JPH0389984A - 有機溶剤を使用する洗浄装置の運転方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この発明に係る有機溶剤を使用する洗浄装置の運転方法
は、フロン等の有機溶剤を用いて各種物品の表面に付着
した油等の汚れを落とす洗浄装置を運転する場合に利用
するもので、洗浄槽内に有機溶剤蒸気か残留するのを防
止する事により、この有機溶剤蒸気が大気中に放散され
る事の防止を図れる様にするものである。

（従来の技術） 金型、空気軸受用の多孔質焼結金属、或はＩＣ基板等、
各種物品の表Ｗｊに７寸着した油等の汚れを、フロン、
トリクロルエチレン等の有機溶剤を洗浄液として使用す
る事により洗浄する事か、数的に行なわれている。

この様な有機溶剤を洗浄液として使用する事により、洗
浄作業を行なう洗浄装置の１例に就いて、実願昭６３−
５４５９５号に示された装置を例にして説明する。

この洗浄装置は、第１図に示す様に、上方か開口した有
底円筒状て、上端開口を気密に塞ぐ事の出来る蓋１を有
する洗浄槽２と、有機溶剤を加熱蒸発させる為のヒータ
３を内蔵し、管５を通じて洗浄槽２の内部に有機溶剤の
蒸気を送り込む蒸気供給手段４と、洗浄槽２の内部に送
り込む為の洗浄用有機溶剤を貯溜した貯溜槽６と、この
貯溜槽６と洗浄槽２とを結ふ２木の管７．８及び一方の
管８の途中に設けた送液ポンプ９から成り、両槽６．２
の間て液状の有機溶剤の給排を行なう給排手段２０と、
液状の有機溶剤を加熱蒸発させる為のヒータ１０及び有
機溶剤の蒸気を凝縮させる九の冷却器１１を和み合わせ
、凝縮した有機溶剤を上記貯溜槽６に送る蒸留器１２と
、洗浄槽２内に空気を送り込む吸気管１６と、途中に真
空ポンプ１３を設けた排出管１９の端部にそれぞれ接続
され、洗浄槽２から排出した有機溶剤蒸気を、上記蒸留
器１２に送り込む排蒸管１４と、洗浄４１１２がら空気
を排出する排気管１５とから構成されている。

上述の様に構成される先発明の洗浄装置により、被洗浄
物１７の洗浄を行なう場合、Ｍｌを開いてこの被洗浄物
１７を洗浄槽２の内部に収納した後、上記Ｎ１を閉じて
から真空ポンプ１３を運転し、排気管１５を通じて、こ
の洗浄槽２内の空気を排出する。

洗浄槽２内の空気を排出した後、給排手段２０を構成す
る管７を通じて、貯溜槽６内の有機溶剤を洗浄槽２内に
送り込み、被洗浄物１７の洗浄を行なう。この際、洗浄
槽２の底面に固定した超音波振動子１８．１８に通電す
る事により、洗浄槽２内の有ｉ溶剤に超音波振動を加え
、被洗浄物１７の洗浄が効率良く行なわれる様にする。

液状の有機溶剤による洗浄作業が完了したならば、給排
手段２０を構成する送液ポンプ９を運転する事により、
管８を通じて洗浄槽２中の７夜状有機溶剤を、徐々に貯
溜槽６に戻しつつ、蒸気供給手段４から洗浄槽２中に有
機溶剤の蒸気を供給する。

この結果、洗浄槽２中の被洗浄物１７は、その部が液状
有機溶剤の液面上に露出し、この露出部分で有機溶剤の
蒸気か凝縮し、この凝縮分て被洗浄物１７の表面か洗浄
される、所謂蒸気洗浄か行なわれる。

蒸気洗浄を行ないつつ、洗浄槽２中の液状有機溶剤を総
て貯溜槽６に戻したならば、排出管１９の途中に設けた
真空ポンプ１３を運転し、洗浄槽２内に残留している有
機溶剤蒸気を、排蒸管１４を通じて、蒸留器１２内に排
出する。この様に、排出管１９と排蒸管１４とを通じて
蒸留器１２に排出された有機溶剤の蒸気は、この蒸留器
１２に設けた冷却器ＩＪにより凝縮液化されて回収され
る。冷却器１１により回収し切れなかった有機溶剤の蒸
気は、二次冷却器２１により回収され、更にこの二次冷
却器２１によっても回収出来なかった、微量の有機溶剤
蒸気は、活性炭フィルタ２２により捕集される。

真空ポンプ１３の運転に伴なって、洗浄槽２内か所定の
真空度に達したならば、上記真空ポンプ１３を停止し、
吸気管１６を通じて洗浄槽２内に空気を送り込む。

この結果、洗浄槽２内の圧力か大気圧程度に迄上昇した
ならば、この洗浄槽２のＭｌを開き、洗浄作業か完了し
た被洗浄物１７の取り出しを行なう。

（発明が解決しようとする課題） ところが、上述の様に構成され作用する、先発明に係る
洗浄装置を運転する場合に於いては、次に述へる様な不
都合を生しる。

即ち、洗浄作業の終了後、真空ポンプ１３を運転して、
この洗浄槽２内に残留している有機溶剤蒸気を排出する
か、真空ポンプ１３の能力上の問題から、洗浄槽２内に
若干の有機溶剤蒸気か残留する事が避ｉ−１られない。

この様に、洗浄槽２内に若干の有機溶剤蒸気か残留した
ままの状態で、吸気管１６を通じて洗浄槽２内に空気を
吸い込み、洗浄槽２内を大気圧にしてから蓋１を開き、
洗浄槽２から被洗浄物１７を取り出した場合、洗浄槽２
内に残留していた有機溶剤蒸気か、大気中に放散されて
しまう。

この様に、洗浄槽２内に残留していた有機溶剤の蒸気が
大気中に放散された場合、オゾン層破壊等、環境破壊の
原因となってしまう為、好ましくない。

勿論、真空ポンプ１３の能力を向上させれば（より高度
の真空度を得られる真空ポンプを使用ずれは）、洗浄作
業完了に伴なって大気中に放散される有機溶剤蒸気の量
を掻く少なくする事か出来るが、その分、真空ポンプの
コストか（相当に）高くなる鳥、必ずしも実用的な解決
手段とは言えない。

本発明の有機溶剤を使用する洗浄装置の運転方法は、上
述の様な不都合を解消するものである。

（課題を解決する為の手段） 本発明の有機溶剤を使用する洗浄装置の運転方法は、被
洗浄物を収納した状態で密閉自在な洗浄槽と、この洗浄
槽内に洗浄用の有機溶剤を送り込み自在な供給手段と、
上記洗浄槽内に存在する気体を排出する真空ポンプと、
この真空ポンプから吐出される気体を送り込み、この気
体中に存在する有機溶剤の蒸気を回収する溶剤回収手段
と、上記洗浄槽内に空気を吸引する為の吸気管とから成
る、有機溶剤を使用する洗浄装置の運転方？去である。

そして、請求項１に記載された発明の場合、上記供給手
段を通じて洗浄槽内に液状の有機溶剤を送り込み、被洗
浄物を有機溶剤に浸漬する洗浄行程を終了し、液状の有
機溶剤を洗浄槽から排出した後、洗浄槽内に空気を送り
込みつつ、上記真空ポンプを運転する事により、上記洗
浄槽内に残留している有機溶剤蒸気の排出を行なう。

又、請求項２に記載された発明の場合、洗浄槽内に空気
を送り込みつつ、真空ポンプを運転する事に代えて、空
気送り込みを行なわない状態て真空ポンプを運転し、洗
浄槽内の有機溶剤蒸気を排出した後、空気送り込みを行
ない、上記真空ポンプにより有機溶剤蒸気と空気との混
合気体の排出を行なう。

更に、請求項３に記載された発明の場合、洗浄槽内に送
り込む為の空気を、溶剤回収手段の上部空間から取り入
れる。

（作　　用） 上述の様に構成される本発明の運転方法の内、請求項１
に記載された方法による場合、真空ポンプの運転に伴な
って、洗浄槽内に存在する気体か、空気と有機溶剤の蒸
気とのａ合気体となる。

この混合気体を、真空ポンプにより更に排出した場合、
混合気体中に占める有機溶剤蒸気のＺυ合が次第に少な
くなる。

即ち、空気は洗浄槽内に次々に補給されるが、有機溶剤
蒸気は全く補給される事がない為、上記混合気体中に占
める有機溶剤蒸気の割合は、次第に少なくなり、遂には
、洗浄槽内に存在する気体か空気のみとなる。

真空ポンプにより排出され、溶剤回収手段に送り込まれ
た混合気体中の溶剤蒸気は、この溶剤回収手段によって
回収される。

従って、洗浄槽内に空気を送り込みつつ、真空ポンプを
運転しても、有機溶剤の蒸気が空気よりも重い事もあり
、有機溶剤の蒸気か外部に漏れ出す事はない。

又、請求項２に記載された方法の場合、溶剤回収手段に
送り込まれる空気の量を少なく抑える事か出来る為、こ
の溶剤回収手段から、空気に連られて外部に逃げる有機
溶剤蒸気の量を、より少なく抑える事が出来る。

更に、請求項３に記載された方法の場合、外部から空気
を取り入れる事かない為、洗浄装置内部に存在する気体
の総量が増す事がなく、溶剤回収手段の内部に存在する
気体が外部に排出される量を、より一層少なく抑える事
が出来る。

（実施例） 次に、図示の実施例を説明しつつ、本発明を更に詳しく
説明する。

本発明の方法により運転される、有機溶剤を使用する洗
浄装置は、先発明に係る洗浄装置と同様、第１図に示す
様に、被洗浄物１７を収納した状態で密閉自在な洗浄槽
２と、貯溜槽６及び管７等から構成され、上記洗浄槽２
内に、フロン等、洗浄用の有機溶剤を送り込み自在な供
給手段と、上記洗浄槽２内に存在する気体を排出する真
空ポンプ１３と、冷却器１１等を内蔵する事で構成され
、この真空ポンプ１３から吐出される気体を送り込み、
この気体中に存在する有機溶剤の蒸気を回収する溶剤回
収手段と、上記洗浄槽２内に空気を吸引する為の吸気管
１６とから構成されている。

この様な有機溶剤を使用する洗浄装置を運転する九の、
本発明の運転方法の内、請求項１に記載の運転方法に於
いては、上記供給手段を通じて洗浄槽２内に７夜状の有
機溶剤を送り込み、被洗浄物１７を有機溶剤に浸漬する
洗浄行程を終了し、管８及び送液ポンプ９から成る給排
手段２０により、液状の有機溶剤を洗浄槽２から排出し
た後、例えは吸気管１６を通じて、洗浄槽２内に空気を
送り込みつつ、上記真空ポンプ１３を運転する事により
、上記洗浄槽２内に残留している有機溶剤蒸気の排出を
行なう。

上述の様に構成される、請求項１に記載された運転方法
を実施する場合、真空ポンプ１３の運転に伴なって、洗
浄槽２内に存在する気体が、空気と有機溶剤の蒸気との
混合気体となる。

この混合気体を、真空ポンプ１３により更に排出した場
合、７毘合気体中に占める有機溶剤蒸気の割合か次第に
少なくなる。

即ち、空気は吸気管１６を通じて、次々に補胎されるが
、有機溶剤蒸気は全く補胎される事かない為、上記混合
気体中に占める有機溶剤蒸気の割合は、次第に少なくな
り、遂には、洗浄槽２内に存在する気体が空気のみとな
る。

真空ポンプ１３により排出され、排出管１９、排蒸管１
４を通じて、溶剤回収手段である蒸留器１２内に送り込
まれた混合気体中の有機溶剤蒸気は、この蒸留器１２の
上部に設けた冷却器１１によって凝縮液化され、前記貯
溜柑６に回収される。

従って、洗浄槽２内に空気を送り込みつつ、真空ポンプ
１３を運転しても、有機溶剤の蒸気が空気よりも重い事
もあり、有機溶剤の蒸気が外部に漏れ出す事はない。

冷却器１１により回収し切れなかった有機溶剤の蒸気は
、二次冷却器２１により回収され、更にこの二次冷却器
２１によっても回収出来なかった、微量の有機溶剤蒸気
は、活性炭フィルタ２２により捕集されるが、冷却器１
１の能力が十分てあれば、二次冷却器２１と活性炭フィ
ルタ２２とは、省略する事も出来る。

次に、請求項２に記載の運転方法に於いては、洗浄槽２
内に空気を送り込みつつ、真空ポンプ１３を運転する事
に代えて、例えば吸気管１６を通じての空気吸入を行な
う以前に、真空ポンプ１３を運転する事で、洗浄槽２内
に残留している有機溶剤蒸気を排出しておく。そして、
真空ポンプ１３の能力限度迄、洗浄槽２内の有機溶剤蒸
気の排出を行なったならば、次いで吸気管１６を通じて
適量の空気を洗浄槽２内に吸入し、次いて真空ポンプ１
３による有機溶剤蒸気と空気との７毘合気体の排出作業
を行なう。

上述の様に構成される、請求項２に記載された運転方法
を実施する場合、蒸留器１２内に送り込まれる空気の量
を少なく抑える事か出来る為、この蒸留器１２から、空
気に連られて外部に逃げる有機溶剤の量を、より少なく
抑える事が出来る。

更に、請求項３に記載された運転方法に於いては、洗浄
槽２内に送り込む息の空気を、吸気管１６から取り入れ
られる外気に代えて、溶剤回収手段である蒸留器１２の
上部空間に存在する空気としている。この為、請求項３
に記載された運転方法を実施する場合には、第２図に示
す様に、蒸留器１２の上部空間と洗浄槽２とを、途中に
弁２５を有する管２６により連結して、上記弁２５の開
閉により、蒸留器１２の上部空間に存在する空気を、洗
浄槽２内に送り込み自在としている。

上述の様に構成される、請求項３に記載された方法の場
合、外部から空気を取り入れる事かない鳥、洗浄装置内
部に存在する気体の総量か増す事かなく、蒸留器１２の
内部に存在する気体か活性炭フィルタ２２に向けて押し
出される事も少ない鳥、この蒸留器１２内に存在する有
機溶剤蒸気（空気より重い）か外部に排出される量を、
より少なく抑える事が出来る。

尚、請求項３に記載された発明の運転方法を実施する場
合に於いて、蒸留器１２の上部空間内に存在する空気を
洗浄槽２内に送り込む為の管２６の途中に、冷却器２７
を設け、この冷却器２７により、上記空気内に混入した
有機溶剤蒸気を凝縮し、蒸留器１２に回収する様にすれ
は、洗浄槽２内の有機溶剤蒸気の量を、より少なくする
事か出来る。

（発明の効果） 本発明の有機溶剤を使用する洗浄装置の運転方法は、以
上に述へた通り構成され作用する為、洗浄作業終了後に
、洗浄槽内に残留する有機溶剤蒸気の量を少なくして、
大気中に放散される有機溶剤の量を減らず事か出来る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の対象となる洗浄装置の１例を示ず略縦
断面図、第２図は請求項３に記載された発明の方法を実
施する為の洗浄装置の１例を示ず略縦断面図である。 １　蓋、２：洗浄槽、３：ヒータ、４　蒸気供給手段、
５・管、６：貯溜槽、７．８：管、９送７夜ポンプ、１
０：ヒータ、１１　ン令却器、１２蒸留器、１３．真空
ポンプ、１４・排蒸管、１５　排気管、１６・吸気管、
１７　被洗浄物、１８：超音波振動子、１９：排出管、
２０・給排手段、２１　二次冷却器、２２：活性炭フィ
ルタ、２３．２４．２５　弁、２６　管、２７　冷却器
。 特 許 出 願 人 株式会社千代田製作所 代 理 人 小 山 欽 造（ばか１名）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）被洗浄物を収納した状態で密閉自在な洗浄槽と、
   この洗浄槽内に洗浄用の有機溶剤を送り込み自在な供給
   手段と、上記洗浄槽内に存在する気体を排出する真空ポ
   ンプと、この真空ポンプから吐出される気体を送り込み
   、この気体中に存在する有機溶剤の蒸気を回収する溶剤
   回収手段と、上記洗浄槽内に空気を吸引する為の吸気管
   とから成る、有機溶剤を使用する洗浄装置の運転方法で
   あつて、上記供給手段を通じて洗浄槽内に液状の有機溶
   剤を送り込み、被洗浄物を有機溶剤に浸漬する洗浄行程
   を終了し、液状の有機溶剤を洗浄槽から排出した後、洗
   浄槽内に空気を送り込みつつ、上記真空ポンプを運転す
   る事により、上記洗浄槽内に残留している有機溶剤蒸気
   の排出を行なう、有機溶剤を使用する洗浄装置の運転方
   法。
2. （２）洗浄槽内に空気を送り込みつつ、真空ポンプを運
   転する事に代えて、空気送り込みを行なわない状態で真
   空ポンプを運転し、洗浄槽内の有機溶剤蒸気を排出した
   後、空気送り込みを行ない、上記真空ポンプにより有機
   溶剤蒸気と空気との混合気体の排出を行なう、請求項１
   に記載の有機溶剤を使用する洗浄装置の運転方法。
3. （３）洗浄槽内に送り込む為の空気を、溶剤回収手段の
   上部空間から取り入れる、請求項１又は請求項２に記載
   の有機溶剤を使用する洗浄装置の運転方法。