剤を洗浄室に供給する手段を
備え、洗浄室内の過熱水蒸気中に前記溶剤を添加するよ
うに構成した請求項１記載の洗浄装置。
（４）過熱水蒸気を供給する手段として、被洗浄物に過
熱水蒸気を噴射する分配噴射ヘッドを備えた請求項１記
載の洗浄装置。
（５）過熱水蒸気を供給する手段として、被洗浄物に過
熱水蒸気を噴射する分配噴射ヘッドと、洗浄室全体に過
熱水蒸気を供給する蒸気供給口とを備えた請求項１記載
の洗浄装置。
（６）洗浄室がバッチ式のものである請求項１記載の洗
浄装置。
（７）洗浄室の室温を経時的に変化させる手段を備え、
予熱、洗浄、冷却の順で室温が制御されるように構成さ
れた請求項６記載の洗浄装置。
（８）相対向する側壁に被洗浄物の搬送手段の通過開口
を形成し、この通過開口に過熱水蒸気流による内外雰囲
気の遮断手段を配設して洗浄室を構成した請求項１記載
の洗浄装置。
（９）洗浄室の前後に予熱室と冷却室とを配した請求項
８記載の洗浄装置。
（１０）予熱室及び冷却室が相対向する側壁に被洗浄物
の搬送手段の通過開口を形成し、この通過開口に過熱水
蒸気流による内外雰囲気の遮断手段を配設してなるもの
である請求項９記載の洗浄装置。
（１１）洗浄室の冷却又は冷却室の冷却が共沸混合溶液
噴射による蒸発冷却で行われる請求項７、９又は１０記
載の洗浄装置。