JPH064954Y2 - 有機溶剤を用いる洗浄装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この考案に係る洗浄装置は、フロン等の有機溶剤を用い
て、金属、或はＩＣ基板等、各種物品を洗浄する場合に
利用する。

（従来の技術） 各種物品に付着した汚れを落とす場合、従来からフロン
等の有機溶剤を用いる洗浄装置が使用されている。

この様な洗浄装置を用いて洗浄作業を行なう場合は、第
２図に示す様に、気密性を有する洗浄槽１の内部に被洗
浄物２を収納してから、排液管６の電磁弁７を閉じ、貯
溜槽３と洗浄槽１とを結ぶ給液管４の途中に設けた電磁
弁５を開き、洗浄槽１の内部に洗浄溶の有機溶剤を送り
込んだ後、電磁弁５を閉じる。この有機溶剤は、超音波
振動子１１，１１によって加振したり、或は攪拌翼によ
って攪拌し、被洗浄物２の表面に付着した油等の汚れを
落とす。

洗浄作業の完了後、洗浄槽１の貯溜槽３とを結ぶ排液管
６の途中に設けた電磁弁７を開放すると共に、洗浄槽内
を大気に通じさせ（この機構の説明は省略した）、送液
ポンプ８を運転し、洗浄槽１から貯溜槽３に向け、液状
の有機溶剤を排出してから、排出完了後、洗浄処理済の
被洗浄物２の取り出しを行なう。

（考案が解決しようとする課題） ところが、上述の様な従来の有機溶剤を用いる洗浄装置
に於いては、洗浄槽１への有機溶剤の出し入れに伴なっ
て、この有機溶剤の蒸気の一部が外部に漏れる事が避け
られず、周囲の環境を悪化させる場合があった。

即ち、従来の洗浄装置の場合、貯溜槽３の内側を、この
貯溜槽３の上端部に設けた吸排管９を通じて大気に連通
させており、しかも貯溜槽３の上部空間１０内には、有
機溶剤の蒸気と空気とを混合した状態で存在させてい
た。

この為、洗浄作業の終了に伴なって、貯溜槽３内に液状
の有機溶剤が送り込まれ、この貯溜槽３の上部空間１０
の容積が減少した場合、この上部空間１０内に存在す
る、有機溶剤の蒸気を含む混合気体が、大気中に放散さ
れ周囲の環境を汚す原因となっていた。

特に、洗浄容の有機溶剤として広く使用されるフロン
は、オゾン層を破壊する等、地球全体としての環境破壊
に繋る事が報告されており、周囲に漏れる事を極力低く
抑える必要がある。

本考案の有機溶剤を用いる洗浄装置は、この様な問題を
解決するものである。

（課題を解決する為の手段） 本考案の有機溶剤を用いる洗浄装置は、上方が開口した
有底筒状で、上端開口と気密に塞ぐ事の出来る蓋を有す
る洗浄槽と、この洗浄槽の内部に送り込む為の有機溶剤
を貯溜し、上部空間を蒸発器と凝縮器とを連接した蒸留
器に連通させた貯溜槽とを持ち、洗浄槽、貯溜槽、蒸留
器を弁、送液ポンプ、真空ポンプを設けた管系で連結し
たものである。

（作用） 上述の様に構成される本考案の有機溶剤を用いる洗浄装
置に於いては、貯溜槽の内部を、液状の有機溶剤の他、
この有機溶剤の蒸気で満たしており、貯溜槽の内部を直
接大気と連通させていない為、この貯溜槽の内部に存在
する有機溶剤の蒸気が大気中に放散される事がない。

又、洗浄作業の完了に伴なって洗浄槽中の液状有機溶剤
を貯溜槽に戻した場合、この貯溜槽の上部空間の容積が
減少するが、この上部空間に存在する有機溶剤の蒸気
は、凝縮器に送られて凝縮する為、上部空間の圧力が高
くなり過ぎて、洗浄槽から貯溜槽への液状有機溶剤の送
り込みが行なえなくなる事はない。又、蒸発器と凝縮器
とを上下に連接して構成した蒸留器は、使用済の溶剤を
蒸留し浄化して貯溜槽へ送るので、貯溜槽内に汚れのな
い溶剤を蓄積することが出来る。

（実施例） 次に、図示の実施例を説明しつつ、本考案を更に詳しく
説明する。

第１図は、本考案の有機溶剤を用いる洗浄装置の実施例
を示す略縦断面図である。

１は、上方が開口した有底筒状の洗浄槽で、上端開口を
気密に塞ぐ事の出来る蓋１２を有し、底面には超音波振
動子１１，１１を装着して、洗浄槽１の内部に送り込ん
だ液状の有機溶剤を加振し、この有機溶剤を浸漬された
被洗浄物２の洗浄を効率良く行なえる様にしている。

洗浄槽１の内部に送り込む為の有機溶剤を貯溜した貯溜
槽３は、上記洗浄槽１よりも高所に設けられており、こ
の貯溜槽３の底部に一端を接続し、途中に電磁弁５を設
けた給液管４の他端を洗浄槽１に接続する事で、電磁弁
５の開放に伴なって、貯溜槽３内に貯溜された液状の有
機溶剤が、重力により洗浄槽１に流下する様にしてい
る。

又、蒸気貯溜槽３の上部に一端を接続した接続管１３の
他端は、蒸留器１４の中間部に接続して、この蒸留器１
４から貯溜槽３に、液状の有機溶剤の他、有機溶剤の蒸
気が送り込まれ、貯溜槽３の上部空間１０が、常に有機
溶剤の蒸気で満たされる様にしている。

洗浄槽１の底部に一端を接続し、中間部に電磁弁７と送
液ポンプ８とを設けた排液管６の他端は、貯溜槽３に接
続して、蒸気電磁弁７の開放と送液ポンプ８の運転とに
伴なって、洗浄槽１内の液状有機溶剤を貯溜槽３に戻せ
る様にしている。

前記接続管１３により貯溜槽３と接続された蒸留器１４
は、下半の蒸発器１５と上半の凝縮器１６とを組み合わ
せる事で構成されている。液状の有機溶剤を貯溜出来る
様に、有底筒状に形成された蒸発器ケーシング１７の底
部には、液状の有機溶剤を加熱蒸発させる為のヒータ１
８を、上端開口部を蓋１２で塞いだ筒状の凝縮器ケーシ
ング１９の内周面には有機溶剤の蒸気を凝縮させる為の
冷却器２０を、それぞれ配設している。

上記蒸発器ケーシング１７の横断面積は、凝縮器ケーシ
ング１９の横断面積よりも小さくし、且つ、蒸発器ケー
シング１７の上端縁を凝縮器ケーシング１９の底面より
も上方に突出させて、この突出部の外側に、凝縮液受部
２１を形成している。そして凝縮器ケーシング１９の内
周面に配設された冷却器２０は、この凝縮液受部２１の
上方に位置させて、冷却器２０に触れて凝縮した有機溶
剤が、凝縮液受部２１に流下する様にしている。

洗浄槽１に一端を接続し、途中に電磁弁２２と真空ポン
プ２３とを接続した蒸気排出管２４の他端は、蒸留器１
４を構成する凝縮器１６に接続して、洗浄槽１から排出
した有機溶剤蒸気を凝縮器１６に送り込み、この凝縮器
１６内で凝縮させる様にしている。

第１図に於いて、２５は洗浄槽１内に大気を導入する為
の吸気管、２６はこの吸気管２５の途中に設けた電磁弁
である。

上述の様に構成される洗浄装置により、被洗浄物２の洗
浄を行なう場合、次の様にして行なう。

先ず、電磁弁７を閉じ、電磁弁５を開いて被洗浄物２を
入れた洗浄槽１内に液状の有機溶剤を重力流下により送
り込む。洗浄槽の上部にある空気は、電磁弁２６を開い
て吸気管２５から放出する。超音波振動子１１を作動さ
せて所定時間の洗浄を終ったならば、電磁弁７を開放す
ると共に送液ポンプ８を運転し、洗浄槽１内の液状有機
溶剤を貯溜槽３に戻す。洗浄槽１内には吸気管２５から
空気が導入される。

それ迄洗浄１内に存在していた液状の有機溶剤が貯溜槽
３に戻されるに従って、この貯溜槽３の上部空間１０の
容積が減少し、この上部空間１０に満たされていた有機
溶剤の蒸気が、接続管１３を通って蒸留器１４の凝縮器
ケーシング１９内に送り込まれる。

この様にして凝縮器ケーシング１９内に送り込まれた有
機溶剤の蒸気は、この凝縮器ケーシング１９の内周面に
配設された冷却器２０によって冷却されて凝縮し、冷却
器２０の下方に設けられた凝縮液受部２１に受けられ、
更に接続管１３を通って貯溜槽３に戻される。

洗浄槽１内の液状有機溶剤を総て貯溜槽３に戻したなら
ば、電磁弁２６を閉じ、蒸気排出管２４の途中に設けた
電磁弁２２を開放すると共に真空ポンプ２３を起動し
て、洗浄槽１内に残留していた有機溶剤蒸気を、蒸留器
１４内に排出する。

この様に、蒸気排出管２４を通じて蒸留器１４に排出さ
れた有機溶剤の蒸気は、元々この蒸留器１４内に存在し
ていた有機溶剤の蒸気と共に、この蒸留器１４に設けた
冷却器２０によって凝縮液化され、凝縮液受部２１に捕
集されて、接続管１３を通じて貯溜槽３に回収される。

真空ポンプ２３の運転に伴なって、洗浄槽１内が所定の
真空度に達したならば、電磁弁２２を閉じ、真空ポンプ
２３を停止すると共に、それ迄閉じていた電磁弁２６を
開き、吸気管２５を通じて洗浄槽１内に空気を送り込
む。

この結果、洗浄槽１内の圧力が上昇する為、この圧力が
大気圧程度に迄上昇したならば、洗浄槽１の蓋１２を開
き、洗浄作業が完了した被洗浄物２の取り山しを行な
う。

尚、第１図に鎖線で示したように、貯溜槽３と蒸発器１
５とを傾斜管２７で接続しておけば、貯溜槽３への溶剤
送入が増すに従って余分量を蒸発器１５へ溢流させて貯
溜槽３の貯液量を一定にすると共に、洗浄作業で汚れた
溶剤と共に蒸発器１５において蒸留し再使用するように
できる。

（考案の効果） 本考案の有機溶剤を用いる洗浄装置は、以上に述べた通
り構成される為、洗浄作業の繰り返しに伴なって有機溶
剤の蒸気が周囲に放散される事を防止する事が可能とな
り、周囲の環境を保護する効果が大きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の有機溶剤を用いる洗浄装置の実施例
を示す略縦断面図、第２図は従来の洗浄装置を示す略縦
断面図である。 １：洗浄槽、２：被洗浄物、３：貯溜槽、４：給液管、
５：電磁弁、６：排液管、７：電磁弁、８：送液ポン
プ、９：吸排管、１０：上部空間、１１：超音波振動
子、１２：蓋、１３：接続管、１４：蒸留器、１５：蒸
発器、１６：凝縮器、１７：蒸発器ケーシング、１８：
ヒータ、１９：凝縮器ケーシング、２０：冷却器、２
１：凝縮液受部、２２：電磁弁、２３：真空ポンプ、２
４：蒸気排出管、２５：吸気管、２６：電磁弁、２７：
傾斜管。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】上方が開口した有底筒状で、上端開口を気
   密に塞ぐ事の出来る蓋を有し、内部に収容した被洗浄物
   を有機溶剤の液に浸漬して洗浄する洗浄槽（１）と、こ
   の洗浄槽（１）より上方に位置して有機溶剤を貯溜する
   密閉蓋を設けた貯溜槽（３）と、ヒータ（１８）を設け
   た蒸発器（１５）のケーシング（１７）の上部に、冷却
   器（２０）を設けた凝縮器（１６）を連接し、冷却器の
   下方に設けた凝縮液受部（２１）を貯溜槽（３）に向け
   傾斜させた接続管（１３）により貯溜槽（３）に連通さ
   せた蒸留器（１４）とを持ち、洗浄槽（１）の上部を弁
   を設けた吸気管（２５）により大気に通じさせると共
   に、弁を設けた蒸気排出管（２４）により真空ポンプ
   （２３）を経て蒸発器（１５）に通じさせ、洗浄槽
   （１）の下部を弁を設けた排液管（６）により送液ポン
   プ（８）を介して貯溜槽（３）に通じさせ、貯溜槽
   （３）の下部を弁を設けた給液管（４）により洗浄槽
   （１）に連結した有機溶剤を用いる洗浄装置。