JPH02191581A - 部品を洗浄し乾燥する方法および装置 - Google Patents

部品を洗浄し乾燥する方法および装置

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、電子集成装置の洗浄および乾燥に関し、特に
、電子および電気部品の両方を意味する部品を洗浄し乾
燥する方法および装置に関する。
電子工業の範囲内で、印刷回路板および他の電子部品お
よび集成装置から融剤残滓、その他の汚れを除去し、水
を溶解により除去することができる溶剤が要求されてい
る。
このような目的のための理想的な溶剤は、下記の性質を
有しなければならない。
表　　１ （１無毒であること、 （２ｆｉｌ燃性であること、 （３プラスチック材料を侵食しないこと、（４高い透過
能を有すること、 （５熱安定性であること、 （６）極性および非極性の汚れを溶解しうろこと、（１
）優れた誘電特性を有すること、 （８高価すぎないこと。
多年の間、１．１．２−１−リクロロートリフルオロエ
タンは、好ましい溶剤であったが、それは、溶解力の増
大のために、しばしば、小量の極性溶剤（特に低級脂肪
族アルコール）と混合する必要があった。また、溶解作
用は、通常には、攪拌により、例えば、噴霧、）ｌ騰、
散布または超音波振動により助けられるであろう。代表
的な配合は、例えば、英国特許出願第１．３３０，５３
４号、第１．３７７．１５６号、第１．４６９．２６４
号、第１，４９５．３２１号および第１．５３４゜７３
４号明細書に見出すことができる。
近年、特に１９８０年以来、クロロフルオロカーボン（
ＣＦＣ）は、〜・股に、上空大気中のオゾン層の枯渇の
一因となる可能性があるという疑いを受けるようになっ
た。したがって、地球上の大気中へのクロロフルオロカ
ーボンの放出を減じ、終局的には排除する運動がある。
したがって、ＣＦ　Ｇの大気中への認知しつる脱出があ
りそうな使用からＣＦＣを排除することが望ましい。
本発明は、塩素または臭素を含有しない高フッ素化有機
化合物（ＨＦ　Ｏ）を、高フッ素化合物よりも高い溶解
力を有する溶剤（通常は権性有機溶剤）とともに用いる
、特に電子集成装置および部品のための洗浄および乾燥
の代わるべき方法を提供する。ＨＦＯは、一般に、非常
に乏しい溶解力を有し、大部分の他の溶剤と部分的に混
和するにりぎない。しかしながら、ＨＦＯは化学的に不
活性であり、プラスチック材料と非常に良い相溶性を有
する。脂肪族アルコール、ケトン、ニトリル、ニトロア
ルカンおよびアセタールのような官能性炭化水素は、特
に極性の）りれに対して比較的に高い溶解力を有するが
、それらは常に易燃性である。
クロロフルオロカーボンを考慮から除くなら、塩素化お
よび臭素化溶剤が残るが、それらは、要求された低毒性
およびプラスチック材料との相溶性を有しない。
ｒＨＦＯＪは、主として炭素とフッ素原子を含有するが
、酸素または゛窒素原子とともに、または、それなしに
小量割合の水素原子を含有しうる有機化合物を意味する
ものとする。
本発明は、ＨＦＯより比較的に高い溶解力を有する易燃
性液体を、フッ素化有機化合物と組合せて用い、したが
って引火性の危険を最小に減じる、特に電子集成装置お
よび部品のための、洗浄および乾燥方法および装置の提
供を目的とする。
本発明は、−面では、容器中に、水素含有、易燃性、液
体有機溶剤を用い、部品を洗浄し、乾燥する方法であっ
て、該溶剤の表面が（ここに規定するような）高フッ素
化有機化合物に富んだ蒸気層でおおわれ、蒸気層が熱を
有機溶剤に移し、洗浄されるべき部品を液体有機溶剤と
接触させ、それから除去し、高フッ素化化合物に富んだ
蒸気相中で蒸気−すすぎ、または乾燥し、次に洗浄環境
から除去する方法を提供する。
好ましい有機溶剤は、１〜５個の炭素原子を含有する低
級脂肪族アルコール（例えば、エタノール、イソプロパ
ツール）であるが、ケトン、ニトリルおよびニトロアル
カンのような他の官能性溶剤も用いることができる。有
機溶剤は、高フッ素化化合物を有機溶剤中のその化合物
の飽和温度（飽和溶解度）まで含有することができるこ
とを理解されたい。
電子部品洗浄のために好ましいＨＦＯは、ペルフルオロ
−ｎ−アルカン、ペルフルオロ−化合物、ペルフルオロ
−アミンおよびペルフルオロ−エーテルであり、好まし
くは＋３０′″と＋１００℃の間の沸点範囲を有する。
他の洗浄または脱脂作用においては、これらの温度は超
過し、代表的には１００４〜２５０℃であってよい。し
かしながら、このようなＨＦＯ化合物は、完全にフッ素
化される必要はない。該化合物は、最も好ましくは、ペ
ルフルオロ（アルキル−またはポリアルキル−シクロア
ルカン）である。
特に適当な水素含有フッ素化有機化合物は、下記を含む
； 沸　　点 ペルフルオロ−１−ヒドロ 一ｎ−へブタン　　　　　　　　　　４５℃ペルフルオ
ロ−１−ヒドロ 一〇ーヘキサン　　　　　　　　　　７０℃ペルフルオ
ロ−１，３− ジヒドロ−シクロヘキサン　　　　　７８℃有機溶剤層
は、水／有機溶剤系の共沸混合物に至るまで水を含有し
てもよい。
損失を避けるために、既知の冷却／凝縮／再循環手段に
より溶剤およびフッ素化化合物を分離し、維持Ｊること
が必要である。
したがって、別の面では、本発明は、高フッ素化化合物
溜め、高フッ素化化合物を加熱し、溜めから蒸発させる
手段、高フッ化化合物蒸気を洗浄部屋に誘導し、該部屋
中のＴｉ機液体をおおうための手段、洗浄されるべき部
品を該部屋に導入し取出すための手段、および高フッ素
化化合物と有機溶剤を凝縮し、それぞれの溜めに再循環
するための手段より成る、部品を洗浄し乾燥するための
装置を提供する。
加熱手段は、電気素子または加熱コイルであるのが好ま
しい。
高フッ化化合物蒸気は、有機液体を直接加熱りる洗ｔｐ
部）蚕に通すのが好ましい。
凝縮手段は、好ましくは、冷却コイルである。
ダクトにより底部で相互に連絡された複数個の洗浄区分
室があってもよく、ダクトは、少なくとも部分的に液体
高フッ素化化合物で満たされており、したがって、異な
った区分室中の溶剤がその底部で混合するのを回避する
。ダクトは、有機溶剤の上の蒸気空間にガス抜きされる
フッ素化化合物／有機溶剤分離器を経由して、高フッ素
化化合物溜めに連結さてよい。
添付図面を参照して、例示のためにのみ、本発明を更に
説明する。第１〜第４図は、本発明による装置の略図で
ある。
下記の説明において、パーフルオロ化合物というのは、
上に規定したような高フッ素化有機化合物への言及を含
むものと理解されたい。
本発明による方法および装置の単純な型を、第１図につ
いて説明する。
第１図は、重質ペルフルオロカーボン層９１１１３よび
易燃性溶剤層５を含有するタンク４を示す。この二つの
液体はほとんど混和しないから分離層のままである。加
熱器８がタンク４の底に取りつけられており、冷ｎ１コ
イル２がタンクの上部の内側に置かれている。加熱器８
を作動させると、フルオロカーボン蒸気の泡１０が、易
燃性溶剤層５を通して立ち上がり、ペルフルオロカーボ
ンに富んだ蒸気ブランケット３を形成する。蒸気レベル
１１は、蒸気を凝縮する冷却コイル２により制御され、
得られた液体は、重力により溶剤層に戻り、次にペルフ
ルオロカーボン層９に沈下する。タンクからのペルフル
オロカーボンの損失が次第に起り、その割合は、適当な
回収系の設計に依存する。
この損失のために、ペルフルオロカーボンレベル低下し
、ペルフルオロカーボンが失われるなら、最終的に危険
な事態を生じる。これを回避するために、フロートスイ
ッチ６が電源７に連結されており、ペルフルオロカーボ
ンが過剰に失われた場合に、電源は自助的に切れる。
いずれの適当なペルフルオロ化合物／有機溶剤の組合せ
も、蒸気を難燃性にするのに十分なペルフルオロ化合物
が溶剤の上の蒸気空間に存在することを条件として、用
いることができる。
第１図に承されたｖｉ置の場合は、ペルフルオロ化合物
の沸点は、低級脂肪族アルコールを溶剤として用いると
き約６０℃以下である必要がある。
更に、第１図に関して、洗浄されるべき部品の洗浄順序
は次のとおりである。
洗浄されるべき部品を、溶剤層５中に適当な時間おろす
。次に部品をフリーボード域１に上げ、冷１１が起こる
のに十分な時間そのままにしておく。
冷却された部品を、次に、蒸気帯域３に下げ、部品上に
蒸気を凝縮させ、したがって、ペルフルオロ化合物液体
中のすすぎを構成し、微量の汚れとともに残りのアルコ
ールを除去する。蒸気すすぎの後に、部品を蒸気層３か
ら再びしっかりと上げ、部品が蒸気から出ると、はとん
ど直ちに乾燥が起る。このようにして、部品は、洗浄模
に易燃性アルコールの残りが部品上に残在するアルコー
ル単独の洗浄とは対照的に、乾燥洗浄状態で方法を完了
する。この例は、エチルまたはイソプロピルアルコール
との組合せで約６０℃までの沸点を有するペルフルオロ
カーボンについて適当であるであろう。
本発明による方法を行なうためのより複雑な、かつ安全
な装置の態様を、第２図を参照して説明する。
第２図は、加熱器２２により加熱されたベルフル第１コ
カーボン２３を含有する沸騰部屋２４を示す。該部屋か
らの蒸気は、導管２５を経由して、アルコール層より成
る易燃性溶剤層２１の」二の蒸気ブランケット２６を形
成するタンク１２に導入される。ブランケットのレベル
は、冷却コイル１３によって制御され、同時に、冷却コ
イル１７は、アルコール層２１の温度を蒸気２６の温度
以下に維持する。操作中に、蒸気は冷却コイル１３およ
び表面１５の上に凝縮する。重質の、大部分が混和しな
い凝縮物は、タンク１２の底に沈み、ポンプ２ｏにより
濾過器１つをとおして重力分離器１４に移送される。分
離後、ベルフル７１’　ＩＴＪカーボンは、重力により
ボイラー２４に、アルコールはタンク１２に、それぞれ
管路１８および１６を経て戻る。
この装置を用いる洗浄の順序は次のとおりである。
部品を冷溶剤層２１中におろし、汚れを除去する。溶剤
２１は、必要なら、攪拌、超音波または他の手段により
攪拌することができる。部品を溶剤２１中に没漬した後
、蒸気層２６中に上げる。
部品は、蒸気層より温度が低いので、凝縮が部品表面で
起り新たに蒸溜された液体中のずずぎを与える。凝縮物
によるずすぎの後に、部品をタンクからしっかりと引上
げ、部品が蒸気／空気の界面２７を通る時に乾燥が生じ
る。
第３図を参照して説明すると、第３の態様において、安
全かつ連続的な易燃性溶剤の蒸留が備えられ、したがっ
て、溶剤の有用な寿命が延び、装置の清掃の必要な頻度
は減じ、したがって、排棄処分の問題が減じる。
第３図を参照すると、タンク３１は、蒸留されるべき有
機溶剤５３を含有する壁膜区分室４７と、洗浄に用いら
れる溶剤４５を含有する区分室４４より成る。別個の密
閉された沸鷹区分室４８は、加熱器４９により加熱され
たペルフルオロカーボン５ｏを含む。ペルフルオロカー
ボン 、′？。
とき、蒸気は導＠５１を通プ溶剤５３中に進む。
導管５１の入口は、区分室４７の一側面に位置し、した
がって、矢印で示した方向に溶剤５３の回転作用を起こ
させる。溶剤加熱期間中、蒸気は溶剤５３中に小液滴と
して凝縮する。これらは、回転作用により細目網４６に
運ばれて、そこで凝集が起こる。より大きい液滴は区分
室４７の底に沈む。
ポンプ４２は、液体混合物を区分室４７から濾過ＷＡ４
ｏを通って分離器３４に連続的に循環させる。
溶剤は、次に、重力により管路３６を経て区分室４７に
戻され、ペルフルオロカーボンは、重力により管路３８
を経てボイラー４８に戻る。
区分ｖ４７中の溶剤が、ボイラー４８中の特定のフルオ
ロカーボンの沸点まで熱くなるとき、溶剤５３中のペル
フルオロカーボンの凝縮は、区分室４７の絶縁体５２を
通る小過の熱損失により指令される速度に応じて、事実
上路わる。同時に、溶剤５３の蒸発速度が増加する。
蒸発速度は、ペルフルオロカーボン／溶剤混合物が各成
分単独よりも高い蒸気圧を有し、その結果、沸点が減少
し、水蒸気蒸留と同様の効果を与えるという事実により
高まる。ペルフルオロカーボン／溶剤の蒸気は、冷却コ
イル３２により制御されるレベル５７に上界する。凝縮
は、コイル３２上および溶剤４５の表面上の両方で起こ
り、該表面はコイル３９により冷却が維持される。コイ
ル３２上に凝縮するペルフルオロカーボン／溶剤混合物
は、環状トラフト５６に集められ、そこから重力により
分離器３３に流れる。溶剤４５の表面に凝縮するペルフ
ルオロカーボンは、区分室４４の底に落ち、そこからポ
ンプ４３によって濾過器４１を通り分離器３３に連続的
に移送される。
分離器３３における両供給流の分離の後に、溶剤は、重
力により管路３７を経て区分室４４に戻される。同様に
、分離されたペルフルオロカーボンは、管路３５．３８
を経てボイラーに戻される。
分離器３３および３４の両者は、区分室４７中の液体５
３の高さに等しいボイラー４８の背圧を克服するのに十
分な高さにあることが必要である。
このように、新たに蒸留された溶剤を区分室４４に連続
的に供給し、したがって連続的な精製設備を提供する状
態が存在する。また、溶剤は、区分室４７から溶剤蒸留
速度に等しい速度で、せき５４を越えて区分室４７に流
れる。融剤および油のような溶解した汚れは区分室４７
に集中し、部品が浸漬される区分室４４の溶剤４５は、
連続的に精製される。
洗浄の順序は次のとおりである： 洗浄されるべき部品を区分室４４中の冷溶剤４５の中に
おろす。融剤のような汚れは溶解し、必要なら、攪拌、
加圧ジェット、超音波などにより溶解を助けることがで
きる。次に、部品を蒸気層５５に引上げ、そこで凝縮物
が部品の上に形成し、純粋な液体中のすづぎを提供する
。次に、部品を蒸気から着実に上げ、部品が蒸気／空気
の界面５７を出るとＪＢ］時に乾燥が生じる。
この態様は、約６０℃で沸騰するペルフルオロカーボン
について用いるのに適当である。より高沸点のペルフル
オロカーボンは、もし、蒸気人口５１が分かれていて一
部の蒸気が蒸気空間５５中に直接行くなら、用いること
ができる。
上記の三つの例は、例証の目的のために記載されたが、
明らかに、更に変形および改良を思い浮かべることがで
きる。例えば、噴霧すすぎ段階を各々の例の蒸気層内に
組入れることができる。また、この計画は、経済的であ
るために適合されるべき有効な液体回収′８ＪＲ置を必
要とるであろう。
第４図を参照して説明する第４の態様においては、第３
図に関して要求されたような分＃ｉ器に液体を移送する
ポンプの必要のない、安全かつ連続的な蒸留が備えられ
ている。
第４図に関し、主タンク６２は、底に区分室７５．７６
．７７を含み、各々は、アルコールのような易燃性有機
液体で満たされている。区分室７５．７６．７７は、そ
れぞれ濾過器８１．８２゜８３を経て出口管８８．８９
．９０に連結される。
管８８．８９．９０は、各々易燃性液体で部分的に満た
され、それぞれ界面相８５．８６．８７によって規定さ
れたペルフルオロカーボン液体で部分的に満たされてい
る。出口管８８．８９．９０は、ペルフルオロカーボン
で満たされた管９１を経て、出口管７９によって制御さ
れた高さ８０の液体を含有するペルフルオロカーボン充
填分離器７８に連結されている。したがって、密度の高
いペルフルオロカーボンの高さ７９が、区分室／出口管
の組合せ？５，８８ニア６．８９および７７゜９０の高
さレベル、例えば、区分室７５における７２のペルフル
オロカーボン／アルコールのカラムと釣合をとる状態が
存在する。各々のレベル８５．８６．８７は、操作中、
自動的に調節する。
操作中、容器９２中のペルフルオロカーボン液体は、加
熱器９３により沸騰し、蒸気は管８４を経て扱は出し、
出口ノズル７４を経て区分室７５に注入される。このよ
うにして形成されたベルーノルオロカーボンに富む蒸気
６８は、冷却コイル６５によりレベル６７に制御される
。このようにして形成された凝縮物は、トラフ７１に集
められ、管７３を経て区分室７７に戻される。区分室７
７中の過剰の易燃性有機液体は、絶縁されたせき７０を
越え区分室７６中に流れ、そこからせき６９を越え区分
室７５に流れ、そこで蒸発が再び開始する。これにより
、有機溶剤に入る可溶性の汚れは、区分室７５に集中し
、同時に区分室７６および７７は、連続的に清潔にされ
る。いずれの区分室７５．７６．７７に入るペルフルオ
ロカーボン液体は、底に沈み、分離して管８８，８９．
９０６よび９１を流れ、分離器７８、出ロア９、管路９
４を通りボイラーに戻り、そこで循環を再び開始する。
圧力バランス管路６６は分離器７８およびボイラー戻り
管路９４に相互に連結されている。
これは二つの目的を有す： （ａ）空気が分離器７８の頂部にたまり、それに、より
圧力バランスと分離器のレベルに悪影警を及ばずのを避
けること：および、 （ｂ）管路８４を経てボイラーに易燃性溶剤が吸弓によ
り戻るのを回避すること。すなわち、ボイラーが冷える
とき、蒸気空間９５中の蒸気は凝縮し、部分的な真空を
生じるが、それは、管路９４中の静水圧ヘッドが、管路
８４に入る液体をレベル６３に上げるのに必要なヘッド
より低いことを条件として、管路９４によって減じるこ
とができる。
液体保存は、細長いブラシシールのような浸透性スクリ
ン６４およびタンク６２の上部の回りに巻かれた冷蔵コ
イル６１によって助けられる。スクリン６４は、外部の
空気流が蒸気空気の界面６７を乱すのを防ぐ。冷蔵コイ
ル６１は、空気の冷たい層を外部環境より密度を高くし
、タンク６２内にとどまり、かくしてタンクからの液体
の流出を最小にする。
洗浄されるべき部品は、超音波攪拌または加圧液体ジェ
ットを含んでもよい区分室７６におろされる。区分室７
６における適当な時間の後に、部品を蒸気空間６８に引
上げるが、その時間内に凝縮物によるすづぎが区分７６
の液体の温度に依存して起こる。次に、部品を冷却され
た区分室７７に適当な時間浸漬し、蒸気空間６８に再び
引上げ、そこで別の凝縮物によるすすぎが起こる。次に
、部品を浸透性スクリン６４を経てタンクから取出す。
別の洗浄順序を用いることができる。例えば、区分室７
５中で加熱および攪拌された液体を最初の浸漬段階とし
て用いることができる。
本発明の実施において、いずれの高フッ素化化合物、特
に、適当な沸点を有するいずれのペルフルオロ有機化合
物（ｐｆｃ）も、非−易燃性蒸気層として適当であるで
あろう。これらは、一般に、分子中にフッ素と炭素のみ
を含む化合物、または酸素または窒素のようなヘテロ原
子を含むものである。したがって、ペルフルオロ化エー
テルおよびアミンも使用できる。ペルフルオロカーボン
の乏しい溶解力と、上記例の蒸気凝縮工程における有効
なす覆ぎを与える必要性の故に、ペルフルオロカーボン
は、選ばれた有機溶剤に最大の溶解性を示すものが好ま
しい。しかしながら、液相においては、有機溶剤とｐｆ
ｃは、下記の理由のために出来るだけ混和しないままで
あるのが望ましい＝１、有機溶剤の廃棄にともなう高価
なｐｆ’ｃの損失を避りるために、二つの液体の可能な
限り完全な分離を促進すること、 ２、ｐｆＣと混合した有機溶剤は、溶解する汚れの温度
を増加させるので、ｐｆｃに溶解する汚れを最小にする
こと。
代表的に適当なペルフルオロ化合物／有機溶剤の対は、
下記第２表の例１〜５に示す。
第　　２　　表 ペルフルオロカーボン　　　　易燃性溶剤１、ペルフル
オロ（メチル　　エチルアルコールシクロヘキサン） （沸点７６℃）　　　　　　０’ＩＩ点７８℃）２、ペ
ルフルオロ（メチル　　イソプロピルシクロヘキサン）
　　　　　アルコール（沸点７６℃）　　　　　（沸点
８２℃）３、ペルフルオロ（ジメチル　ｎ−プロピルシ
クロヘキサン）　　　　　アルコール（沸点１００℃＞
　　　　　（？Ｉ！１点９７℃〉４、ペルフルオロ（ｎ
−ｎ−プロピル ヘキサン）　　　　　　　　アルコール（沸点７５℃）
　　　　　　（沸点９７℃）５、ペルフルオロ（メチル
　　ｎ−プロピルシクロペンタン）　　　　　アルコー
ル（８Ｉｉ点４７℃）　　　　　（沸点９７℃）アルコ
ール／ｐｆＣの相互混和性を減じる好ましい方法は、水
を加えることである。水を加える別の利益は、アルコー
ル相における極性の汚れの溶解度を増加させることであ
る。
添加される水の割合は、好ましくは、適当な有機溶剤中
の水の共沸混合物の限度を越えてはならない。
また、相溶性は温度の関数であるから、有効な洗浄と両
立して最小のペルフルオロカーボンの沸点が選ばれ、そ
れは通常、湿度とともによくなる。
一般に、４０℃〜１００℃範囲のペルフルオロカーボン
の沸点が最も広く有用である。連続的な溶剤の蒸留が必
要である場合は、溶剤の沸点に近い沸点を有するこれら
のペルフルオロカーボンが最も有用である。第３表は、
ペルフルオロメチルシクロヘキサン（ＰＰ２）とイソプ
ロピルアルコールが、下記の理由により特に有用な対で
あることを示す。
特　　　徴 沸点類似 ２５℃のアルコール 中のＰＰ２の１９％Ｗ／Ｗ溶 鮮度 第　　３　　表 剋−一一益 アルコールは、有効なアル コール精製のために十分な 速度で蒸発する。
１、溶剤が接合部から漏れ ても引火性の危険は減す る。
２、蒸気相から凝縮する液 体混合物中の極性汚れの よりよい溶解度。
特　　　徴 ＰＰ２の沸点７６゜ 利　　　　益 １、イソプロピルアルコ− ルのそれと同様 ２、蒸留による精製に関し て、アルコールは、適当 な速度で蒸留する。
３、沸点は、良好な相溶性 を与え、熱損傷を最小に するのに十分に低い。
４、沸点は、イソプロピル アルコールに対する良好 な溶解力を与えるのに十 分に高い。
ＰＰ２中のアルコール　分離後、ボイラーに戻る液の０
．４％溶解度　　体は、実質的にペルフルオロカーボン
である。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明の部品を洗浄し乾燥するための装置の
−ｆｉ様を示す略図である。 ４・・・タンク　５・・・易燃性溶剤層９・・・重質ペ
ルフルオロカーボン層 第２図は、本発明の装置の別の態様を示１−略図である
。 ２２・・・加熱器：２３・・・ペルフルオロカーボン：
２４・・・沸騰部屋；２１・・・易燃性溶剤層：２６・
・・蒸気ブランケット；１２・・・タンク；１３・・・
冷月１フィル：１７・・・冷却コイル：２０・・・ポン
プ；１９・・・濾過器；１４・・・重力分ｍ器 第３図は、本発明の装置のもう一つの態様を示す略−で
ある。 ３１・・・タンク；５３・・・有機溶剤；４７・・・Ｖ
段区分室；４４・・・区分室；４５・・・溶剤；４８・
・・沸騰区分室；４９・・・加熱器；５０・・・ペルフ
ルオロカーボン；５３・・・溶剤：４２，４３・・・ポ
ンプ：４０・・・濾過器＋３３．３４・・・分離器、３
２．３９・・・冷ｎ１コイル 第４図は、本発明の装置の更にもう一つの態様を示す略
図である。 ６２・・・主タンク；７５．７６．７７・・・区分室；
８１．８２．８３・・・濾過器： ８８．８９．９０・・・出口管； ８５．８６．８７・・・界面相； ９２・・・ペルフルオロカーボン液体の容品；９３・・
・加熱器；６５・・・冷却コイル；７８・・・分離器、
９５・・・蒸気空間；６６・・・圧力バランス管路

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）容器（１２）中の水素含有、易燃性の液体有機溶
    剤（２１）との接触により部品を洗浄し乾燥する方法で
    あって、溶剤表面が、有機溶剤に熱移動する高フッ素化
    有機化合物に富んだ蒸気層（２６）によりおおわれてい
    ること、および、洗浄されるべき部品を液体有機溶剤と
    接触させ、それから除去し、高フッ素化化合物に富んだ
    蒸気層中で蒸気−すすぎ、または乾燥し、次に洗浄環境
    から除去することを特徴とする方法。
  2. （２）有機溶剤が低級脂肪族（Ｃ＿１−Ｃ＿５）アルコ
    ールであることを特徴とする上記（１）の方法。
  3. （３）部品が電気または電子部品であり、高フッ素化化
    合物が３０℃〜１００℃で沸騰するペルフルオロアルカ
    ン、ペルフルオロ−脂環式化合物、ペルフルオロ−アミ
    ンおよびペルフルオロ−エーテルから選ばれることを特
    徴とする上記（１）または（２）の方法。
  4. （４）高フッ素化化合物がペルフルオロ（アルキル−ま
    たはポリアルキル−シクロヘキサン）であることを特徴
    とする上記（３）の方法。
  5. （５）有機溶剤が、高フッ素化化合物を該溶剤中の該化
    合物の飽和溶解度に至るまで含有することを特徴とする
    、上記（１）、（２）または（３）の方法。
  6. （６）有機溶剤層が、水を水／有機溶剤系の共沸混合物
    に至るまで含有することを特徴とする上記（１）〜（５
    ）のいずれかの方法。
  7. （７）高フッ素化化合物の溜め（２４）、高フッ素化化
    合物を加熱し、溜めから蒸発させる手段（２２）、高フ
    ッ素化化合物の蒸気を洗浄部屋に誘導し、該部屋の有機
    液体（２１）をおおうための手段（２５）、洗浄される
    べき部品を該部屋に導入し取出すための手段、および、
    高フッ素化化合物と有機溶剤を凝縮し、それぞれの溜め
    に再循環するための手段（１３、１４）より成る、部品
    を洗浄し乾燥するための装置。
  8. （８）加熱手段が電気素子（２２）または加熱コイルで
    あることを特徴とする上記（７）の装置。
  9. （９）有機液体を直接加熱するために、高フッ素化化合
    物の蒸気を洗浄部屋に通すための手段を特徴とする、上
    記（７）または（８）の装置。
  10. （１０）凝縮手段が冷却コイル（１３）であることを特
    徴とする上記（７）〜（９）のいずれかの装置。
  11. （１１）ダクト（８８、８９、９０）により底部で相互
    に連結された複数個の洗浄区分室（７５、７６、７７）
    が存在し、ダクトは少なくとも部分的に液体高フッ素化
    化合物で満たされており、したがつて異なった区分室中
    の溶剤がその底部で混合するのを避けることを特徴とす
    る上記（７）〜（１０）のいずれかの装置。
  12. （１２）ダクトが、有機溶剤の上の蒸気空間にガス抜き
    されるフッ素化化合物／有機溶剤分離器（７８）を経由
    して、高フッ素化化合物溜め（９２）に連結されること
    を特徴とする上記（１１）の装置。
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