JPH08506615A

JPH08506615A - 多重溶剤クリーニング系

Info

Publication number: JPH08506615A
Application number: JP7500986A
Authority: JP
Inventors: ナレワジェク，デービッド; バス，ラジャト・サブーラ; ウィルソン，デービッド・ポール; ヴァン・デル・プイ，ミヒャエル; スワン，エレン・ルイーズ; ログスドン，ピーター・ブライアン; ズィホウスキー，ゲイリー・ジョン; インガム，ヘップバーン; ハーニッシュ，ダニエル・フランクリン; ロジャース，ジョエル・エドワード
Original assignee: アライドシグナル・インコーポレーテッド
Priority date: 1993-06-01
Filing date: 1994-05-27
Publication date: 1996-07-16
Also published as: AU7047094A; KR960702872A; EP0701634A1; CN1127017A; WO1994028196A1; CA2163351A1; AU693453B2

Abstract

(57)【要約】非水性クリーニング方法は、例えば印刷回路板のような汚染された物品から汚れ又は表面汚染を除去するために有機溶剤を用い、汚染された物品は該有機クリーニング溶剤を含むクリーニングタンクのサンプ区画中への浸漬によって洗浄される。有機溶剤は好ましくは炭化水素溶剤である。今や有機クリーニング溶剤で被覆された、クリーニング済み物品を次に、有機クリーニング溶剤に対して親和性を有するフルオロカーボンベースすすぎ洗い溶剤を含むすすぎ洗いサンプ中に入れる。このようにして有機溶剤を除去した物品を次に、通常の溶剤蒸気脱脂溶剤プロセスにおけるような廃水を生ずることなく、乾燥させる。

Description

【発明の詳細な説明】多重溶剤クリーニング系本出願は、出願第８０１，１９９号（１９９１年１２月２日出願）の一部継続出願である。技術的分野本発明は、汚染された物品をクリーニングする方法と装置及びその装置に関し、さらに詳しくは、部品クリーニングのための有機溶剤と非引火性フルオロカーボン溶剤とを用いる非水性クリーニング系における部品の脱フラックス（deflux ing）又は脱脂に関する。背景技術溶剤蒸気相脱脂及び脱フラックスは、汚れた基体（例えば、印刷回路板、又は金属、ガラス、セラミック、プラスチック若しくはエラストマーの二次加工部品若しくは複合体）を沸騰する非引火性液体（例えば、クロロカーボン又はクロロフルオロカーボン又は混合物）中に浸漬し、次にこの部品を第２タンク若しくはクリーニング帯において第１クリーニング帯において用いたものと同じクロロカーボン若しくはクロロフルオロカーボンであるクリーニング溶剤による浸漬又は留出物噴霧によってすすぎ洗いするプロセスである。次に、冷却した部品を凝縮する蒸気（condensing vapor）中に温度が平衡に達するまで維持することによって、部品を乾燥させる。多様な種類の部品の溶剤クリーニングは一般にバッチ式、ホイスト補助（hois t assisted）バッチ式、コンベヤーバッチ式、又はイン−ライン型コンベヤー式脱脂器（degreaser）及び脱フラックス器（defluxer）装置中で行われる。このようなイン−ラインコンベヤー式脱脂器及び脱フラックス器装置とは、本発明の譲り受け人に共通に譲渡された米国特許第５，００７，１７９号（名称：“冷風ロック蒸気シール（Cold Air Lock Vapor Seal）”に開示されている。部品を例えば、これも共通に譲渡された米国特許出願第０７／５８７，８９３号（１９９０年９月２５日出願）に開示されるように、オープントップ（open top）脱フラックス器又は脱脂器装置においてクリーニングすることもできる。両方の種類の装置において、装置の入口端部及び／又は出口端部は一般に周囲環境と、装置内の溶剤の両方と開放連絡する。対流又は拡散による装置からの溶剤の損失を最小にするために、当該分野で一般に実施されることは、Ｒａｎｄへの米国特許第４，２６１，１１１号に開示されるような、脱脂器／脱フラックス器タンク内の高温帯又は周囲帯（ambient zone）領域上に凝縮蒸気ブランケットを生じる水冷式又は冷媒冷却式コイルを用いることである。それ故、上記溶剤蒸気相脱脂プロセスでは、単一種類の有機クロロカーボン又はクロロフルオロカーボン（ＣＦＣ）流体を用いて、クリーニング、すすぎ洗い及び乾燥工程を実施することが知られている。ＣＦＣ−１１３とＦｒｅｏｎ型溶剤との使用は今までに特にポピュラーであった。しかし、環境中へのその蒸気拡散は最近の科学研究において、好ましくない地球上成層圏オゾン枯渇の多くの可能な原因の１つであると推論されており、このようなクロロフルオロカーボンの生産と使用は最近規制されており、９０年代の終わりまでには（by theend of ｔhis decade）合衆国において段階的に排除される。環境上の関心に応じて、ＣＦＣベース蒸気相脱脂及び脱フラックスプロセスのより環境的に受容される代替え物を提供するために、この数年間にヒドロクロロフルオロカーボン（ＨＣＦＣ）ベース溶剤が開発されている。これらの物質は種々なクリーニング用途のために優れたＣＦＣ代替え物であると判明しているが、これらはこれらが代替えするＣＦＣよりは非常に低いとは言え、まだ、小さい、限られたオゾン枯渇力を有するので、ＣＦＣの一時的な（interim）代替え物であると見なされる。このため、これらのＨＣＦＣ溶剤も近い将来において地球上から段階的に除去するように提案されている。塩素、臭素又はヨウ素原子を含まない有機溶剤は成層圏オゾン枯渇の一因にはならないと、一般に考えられている。しかし、塩素、臭素又はヨウ素原子を含まない有機化学製品（例えば、炭化水素、アルコール、エステル、エーテル、ケトン等）は通常、好ましくない引火性又は反応性を含む。過フッ素化炭化水素及びヒドロフルオロカーボンは多くの好ましい溶剤特性：オゾン枯渇力ゼロ；安定性、不反応性かつプラスチックとの高い相容性；良好な排水力（water displacement potential）；一般に非毒性；及び不活性を有し、蒸気相溶剤クリーニング装置に理想的に適する。しかし、パーフルオロカーボンは多くの一般的な有機汚れ及び無機汚れ（例えば、フラックス）に対して非常に不良な溶剤であると判明している。ヒドロフルオロカーボンは分子上のフッ素含量の量が減少するので、パーフルオロカーボンに比べて改良された（但し、まだ限定された）クリーニング力を提供するが、低フッ素含量炭化水素はそれらの炭化水素類似体と同等な、好ましくない引火性を示し始める可能性がある。ヨーロッパ特許公報第４３１，４５８号（１９９１年６月１２日発行）は、クリーニング用組成物として有用である、式：Ｃ_nＦ_mＨ_2n+2m［式中、４≦ｎ≦ ６及び６≦ｍ≦１２］で示される脂肪族炭化水素を開示する。この参考文献は、脂肪族ヒドロフルオカーボンが汚れた部品からのフラックス、脂肪と油、及びダストの除去における活性成分であることを開示する。この参考文献は、フラックスを溶解するための溶解性を高めるために、炭化水素、アルコール、エステル及びケトンから選択した溶剤を０．５〜３０重量％の量で脂肪族ヒドロフルオロカーボンに加えることができることを教えている。例えば水性クリーニングのような、他の種類のクリーニング方法も存在する。水性クリーニングは一般に、洗剤又は界面活性剤の水溶液中で基体又は部品をクリーニングした後に、精製水によって多重すすぎ洗いすることを含む。この部品を次に空気中での時間のかかる蒸発によって又はエネルギー集約的な加熱乾燥装置によって乾燥させる。この方法は乾燥のための高いエネルギー費用、地下水に下水として流す（sewering）前に州及び地方の当局によって要求される水性廃水浄化を満たすための付加的な設備投資及び操作費用負担のために必ずしも好ましいとは限らない。他のクリーニング方法、半水性クリーニングは、部品からクリーニングされる油、ワックス及び脂に対して高い親和性を有する、例えばテルペン、エステル又は石油留出物をベースとする炭化水素溶剤中で、界面活性剤を用いて又は用いないで、基体をクリーニングすることから成る。クリーニングした基体から高沸点炭化水素溶剤を精製水を用いる多数回のすすぎ洗い工程によってすすぎ落とす。炭化水素溶剤をクリーニングサンプ（sump）に段階的に分離して戻し、水性流出液は地下水に下水として流す前に処理しなければならない。その結果、上記水性クリーニング方法と同様に、乾燥エネルギー及び廃水流出液の処理に関連した高い費用が明らかである。他の欠点は、炭化水素溶剤が通常、引火点を有するので、爆発を避けるために、これを例えば窒素のような、非引火性の圧縮ガスで細心に処理するか又は被覆しなければならないことである。窒素ガスは凝縮帯に含まれるフルオロカーボンの濃厚な蒸気よりも非常に不安定である。さらに、クリーニングすべき基体が炭化水素溶剤と相容性であるような、多くの用途では、一部のプラスチック又は金属が水性すすぎ洗い溶剤と非相容性であり、基体の吸水又は錆びを生じる。発明の開示したがって、環境に安全なやり方で部品を脱脂又は脱フラックスする非水性クリーニング系を提供することが、本発明の１つの目的である。本発明の他の目的は、すすぎ洗いのために水を用いず、水性廃水浄化を必要とせず、物質が水と非相容性である場合に非水性クリーニング系を用いることができるように、非水性クリーニング系を提供することである。さらに他の目的は、すすぎ洗い流体の時間のかかる、空気中での蒸発又はエネルギー集約的な加熱乾燥方法による乾燥の必要性を避ける非水性クリーニング系を提供することである。さらに他の目的は、部品をクリーニングするための有機液体クリーニング剤と、部品から有機クリーニング剤をすすぎ落とすための、有機洗剤に対して少なくとも軽度な溶解性を有するすすぎ剤（rinsing agent）とを用い、すすぎ剤が少量のエネルギーによって部品から乾燥することができる非水性クリーニング系を提供することである。本発明によって、部品から残留汚れ又は表面汚染を除去するための非水性クリーニング方法は、前記汚染を実質的に除去するために充分な溶解性を有する有機クリーニング流体と部品を接触させる工程と、次に部品を有機流体から取り出して、基体から同流体を除去するために該有機クリーニング剤に対して少なくともある程度の溶解性を有するすすぎ剤中ですすぎ洗いする工程を含む。基体に対して、すすぎ剤中に浸漬又はすすぎ剤を噴霧又はすすぎ剤の蒸気に暴露又はこれらの組合せを実施する。蒸気から取り出すときに、部品は本質的に清浄であり、乾燥している。好ましくは、本発明の非水性クリーニング系は２タンククリーニングプロセスを用い、第１タンクは有機溶剤を含み、第２タンクはすすぎ剤を含む。クリーニングすべき部品又は基体をクリーニングタンクからすすぎ洗いタンクに周知のコンベヤー又はホイスト手段を用いて運搬することができる。タンクは周知のイン−ラインコンベヤー化脱脂／脱フラックス装置の一部、分離オープントップ脱フラックスタンク、又はクリーニング及びすすぎ洗いタンク若しくはサンプを含むように改良されたオープントップ脱フラックスタンクであることができる。本発明の他の態様によると、部品から残留汚れ又は表面汚染を除去するための非水性クリーニング方法は、部品から残留汚染を除去するために充分な溶解性を有する有機流体中に基体又は部品を導入する工程を含む。次に、部品を第１有機流体溶剤が示す溶解性よりも汚れ又は表面汚染に対して軽度な溶解性を有するが、第１溶剤に対しては優れた溶解特性を有する第２有機溶剤と接触させることによってすすぎ洗いする。第２溶剤（すすぎ剤）は好ましくは、炭素原子２個以上から成る有機バックボーンに付着した少なくとも１個のフッ素原子を含み、やはりバックボーンに付着した、例えば酸素、硫黄、窒素、リン、水素又は他のハロゲン原子のような、他の原子も任意に含む、溶剤のフルオロカーボン種類から選択することができ；これよりは好ましくないが、すすぎ剤を例えばアルコール、エーテル、エステル、ケトン、炭化水素、及び他の非水性媒質のような、他の種類の溶剤から選択することもできる。次に、部品を第１有機クリーニング溶剤の引火性又は、引火性であるならば、第２すすぎ洗い溶剤の引火性をも軽減する又は弱める不活性蒸気ブランケット下に維持することによって乾燥させることができる、この場合に、このような引火性遮蔽蒸気ブランケットは窒素、二酸化炭素、パーフルオロカーボン、ヒドロフルオロカーボン若しくはヒドロクロロカーボンの少なくとも１種によって形成することができる。１実施態様では、炭化水素溶剤とフルオロカーボン溶剤との溶液を任意に脱脂器中で可溶化剤としての界面活性剤と一緒に混合する系においてクリーニングを実施することができる。より揮発性であるフルオロカーボンは引火性抑制ブランケットを形成する。同じフルオロカーボンを初期浸漬又は噴霧液体すすぎ洗いのための隣接すすぎ洗いサンプに用いることができ、この後に蒸気中での最終すすぎ洗いを実施する。最も簡単な実施態様では、炭化水素溶剤と低沸点フルオロカーボンとの溶液を任意に可溶化剤としての界面活性剤と一緒に混合する系においてクリーニングを実施することができる。より揮発性であるフルオロカーボンは引火性抑制ブランケットを形成し、クリーニング性混合物中に浸漬した汚染部品を凝縮性フルオロカーボン蒸気中に充分に長い時間維持する場合には、部品を蒸気相から清浄な状態で取り出して、乾燥させることができる。本明細書で用いるかぎり、“炭化水素溶剤”なる用語は、少なくとも１個の水素原子と少なくとも１個の炭素原子とを有する溶剤を意味する。有機クリーニング溶剤はエステル部分に少なくとも１個の炭素原子を有する直鎖又は分枝鎖アルキル又はアルカノールモノカルボン酸エステル又はジカルボン酸エステルから選択することができ、このような溶剤は最も好ましくは２００° Ｆ（９３℃）を越える引火点を有し、これより好ましくはないが、１５０°Ｆ（６６℃）を越える引火点を有する。有用なエステルには、メチルエステルと、アジピン酸、コハク酸及びグルタル酸のジメチルエステル混合物とを含む。有機流体は環内又は環外に、少なくとも１個のオレフィン結合を含む、線状又は環状炭化水素から選択することもできる。炭化水素クリーニング剤はピネン及び／又はカンフェンを含むか、又はテルピネン、リモネン、テルピノレン、テルピネオール、リナレオール及びテルペン類の他の関連要素を含むことができる。有機クリーニング溶剤はＣ₁₀−Ｃ₃₀化学種を含む線状、分枝又は環状炭化水素から成ることもできる。有機クリーニング流体は、Ｒ₁〜Ｒ₁₂基によって置換され、１〜２個の水素原子又は炭素数１〜６のアルキル基又は両方が置換基を構成することができるオレフィン部分を含む炭化水素、すなわちを含むこともできる。有用な例は１，５−ジメチルシクロオクタジエンを含む。この有機クリーニング流体は線状構造（１）：Ｒ（ＣＨ₂）_nＯＨ（１）Ｒ＝Ｈ、ヒドロキシル［式中、ｎは１〜２０から選択される］又は分枝構造（２）：［式中、ｎは１〜２０から選択される］又は環状構造（３）：［式中、Ｒ₁〜Ｒ₉はアルキル基又は水素基又はこれらの混合物として定義され、ｎは０〜６として定義される］によって定義される非環状又は環状モノオール又はジオールから成ることもできる。有用なジオールはシクロヘキサノール及びポリエチレングリコール（ＭＷ２００）（ポリエーテルジオール）を含む。有機流体は線状、分枝又は環状モノケトン又はポリケトン、例えば［式中、ｎは０〜６として定義され、Ｒ₁〜Ｒ₁₀はアルキル又は水素基又はこれらの混合物として定義される］から成ることができる。有用な環状ケトンはシクロヘキサノンを含む。本発明に適用可能な、他の有機クリーニング流体は：（ａ）式：Ｒ−ＣＮ［式中、Ｒはアルキル基（メチル、エチル等）、フェニル基、若しくはアルキル置換フェニル基である］で示されるアルキル又はアリールニトリル；（ｂ）式：で示されるアルキルベンゼン；（ｃ）例えば、式：で示されるアルキルエステル；（ｄ）式：［式中、Ｒ₁はＨ、アルキル又はヒドロキシル基によって定義される化合物の種類から選択され、Ｒ₂はＨ又はアルキル又はフルオロアルキル基によって定義される化合物の種類から選択される］で示されるポリエーテルアルカノール；（ｅ）式：［式中、Ｒ₁〜Ｒ₆は水素、アルキル、フルオロアルキル又はハロゲン基及びこれらの組合せ（例えば、トリフルオロベンゼン）から選択される］から構成することもできる。このような有機クリーニング溶剤は上記全ての有機クリーニング溶剤と、例えば、任意に炭素原子に付着した、置換した酸素、硫黄、窒素、リン若しくは他のハロゲン原子を有する線状、分枝若しくは環状のパーフルオロカーボン若しくはヒドロフルオロカーボン若しくはヒドロクロロフルオロカーボンのようなフルオロカーボンと、任意に可溶化剤としての界面活性剤との混合物を含むこともできる。フルオロカーボンすすぎ洗い溶剤は少なくとも２５℃〜１２０℃の沸点を有する線状、分枝若しくは環状の構造から成るヒドロフルオロカーボン若しくはヒドロクロロフルオロカーボン化合物又はこれらの混合物の種類から選択することができ、このようなフルオロカーボンは他のハロゲンと酸素、硫黄、窒素及びリン原子から成る群から選択される他の官能基によって任意に置換することができる。好ましいヒドロフルオロカーボン化合物又はヒドロクロロフルオロカーボンは、少なくとも２モル％の炭化水素クリーニング溶剤がヒドロフルオロカーボン流体と相分離なしに混和可能であるように、少なくとも２５℃〜１２０℃の沸点範囲内の有機クリーニング溶剤に対してある程度の混和性を有する。ヒドロフルオロカーボンは好ましくは３〜８個の炭素原子、水素及びフッ素を化合物中に含む。沸点は好ましくは２５℃〜１２０℃であり、少なくとも６０重量％のフッ素を含む。この化合物は好ましくは直鎖又は分枝鎖を有する。本発明は部品から残留汚れ又は表面汚染をクリーニング又は除去するための組成物を提供する。この組成物は炭化水素溶剤とヒドロフルオロカーボンとの非共沸混合物を含む。炭化水素成分は組成物全体に基づいて少なくとも２重量％の量で存在し、部品から残留汚れ又は表面汚染を実質的に除去することができる。ヒドロフルオロカーボン成分は３〜７個の炭素原子と少なくとも６０重量％のフッ素とを有する直鎖又は分枝鎖構造を有し、部品上に残留する炭化水素成分を実質的に除去することができるが、部品から残留汚れ又は表面汚染を実質的に除去することは関しては炭化水素成分よりも劣る。脂肪族炭化水素がフラックス、脂肪と油、及びダストを除去するための“活性成分”であるヨーロッパ特許公報第４３１，４５８号（１９９１年６月１２日発行）のクリーニング組成物とは対照的に、本発明のクリーニング組成物の炭化水素成分は部品から残留汚れ又は表面汚染を実質的に除去することができる。本発明のクリーニング組成物のヒドロフルオロカーボン成分は炭化水素成分に対して優れた溶解特性を有するが、汚れ又は表面汚染に対しては炭化水素成分よりも劣った溶解特性を有する。引火性抑制付与を適当な蒸気ブランケット形成化学種の使用によって維持することができる。すすぎ洗い溶剤を他の線状、分枝若しくは環状のアルキル若しくはアリールアルコール、エステル、ニトロ−、ニトロシクロ−若しくはニトリル化合物、エーテル、ケトン、炭化水素及び他の非水性媒質から成る化合物又は混合物から選択することもできる。本発明のさらに他の目的及び利点は下記の詳細な説明から当業者に容易に明らかになるであろう、下記の詳細な説明では、本発明の好ましい実施態様のみを本発明の実施を考慮した最良の形式を簡単に説明することによって示し、記載する。認識されるように、本発明は他の異なる実施態様も可能であり、本発明の幾らかの詳細を種々な明白な点に関して、全て本発明から逸脱せずに、改良することができる。したがって、図面と説明とを本質的に例示と見なすべきであり、限定と見なすべきではない。図面の簡単な説明図１は本発明の多重溶剤非水性クリーニング系に使用可能である、脱脂又は脱フラックス装置の部分概略図であり；図２は本発明に使用可能である装置の代替え実施態様を示す概略図であり；図３は本発明に用いるための装置の代替え実施態様を示す概略図であり；図４は本発明の系を実施するためのさらに他の代替え装置の部分概略図であり；図５は本発明に用いるための装置の他の実施態様であり；図６は本発明に用いるための装置の他の実施態様である。発明を実施するための最良の形式本発明は、その最も基本的な形式では、半水性クリーニング方法と溶剤蒸気脱脂溶剤方法との最も魅力的な特徴が組合わされた、新規な非水性クリーニング方法である。詳しくは、クリーニングすべき基体又は部品（例えば、ロジンベースフラックスで被覆した印刷回路板、又は石油、合成若しくは半合成ベース油若しくは脂肪を塗布した金属若しくは非金属部品）を最初に、フルオロカーボンベース溶剤よりも基体上の汚れ又は汚染物に対して大きい親和性を有する傾向がある温かい又は周囲温度の炭化水素溶剤中でクリーニングする。部品を次に、好ましくは炭化水素溶剤よりも低い沸点を有する、非引火性フルオロカーボン溶剤を含む第２タンク又はクリーニング領域において噴霧又は浸漬によってすすぎ洗いする。フルオロカーボン溶剤は炭化水素溶剤に対して少なくとも軽度な溶解性を有するので、部品の表面から炭化水素溶剤をすすぎ落とす。次に、フルオロカーボン溶剤を部品表面から周知のやり方で蒸発によって乾燥させる。この方法の利益は、乾燥費用が最小化され、廃水処理費用と装置及び設備投資が実際に除去され、操作の安全性が改良されることである。さらに、すすぎ洗い工程及び乾燥工程におけるヒドロフルオロカーボン又はパーフルオロカーボン溶剤の使用によって、環境上の利益がクロロカーボン又はクロロフルオロカーボン溶剤系に比べて非常に改良される。有機クリーニング剤は好ましくは、脂肪族部分に少なくとも６炭素原子を有し、エステル部分に少なくとも１炭素原子を有する線状又は分枝アルキル若しくはアルカノールモノカルボン酸エステルから選択される炭化水素である。有機炭化水素流体は環の内部又は外部に、少なくとも１個のオレフィン結合を含む、線状又は環状炭化水素から選択することもできる。炭化水素がピネン又はカンフェンであることもできる。好ましいヒドロフルオロカーボンは実験式：Ｃ₃Ｈ_nＦ_8-n ［式中、１≦ｎ≦４］で示される化合物を含む。炭素数３ヒドロフルオロカーボンはテトラフルオロプロパン（ＨＦＣ−２５４）、ペンタフルオロプロパン（ＨＦＣ−２４５）、ヘキサフルオロプロパン（ＨＦＣ−２３６）及びヘプタフルオロプロパン（ＨＦＣ− ２２７）を含む。好ましい炭素数３ヒドロフルオロカーボンはテトラフルオロプロパン及びペンタフルオロプロパンである。テトラフルオロプロパンは下記異性体を含む：ペンタフルオロプロパンは下記異性体を含む：好ましいヒドロフルオロカーボンは実験式：Ｃ₄Ｈ_nＦ_10-n ［式中、１≦ｎ≦５］で示される化合物を含む。炭素数４ヒドロフルオロカーボンはペンタフルオロブタン（ＨＦＣ−３６５）、ヘキサフルオロブタン（ＨＦＣ−３５６）、ヘプタフルオロブタン（ＨＦＣ− ３４７）、オクタフルオロブタン（ＨＦＣ−３３８）及びノナフルオロブタン（ＨＦＣ−３２９）を含む。ペンタフルオロブタンは下記異性体を含む。ヘキサフルオロブタンは下記異性体を含む：ヘプタフルオロブタンは下記異性体を含む：オクタフルオロブタンは下記異性体を含む：ノナフルオロブタンは下記異性体を含む：好ましいヒドロフルオロカーボンは実験式：Ｃ₅Ｈ_nＦ_12-n ［式中、１≦ｎ≦６］で示される線状又は分枝化合物を含む。炭素数５ヒドロフルオロカーボンはヘキサフルオロペンタン（ＨＦＣ−４７６）、ヘプタフルオロペンタン（ＨＦＣ−４６７）、オクタフルオロペンタン（ＨＦＣ−４５８）、ノナフルオロペンタン（ＨＦＣ−４４９）、デカフルオロペンタン（ＨＦＣ−４３−１０）及びウンデカフルオロペンタン（ＨＦＣ−４２−１１）を含む。ヘプタフルオロペンタンは下記異性体を含む。オクタフルオロペンタンは下記異性体を含む：最も好ましいオクタフルオロペンタンは、ＨＦＣ−４５８ｍｆｃｆとして当該技術分野において周知のＣＦ₃ＣＨ₂ＣＦ₂ＣＨ₂ＣＦ₃である。ノナフルオロペンタンは下記異性体を含む。デカフルオロペンタンは下記異性体を含む：ウンデカフルオロペンタンは下記異性体を含む：好ましいヒドロフルオロカーボンは下記実験式：Ｃ₆Ｈ_nＦ_14-n ［式中、１≦ｎ≦７］で示される線状又は分枝化合物を含む。炭素数６ヒドロフルオロカーボンはヘプタフルオロヘキサン（ＨＦＣ−５８７）、オクタフルオロヘキサン（ＨＦＣ−５７８）、ノナフルオロヘキサン（ＨＦＣ−５６９）、デカフルオロペンタン（ＨＦＣ−５５−１０）、ウンデカフルオロヘキサン（ＨＦＣ−５４−１１）、ドデカフルオロヘキサン（ＨＦＣ−５３−１２）及びトリデカフルオロヘキサン（ＨＦＣ−５２−１３）を含む。ヘプタフルオロヘキサンは下記異性体を含む：オクタフルオロヘキサンは下記異性体を含む：ノナフルオロヘキサンは下記異性体を含む：デカフルオロペンタンは下記異性体を含む：ウンデカフルオロペンタンは下記異性体を含む：好ましいウンデカフルオロヘキサンは、ＨＦＣ−５４−１１ｍｍｚｆとして当該技術分野において周知の（ＣＦ₃）₂ＣＨＣＨ₂ＣＦ₂ＣＦ₃である。ドデカフルオロヘキサンは下記異性体を含む：好ましいドデカフルオロヘキサンはＨＦＣ−５３−１２ｍｍｚｅとして当該技術分野において周知の（ＣＦ₃）₂ＣＨＣＨＣＦ₂ＣＦ₃である。ドデカフルオロヘキサンは下記異性体を含む：他の好ましいヒドロフルオロカーボンは下記実験式：Ｃ₇Ｈ_nＦ_16-n ［式中、１≦ｎ≦８］で示される線状又は分枝化合物を含む。この種類の典型的な例は下記の通りである：他の好ましいヒドロフルオロカーボンは下記実験式：Ｃ₈Ｈ_nＦ_18-n ［式中、１≦ｎ≦９］で示される線状又は分枝化合物を含む。この種類の典型的な例は下記の通りである：ヒドロフルオロカーボン成分はヒドロフルオロカーボンと他の成分との共沸混合物であることもできる、但し、このような共沸混合物が部品上に残留する炭化水素成分を実質的に除去することができ、部品からの残留汚れ又は表面汚染の実質的な除去に関しては炭化水素成分よりも劣ることを条件とする。好ましい共沸混合物の例はＣＦ₃ＣＨ₂ＣＦ₂ＣＨ₂ＣＦ₃と、下記成分：メタノール、エタノール、イソプロパノール、ｎ−プロパノール、ｔ−ブタノール、イソブタノール、ｎ−ブタノール、ｔ−アミルアルコール、トリクロロエチレン及びパークロロエチレンのいずれかとを含む。図１は、本発明の方法に用いることができる装置の１形式の部分概略図である。この図において、容器（１０）は３つのサンプ（クリーニングサンプ１５、洗浄サンプ２０、すすぎ洗いサンプ２５）に分割される。クリーニング区画１５は１つ以上の壁１７、１９によって第２区画２０から分離され、第２区画２０はフルオロカーボン流体２２を含み、これはヒーター３４によってその沸点に加熱されて、容器１０に共通したサンプ１５、２０、２５の全ての上に非引火性凝縮性蒸気ブランケット３０又は引火性抑制ブランケットを形成する。区画２０は、汚れ及び有機クリーニング剤の大部分が区画２０に含まれるフルオロカーボン流体中への浸漬によって又は純粋なフルオロカーボン凝縮物の噴霧流１８中に、汚染した液体が下方のサンプ中に滴加するように、入れることによって、基体から洗浄されることができる領域をも与える。クリーニング区画１５はクリーニング用途のために調整した有機クリーニング溶剤２４の本体を含むのに適し、有機クリーニング溶剤２４は上記と、重質クリーニングに関する以下の実施例とにおいて述べるように、有機炭化水素であることができ、あまり強度ではない洗浄用途に関しては、例えばフルオロカーボンのような緩和な（milder）溶剤と有機炭化水素との混合物であることができる（この場合に、基体との相容性がより重要な考察である）。洗浄区画２０はクリーニング溶剤２４に対して少なくとも軽度な溶解性を有するすすぎ剤２２を含むのに適する。本明細書を通して用いるかぎり、炭化水素クリーニング溶剤に対するすすぎ洗い用フルオロカーボン溶剤の“軽度な溶解性”とはフルオロカーボン溶剤中に≧２モル％の炭化水素が溶解性であると定義される。適当なすすぎ剤２２と本発明に好ましいすすぎ剤は上記と以下の実施例において述べるようなフルオロカーボンベース溶剤である。任意に、区画２０よりも低温である第２すすぎ洗い区画２５を第１すすぎ洗い区画２０から下流に設けることができ、この区画もフルオロカーボン溶剤すすぎ剤を含むのに適する。区画２５の目的は、基体に最終浸漬すすぎ洗いを施して、汚れ又はクリーニング溶剤の微量残渣を除去し、さらに蒸気帯３０において純粋な凝縮蒸気によって部品をすすぎ洗いするように基体を冷却することである。蒸気帯３０は各区画１５、２０、２５の上に形成され、技術上周知の種類の冷却コイル３２（例えば、Ｒａｎｄへの米国特許第４，２６１，１１１号に開示）は蒸気帯３２の最上限を画定して、凝縮物を区画２５に戻すために、蒸気を凝縮する。炭化水素クリーニング溶剤２４とフルオロカーボンすすぎ洗い流体２２とはそれらのそれぞれの相互溶解性に関して、例えば相分離のような、何らかの物理的分離手段を用いて、汚れの蓄積を除去し、かつ清浄な有機溶剤をその最初のサンプ（originating sump）に再循環して戻すように選択することができることに注目すべきである。それ故、図１に関して、Ｕ管相分離器（図示せず）又はせき（ weir）又はスキマー（skimmer）を区画２０と組合せて用いて、フルオロカーボンの頂部に浮遊する凝縮炭化水素を分離又は除去することができることに注目すべきであり、この分離装置（図示せず）は過剰な炭化水素流体がすすぎ洗いタンク２０から流出してクリーニングタンク１５に戻るように配置することができる。図１の容器１０はオープントップ式脱フラックス器又は脱脂器として示す。しかし、容器１０がその概略形において、コンベヤー手段（図示せず）を用いて、部品をクリーニングサンプ１５からすすぎ洗いサンプ２０と２５に連続的に運搬することができるイン−ライン式脱フラックス器又は脱脂器を特徴づけることもできる。図２では、クリーニングタンク１５中の有機クリーニング流体に任意にフルオロカーボン型溶剤を混合することができる。この場合に、フルオロカーボンをボイルオフさせる（boil off）ために、充分な温度にクリーニング流体を加温する、この場合にフルオロカーボンの沸点は有機炭化水素流体の沸点よりも少なくとも１０℃低くなければならない。この混合物をコイル３３によって加熱して、炭化水素を直接覆う、生ずる蒸気帯３３が爆発の可能性を最小にするために本質的にフルオロカーボンベース非引火性蒸気帯又は引火性抑制蒸気帯であるようにする。クリーニング流体混合物は有機炭化水素とフルオロカーボン溶剤との相均質性を保証するために界面活性剤添加剤を必要とすることもある。ボイルオフしたフルオロカーボンを区画１５内で、蒸気凝縮物をこの区画に戻すことによって及び／又はすすぎ洗い区画２０、２５から流体をこのサンプへ、体積又はレベル感知トランスデューサー（図示せず）によって制御して汲み出すことによって一定濃度に維持する。図１のこの変更態様では、沸騰するすすぎ洗いサンプ２０は必要ないか、又は区画１５と区画２５との間の中間温度において純粋に第２すすぎ洗いサンプとして機能することができる。サンプ２０がフルオロカーボン蒸気を供給して容器１０の非引火性ブランケットを形成する、三サンプ形式（option）では、サンプ２０を加熱コイル３４によって加熱することができ、加熱コイル３３は必要ない。サンプ１５がフルオロカーボン蒸気を供給して、容器１０の非引火性ブランケット３０を形成する二サンプ形式では、加熱コイル３３が好ましく、加熱コイル３４は不要である。サンプ１５がフルオロカーボン蒸気を供給して、容器１０の非引火性ブランケット３０を形成する二サンプ形式では、サンプ２０は必要なく、清浄化基体を最終の純粋凝縮物すすぎ洗いのために蒸気凝縮帯３０中に入れる前に、サンプ２５が低温すすぎ洗い浸漬を提供する。図３では、すすぎ洗いサンプ２０がフルオロカーボンベースすすぎ洗い溶剤と炭化水素ベースクリーニング流体の飽和溶液を含む。流体は、炭化水素相がフルオロカーボン中で低濃度（１０モル％未満）で分離して、より濃厚なフルオロカーボンの上部に浮遊して、クリーニングサンプ１５中にカスケード効果で戻るように選択する。次に、すすぎ洗いサンプ２５ａ又は２５ｂも純粋なすすぎ洗い溶剤をサンプ２０中にカスケードして、そのレベルを維持し、さらに分離した有機層を沸騰サンプ（boil sump）１５方向に前進させるフロースキミング（flow sk imming）作用を指向的に生じることができる。図４では、沸騰サンプ１５は層状クリーニング帯１５ａと１５ｂを形成するほど充分な不混和性を有する、炭化水素溶剤とフルオロカーボンベース溶剤の両方を含む。この配置の利点は、容器１０上に非引火性蒸気ブランケットを形成する加熱コイル３３をこの場合にはフルオロカーボン富化層中に浸漬することであり、これはサンプ中の液体がその予定レベルの下方に滴下する場合の火災の可能性を軽減する。さらに、この場合には、沸騰するフルオロカーボン液体が上部のあまり濃厚でない有機炭化水素相に撹拌作用を与えて、クリーニング性能を補助する。図３におけるように、フルオロカーボンすすぎ洗い溶剤と炭化水素クリーニング溶剤とをそれらのそれぞれのサンプにカスケードするか又は戻し入れて、サンプ液体量の維持を保証することができる。図５では、炭化水素クリーニング帯１５をすすぎ洗い帯２０、２５から、分離した構造１１と１２内にそれそれを設けることによって、分離することができる。この形態は例えば図５の容器１２によって代表されるような、慣習的な溶剤蒸気脱脂又は脱フラックスバッチ式装置を本発明のクリーニング方法によって改良するように意図される。容器１１から容器１２への有機溶剤の持ち出しは例えばエアーナイフ３７のような機械的デバイスによって減ずることができる。窒素又は他の非引火性圧縮ガスを炭化水素サンプ１５を覆う蒸気帯中に導入して、通常の半水性（有機クリーニング／水性すすぎ洗い）クリーニングプロセスに典型的である、炭化水素の引火性又は爆発の危険性を弱めることができる。フルオロカーボン沸騰系２０では、クリーニングサンプ１５から持ち出される残留炭化水素は、図１に述べるように機械的に分離して、ポンプ４５（概略的に示す）によって蒸気実施態様におけるようなカスケーティングを妨げる２クリーニング帯の物理的分離を考慮して再循環させる。図６では、クリーニングサンプ１５内の有機クリーニング溶剤がすすぎ洗いサンプ２５内のフルオロカーボンベースすすぎ洗い溶剤と不混和性又は低混和性であることが考えられる。これらの溶剤が一緒に混合して、洗浄済み基体を再汚染することを防止するために、第１すすぎ洗い帯にカップリング溶剤（例えば、ブタノールのようなアルカノール、又は例えばトリフルオロベンゼンのようなフルオロケミカル、又は任意の他の種類の炭化水素）を供給する、この場合にフルオロカーボン溶剤はカップリング溶剤と混和性である。好ましくは、フルオロカーボン溶剤は有機クリーニング溶剤又はカップリング溶剤よりも低い沸点を有する。この場合に、サンプ２５中のフルオロカーボンは主としてサンプ１５、２０中の引火性液体を非引火性蒸気によって覆うという目的を果たし、主としてカップリング溶剤から構成されるすすぎ洗いサンプ２０中の液体レベルがサンプ２５からのフルオロカーボン液体の補充によって維持される。カップリング溶剤サンプ２０中ですすぎ洗いした基体に対して、サンプ２５ａ及び／又は２５ｂ中での最終浸漬すすぎ洗いを実施するか、又は最終すすぎ洗いのためにこの基体をフルオロカーボン凝縮蒸気帯４２中に維持する、これはカップリング溶剤がフルオロカーボン溶剤と混和性であるので適切に達成することができる。実施例下記実施例を用いて、汚れたクーポンを最初に有機クリーニング溶剤中に浸漬した後に、フルオロケミカル溶剤によってすすぎ洗いした場合に観察される予想外のクリーニング性能を実証する。これらの研究では、ステンレス鋼クーポンに種々な商業的な石油、半合成油及び合成油を塗布した。商業的な石油系油（petr oleum oil）はパラフィン系直鎖又は分枝鎖飽和炭化水素である。これらの油の全ては冷却又は潤滑目的のために金属加工産業で用いられている。合成油は、脂肪酸及びアミンを含めた添加剤と共に合成ポリマーを含む。半合成油は石油と合成油との混合物である。本発明を実証する試験に用いるクリーニング方法は、有機クリーニング溶剤中へのクーポンの３０秒間の浸漬と、その後のフルオロケミカル溶剤中への３０秒間浸漬と、フルオロケミカル溶剤の凝縮蒸気による冷却コイル帯での液体上方での３０秒間すすぎ洗いから成る。クリーニング前後のクーポン上の汚れ量を商業的ＣＯ₂電量計によって測定した、この電量計は基体上の炭素単位で表現される、有機残渣量をμｇ感度で測定する。クーポン上の残渣サンプルをサンプルボードを介して燃焼炉に入れ、酸素雰囲気中で６５０℃の温度において燃焼させる。生ずるＣＯ₂とその他の燃焼生成物をスクラバーに通して、妨害性のハロゲン、硫黄、窒素酸化物及び水を除去する。次に、指示溶液を含む電量計セルにガスを通す。ガス流をこの溶液に通すと、ＣＯ₂が定量的に吸収され、溶液中の化学薬品と反応して、滴定可能な酸を生じる。次に、電流が自動的に調節されて、溶液を中和し、総電流が合計され、結果が炭素のμｇで表示される。この方法の感度は±０．０１μg炭素であり、これは表面上の炭素成分を再現可能に分析するための最も敏感な方法の１つである。本発明で洗浄された油の全ては主として性質が有機であるので、炭素含量の監視は高い再現性かつ感度で基体上の有機汚れ量を測定する優れた方法である。実施例１有機溶剤として（Ｃ₉〜Ｃ₁₁）メチルエステルを用いる。分光特性化は少量の分枝成分を表示した。ＨＦＣ５２−１３はフルオロカーボンすすぎ剤として用いた分枝ヒドロフルオロカーボン（Ｃ6Ｆ13Ｈ）である。メチルエステルは金属クーポンから室温において石油ベース油（petroleum based oil）の除去に効果的であるが、クリーニングプロセス後にメチルエステル溶剤の薄いフィルムが残留した。この油はＨＦＣ５２−１３によってクーポン表面から洗浄されることができない。しかし、メチルエステルによるクリーニング、ＨＦＣ５２−１３によるすすぎ洗い、その後のフルオロカーボン凝縮蒸気によるすすぎ洗いから成る方法は金属クーポンから高沸点エステルの薄いフィルムの９９．９％を越える除去に非常に効果的であり、測定可能な微量の油汚染物を残さなかった。クリーニングの効果は重量測定によって評価した。以下の各実施例において、ブランククーポンは表面上に約１０ｐg炭素を含むと測定された。実施例２それぞれ、１０重量％／２２重量％／６８重量％の割合のアジピン酸、コハク酸及びグルタル酸のジメチルエステルを合成することによって、二塩基酸エステルクリーニング溶剤混合物を実験室で製造した。汚れたクーポンを二塩基酸エステルとＨＦＣ−３６５（ＣＦ₃ＣＨ₂ＣＦ₂ＣＨ₃）との混合物中に５６℃において浸漬し、次に周囲温度におけるＨＦＣ−３６５中での３０秒間浸漬及びＨＦＣ− ３６５による３０秒間蒸気すすぎ洗いを実施した。下記結果が記録された：有機クリーニング工程と、その後のフルオロケミカル蒸気すすぎ洗い工程とを用いる、石油と合成油とによる実験では、クーポン表面のほぼ完全なクリーニングが生じた（炭素の＞９９．９％除去）。しかし、実験（ｂ）と（ｅ）では、クーポンを二塩基酸エステル中に３０秒間浸漬した後にＨＦＣ蒸気すすぎ洗いなしに空気中で３０秒間乾燥のみを実施して、クリーニングした場合に、表面上に有意な量の炭素が残留した。実験（ｃ）と（ｆ）では、クーポンをＨＦＣ−３６５中に３０秒間浸漬した後にエステルクリーニング工程を用いずに空気中で３０秒間乾燥を実施して、クリーニングした場合に、表面上に有意な量の炭素残渣が残留した。この実施例は、二塩基酸エステルのみ又は二塩基酸エステルとフルオロケミカルとの混合物のいずれかの中に浸漬した、汚れた表面を完全にクリーニングするためにはフルオロケミカル蒸気すすぎ洗い工程が必要であり、エステルのみでもフルオロケミカル溶剤のみでも表面の完全なクリーニングのために充分でないことを実証する。実施例３汚れたクーポンをシクロヘキサノン（環状ケトン）とＨＦＣ−３６５（ヒドロフルオロカーボン）との５０／５０容量％混合物中に５７〜５９℃において３０秒間浸漬した後に、周囲温度においてＨＦＣ−３６５中に３０秒間浸漬し、ＨＦＣ−３６５による３０秒間蒸気すすぎ洗いした。下記結果が記録された：有機クリーニング工程と、その後のフルオロケミカル蒸気すすぎ洗い工程とを用いる実験（ａ）〜（ｆ）では、クーポン表面のほぼ完全なクリーニングが生じた（炭素の＞９９．９％除去）。しかし、実験（ｂ）と（ｅ）では、クーポンをシクロヘキサノン中に３０秒間浸漬した後にＨＦＣ蒸気すすぎ洗いなしに空気中で３０秒間乾燥のみを実施して、クリーニングした場合に、表面上に有意な量の炭素が残留した。実験（ｃ）と（ｆ）では、クーポンをＨＦＣ−３６５中に３０秒間浸漬した後にケトンクリーニング工程を用いずに空気中で３０秒間乾燥を実施して、クリーニングした場合に、表面上に有意な量の炭素残渣が残留した。この実施例は、ケトン（環状又は非環状）とフルオロケミカルとの中に浸漬した、汚れた表面を完全にクリーニングするためにはフルオロケミカル蒸気すすぎ洗い工程が必要であり、ケトンのみでもフルオロケミカル溶剤のみでも表面の完全なクリーニングのために充分でないことを実証する。実験４汚れたクーポンをシクロヘキサノール（環状アルカノール）とＨＦＣ−３６５（ヒドロフルオロカーボン）との５０／５０容量％混合物中に５７〜５９℃において３０秒間浸漬した後に、周囲温度においてＨＦＣ−３６５中に３０秒間浸漬し、ＨＦＣ−３６５による３０秒間蒸気すすぎ洗いした。下記結果が記録された有機クリーニング工程と、その後のフルオロケミカル蒸気すすぎ洗い工程とを用いる、石油系油による実験では、クーポン表面のほぼ完全なクリーニングが生じた（炭素の＞９９．９％除去）。シクロヘキサノールは、実験（ｂ）と（ｅ）に示すように、合成油のクリーニングではかなり不良な溶剤であるので、実験（ｄ）に示すような、本発明のクリーニング方法によって油と有機溶剤フィルムとの大部分を除去することができた。さらに、実験（ｂ）と（ｅ）では、クーポンをシクロヘキサノール中に３０秒間浸漬した後にＨＦＣ蒸気すすぎ洗いなしに空気中で３０秒間乾燥のみを実施して、クリーニングした場合に、表面上に有意な量の炭素が残留した。実験（ｃ）と（ｆ）では、クーポンをＨＦＣ−３６５中に３０秒間浸漬し、その後に、アルカノールクリーニング工程なしに空気中で３０秒間乾燥することによってクリーニングした場合に、表面上に有意な量の炭素残渣が残留した。この実施例は、アルカノール（環状又は非環状）中に浸漬した、汚れた表面を完全にクリーニングするためにはフルオロケミカル蒸気すすぎ洗い工程が必要であり、アルカノールのみでもフルオロケミカル溶剤のみでも表面の完全なクリーニングのために充分でないことを実証する。実施例５汚れたクーポンを液体１，５−ジメチルシクロオクタジエン（環状オレフィン）とＨＦＣ−３６５（ヒドロフルオロカーボン）との５０／５０容量％混合物中に５７〜５９℃において３０秒間浸漬した後に、周囲温度においてＨＦＣ−３６５中に３０秒間浸漬し、ＨＦＣ−３６５による３０秒間蒸気すすぎ洗いした。下記結果が記録された：有機クリーニング工程と、その後のフルオロケミカル蒸気すすぎ洗い工程とを用いる、石油系油と合成油による実験では、クーポン表面のほぼ完全なクリーニングが生じた（炭素の＞９９．９％除去）。しかし、実験（ｂ）と（ｅ）では、クーポンを１，５−ジメチルシクロオクタジエン中に３０秒間浸漬した後にＨＦＣ蒸気すすぎ洗いなしに空気中で３０秒間乾燥のみを実施して、クリーニングした場合に、表面上に有意な量の炭素が残留した。実験（ｃ）と（ｆ）では、クーポンをＨＦＣ−３６５中に３０秒間浸漬し、その後に、オレフィン溶剤クリーニング工程なしに空気中で３０秒間乾燥することによってクリーニングした場合に、表面上に有意な量の炭素残渣が残留した。この実施例は、オレフィン（環状又は非環状）中に浸漬した、汚れた表面を完全にクリーニングするためにはフルオロケミカル蒸気すすぎ洗い工程が必要であり、オレフィンのみでもフルオロケミカル溶剤のみでも表面の完全なクリーニングのために充分でないことを実証する。実施例６汚れたクーポンを液体ベンゾトリフルオリド（フッ素化芳香族ケミカル）とＨＦＣ−３６５（ヒドロフルオロカーボン）との５０／５０容量％混合物中に５７〜５９℃において３０秒間浸漬した後に、周囲温度においてＨＦＣ−３６５中に３０秒間浸漬し、ＨＦＣ−３６５による３０秒間蒸気すすぎ洗いした。下記結果が記録された：有機クリーニング工程と、その後のフルオロケミカル蒸気すすぎ洗い工程とを用いる、石油系油と合成油による実験では、クーポン表面のほぼ完全なクリーニングが生じた（炭素の＞９９．８％除去）。しかし、実験（ｂ）と（ｅ）では、クーポンをベンゾトリフルオリド中に３０秒間浸漬した後にＨＦＣ蒸気すすぎ洗いなしに空気中で３０秒間乾燥のみを実施して、クリーニングした場合に、表面上に有意な量の炭素が残留した。実験（ｃ）と（ｆ）では、クーポンをＨＦＣ−３６５中に３０秒間浸漬し、その後に、フルオロ芳香族クリーニング工程なしに空気中で３０秒間乾燥することによってクリーニングした場合に、表面上に有意な量の炭素残渣が残留した。この実施例は、フッ素化芳香族溶剤中に浸漬した、汚れた表面を完全にクリーニングするためにはフルオロケミカル蒸気すすぎ洗い工程が必要であり、フルオロ芳香族溶剤のみでもフルオロケミカル溶剤のみでも表面の完全なクリーニングのために充分でないことを実証する。実施例７汚れたクーポンをポリエチレグリコール（ＭＷ２００）（ポリエーテルジオール）とメチルエステルとの５０容量％混合物とＨＦＣ−３６５（ヒドロフルオロカーボン）の５０容量％との中に４５〜５０℃において３０秒間浸漬した後に、周囲温度においてＨＦＣ−３６５中に３０秒間浸漬し、ＨＦＣ−３６５による３０秒間蒸気すすぎ洗いした。下記結果が記録された：有機クリーニング工程と、その後のフルオロケミカル蒸気すすぎ洗い工程とを用いる、石油系油と合成油による実験では、クーポン表面のほぼ完全なクリーニングが生じた（炭素の＞９９．８％除去）。しかし、実験（ｂ）と（ｅ）では、クーポンをポリエチレングリコール／メチルエステル溶剤混合物中に３０秒間浸漬した後にＨＦＣ蒸気すすぎ洗いなしに空気中で３０秒間乾燥のみを実施して、クリーニングした場合に、表面上に有意な量の炭素が残留した。実験（ｃ）と（ｆ）では、クーポンをＨＦＣ−３６５中に３０秒間浸漬し、その後に、ポリエチレングリコール／メチルエステルクリーニング工程なしに空気中で３０秒間乾燥することによってクリーニングした場合に、表面上に有意な量の炭素残渣が残留した。この実施例は、グリコールとエステルとの混合物中に浸漬した、汚れた表面を完全にクリーニングするためにはフルオロケミカル蒸気すすぎ洗い工程が必要であり、上記の混合した有機溶剤のみでもフルオロケミカル溶剤のみでも表面の完全なクリーニングのために充分でないことを実証する。実施例８汚れたクーポンをメチルエステル又は、ポリエチレングリコール（ＭＷ２００）（ポリエーテルジオール）とメチルエステルとの混合物のいずれかの中に５７〜５９℃において３０秒間浸漬した後に、周囲温度においてＨＣＦＣ−１２３（ヒドロクロロフルオロカーボン）中に又はＨＦＣ−５２−１３（高フッ素化アルカン）中に３０秒間浸漬し、いずれかのフルオロケミカル溶剤によって３０秒間蒸気すすぎ洗いした。下記結果が記録された：（ａ）合成油とグリースＶａｌｖｏｌｉｎｅは両方とも、本発明の方法においてＰＥＧ−２００／メチルエステルクリーニング溶剤混合物とすすぎ洗い溶剤としてのＨＣＦＣ−１２３とを用いて、金属クーポンから９９．９％よりも良好に除去された。（ｂ）ＨＣＦＣ−１２３の代わりにＨＦＣ−５２−１３（（ＣＦ₃）₂ＣＨＣＦ₂ ＣＦ₂ＣＦ₃）を用いて（ａ）と同じ。実施例９汚れたクーポンをＢＩＯＡＣＴＥＣ−７（テルペンと非イオン界面活性剤との商業的ブレンド）とＨＦＣ−３６５（ヒドロフルオロカーボン）との５０／５０容量％混合物中に５７〜５９℃において３０秒間浸漬した後に、周囲温度においてＨＦＣ−３６５中に３０秒間浸漬し、ＨＦＣ−３６５による３０秒間蒸気すすぎ洗いした。下記結果が記録された：有機クリーニング工程と、その後のフルオロケミカル蒸気すすぎ洗い工程とを用いる、石油系油と合成油による実験では、クーポン表面の実際に完全なクリーニングが生じた（炭素の＞９９．６％除去）。しかし、実験（ｂ）と（ｅ）では、クーポンをテルペン溶剤混合物中に３０秒間浸漬した後にＨＦＣ蒸気すすぎ洗いなしに空気中で３０秒間乾燥のみを実施して、クリーニングした場合に、表面上に有意な量の炭素が残留した。実験（ｃ）と（ｆ）では、クーポンをＨＦＣ−３６５中に３０秒間浸漬し、その後に、テルペン溶剤クリーニング工程なしに空気中で３０秒間乾燥することによってクリーニングした場合に、表面上に有意な量の炭素残渣が残留した。この実施例は、テルペン溶剤中に浸漬した、汚れた表面を完全にクリーニングするためにはフルオロケミカル蒸気すすぎ洗い工程が必要であり、テルペン溶剤のみでもフルオロケミカル溶剤のみでも表面の完全なクリーニングのために充分でないことを実証する。実施例１０汚れたクーポンを液体シクロヘキサノン（環状ケトン）とＨＦＣ−３６５（ヒドロフルオロカーボン）との５０／５０容量％混合物中に５６〜５９℃において３０秒間浸漬した後に、５％ＨＣＦＣ−１４１ｂ（ヒドロクロロフルオロカーボン）と９０％ＨＦＣ−３６５（ヒドロフルオロカーボン）との非引火性一定沸点ブレンド中に周囲温度において３０秒間浸漬し、ＨＣＦＣ−１４１ｂ／ＨＦＣ− ３６５の凝縮共沸混合物蒸気によって３０秒間蒸気すすぎ洗いした。下記結果が記録された：有機クリーニング工程と、その後のＨＣＦＣ及びＨＦＣのフルオロケミカルブレンド蒸気すすぎ洗い工程とを用いる、石油系油と合成油による実験では、クーポン表面の実際に完全なクリーニングが生じた（炭素の＞９９．８％除去）。しかし、実験（ｂ）と（ｅ）では、クーポンをケトンクリーニング溶剤中に３０秒間浸漬した後にＨＣＦＣ／ＨＦＣ蒸気すすぎ洗いなしに空気中で３０秒間乾燥のみを実施して、クリーニングした場合に、表面上に有意な量の炭素が残留した。実験（ｃ）、（ｆ）、（ｈ）及び（ｊ）では、クーポンをＨＣＦＣ−１４１ｂ／ＨＦＣ−３６５共沸混合物中に３０秒間浸漬し、その後に空気中で３０秒間乾燥させることによってクリーニングした場合に、テルペン溶剤クリーニング工程を用いる本発明の二重溶剤プロセスにおけるよりも多くの炭素残渣が表面上に残留した。この実施例は、例えばＨＦＣＦ−１４１ｂを含むブレンドのような、強力なフルオロケミカルすすぎ洗い溶剤を用いる場合にも、組合せた有機（ケトン）クリーニング工程とその後のフルオロケミカルすすぎ洗い工程とが、この基体のクリーニングにケトン溶剤のみ又はフルオロケミカル溶剤のみを用いる場合よりも高度なクリーニングを生じることを実証する。実施例１１汚れたクーポンを液体シクロヘキサノン（環状ケトン）とＨＦＣ−３６５／ＦＣ−７２（９５：５重量比）との５０／５０容量％混合物中に５６〜５９℃において３０秒間浸漬した後に、５％ＦＣ−７２（パーフルオロカーボン）と９５％ＨＦＣ−３６５（ヒドロフルオロカーボン）との非分離（non-segregating）ブレンド中に周囲温度において３０秒間浸漬し、ＦＣ−７２／ＨＦＣ−３６５／ＨＦＣ−３６５の凝縮共沸混合物蒸気によって３０秒間蒸気すすぎ洗いした。下記結果が記録された：有機クリーニング工程と、その後のフルオロケミカル蒸気すすぎ洗い工程とを用いる、上記実験では、クーポン表面の完全なクリーニングが生じた（炭素の＞９９．９％除去）。クーポンをＦＣ−７２／ＨＦＣ−３６５混合物中に３０秒間浸漬した後に、シクロヘキサノン溶剤クリーニング工程を用いずに空気中で３０秒間乾燥のみを実施して、クリーニングした場合に、表面上に比較的多量の炭素が残留した。この実施例は、ケトン溶剤中に浸漬した汚れた表面を完全にクリーニングするにはフルオロケミカル蒸気すすぎ洗い工程が必要であること、及びケトン溶剤のみも、フルオロケミカル溶剤のみも表面の完全なクリーニングのために充分でないことを実証する。さらに、例えばＦＣ−７２のようなパーフルオロカーボンが油のために非常に不良な溶剤であるが、有機クリーニング工程と組み合わせた、このプロセスの蒸気又は浸漬すすぎ洗い工程においてヒドロクロロカーボン又はヒドロクロロフルオロカーボンとさえもブレンドする場合には、二重溶剤プロセスが、個々の溶剤だけでは完全にクリーニングされることができないクーポンの完全なクリーニングを生じることは周知である。実施例１２汚れたクーポンをクリーニングの前に、ＨＦＣと混合されていない液体シクロヘキサノール（環状アルコール）中に浸漬した。このクーポンを５６〜５９℃において３０秒間浸漬した後に、ＨＦＣ−３６５（ヒドロフルオロカーボン）中に周囲温度において３０秒間浸漬し、ＨＦＣ−３６５の凝縮共沸混合物蒸気によって３０秒間蒸気すすぎ洗いした。下記結果が記録された：この実施例では、ＨＦＣから分離した（segregated）有機洗浄剤の洗浄力（cl eaning ability）を実証した。結果は、有機物／溶剤混合系を評価した実施例４の結果に対して実験誤差の範囲内である。興味深いことには、この実施例では、クリーニングサンプ中のＨＦＣ／有機物混合物はクリーニングサンプが有機溶剤（シクロヘキサノール）のみを含む場合よりも良好に洗浄した。実施例１３汚れたクーポンをクリーニング（上記実施例と同様に）の前に、ＨＦＣと混合されていない液体シクロヘキサノン（環状ケトン）中に浸漬した。このクーポンを５６〜５９℃において３０秒間浸漬した後に、ＨＦＣ−３６５（ヒドロフルオロカーボン）中に周囲温度において３０秒間浸漬し、ＨＦＣ−３６５の凝縮共沸混合物蒸気によって３０秒間蒸気すすぎ洗いした。下記結果が記録された：この実施例では、ＨＦＣから分離した有機洗浄剤の洗浄力を実証した。結果は、有機物／溶剤混合系を評価した実施例１２の結果に対して実験誤差の範囲内である。本発明が上記目的の全てを満たすことは、当業者によって容易に理解されるであろう。上記明細書を読んだ後に、当業者は本明細書で広範囲に開示した、本発明の種々な変化、同等物の置換及び種々な、他の態様を実施することが可能になるであろう。それ故、本明細書に与えられる保護は添付請求の範囲及びその同等物に含まれる定義によってのみ限定されるように意図される。

【手続補正書】特許法第１８４条の８【提出日】１９９５年３月１０日【補正内容】請求の範囲１．部品から残留汚れ又は表面汚染を除去するための非水性クリーニング方法であって、下記工程：（ａ）部品から汚染を実質的に除去するために充分な溶解性を有する有機又は炭化水素クリーニング流体を含むクリーニング区画中に前記部品を入れる工程と（ｂ）前記有機又は炭化水素クリーニング流体から前記部品を取り出して、前記汚れ又は表面汚染に対して充分な溶解性を有するが、前記有機又は炭化水素クリーニング流体に対しては前記部品から前記有機又は炭化水素クリーニング流体を除去するために少なくとも充分な溶解性を有する液体すすぎ剤によって第１すすぎ洗い区画において前記部品をすすぎ洗いする工程であって、前記すすぎ剤が化合物中に少なくとも６０重量％のフッ素と共に約３〜約８個の炭素原子を含み、直鎖又は分枝鎖を有し、約２５℃〜約１２５℃の範囲内の沸点を有する１種以上のヒドロフルオロカーボンから本質的に成る工程と；（ｃ）工程（ａ）と（ｂ）中にクリーニング区画と第１すすぎ洗い区画との上に、実質的に純粋なヒドロフルオロカーボン蒸気から本質的に成る引火性抑制ブランケットを形成する工程と；（ｄ）前記部品を乾燥させる工程とを含む前記方法。２．前記ヒドロフルオロカーボンが下記グループ：（１）実験式：Ｃ₃Ｈ_nＦ_8-n ［式中、１≦ｎ≦４］で示される化合物と；（２）実験式：Ｃ₄Ｈ_nＦ_10-n ［式中、１≦ｎ≦５］で示される線状又は枝分れ化合物と；（３）実験式：Ｃ₅Ｈ_nＦ_12-n ［式中、１≦ｎ≦６］で示される線状又は枝分れ化合物と；（４）実験式：Ｃ₆Ｈ_nＦ_14-n ［式中、１≦ｎ≦７］で示される線状又は枝分れ化合物と；（５）実験式：Ｃ₇Ｈ_nＦ_16-n ［式中、１≦ｎ≦８］で示される線状又は枝分れ化合物と；（６）実験式：Ｃ₈Ｈ_nＦ_18-n ［式中、１≦ｎ≦９］で示される線状又は枝分れ化合物とから選択される請求項１記載の方法。３．クリーニング区画がヒドロフルオロカーボン溶剤と混合した有機又は炭化水素クリーニング溶剤を含み、生ずる混合物が前記部品から汚染を実質的に除去し、この混合物を炭化水素流体よりも低い沸点を有するヒドロフルオロカーボンの少なくとも一部を蒸発させるために充分な温度に加熱して、クリーニング流体を覆う、生ずる蒸気帯が本質的にフルオロカーボンベース引火性抑制蒸気帯であるようにする請求項１記載の方法。４．前記ヒドロフルオロカーボンが下記グループ：（１）実験式：Ｃ₃Ｈ_nＦ_8-n ［式中、１≦ｎ≦４］で示される化合物と；（２）実験式：Ｃ₄Ｈ_nＦ_10-n ［式中、１≦ｎ≦５］で示される線状又は枝分れ化合物と；（３）実験式：Ｃ₅Ｈ_nＦ_12-n ［式中、１≦ｎ≦６］で示される線状又は枝分れ化合物と；（４）実験式：Ｃ₆Ｈ_nＦ_14-n ［式中、１≦ｎ≦７］で示される線状又は枝分れ化合物と；（５）実験式：Ｃ₇Ｈ_nＦ_16-n ［式中、１≦ｎ≦８］で示される線状又は枝分れ化合物と；（６）実験式：Ｃ₈Ｈ_nＦ_18-n ［式中、１≦ｎ≦９］で示される線状又は枝分れ化合物とから選択される請求項３記載の方法。５．ヒドロフルオロカーボンすすぎ剤を含むすすぎ洗い区画中に存在する有機又は炭化水素クリーニング流体がヒドロフルオロカーボン溶剤から所定の低濃度において分離して、すすぎ洗い区画の上部に浮遊して、クリーニング区画中に炭化水素クリーニング流体を戻すカスケード効果を生じるように、前記ヒドロフルオロカーボンすすぎ剤と前記有機又は炭化水素クリーニング流体とを選択する請求項１記載の方法。６．実質的に完全にヒドロフルオロカーボン溶剤のみを含む第２すすぎ洗い区画を形成し、第１すすぎ洗い区画中に実質的に純粋なヒドロフルオロカーボンすすぎ洗い溶剤を入れてその所定レベルを維持し、分離した炭化水素クリーニング流体をクリーニング区画方向に戻すためのフロースキム作用を指向的に生じるためのカスケード効果を与える工程を含む請求項５記載の方法。７．すすぎ洗い区画を含む構造から分離した構造中に炭化水素クリーニング区画を収容する他の工程を含む請求項１記載の方法。８．部品から残留汚れ又は表面汚染を除去するための非水性クリーニング方法であって、下記工程：（ａ）部品から汚染を実質的に除去するために充分な溶解性を有する有機又は炭化水素クリーニング流体中に前記部品を入れる工程と；（ｂ）前記有機又は炭化水素クリーニング流体から前記部品を取り出して、有機又は炭化水素クリーニング流体を含むクリーニング区画から分離したすすぎ洗い区画に含まれる液体ヒドロフルオロカーボンベースすすぎ洗い溶剤中での暴露によって前記部品をすすぎ洗いする工程であって、前記液体ヒドロフルオロカーボンすすぎ洗い溶剤が前記部品から前記有機又は炭化水素クリーニング流体を除去するために供給される工程と；（ｃ）工程（ａ）と（ｂ）中にクリーニング区画と第１すすぎ洗い区画との上に、実質的に純粋なヒドロフルオロカーボン蒸気から本質的に成る引火性抑制ブランケットを形成する工程と；（ｄ）前記部品を乾燥させる工程とを含む前記方法。【手続補正書】【提出日】１９９５年１２月１日【補正内容】請求の範囲１．部品から残留汚れ又は表面汚染を除去するための非水性クリーニング方法であって、下記工程：（ａ）部品から汚染を実質的に除去するために充分な溶解性を有する有機又は炭化水素クリーニング流体を含むクリーニング区画中に前記部品を入れる工程と；（ｂ）前記有機又は炭化水素クリーニング流体から前記部品を取り出して、前記汚れ又は表面汚染に対して充分な溶解性を有するが、前記有機又は炭化水素クリーニング流体に対しては前記部品から前記有機又は炭化水素クリーニング流体を除去するために少なくとも充分な溶解性を有する液体すすぎ剤によって第１すすぎ洗い区画において前記部品をすすぎ洗いする工程であって、前記すすぎ剤が化合物中に少なくとも６０重量％のフッ素と共に約３〜約８個の炭素原子を含み、直鎖又は分枝鎖を有し、約２５℃〜約１２５℃の範囲内の沸点を有する１種以上のヒドロフルオロカーボンから本質的に成る工程と；（ｃ）工程（ａ）と（ｂ）中にクリーニング区画と第１すすぎ洗い区画との上に、実質的に純粋なヒドロフルオロカーボン蒸気から本質的に成る引火性抑制ブランケットを形成する工程と；（ｄ）前記部品を乾燥させる工程とを含む前記方法。２．前記ヒドロフルオロカーボンが下記グループ：（１）実験式：Ｃ₃Ｈ_nＦ_8-n ［式中、１≦ｎ≦４］で示される化合物と；（２）実験式：Ｃ₄Ｈ_nＦ_10-n ［式中、１≦ｎ≦５］で示される線状又は枝分れ化合物と；（３）実験式：Ｃ₅Ｈ_nＦ_12-n ［式中、１≦ｎ≦６］で示される線状又は枝分れ化合物と；（４）実験式：Ｃ₆Ｈ_nＦ_14-n ［式中、１≦ｎ≦７］て示される線状又は枝分れ化合物と；（５）実験式：Ｃ₇Ｈ_nＦ_16-n ［式中、１≦ｎ≦８］で示される線状又は枝分れ化合物と；（６）実験式：Ｃ₈Ｈ_nＦ_18-n ［式中、１≦ｎ≦９］で示される線状又は枝分れ化合物とから選択される請求項１記載の方法。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩＣ２３Ｇ 5/028 9352−4Ｋ // Ｈ０５Ｋ 3/26 7511−4Ｅ (72)発明者ウィルソン，デービッド・ポールアメリカ合衆国ニューヨーク州14051，イースト・アムハースト，ワックスウィング・コート 118 (72)発明者ヴァン・デル・プイ，ミヒャエルアメリカ合衆国ニューヨーク州14227，チークトワガ，ジョアン・レーン 32 (72)発明者スワン，エレン・ルイーズアメリカ合衆国ニューヨーク州14086，ランカスター，ホワイトストーン・レーン 27 (72)発明者ログスドン，ピーター・ブライアンアメリカ合衆国ニューヨーク州14120，ノース・トナワンダ，キングストン 1536 (72)発明者ズィホウスキー，ゲイリー・ジョンアメリカ合衆国ニューヨーク州14086，ランカスター，ラニング・ブルック・ドライブ 26 (72)発明者インガム，ヘップバーンアメリカ合衆国イリノイ州60016，デス・プレインズ，サウス・リー・ストリート 1153，ナンバー 206 (72)発明者ハーニッシュ，ダニエル・フランクリンアメリカ合衆国ニューヨーク州14127，オーチャード・パーク，ミドルバリー 77 (72)発明者ロジャース，ジョエル・エドワードアメリカ合衆国カリフォルニア州90274, パロス・ベルデス・エステイツ，ヴィア・エストゥディロ 2121

Claims

【特許請求の範囲】１．部品から残留汚れ又は表面汚染を除去するための非水性クリーニング方法であって、下記工程：（ａ）部品から汚染を実質的に除去するために充分な溶解性を有する有機クリーニング流体中に前記部品を入れる工程と；（ｂ）前記有機クリーニング流体から前記部品を取り出して、前記汚れ又は表面汚染に対しては劣った溶解性を有するが、前記有機クリーニング剤に対しては少なくとも軽度の溶解性を有するすすぎ剤によって前記部品をすすぎ洗いして、前記部品から前記有機クリーニング剤を除去する工程であって、前記すすぎ剤が化合物中に少なくとも６０重量％のフッ素と共に３〜８個の炭素原子を含み、直鎖又は分枝鎖を有し、約２５℃〜約１２５℃の範囲内の沸点を有するヒドロフルオロカーボンの種類から選択される工程と；（ｃ）前記部品を乾燥させる工程とを含む前記方法。２．前記ヒドロフルオロカーボンが下記グループ：（１）実験式：Ｃ₃Ｈ_nＦ_8-n ［式中、１≦ｎ≦４］で示される化合物と；（２）実験式：Ｃ₄Ｈ_nＦ_10-n ［式中、１≦ｎ≦５］で示される線状又は枝分れ化合物と；（３）実験式：Ｃ₅Ｈ_nＦ_12-n ［式中、１≦ｎ≦６］で示される線状又は枝分れ化合物と；（４）実験式：Ｃ₆Ｈ_nＦ_14-n ［式中、１≦ｎ≦７］で示される線状又は枝分れ化合物と；（５）実験式：Ｃ₇Ｈ_nＦ_16-n ［式中、１≦ｎ≦８］で示される線状又は枝分れ化合物と；（６）実験式：Ｃ₈Ｈ_nＦ_18-n ［式中、１≦ｎ≦９］で示される線状又は枝分れ化合物とから選択される請求項１記載の方法。３．部品から残留汚れ又は表面汚染を除去するための非水性クリーニング方法であって、下記工程：（ａ）生ずる混合物が部品から汚染を実質的に除去するように、ヒドロフルオロカーボン溶剤と混合した炭化水素クリーニング溶剤を含むクリーニング区画中に部品を入れて、この混合物を炭化水素流体よりも低い沸点を有するヒドロフルオロカーボンの少なくとも一部を蒸発させ、クリーニング流体を覆う、生ずる蒸気帯が本質的にフルオロカーボンベース引火性抑制蒸気帯であるように、充分な温度に加熱する工程と；（ｂ）前記部品を乾燥させる工程とを含む前記方法。４．前記ヒドロフルオロカーボンが下記グループ：（１）実験式：Ｃ₃Ｈ_nＦ_8-n ［式中、１≦ｎ≦４］で示される化合物と；（２）実験式：Ｃ₄Ｈ_nＦ_10-n ［式中、１≦ｎ≦５］で示される線状又は枝分れ化合物と；（３）実験式：Ｃ₅Ｈ_nＦ_12-n ［式中、１≦ｎ≦６］で示される線状又は枝分れ化合物と；（４）実験式：Ｃ₆Ｈ_nＦ_14-n ［式中、１≦ｎ≦７］で示される線状又は枝分れ化合物と；（５）実験式：Ｃ₇Ｈ_nＦ_16-n ［式中、１≦ｎ≦８］で示される線状又は枝分れ化合物と；（６）実験式：Ｃ₈Ｈ_nＦ_18-n ［式中、１≦ｎ≦９］で示される線状又は枝分れ化合物とから選択される請求項３記載の方法。５．ＨＦＣすすぎ洗い溶剤を含むすすぎ洗い区画中に存在する炭化水素流体がＨＦＣ溶剤から所定の低濃度において分離して、その上部に浮遊して、クリーニング区画中に炭化水素クリーニング流体を戻すカスケード効果を生じるように、前記ＨＦＣ溶剤と前記炭化水素クリーニング流体とを選択する請求項１記載の方法。６．実質的にＨＦＣ溶剤のみを含む第２すすぎ洗い区画を形成し、第１すすぎ洗い区画中に純粋なＨＦＣすすぎ洗い溶剤を入れてその所定レベルを維持し、分離した炭化水素クリーニング流体をクリーニング区画方向に戻すためのフロースキム作用を指向的に生じるためのカスケード効果を与える工程を含む請求項５記載の方法。７．すすぎ洗い帯を含む構造から分離した構造中に炭化水素クリーニング帯を収容する工程を更に含む請求項１記載の方法。８．部品から残留汚れ又は表面汚染を除去するための非水性クリーニング方法であって、下記工程：（ａ）部品から汚染を実質的に除去するために充分な溶解性を有する有機クリーニング流体中に前記部品を入れる工程と；（ｂ）前記炭化水素クリーニング流体から前記部品を取り出して、炭化水素クリーニング流体を含むクリーニング区画から分離したすすぎ洗い区画に含まれるヒドロフルオロカーボンベースすすぎ洗い溶剤中での暴露によって前記部品をすすぎ洗いする工程であって、前記ＨＦＣすすぎ洗い溶剤が前記部品から前記炭化水素クリーニング流体を除去するために供給される工程と；（ｃ）前記部品を乾燥させる工程とを含む前記方法。９．部品から残留汚れ又は表面汚染を除去するための組成物であって、下記成分：（ａ）前記組成物の総重量に基づいて少なくとも２重量％の量で存在し、前記部品から前記残留汚れ又は表面汚染を実質的に除去することができる炭化水素成分と；（ｂ）炭素原子３〜８個と、少なくとも６０重量％のフッ素とを有する直鎖又は分枝鎖を有し、前記部品上に残留する前記炭化水素成分を実質的に除去することができ、前記部品から前記残留汚れ又は表面汚染を実質的に除去する可能性に関して前記炭化水素成分よりも劣ったヒドロフルオロカーボン成分との非共沸混合物を含む前記組成物。１０．前記ヒドロフルオロカーボンが下記グループ：（１）実験式：Ｃ₃Ｈ_nＦ_8-n ［式中、１≦ｎ≦４］で示される化合物と；（２）実験式：Ｃ₄Ｈ_nＦ_10-n ［式中、１≦ｎ≦５］で示される線状又は枝分れ化合物と；（３）実験式：Ｃ₅Ｈ_nＦ_12-n ［式中、１≦ｎ≦６］で示される線状又は枝分れ化合物と；（４）実験式：Ｃ₆Ｈ_nＦ_14-n ［式中、１≦ｎ≦７］で示される線状又は枝分れ化合物と；（５）実験式：Ｃ₇Ｈ_nＦ_16-n ［式中、１≦ｎ≦８］で示される線状又は枝分れ化合物と；（６）実験式：Ｃ₈Ｈ_nＦ_18-n ［式中、１≦ｎ≦９］で示される線状又は枝分れ化合物とから選択される請求項９記載の組成物。