JP7108466B2 - 非共沸性洗浄用組成物 - Google Patents
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Description
1.ハイドロフルオロカーボン、ハイドロフルオロエーテル、ハイドロフルオロオレフィン又はハイドロクロロフルオロオレフィンである成分Aと、
成分Aより高沸点である、ハイドロフルオロカーボン、ハイドロフルオロエーテル、ハイドロフルオロオレフィン又はハイドロクロロフルオロオレフィンである成分Bと、
水溶性有機溶媒である成分Cとを含み、
非共沸性であることを特徴とする、洗浄用組成物。
2.成分Aと成分Cが共沸組成を形成でき、かつ、
成分Bと成分Cが共沸組成を形成できることを特徴とする、上記1.に記載の洗浄用組成物。
3.成分Aの沸点が25~65℃である、上記1.または上記2.に記載の洗浄用組成物。
4.成分Bの沸点が65~120℃である、上記1.~上記3.のいずれかに記載の洗浄用組成物。
5.成分Aが(Z)-1,1,1,4,4,4-ヘキサフルオロ-2-ブテン(HFO1336mzzZ)である、上記1.~上記4.のいずれかに記載の洗浄用組成物。
6.成分Aが50~80wt%であり、成分Bが10~30wt%であり、成分Cが5~25wt%である、上記1.~上記5.のいずれかに記載の洗浄用組成物。
7.上記1.~上記6.のいずれかに記載の洗浄用組成物を用いる洗浄方法。
8.洗浄槽(液層)での洗浄工程とリンス層(蒸気層)でのリンス工程を含み、洗浄槽(液層)とリンス層(蒸気層)との温度差が20℃以上である、上記7.に記載の洗浄方法。
9.上記1.~上記6.のいずれかに記載の洗浄用組成物を用いる、精密機械部品洗浄装置。
また、本発明によれば、使用工程に蒸留操作があっても、成分の組成変化を少なくすることができることから、組成物の特性を維持することができ、また、組成物の回収や再利用にも都合の良い経済性にも優れる洗浄用組成物を提供することができる。
さらに、本発明によれば、オゾン破壊係数が0であり、地球温暖化係数の非常に低い洗浄用組成物を提供することができ、また、引火の危険性が低く、安全性にも優れる洗浄用組成物を提供することができる。
本発明の洗浄用組成物は、ハイドロフルオロカーボン、ハイドロフルオロエーテル、ハイドロフルオロオレフィン又はハイドロクロロフルオロオレフィンである成分Aと、成分Aより高沸点である、ハイドロフルオロカーボン、ハイドロフルオロエーテル、ハイドロフルオロオレフィン又はハイドロクロロフルオロオレフィンである成分Bと、水溶性有機溶媒である成分Cとを含み、非共沸性であることを特徴とする。
6,6,7,7,8,8,8-テトラデカフルオロ-4-オクテンが好ましく、メトキシパーフルオロヘプテンが特に好ましい。
成分の沸騰温度より高いかまたは低くてもよく、かつ、それは沸騰中の全体液体組成と本質的に同一である蒸気組成を提供する組成物である(例えば、M.F.DohertyandM.F.Malone、ConceptualDesignofDistillationSystems、McGraw-Hill(NewYork)、2001年、185~186、351~359頁を参照されたい)。
に寄与しないことが好ましい。成分A、成分B及び本発明の洗浄用組成物は、小さいオゾン層破壊係数(ODP)、好ましくは約0.1以下、より好ましくは約0.05以下、更に好ましくは約0.02以下、最も好ましくは約0のODP;及び/又は約100以下の地球温暖化係数(GWP)、好ましくは約50以下、より好ましくは約10以下のGWPを有する。好ましくは、ODPとGWPの両方の基準が本組成物によって満足される。
成分A
Z-1,1,1,4,4,4-ヘキサフルオロ-2-ブテン(HFO-1336mzzZ)(Chemours社製 OpteonTM1100)<沸点:33℃>
成分B
メトキシパーフルオロヘプテン(三井・デュポンフロロケミカル株式会社製 OpteonTMSF10)<沸点:110.5℃>
成分C
エタノール(和光1級)<沸点:78.37℃>
パーティクル除去能測定方法
市販の6インチのシリコンベアウェハー(アドバンスマテリアルテクノロジ株式会社より購入)に、ステンレス(SUS)板を切削して製造したSUS粉末1gを100mlのIPA(和光特級)に分散させて得られた分散液2mlを、コータ(共同インターナショナル、多目的スピンコータ POLOS)を使用して1000-2000rpmで回転させながら滴下して、パーティクルで汚染したシリコンウェハーを作成した。
ウェハ検査装置(山梨技術工房製、YPI-MX-Θ)にて、ウェハ上の金属粉数(パーティクル数)を計測した。
次いで、ベーパーディグリーザー(YMP製2槽式洗浄機 SK-14Y-1617)にて以下の条件でウェハ洗浄を行った。
条件:
・超音波周波数:170kHz(第1洗浄槽及び第2洗浄槽)
・超音波出力:150W(第1洗浄槽)、250W(第2洗浄槽)
・超音波洗浄時間:120秒(第1洗浄槽及び第2洗浄槽)
・蒸気洗浄時間:60秒
洗浄後のウェハについて、同様にウェハ検査装置にてウェハ上のパーティクル数を計測し、洗浄前後のパーティクル数の差異をパーティクル除去能とした。
連続運転中のベーパーディグリーザーの第1洗浄槽及び第2洗浄槽から洗浄用組成物をサンプリングし、ガスクロマトグラフィー(島津製作所製 GC2014A)を用いて検量線法にて組成を分析した。
成分A、成分B、成分Cを60:25:15の質量比で混合し、非共沸性混合物を得た。得られた混合物は、3成分では非共沸性であるが、成分Aと成分Cは97:3で共沸組成を形成でき、成分Bと成分Cは60:40で共沸組成を形成できる。
得られた非共沸性混合物を使用してパーティクル除去能を測定した。結果を下表1に示す。
また、得られた非共沸性混合物について、第1及び第2洗浄槽(液層)での組成経時変化を図1に示す。
成分A、成分B、成分Cを70:15:15の質量比で混合し、非共沸性混合物を得た。
得られた非共沸性混合物を使用してパーティクル除去能を測定した。結果を下表1に示す。
成分A、成分Cを97:3の質量比で混合し、共沸性混合物を得た。
得られた混合物を使用してパーティクル除去能を測定した。結果を下表1に示す。
成分A、成分Cを含む市販の共沸様混合物(3M社製 NovecTM 71IPA、成分A:NovecTM 7100 ハイドロフルオロエーテル C4F9OCH395%、及び、成分C:イソプロピルアルコール5%からなる共沸様組成物)を使用してパーティクル除去能を測定した。結果を下表1に示す。
Claims (6)
- 沸点が25~65℃であるハイドロフルオロカーボン、ハイドロフルオロエーテル、ハイドロフルオロオレフィン又はハイドロクロロフルオロオレフィンである成分Aと、
成分Aより高沸点であって、沸点が65~120℃であるハイドロフルオロカーボン、ハイドロフルオロエーテル、ハイドロフルオロオレフィン又はハイドロクロロフルオロオレフィンである成分Bと、
水溶性有機溶媒である成分Cとを含み、
非共沸性であって、成分Aと成分Cが共沸組成を形成でき、かつ、成分Bと成分Cが共沸組成を形成できることを特徴とする、洗浄用組成物。 - 成分Aが(Z)-1,1,1,4,4,4-ヘキサフルオロ-2-ブテン(HFO1336mzzZ)である、請求項1に記載の洗浄用組成物。
- 成分Aが50~80wt%であり、成分Bが10~30wt%であり、成分Cが5~25wt%である、請求項1または2に記載の洗浄用組成物。
- 請求項1~3のいずれか1項に記載の洗浄用組成物を用いる洗浄方法。
- 洗浄槽(液層)での洗浄工程とリンス層(蒸気層)でのリンス工程を含み、洗浄槽(液層)とリンス層(蒸気層)との温度差が20℃以上である、請求項4に記載の洗浄方法。
- 請求項1~3のいずれか1項に記載の洗浄用組成物を用いる、精密機械部品洗浄装置。
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