JPH0686960A

JPH0686960A - 洗浄装置

Info

Publication number: JPH0686960A
Application number: JP18096292A
Authority: JP
Inventors: Masayuki Imose; 正行芋瀬
Original assignee: Kanken Techno Co Ltd
Current assignee: Kanken Techno Co Ltd
Priority date: 1992-07-08
Filing date: 1992-07-08
Publication date: 1994-03-29

Abstract

(57)【要約】【目的】環境破壊等の問題を生じることなく、炭化水
素のみを用いた場合、過熱水蒸気のみを噴射した場合に
はできなかった、微細な異物をも除去する洗浄、特に油
付着した精密機器部品のミクロンオーダーの異物を除去
する洗浄を可能とする洗浄装置を提供する。【構成】被洗浄物２１を収容した洗浄タンク１、ハロ
ゲンを含まない例えば灯油等の洗浄液２９を収容した洗
浄液タンク２、過熱水蒸気を溜めた蒸気タンク３２、洗
浄タンク１，洗浄液タンク２の上部から加圧するための
高圧窒素ボンベ３９を備え、洗浄タンク１内で、被洗浄
物２１を洗浄液２９に浸漬して、洗浄した後、蒸気タン
ク３２からの過熱水蒸気を被洗浄物２１に噴射してすす
ぎを行い、洗浄タンク１内を脱気することにより乾燥す
るように形成してある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば、ボルト，ナッ
トを含む各種機械加工部品、なかでも半導体，液晶部
品，磁気ディスク，電気・電子部品，光学部品，複写機
用部品、および軸受部品等の精密機器部品の洗浄に好適
な洗浄装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】上記の各種精密機器部品の表面は、最終
製品に至る迄の間に、加工工程において各種の汚れ、例
えばプリント回路インクを含むインク類，ソルダーフラ
ックス，パラフィンペンキ，クリームハンダ，研磨剤，
離型剤，接着剤，防腐剤，切削油，タール，潤滑油，グ
リース，カーボン，グラファイト，コンパウンド，切
粉，ラッカー，ワニス，プラスチック残留物，指紋，
埃，糸屑，蛋白，塩分、および艶出しワックス等が付着
して、汚される。そして従来は、この汚れを落とすの
に、フッ化炭化水素系溶剤，塩化メチレン，トリクレ
ン、およびパークレンを代表とする有機塩素系炭化水素
が主に使用されるとともに、この他さらにアルコール
系，ケトン系の溶剤、および水系洗浄剤も使用されてき
た。なかでもフッ化炭化水素系溶剤は、抜群の洗浄力と
ともに不燃性，低沸点，化学的安定性、および金属，プ
ラスチック，セラミック等の被洗浄物を侵さないという
優れた特性から、代表的な洗浄剤として重宝されてき
た。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の洗浄剤の
内、フッ化炭化水素系溶剤を含む有機塩素系炭化水素
は、地球オゾン層破壊の元凶として、さらに人体に対す
る発癌性物質である疑いもあり、早晩使用出来ない状況
に追い込まれつつある。このため、界面活性剤を用いた
水系洗浄剤，アルコールを中心とした混合溶剤の面から
代替洗浄剤が盛んに検討されているが、いずれもなお問
題が多いのが現状である。例えば、以下の如き点が指摘
できる。

【０００４】（１）水系洗浄剤不燃性で排ガス処理が不要であるという利点がある
が、関連設備のための所要面積は、従来の溶剤洗浄によ
る場合に比して広くする必要がある。被洗浄物の材質によっては、適用できない場合があ
る。ワンパス洗浄であるため、排水量が多く、また排水
処理設備も必要となる。水切り・乾燥について、様々な方法が提案されてい
るが、被洗浄物の種類，形状によっては、決め手となる
方法が未だない。採用する方法によっては、被洗浄物表
面に、しみ、スポット状の斑点、或は錆が発生したり、
使用溶剤の回収，再生が必要になる等の問題が生じる。全般的に、洗浄剤管理の方法が確立しておらず、１
週間程度で洗浄剤の全量交換を要する場合がある。

【０００５】（２）アルコール系，ケトン系洗浄剤高級アルコール系、ケトン系洗浄剤では、洗浄後の
水リンスを必要とするものがあり、この後の水切り，乾
燥が必要となる。なお、レンズ，感光体ドラムの洗浄で
は、しみの問題が未だ解決されていない。水と混合使用した場合には、使用液、およびリンス
液の排水処理が必要になる。軽度の汚れ洗浄には、使用できても機械油を含む汚
れには、洗浄力が不足して、十分な洗浄はできない。本発明は、斯る従来の問題点を課題としてなされたもの
で、ミクロンオーダの異物の付着も許されない精密機器
部品、なかでも油付着した精密機器部品であっても、上
述した問題を生じることなく、洗浄可能とした洗浄装置
を提供しようとするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、被洗浄物保持手段を取出し可能に収納
し、下部に第１給排液部を、上部に第１給排気部を備
え、内部に蒸気噴射ノズル部を備えた開閉可能な密閉式
洗浄タンクと、下部に第２給排液部を、上部に第２給排
気部を備え、内部に洗浄液を溜める洗浄液タンクと、過
熱水蒸気を生成し、送り出す蒸気供給部と、過熱水と、
上記第１給排気部を通して上記洗浄タンク内に加圧ガス
を供給し、洗浄タンク内からガスを吸引する第１配管部
と、上記第２給排気部を通して洗浄液タンク内に加圧ガ
スを供給し、洗浄液タンク内からガスを吸引する第２配
管部と、上記第２給排液部から上記第１給排液部へ、或
はその逆に洗浄液を導くとともに、上記第１給排液部か
ら液体を外部に排出する第３配管部と、上記蒸気供給部
から上記蒸気噴射ノズル部に過熱水蒸気を導く第４配管
部と、上記洗浄タンクを、内部に被洗浄物を配置した状
態として、密閉した後、洗浄液を溜めた洗浄液タンクに
加圧ガスを供給して、洗浄液を洗浄タンク内に圧送し、
洗浄後、上記洗浄液タンク内の加圧ガスを排気するとと
もに、上記洗浄タンク内に加圧ガスを供給して洗浄タン
ク内の洗浄液を上記洗浄液タンクに戻し、その後上記蒸
気タンクから上記蒸気噴射ノズル部に過熱水蒸気を導い
て、付着洗浄液を滴下させ、水蒸気噴射後、上記洗浄タ
ンクの下部から滴下液体を外部に排出し、上部からガス
を排出させる工程の繰り返しを可能とする開閉弁群とか
ら形成した。

【０００７】

【作用】上記発明のように構成することにより、従来の
有機塩素系炭化水素等を使用した場合における、環境破
壊等の問題を生じることなく、炭化水素のみを用いた場
合、過熱水蒸気のみを噴射した場合にはできなかった、
精密機器部品、特に油付着した精密機器部品のミクロン
オーダーの異物を除去する洗浄が行われるようになる。

【０００８】

【実施例】次に、本発明の一実施例を図面にしたがって
説明する。図１，図２は、本発明に係る洗浄装置を示
し、洗浄タンク１と洗浄液タンク２と蒸気供給部３と第
１〜第４配管部４〜７と第１〜第９開閉弁８〜１６を含
む開閉弁群を備えている。洗浄タンク１は、被洗浄物２
１を適宜間隔で保持するラック２２を取出し可能に収納
し、下部に第１給排液口２３を、上部に第１給排気口２
４を備え、内部に多数のノズルを設けた蒸気噴射ノズル
部２５を備え、上部を回動蓋２６として開閉可能、かつ
密閉可能になっている。洗浄液タンク２は、本実施例で
は３基設けてあり、それぞれの下部に第２給排液口２７
が、上部に第２給排気口２８が設けてあり、内部には洗
浄液２９が溜めてある。

【０００９】蒸気供給部３は、本実施例ではボイラ３１
と蒸気タンク３２とこの両者間に設けた中間流路３３
と、第１蒸気流路３３に設けた第１蒸気流路用開閉弁３
４とからなっている。ボイラ３１により過熱水蒸気を発
生させ、この過熱水蒸気を蒸気タンク３２に溜め、蒸気
タンク３２内の過熱水蒸気が減ると、開閉弁３４を適宜
開いて第１蒸気流路３３より蒸気タンク３２に過熱水蒸
気を補給できるようになっている。第１配管部４は、図
示しない吸気装置に接続した第１吸気流路３６と蒸気タ
ンク３２に接続した第１給気流路３７とを合流させ、合
流流路を第１給排気口２４に接続して形成してあり、第
１吸気流路３６に第１開閉弁８，第１給気流路３７に第
２開閉弁９が設けてある。第２配管部５は、図示しない
吸気装置に接続した第２吸気流路３８と高圧ガス源、例
えば本実施例では、高圧窒素ボンベ３９に接続した第２
給気流路４０とを合流させ、合流流路を第２給排気口２
８に接続して形成してあり、第２吸気流路３８に第３開
閉弁１０，第２給気流路４０に第４開閉弁１１が設けて
ある。さらに、高圧窒素ボンベ３９の各出口に第５開閉
弁１２が設けてある。

【００１０】第３配管部６は、第１，第２給排液口２
３，２７に接続した給排液流路４１からドレン用流路４
２を分岐させて形成してあり、第１，第２給排液口２
３，２７を出た箇所には、第６開閉弁１３，第７開閉弁
１４が、またドレン用流路４２には、第８開閉弁１５が
設けてある。ドレン用流路４２は、外部に開口してお
り、ここからドレン受け部４３に排液するようになって
いる。第４配管部７は、蒸気供給部３、さらに詳しくは
本実施例では、蒸気タンク３２から蒸気噴射ノズル部２
５に過熱水蒸気を導く第２蒸気流路４４を設けて形成し
てあり、この第２蒸気流路４４には第９開閉弁１６が設
けてある。また、第２蒸気流路４４は、蒸気供給部３側
にて第１給気流路３７と合流して蒸気タンク３２に接続
している。そして、以下に述べるように、第１〜第９開
閉弁８〜１６を含む開閉弁群を操作することにより、洗
浄タンク１において洗浄，すすぎ，乾燥が行われる。

【００１１】次に、上記構成からなる装置の運転方法に
ついて説明する。まず始めに、第１蒸気流路用開閉弁３
４を開としてボイラ３１で生成した過熱水蒸気を蒸気タ
ンク３２に溜めた状態にしておくとともに、第５開閉弁
１２を開、その他の開閉弁を閉の状態にしておいて、被
洗浄物２１を保持させたラック２２を洗浄タンク１内に
配置して、回動蓋２６を閉め、洗浄タンク１を密閉状態
にし、各洗浄液タンク２内に洗浄液を満たしておく。こ
こで、洗浄液としては、ハロゲンを含まない、例えば以
下のものを用いる。炭化水素系：ガソリン，ケロシン，軽油，灯油，ベ
ンゼン，トルエン，キシレンアルコール系：メタノール，エタノール，イソプル
ピパノールケトン系：アセトン，メチルケトンこれらのものを単独で、或は２種以上混合して、例えば
ベンゼン，エタノールを混合して使用する。

【００１２】そして、第１、例えば図２中最上段の洗浄
液タンク２に接続した第２給気流路４０の第４開閉弁１
１および第１開閉弁８を開にするとともに、上記最上段
の洗浄液タンク２に接続した給排液流路４１の第６，第
７開閉弁１３，１４を開にする。これにより、上記最上
段の洗浄液タンク２内の上部に高圧窒素ガスを導き、洗
浄液２９の上部より加圧して、洗浄液２９を給排液流路
４１を経由して洗浄タンク１内に一気に送り込む。ここ
で、第１開閉弁８を開としているので、洗浄タンク１内
に洗浄液２９が入り易くなっている。また、上記のよう
に洗浄液２９を加圧して圧送することにより、洗浄液２
９のタンク間移動を、例えばポンプにより圧送する場合
に比して、はるかに短い時間で行えるとともに、洗浄液
２９に接触する機械部分がなくなり、この接触による洗
浄液２９および機械部分の汚れはなく、また液を圧送す
る機械の故障の心配，メインテナンスも不要となる。

【００１３】さらに、例えばポンプを使用すれば、ポン
プ内で火花が発生することもあり、この火花が洗浄液２
９に引火して爆発の危険性をはらむが、高圧ガスで圧送
する上記装置では斯る危険性もない。洗浄タンク１内に
洗浄液２９を送込むと、第１，第６開閉弁８，１３を閉
じて、適宜時間被洗浄物２１を洗浄液２９に浸漬させた
洗浄状態にして、被洗浄物２１に付着した汚染物を強制
的に除去する。ここで、洗浄作用を高めるために、ラッ
ク２２を揺動させる手段、洗浄液２９を被洗浄物２１に
噴射する手段を設けて固液接触を促進し、さらに洗浄タ
ンク１の内壁部に超音波振動エレメントを設置する他、
洗浄液２９の温度を調整するために加熱手段、例えばシ
ーズヒータを洗浄タンク１内に設けてもよく、これらを
単独、或は組み合わせて洗浄してもよい。

【００１４】洗浄が終了すると、第４開閉弁１１を閉
じ、第３開閉弁１０を開くとともに、第２，第６開閉弁
９，１３を開き、洗浄タンク１の上部に蒸気タンク３２
からの過熱水蒸気を導き、洗浄液２９の上部を加圧し
て、一気に洗浄液２９を洗浄液タンク２内に戻す。洗浄
液２９を洗浄液タンク２内に戻し終えると、第２開閉弁
９，第３開閉弁１０，第６，第７開閉弁１３，１４を閉
じる。以上は、図２中最上段の洗浄液タンク２内の洗浄
液２９を使っての洗浄であるが、この操作を図２中中
段，最下段の洗浄液タンク２の各々についても繰返し洗
浄を行う。これにより、段階的により清浄な洗浄が行わ
れる。このため、図２において、下段の洗浄液タンク２
ほど、内部の洗浄液２９の汚れ度は低く、洗浄液２９を
補充する場合、新たな洗浄液は最下段の洗浄液タンク２
に当て、使用回数の多い洗浄液ほど、上段の洗浄液タン
ク２に戻すようにするのが好ましい。

【００１５】図２中二点鎖線で示すように、各洗浄液タ
ンク２に液再生装置４５を設けて、汚れた洗浄液２９を
浄化して、再使用するようにしてもよい。ついで、第９
開閉弁１６を開いて、蒸気噴射ノズル部２５から被洗浄
物２１に対して過熱水蒸気を噴射して、被洗浄物２１に
付着している洗浄液を除去するすすぎ工程に入る。この
すすぎ工程が終了すると、第９開閉弁１６を閉じて、第
６，第８開閉弁１３，１５を開き、洗浄タンク１の下部
に溜まった水と洗浄液の混合液を、ドレン受け部４３に
排出する。さらに、第６，第８開閉弁１３，１５を閉じ
て、第１開閉弁８を開き、洗浄タンク１内から脱気し
て、被洗浄物２１の乾燥を行う。この乾燥工程が終了す
ると第１開閉弁８を閉じた後、回動蓋２６を開き、洗浄
タンク１からラック２２を取り出す。以後、上記各工程
の繰り返しとなる。

【００１６】上記装置は、閉鎖系を構成して、外部から
の空気の侵入は一切遮断することにより、洗浄液２９の
引火、爆発を防止するようになっている。なお、本発明
は上記実施例に限定するものでなく、例えば以下の如き
構成をも含むものである。図１中二点鎖線で示すよう
に、洗浄タンク１内の上部から加圧する第１給気流路３
７に代えて、第２給気流路４０を延長して第１配管部４
に合流させるとともに、第２開閉弁９に代わる第２開閉
弁９ａを介在させた第１給気流路３７ａを設けてもよ
く、或は第１給気流路３７，３７ａの双方を並設しても
よい。

【００１７】第１，第２配管部４，５について、洗浄タ
ンク１，洗浄液タンク２との接続部を合流流路により一
箇所、即ちそれぞれ一つの第１給排気口２４、或は第２
給排気口２８とせずに、第１吸気流路３６，第１給気流
路３７，第２吸気流路３８，第２給気流路４０のそれぞ
れを別個に洗浄タンク１，洗浄液タンク２に接続しても
よい。同様に、給排液流路４１とドレン用流路４２につ
いても、合流させることなく別個に設けてもよい。洗浄
タンク１，洗浄液タンク２の上部に、圧抜き用の安全弁
を設けてもよい。高圧ガス源として、例えば工場設備の
一つとして常時圧縮機により供給されるようになってい
る場合には、ボンベを使用することなく、配管により、
洗浄タンク１、洗浄液タンク２に導くようにしてもよ
く、加圧ガスとして窒素ガス以外の非爆発性不活性ガス
を用いてもよい。また、洗浄タンク１，洗浄液タンク
２，高圧窒素ボンベ３９の数は何等限定するものではな
い。例えば、図２に２点鎖線で示すように、さらに上記
同様の洗浄タンク１，給排液流路４１，第６，第７開閉
弁１３，１４（図示省略）を設けてもよい。さらに、本
発明は必ずしも蒸気タンク３２を必要とするものではな
く、ボイラ３１の容量を大きくして、ボイラ３１から直
接蒸気噴射ノズル部２５に過熱水蒸気を供給するように
してもよい。

【００１８】次に、テスト結果について説明する。テス
トでは、洗浄タンク１，洗浄液タンク２として、内容積
２５０Ｌのステンレス鋼ＳＵＳ３０４製の３基のタンク
を用い、このうち洗浄タンク１については、７００×７
００×６００（ｍｍ）の直方体形状にし、底部に２個の
投込型超音波振動子（シャープ（株）製ＵＩ−６０４
Ｒ）を並列に設置し、内部を１枚のステンレス鋼製のス
トレーナで以て、均等高さで２段に分割した。また、配
管類はすべてステンレス鋼ＳＵＳ３０４製のものとし
た。さらに、テストでは、図１において二点鎖線で示し
たように、第２給気流路３５を延長して、洗浄タンク１
に至らせる構成を採用した。被洗浄物２１として、常法
により製造された寸法１９インチのＣＲＴ用シャドウマ
スクを用い、これを上記２段に形成した空間の各々に５
枚ずつ均等間隔で、縦置きにして固定した。

【００１９】以下、テストに使用した装置各部につい
て、図１，２に示す装置各部と同一の参照番号を用いて
説明する。第６，第７開閉弁１３，１４を開いた状態の
下で、洗浄液タンク１に貯蔵した洗浄液２９である沸点
１９０〜２５０°Ｃの灯油（液温２０°Ｃ）２００Ｌ
を、高圧窒素ボンベ３４を使って、窒素ガスで以て、洗
浄液タンク２の上部より１〜２ｋｇ／ｃｍ²の圧力を加
えるとともに、第４，第５開閉弁１１，１２を開いて、
洗浄液２００Ｌを洗浄タンク１に圧送した。さらに、密
閉状態下の洗浄タンク１で被洗浄物２１を洗浄液２９に
浸漬する一方、第６開閉弁１３を閉じて、超音波振動子
を作動させ、３分後に第６開閉弁１３、および第２，第
４開閉弁９，１１を開き、洗浄タンク１内の上部に上記
圧力の窒素ガスを送り、洗浄液２９を洗浄液タンク２に
戻し、この工程を他の洗浄液タンク２についても繰り返
した。

【００２０】ついで、ボイラ３１で発生させた過熱水蒸
気を、蒸気タンク３２より１３０〜１５０°Ｃ，３〜５
ｋｇ／ｃｍ²の状態で蒸気噴射ノズル部２５に送り、こ
こからこの水蒸気を被洗浄物２１に対して、３０秒刻み
で４回、延べ２分間噴射した。その間、第１開閉弁８を
開いて、第１吸気流路３６よりガス抜きを行うととも
に、水蒸気噴射により被洗浄物２１より分離して、滴下
した洗浄液は、水蒸気から一部凝縮した水とともに、給
排液流路４１，ドレン用流路４２よりドレン受け部４３
に集めた。このように、一連の処理を施した被洗浄物２
１を目視検査したところ、全く付着した汚れの痕跡は認
められなかった。さらに、被洗浄物２１である１枚のシ
ャドウマスクを塩化メチレンにて、密閉下煮沸洗浄した
後、溶媒溜去したところ、何等有機物の残差も認められ
なかった。

【００２１】

【発明の効果】以上の説明より明らかなように、本発明
によれば、被洗浄物保持手段を取出し可能に収納し、下
部に第１給排液部を、上部に第１給排気部を備え、内部
に蒸気噴射ノズル部を備えた開閉可能な密閉式洗浄タン
クと、下部に第２給排液部を、上部に第２給排気部を備
え、内部に洗浄液を溜める洗浄液タンクと、過熱水蒸気
を生成し、送り出す蒸気供給部と、過熱水と、上記第１
給排気部を通して上記洗浄タンク内に加圧ガスを供給
し、洗浄タンク内からガスを吸引する第１配管部と、上
記第２給排気部を通して洗浄液タンク内に加圧ガスを供
給し、洗浄液タンク内からガスを吸引する第２配管部
と、上記第２給排液部から上記第１給排液部へ、或はそ
の逆に洗浄液を導くとともに、上記第１給排液部から液
体を外部に排出する第３配管部と、上記蒸気供給部から
上記蒸気噴射ノズル部に過熱水蒸気を導く第４配管部
と、上記洗浄タンクを、内部に被洗浄物を配置した状態
として、密閉した後、洗浄液を溜めた洗浄液タンクに加
圧ガスを供給して、洗浄液を洗浄タンク内に圧送し、洗
浄後、上記洗浄液タンク内の加圧ガスを排気するととも
に、上記洗浄タンク内に加圧ガスを供給して洗浄タンク
内の洗浄液を上記洗浄液タンクに戻し、その後上記蒸気
タンクから上記蒸気噴射ノズル部に過熱水蒸気を導い
て、付着洗浄液を滴下させ、水蒸気噴射後、上記洗浄タ
ンクの下部から滴下液体を外部に排出し、上部からガス
を排出させる工程の繰り返しを可能とする開閉弁群とか
ら構成した。

【００２２】このため、従来の有機塩素系炭化水素等を
使用した場合における、環境破壊等の問題を生じること
なく、炭化水素のみを用いた場合、過熱水蒸気のみを噴
射した場合にはできなかった、微細な異物をも除去する
洗浄、特に油付着した精密機器部品のミクロンオーダー
の異物を除去する洗浄が行われるようになるという効果
を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る洗浄装置の全体構成図である。

【図２】図１に示す装置の配管系統の一部を示す図で
ある。

【符号の説明】

１洗浄タンク，２洗浄液タンク，３
蒸気供給部，４〜７第１〜第４配管
部，８〜１６第１〜第９開閉弁，２１被洗浄物，
２２ラック，２３第１給排液口，
２４第１給排気口，２５蒸気噴射ノズル
部，２６回動蓋，２７第２給排液
口，２８第２給排気口，２９洗浄液，３
６第１吸気流路，３７，３７ａ第１給気
流路，３８第２吸気流路，３９高圧窒素
ボンベ，４０第２給気流路，４１給排液
流路，４４第２蒸気流路

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被洗浄物保持手段を取出し可能に収納
し、下部に第１給排液部を、上部に第１給排気部を備
え、内部に蒸気噴射ノズル部を備えた開閉可能な密閉式
洗浄タンクと、下部に第２給排液部を、上部に第２給排
気部を備え、内部に洗浄液を溜める洗浄液タンクと、過
熱水蒸気を生成し、送り出す蒸気供給部と、過熱水と、
上記第１給排気部を通して上記洗浄タンク内に加圧ガス
を供給し、洗浄タンク内からガスを吸引する第１配管部
と、上記第２給排気部を通して洗浄液タンク内に加圧ガ
スを供給し、洗浄液タンク内からガスを吸引する第２配
管部と、上記第２給排液部から上記第１給排液部へ、或
はその逆に洗浄液を導くとともに、上記第１給排液部か
ら液体を外部に排出する第３配管部と、上記蒸気供給部
から上記蒸気噴射ノズル部に過熱水蒸気を導く第４配管
部と、上記洗浄タンクを、内部に被洗浄物を配置した状
態として、密閉した後、洗浄液を溜めた洗浄液タンクに
加圧ガスを供給して、洗浄液を洗浄タンク内に圧送し、
洗浄後、上記洗浄液タンク内の加圧ガスを排気するとと
もに、上記洗浄タンク内に加圧ガスを供給して洗浄タン
ク内の洗浄液を上記洗浄液タンクに戻し、その後上記蒸
気タンクから上記蒸気噴射ノズル部に過熱水蒸気を導い
て、付着洗浄液を滴下させ、水蒸気噴射後、上記洗浄タ
ンクの下部から滴下液体を外部に排出し、上部からガス
を排出させる工程の繰り返しを可能とする開閉弁群とか
らなることを特徴とする洗浄装置。