JPH054077A

JPH054077A - 被洗浄物の洗浄方法

Info

Publication number: JPH054077A
Application number: JP28204291A
Authority: JP
Inventors: Masahide Uchino; 正英内野
Original assignee: Japan Field Co Ltd
Current assignee: Japan Field Co Ltd
Priority date: 1991-03-27
Filing date: 1991-10-02
Publication date: 1993-01-14

Abstract

(57)【要約】【目的】塩素系有機溶剤またはフッ素系有機溶剤によ
り、洗浄効果の高い洗浄を行う。そして、被洗浄物に付
着した有毒な有機溶剤を、大気中に拡散する事なく回収
し、安全で経済的な洗浄作業を可能とする。【構成】塩素系有機溶剤またはフッ素系有機溶剤から
なる第１溶剤３で被洗浄物４の第１洗浄を行う。次に、
第１溶剤３の付着した被洗浄物４を完全フッ素化液体１
０で洗浄して第２洗浄を行う。この第１、第２の洗浄を
外気と接触することのない同一雰囲気内で行い、被洗浄
物４から第１溶剤を除去した後、被洗浄物４を洗浄槽外
に取り出す。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、塩素系有機溶剤、フッ
素系有機溶剤を用いて蒸気洗浄、液洗浄等の洗浄を完了
した被洗浄物から、付着している塩素系有機溶剤、フッ
素系有機溶剤を確実に除去する事を可能にする被洗浄物
の洗浄方法に係るものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、電子部品、機械部品、プリント基
板等の被洗浄物の洗浄は、廉価で優れた洗浄効果を有す
ることから、塩素系有機溶剤、フッ素系有機溶剤を多用
してきた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、これらの塩素
系有機溶剤、フッ素系有機溶剤が大気中に拡散するとオ
ゾン層を破壊したり、洗浄作業者、環境等に悪影響を及
ぼす事が判明した。

【０００４】そこで、これらの塩素系有機溶剤、フッ素
系有機溶剤に代えて、環境に与える影響が少ない、炭化
水素系溶剤、親水系溶剤、テルペン系溶剤、シリコン系
溶剤等を、洗浄液、洗浄蒸気として用いることが考慮さ
れている。

【０００５】しかし、これらの炭化水素系溶剤、親水系
溶剤、テルペン系溶剤、シリコン系溶剤等は、塩素系有
機溶剤、フッ素系有機溶剤に比較すると、いずれも洗浄
能力が劣り、十分な洗浄効果を得られない欠点を有して
いる。

【０００６】そこで、本発明者は、塩素系有機溶剤、フ
ッ素系有機溶剤を用いて優れた洗浄効果を得ながら、こ
れらの溶剤を大気中に拡散する事なく確実に回収し、従
来これらの有機溶剤が生じていた悪条件を、発生させな
い洗浄方法を発明したものである。

【０００７】塩素系有機溶剤、フッ素系有機溶剤が大気
中に拡散する原因の殆どは、これらの溶剤が、被洗浄物
に残留したまま洗浄槽から外部に取りす事から生じてい
る。したがって、塩素系有機溶剤、フッ素系有機溶剤
を、被洗浄物から確実に除去した後に外部に取り出せ
ば、これらの溶剤の拡散は防止され、洗浄作業者、環境
等に悪影響を及ぼすことはないものである。

【０００８】また、被洗浄物に付着した塩素系有機溶
剤、フッ素系有機溶剤を確実に除去するため、熱風、赤
外線等を被洗浄物に加えて、これらの溶剤を蒸発させる
方法が知られている。しかしながら、この方法は、溶剤
ガスを強く流動させるため、この溶剤ガスが大気中に拡
散する欠点を有しており、作業者、環境等に悪影響を及
ぼすものとなつている。

【０００９】また、被洗浄物の素材によっては、塩素系
有機溶剤やフッ素系有機溶剤と接触すると膨潤を生じる
ものがある。例えば、シリコーンラバー、クロロプレー
ンラバー、ブタジエンラバー、ニトリルラバー等は多く
の有機溶剤を含浸し膨潤するものとなる。

【００１０】この、膨潤に因って有機溶剤を多量に含浸
した被洗浄物を、洗浄槽からそのまま取り出せば、有機
溶剤が大気中へ多量に拡散する不都合を生じる。また、
有機溶剤を含浸した被洗浄物を、乾燥機に収納して蒸発
乾燥させ、被洗浄物の形状を元に戻すことが従来行われ
ている。この方法でも、乾燥機に被洗浄物を移動する過
程で大気中に溶剤が拡散される。また、乾燥機内での乾
燥時に溶剤ガスを強く流動させるため、溶剤ガスの大気
中への拡散が生じる。

【００１１】また更に、被洗浄物に含浸した有機溶剤
を、乾燥機によって乾燥するには被洗浄物の形状、大き
さ等によっても異なるが、長い時間必要とし作業効率が
極めて悪いものであった。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は上述のごとき課
題を解決するため、塩素系有機溶剤またはフッ素系有機
溶剤からなる第１溶剤で被洗浄物の第１洗浄を行った
後、第１溶剤の付着した被洗浄物を完全フッ素化液体で
第２洗浄を行い、この第１、第２の洗浄を外気と接触す
ることのない同一雰囲気内で行い、被洗浄物から第１溶
剤を除去した後、被洗浄物を洗浄槽外に取り出すことを
特徴として成るものである。

【００１３】また、第１溶剤は、塩素系有機溶剤とし
て、1,1,1トリクロルエタン、トリクロルエチレン、パ
ークロロエチレン、メチレンクロライド、フッ素系有機
溶剤として、フロン１１３、ＣＨ₃・ＣＣＩ₂Ｆ、ＨＣＦ
Ｃ123、ＨＣＦＣ141b、ＨＣＦＣ225ca、ＨＣＦＣ225cbで
あっても良い。

【００１４】また、第１洗浄は、液洗浄であっても良
い。

【００１５】また、第１洗浄は、蒸気洗浄であっても良
い。

【００１６】また、第１洗浄は、液洗浄後に蒸気洗浄を
行うものであっても良い。

【００１７】また、第２洗浄は、液洗浄であっても良
い。

【００１８】また、第２洗浄は、蒸気洗浄であっても良
い。

【００１９】また、第２洗浄は、液洗浄後に蒸気洗浄を
行うものであっても良い。

【００２０】また、第１溶剤は、第２洗浄を行う完全フ
ッ素化液体よりも蒸発潜熱が大きいものであっても良
い。

【００２１】また、完全フッ素化液体は、沸点に於ける
蒸発潜熱が15■20cal/gのものであっても良い。

【００２２】

【作用】本発明は、塩素系有機溶剤またはフッ素系有機
溶剤からなる第１溶剤で被洗浄物の第１洗浄を行うこと
により、従来と同様の優れた洗浄効果を得ることができ
る。そして、この有毒な第１溶剤の付着した被洗浄物を
完全フッ素化液体で第２洗浄を行うことにより、被洗浄
物から第１溶剤を除去する。

【００２３】完全フッ素化液体は不活性で安定した無毒
の液体であるから、完全フッ素化液体が被洗浄物に残留
したまま洗浄槽外に持ち出されても、作業者、環境等に
与える影響は全くないものである。

【００２４】また、本発明は第１溶剤による第１の洗浄
と、完全フッ素化液体による第２の洗浄とを、外気と接
触することのない同一雰囲気内で行い、被洗浄物から第
１溶剤を除去した後、被洗浄物を洗浄槽外に取り出すも
のである。従って、有毒な第１溶剤が洗浄槽外に拡散す
る虞れはなく、安全な洗浄作業と溶剤の消失がない経済
的な洗浄を可能とする。

【００２５】また、塩素系有機溶剤またはフッ素系有機
溶剤の洗浄によって、被洗浄物が膨潤を生じた場合も、
この被洗浄物を、完全フッ素化液体に浸漬洗浄または蒸
気洗浄することにより、数十秒の極めて短時間で被洗浄
物から有機溶剤を排除し、元の形状に戻すことができ
る。

【００２６】そのため、膨潤した被洗浄物の復元を極め
て迅速に行うことができると共に、有機溶剤の大気中へ
の拡散を生じることがない。尚、完全フッ素化液体によ
る洗浄によって、このような技術効果の生じる理論的根
拠は不明であり、実験的に確認したものである。

【００２７】

【実施例】本発明を実施するには、まず、被洗浄物の洗
浄目的に適合した、任意の塩素系有機溶剤またはフッ素
系有機溶剤からなる第１溶剤で、被洗浄物の第１洗浄を
行う。

【００２８】第１溶剤の塩素系有機溶剤としては、1,1,
1トリクロルエタン、トリクロルエチレン、パークロロ
エチレン、メチレンクロライド等を用いることができ
る。

【００２９】また、フッ素系有機溶剤としては、フロン
１１３、ＣＨ₃・ＣＣＩ₂Ｆ、ＨＣＦＣ123、ＨＣＦＣ141
b、ＨＣＦＣ225ca、ＨＣＦＣ225cb等を用いることができ
る。

【００３０】また、これらの溶剤は、いずれも蒸発潜熱
が大きなものである。例えば、塩素系有機溶剤である、
1,1,1トリクロルエタンは蒸発潜熱が、沸点付近で５６.
７ｃａｌ／ｇ、トリクロルエチレンが、沸点付近で５
６.４ｃａｌ／ｇ、メチレンクロライドが、沸点付近で
７８.７ｃａｌ／ｇである。フッ素系有機溶剤である、
化学式ＣＨ₃・ＣＣＩ₂Ｆで表される代替フロンは沸点付
近で５２.８ｃａｌ／ｇである。

【００３１】そして、これらの第１溶剤を用いて行う被
洗浄物の洗浄装置は、洗浄目的に応じて任意のものを用
いる事ができるが、一実施例では図１に示すごとく、１
つの洗浄槽(１)内を複数に区画し、第１槽から第４槽を
形成している。そして第１槽(２)は、第１溶剤(３)を充
填して、被洗浄物(４)の浸漬洗浄を行う。また第２槽
(５)は第１溶剤(３)を用いて被洗浄物(４)の仕上げ洗浄
を行う。

【００３２】また、第２槽(５)の第１溶剤(３)は、第１
槽(２)側にオーバーフローするよう液面を形成してい
る。また、第１槽(２)の第１溶剤(３)は、溶剤蒸留器
(６)にオーバーフローし、被洗浄物(４)から分離した油
分を溶剤蒸留器(６)で除去した後、凝縮して第２槽(５)
に還流する。また第１槽(２)、第２槽(５)中の第１溶剤
(３)は、揮発を抑えるために冷却し、極力低温に保持し
ている。

【００３３】また、第１槽(２)、第２槽(５)で有毒な第
１溶剤(３)による第１洗浄を完了した被洗浄物(４)は、
第３槽(７)、第４槽(８)にて完全フッ素化液体(１０)に
よる第２洗浄を行ない、被洗浄物(３)から第１溶剤(３)
を除去する。

【００３４】この、完全フッ素化液体(１０)による第２
洗浄は、まず第３槽(７)に於いて液洗浄を行う。この液
洗浄は、単なる浸漬洗浄であっても良いが、超音波洗浄
を併用したり、シャワー洗浄を行えば、更に確実な第１
溶剤(３)の除去が可能となる。

【００３５】また、完全フッ素化液体(１０)による液洗
浄で、第３槽(７)中で被洗浄物(４)から分離した第１溶
剤(３)は、溶剤蒸留器(６)にポンプ(１１)で送り、完全
フッ素化液体(１０)と分離した後、第２槽(５)に導入す
る。また、第１溶剤(３)と分離した完全フッ素化液体
(１０)は第３槽(７)に還流する。

【００３６】この完全フッ素化液体(１０)と第１溶剤
(３)の分離は、第１溶剤(３)がフッ素系有機溶剤の場合
は、完全フッ素化液体(１０)に溶解するため溶剤蒸留器
(６)を用いる必要があるが、第１溶剤(３)が塩素系有機
溶剤の場合は、完全フッ素化液体(１０)に溶解せずに分
離するから、比重差による比重分離法や、遠心分離法等
によって分離を行っても良い。

【００３７】また、第３槽(７)で第１溶剤(３)の除去を
行った被洗浄物(４)は、第４槽(８)に於いて第１溶剤
(３)の除去の仕上げを行う。この第４槽(８)は、完全フ
ッ素化液体(１０)をヒーター(１２)で加熱し、蒸気を発
生して蒸気洗浄を行うものである。また、第４槽(８)の
上端内面には、冷却コイル(１３)を形成し、凝縮部(１
４)としている。

【００３８】また、第１溶剤(３)の除去に使用する完全
フッ素化液体(１０)は、蒸発潜熱が沸点付近で、１５〜
１９ｃａｌ／ｇ程度であり、第１溶剤(３)に比較し、極
めて蒸発潜熱は小さいものである。この、蒸発潜熱の小
さい完全フッ素化液体(１０)の蒸気を、被洗浄物(４)に
接触させると、蒸発潜熱の大きな第１溶剤(３)の蒸発に
よって熱を奪われ、低温となっている被洗浄物(４)に、
蒸発潜熱の小さい完全フッ素化液体(１０)の蒸気がカロ
リーを供給し、被洗浄物(４)とともに第１溶剤(３)を加
熱することができる。

【００３９】このカロリー供給により、被洗浄物(４)に
付着している第１溶剤(３)は蒸発が容易となり、被洗浄
物(４)の乾燥を促進する。

【００４０】この完全フッ素化液体(１０)の蒸気の供給
により、蒸発した第１溶剤(３)は凝縮部(１４)で凝縮液
化して回収することができる。そのため、被洗浄物(４)
に付着している未回収状態の第１溶剤(３)を、第４槽
(８)内で完全にガス化して凝縮回収することが可能とな
り、大気中への溶剤の拡散を防止することができる。

【００４１】また、上記の第１槽(２)から第４槽(８)
は、密閉した洗浄槽(１)内を区分して形成したものであ
り、第１溶剤(３)を使用した第１の洗浄と、完全フッ素
化液体(１０)を使用した第２の洗浄とは、外気と接触す
ることのない同一雰囲気内で行う必要がある。

【００４２】また、上記実施例では被洗浄物(４)の洗浄
を、第１槽から第４槽に於いて行い、第１溶剤(３)によ
る第１の洗浄を２回行い、完全フッ素化液体(１０)によ
る第２の洗浄を、液洗浄と蒸気洗浄で行っている。しか
し、異なる実施例では被洗浄物(４)の位置する洗浄槽
(１)は複数槽に区分する事なく、第２図に示すごとく、
１つの槽のみで行い、洗浄槽(１)の占有スペースを小さ
くすることも可能である。

【００４３】この洗浄槽(１)は、外部に、エアーシリン
ダーやオイルシリンダー等を用いた上下動手段(１５)を
位置している。そして、この上下動手段(１５)に上下動
杆(１６)を接続し、この上下動杆(１６)の下端に固定し
た洗浄台(１７)を上下動可能としている。また、洗浄槽
(１)の下底には、前記の第１溶剤(３)を収納し、この第
１溶剤(３)の上部に蒸気洗浄部(１８)を形成している。

【００４４】また蒸気洗浄部(１８)の上部内周には、冷
却コイル(２０)を巻き回して、蒸気の凝縮を行う凝縮部
(２１)を形成している。また、この凝縮部(２１)の上部
に被洗浄物(４)の出入部(２２)を設け、この出入部(２
２)には、被洗浄物(４)を出入するための出入口(２３)
を形成するとともにこの出入口(２２)を、シャッター
(２４)により閉止可能としている。また出入口(２２)に
は、被洗浄物(４)を載置するための載置台(２５)を設け
ている。

【００４５】また、洗浄槽(１)に隣接して、蒸発潜熱の
小さな完全フッ素化液体(１０)を収納した、蒸気発生槽
(２６)を形成している。この蒸気発生槽(２６)に収納す
る完全フッ素化液体(１０)は、蒸発潜熱が沸点付近で、
１５〜１９ｃａｌ／ｇ程度であり、第１溶剤(３)に比較
し、極めて蒸発潜熱は小さいものである。

【００４６】そして、蒸気発生槽(２６)の完全フッ素化
液体(１０)中には、蒸気発生用のヒーター(２７)を設置
する。また、蒸気発生槽(２６)の上部内面には、完全フ
ッ素化液体の蒸気(１０)の冷却凝縮を行う冷却コイル
(２８)を設け、この冷却コイル(２８)と、充填した完全
フッ素化液体(１０)との間に、適宜の重量を有する中蓋
(３０)を、開閉可能に設置し、完全フッ素化液体(１０)
の蒸気(３１)の圧力制御を行っている。

【００４７】そしてこの蒸気発生槽(２６)は、開閉弁
(３２)を備えた供給口(３３)を介して洗浄槽(１)の蒸気
洗浄部(１８)に接続し、完全フッ素化液体(１０)の蒸気
(３１)を洗浄槽(１)の蒸気洗浄部(１８)に供給可能とし
ている。尚図中(３５)は水分分離器である。

【００４８】上述のごとく構成したものにおいて、第１
溶剤(３)を用いた洗浄槽(１)での第１の洗浄は、被洗浄
物(４)を、第１溶剤(３)に浸漬して行う。この浸漬は、
載置台(２５)から出入口(２３)を介して出入部(２２)に
被洗浄物(４)を挿入し、上下動手段(１５)を上昇作動し
て、洗浄台(１７)を出入部(２２)に位置し、この洗浄台
(１７)に被洗浄物(４)をのせて第１溶剤(３)まで下降し
て行う。この第１溶剤(３)への浸漬による第１の洗浄
は、洗浄台(１７)を小刻みに上下動して行っても良い
し、超音波振動子(３６)を作動し超音波洗浄を行っても
良い。

【００４９】この、第１溶剤(３)による洗浄を完了した
被洗浄物(４)は、上下動手段(１５)を上昇作動して、洗
浄台(１７)を蒸気洗浄部(１８)に移動する。この蒸気洗
浄部(１８)に、蒸気発生槽(２６)で発生した完全フッ素
化液体(１０)の蒸気(３１)を、開閉弁(３２)を開放して
供給し、第２の洗浄を行う。

【００５０】この、蒸発潜熱の小さい完全フッ素化液体
(１０)の蒸気(３１)を、被洗浄物(４)に接触させると、
蒸発潜熱の大きな第１溶剤(３)の蒸発によって熱を奪わ
れ、低温となっている被洗浄物(４)に、蒸発潜熱の小さ
い完全フッ素化液体(１０)の蒸気(３１)がカロリーを供
給し、被洗浄物(４)とともに第１溶剤(３)を加熱するこ
とができる。

【００５１】このカロリー供給により、被洗浄物(４)に
付着している第１溶剤(３)は蒸発が容易となり、被洗浄
物(４)の乾燥を促進する。

【００５２】この完全フッ素化液体(１０)の蒸気(３１)
の供給により、蒸発した第１溶剤(３)は、凝縮部(２１)
で凝縮液化して回収することができる。そのため、被洗
浄物(４)に付着している未回収状態の第１溶剤(３)を、
洗浄槽(１)内で完全にガス化して凝縮回収することが可
能となり、大気中への溶剤の拡散を防止することができ
る。

【００５３】また、被洗浄物(４)へのカロリーの供給
は、熱風、赤外線等を被洗浄物(４)に加えるものではな
い。そのため、溶剤が可燃性の場合にも、引火の危険が
ないし、赤外線のごとく、溶剤又は被洗浄物(４)を変質
させたりすることがない。また熱風を用いる場合のごと
く、気体の強い流動を生じて溶剤を大気中に拡散する事
がないものである。

【００５４】また、上記実施例では、被洗浄物(４)を順
次上下方向に移動しながら、洗浄及び乾燥作業を行った
が、他の異なる実施例では、第３図に示すごとく、洗浄
槽(１)を、第１溶剤(３)を収納した第１槽(３７)と、仕
上げ洗浄用の第２槽(３８)と、第１溶剤(３)を用いた蒸
気洗浄用の第３槽(４０)と、完全フッ素化液体(１０)に
よる蒸気洗浄用の第４槽(４１)とに分離し、これらを横
方向に隣接して形成している。そして、第１槽(３７)か
ら第３槽(４０)で第１の洗浄を行い、第４槽(４１)で第
２の洗浄を行っている。また第３槽(４０)及び第３槽
(４０)の上端内面には、冷却コイル(２０)を設け、凝縮
部(２１)を形成している。

【００５５】このように形成することにより、第１溶剤
による洗浄液、洗浄蒸気を用いた、被洗浄物(４)の高純
度の第１の洗浄を可能とする。

【００５６】また、被洗浄物()の膨潤に付いて、シリコ
ーンラバーをフロン１１３に含浸させて実験を行った。
この実験の１つは、シリコーンラバーのフロン１１３へ
の含浸時間と含浸量との関係である。また、他の１つは
フロン１１３を含浸したシリコーンラバーを完全フッ素
化液体に含浸した場合の、浸漬時間とフロン１１３の除
去量との関係を示すものである。

【００５７】シリコーンラバーのフロン１１３への含浸
時間と含浸量との関係は、図４に示すごときものとな
る。ここで使用したシリコーンラバーは、１個約４０ｍ
ｇのものを用いたが、完全に同一重量のシリコーンラバ
ー片を形成するのが困難なため、個々には多少のばら付
きが生じている。フロン113への含浸時間シリコーンラバー片の重量フロン113の含浸量１分 0.0396g 0.0589g ２分 0.0398g 0.0865g ４分 0.0394g 0.1013g ５分 0.0393g 0.1213g １０分 0.0395g 0.1232g また、フロン１１３の含浸量の測定は、各々の時間フロ
ン１１３液にシリコーンラバー片を含浸させてものをフ
ロン１１３液から取り出し、直ちに密閉ガラス瓶に密閉
収納して測定を行った。

【００５８】フロン１１３を含浸したシリコーンラバー
を完全フッ素化液体に含浸した場合の、浸漬時間とフロ
ン１１３の除去量との関係との関係は、図５の●の表示
で示すごときものとなる。ここで使用したシリコーンラ
バー片は、0.0398gのものを１０分間フロン１１３に含
浸したもので、フロン１１３の含浸量は0.1290gである。完全フッ素化液体への含浸時間フロン113の残量３０秒 0.0571g ６０秒 0.0249g ９０秒 0.0247g １２０秒 0.0237g また上記の実験は、フロン１１３の含浸量が0.1290gの
シリコーンラバー片を、３０秒間完全フッ素化液体に浸
漬し、これを直ちに密閉ガラス容器に密閉してフロン１
１３の残量を測定した。次に、このシリコーンラバー片
を再度フロン１１３液に１０分浸漬し、フロン１１３液
の含浸量を0.1290gとした後、完全フッ素化液体に６０
秒間浸漬することを繰り返したものである。

【００５９】上述のごとく、膨潤したシリコーンラバー
片を完全フッ素化液体に浸漬することにより、極めて短
時間でのフロン１１３の除去が可能となる。またこの除
去は、完全フッ素化液体内に行われるから、フロン１１
３の大気中への拡散は全く無いものである。

【００６０】比較例フロン１１３液を充填した密閉状態の容器内に、重量約
４０ｍｇの複数のシリコーンラバー片を１０分間含浸し
た。この後で、容器を開放してフロン１１３液を抜き取
り、直ちに１個を測定し、他は３０秒、１分、２分、３
分、５分、１０分毎にシリコーンラバー片を取り出し
て、フロン１１３の残量を測定したものが、図５の○で
示す曲線である。フロン113への含浸時間シリコーンラバー片の重量フロン113の残量０分 0.0400g 0.1308g ３０秒 0.0391g 0.1154g １分 0.0392g 0.1222g ２分 0.0392g 0.1284g ３分 0.0392g 0.1250g ５分 0.0393g 0.1152g １０分 0.0397g 0.1135g 以上のごとく、膨潤したシリコーンラバー片は、１０分
が経過しても、フロン１１３の減少は極めて僅かであ
る。そのため、膨潤したシリコーンラバー片の復元には
長時間を要すると共に、大気中へのフロン１１３の拡散
が著しいものとなる。

【００６１】

【発明の効果】本発明は上述のごとく、塩素系有機溶剤
またはフッ素系有機溶剤からなる第１溶剤で第１の洗浄
を行った被洗浄物を、完全フッ素化液体で洗浄すること
により、第２の洗浄を行い、被洗浄物に付着した第１溶
剤を除去した後に、被洗浄物を洗浄槽取り出すことがで
きる。

【００６２】この除去作業は、被洗浄物に、熱風、赤外
線等を加えるものではない。そのため、赤外線のごと
く、溶剤又は被洗浄物を変質させたりすることがない。
また熱風を用いる場合のごとく、気体の強い流動を生じ
て溶剤を大気中に拡散する事がないものである。

【００６３】また、有毒で蒸発潜熱の大きな第１溶剤で
洗浄した被洗浄物を、蒸発潜熱の小さな完全フッ素化液
体の蒸気で蒸気洗浄することにより、被洗浄物を冷却す
る事なく一定の温度を保つことにより、被洗浄物の確実
な乾燥を可能にし、溶剤の大気中への拡散を防止する。

【００６４】また、被洗浄物から除去し完全フッ素化液
体に混合または溶解した第１溶剤は、蒸留、比重差によ
る自然分離、遠心分離等によって容易に回収することが
でき、大気中への拡散を防止すると共に、溶剤消費の少
ない経済的な洗浄作業を可能とする。

【００６５】また、塩素系有機溶剤またはフッ素系有機
溶剤の洗浄によって、被洗浄物が膨潤を生じた場合も、
この被洗浄物を、完全フッ素化液体に浸漬洗浄または蒸
気洗浄することにより、数十秒の極めて短時間で被洗浄
物から有機溶剤を除去し、元の形状に戻すことができ
る。そのため、膨潤した被洗浄物の復元を極めて迅速に
行うことができると共に、有機溶剤は完全フッ素化液体
中に流出するから、有機溶剤は確実に回収可能で、大気
中への拡散を生じることがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例の断面図。

【図２】異なる実施例の断面図。

【図３】更に異なる実施例の断面図。

【図４】シリコーンラバーのフロン113への含浸時間と
含浸量との関係を示すグラフ。

【図５】フロン１１３を含浸したシリコーンラバーを完
全フッ素化液体に浸漬した場合を●で、フロン１１３を
含浸したシリコーンラバーを大気中に放置した場合を○
で示した、浸漬時間とフロン１１３の除去量との関係と
の関係を示すグラフ。

【符号の説明】

１洗浄槽３第１溶剤４被洗浄物１０完全フッ素化液体

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】塩素系有機溶剤またはフッ素系有機溶剤
からなる第１溶剤で被洗浄物の第１洗浄を行った後、第
１溶剤の付着した被洗浄物を完全フッ素化液体で第２洗
浄を行い、この第１、第２の洗浄を外気と接触すること
のない同一雰囲気内で行い、被洗浄物から第１溶剤を除
去した後、被洗浄物を洗浄槽外に取り出すことを特徴と
する被洗浄物の洗浄方法。
【請求項２】第１溶剤は、塩素系有機溶剤として、1,
1,1トリクロルエタン、トリクロルエチレン、パークロ
ロエチレン、メチレンクロライド、フッ素系有機溶剤と
して、フロン１１３、ＣＨ₃・ＣＣＩ₂Ｆ、ＨＣＦＣ123、
ＨＣＦＣ141b、ＨＣＦＣ225ca、ＨＣＦＣ225cbであるこ
とを特徴とする請求項１記載の被洗浄物の洗浄方法。
【請求項３】第１洗浄は、液洗浄であることを特徴と
する請求項１記載の被洗浄物の洗浄方法。
【請求項４】第１洗浄は、蒸気洗浄であることを特徴
とする請求項１記載の被洗浄物の洗浄方法。
【請求項５】第１洗浄は、液洗浄後に蒸気洗浄を行う
ものであることを特徴とする請求項１記載の被洗浄物の
洗浄方法。
【請求項６】第２洗浄方法は、液洗浄であることを特
徴とする請求項１記載の被洗浄物の洗浄方法。
【請求項７】第２洗浄は、蒸気洗浄であることを特徴
とする請求項１記載の被洗浄物の洗浄方法。
【請求項８】第２洗浄は、液洗浄後に蒸気洗浄を行う
ものであることを特徴とする請求項１記載の被洗浄物の
洗浄方法。
【請求項９】第１溶剤は、第２洗浄を行う完全フッ素
化液体よりも蒸発潜熱が大きいことを特徴とする請求項
１記載の被洗浄物の洗浄方法。
【請求項１０】完全フッ素化液体は、沸点に於ける蒸
発潜熱が15■20cal/gのものであることを特徴とする請
求項１、９記載の被洗浄物の乾燥方法。