JPH07501007A - 改良された洗浄方法およびそのシステム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の名称 改良された洗浄方法およびそのシステム発明の分野 本発明は、改良された洗浄方法、および洗浄装置、特に、洗浄工程全体を通して 、空気と溶剤の混合が実質的に取り除かれる閉鎖型の溶剤洗浄の方法およびその 装置に関する。この工程から空気を除くことによって、従来の凝縮法による蒸気 の回収を完全なものとすることができ、これによって周辺環境への放出を制御す ることができる。

発明の背景 洗浄作業に使用される化合物の環境への処分に関して定められた要件が一層厳し くなってきているため、洗浄作業は業界においてますます負担の重いものになっ てきている。関係のある洗浄作業としては、衣類、敷物、家具に加えて、金属や セラミック、プラスチックおよびその他の材料の洗浄および脱脂などの、より一 層工業的性質を有した洗浄作業がある。溶剤による洗浄の方法、すなわち脱脂や 洗浄のために溶剤を使用する洗浄方法が最も広く用いられている。溶剤洗浄方法 には、開放型と閉鎖型の２つのタイプがある。開放型のシステムがまだ最も一般 的に使用されているが、環境に対する安全性の要求が高まるにつれ、この方法の 魅力は低下してきている。開放型システムには、溶剤蒸気による脱脂システム、 溶剤による超音波洗浄システム、冷溶剤または温溶剤浸漬システム、溶剤スプレ ーシステムなどがある。これらのシステムには多くの短所があり、とりわけ重要 なものとして環境汚染と、回収不能な溶剤の定期的補充のために費用がかかると いう問題がある。

さらにまた、蒸気を保有しておくための機器や、蒸気や液体の廃棄物を適切に処 分するための機器のコストがますます上昇してきている。

いわゆる閉鎖型のシステムはこういった問題を克服しようとするものであるが、 それほどよい成果は得られていない。洗浄された部品が取り除かれる場合に蒸気 が漏洩したり、また、同部品の表面についたり、材料の孔に存在している溶剤を 同部品が運び出すために、いわゆる閉鎖型システムにおいても、まだ蒸気や液体 としての溶剤の減損が発生する。さらにまた、溶剤を回収しようとすると、高額 の費用を要し、全体としては効果的とはいえない。システムがたとえ“閉鎖型” であったとしても、溶剤が閉鎖された室内に導かれる場合に、その室内で空気と 混合する。洗浄作業の後に、液状の溶剤は空気から容易に分離することができる が、蒸気状の溶剤の場合はそうはいかない。

これにはかなりの労力が必要である。空気および溶剤が凝縮されたとしても、少 量の溶剤しか回収することができない、灰化は溶剤除去のための１つの方法であ るが、特殊な機器と余分な熱エネルギーに著しい投資を必要とし、溶剤の減損が あるために、補充が必要となる。水蒸気による除去は、溶剤回収のための１つの 方法であるが、水蒸気を作るために特殊な機器と熱エネルギーをあまりにも多く 必要とする。さらにまた、水蒸気を復水してから、溶剤から分離することが必要 である。

このように、従来の洗浄システムは、有害な放出物と溶剤の回収の面で問題があ る。同システムは、一般に、固有の温度と圧力においての運転に限られている。

同システムは典型的には、被洗浄物を大気に放出する前に、被洗浄物から全溶剤 を乾燥させてしまうものではない。同システムは、洗浄サイクルの全部ではない としても、相当の部分において熱エネルギーを利用するものである。

また従来のシステムは洗浄タンクの充填に相当量の溶剤を必要とし、システムに 溶剤を送り込むためにエネルギー人力の追加が必要である。

さらに、標準的な溶剤蒸気洗浄システムは、蒸気の重さが空気よりも重い溶剤を 使用しなければならない。溶剤の蒸気は高価な冷却コイルを用いることによって 、およびシステムのタンクの寸法を制限することによって、沸騰する溶剤を覆う ブランケット中に閉じ込められる。これらのシステムは、大気圧における溶剤の 沸点によって決定される一定の温度で運転される。

真空脱脂として知られる別の方法は、溶剤による洗浄の問題のいくつかを解決し てくれる。この方法においては、汚染物質の蒸気圧より低い圧力にするために、 汚染物質は、高温、低圧環境にさらされる。本質的には、同汚染物質は、沸騰に より部品から取り除かれる。しかしながら、ここで問題なのは、これらの汚染物 質の蒸気圧は、一般に非常に低いということである。そのため、非常に高い真空 度、および／または非常に高い温度が必要となる。溶剤は放出されないが、汚染 物質が放出されることがしばしばあり、それが問題となり得る。この方法は、サ ブトル圧力（ｓｕｂ　ｔｏｒｒ　：ｌｍｍＨｇ未満の圧力）と高温がめられるた めに、一般に費用がかかるものである。多くの場合、最初から汚染物質の中に存 在している不揮発性残留物（例、残留イオウ）、または高温の条件であるために 汚染物質が分解して生じる不揮発性残留物（例、カーボンデポジット）が部品上 に残ることかしばしばある、汚染を軽減するためのエネルギーコストと、洗浄効 率上の要件により、このようなシステムの利用は著しく制限される。

発明の要約 したがって、本発明の目的は、改良された閉鎖循環型溶剤洗浄の方法とそのシス テムを提供するものである。

さらにまた、本発明の目的は、蒸気状または液状の溶剤または両方の状態の溶剤 を用いた、改良された［閉鎖循環型溶剤洗浄の方法とそのシステム」を提供する ことである。

さらにまた本発明の目的は、溶剤の回収が可能で、有害な放出物を制限する、改 良された閉鎖循環型溶剤洗浄の方法とそのシステムを提供することである。

さらにまた本発明の目的は、種々の被洗浄物と種々の溶剤を考慮して、多様な温 度で使用可能な、改良された閉鎖循環型溶剤洗浄の方法とそのシステムを提供す ることである。

さらにまた本発明の目的は、使用される溶剤の大気圧における沸点とは異なった 、種々の温度と圧力で使用可能な改良された閉鎖循環型溶剤洗浄の方法とそのシ ステムを提供することである。

さらにまた本発明の目的は、大気と通気する前に、被洗浄物から溶剤を乾燥する 改良された閉鎖循環型溶剤洗浄の方法とそのシステムを提供することである。

さらにまた本発明の目的は、部品上での蒸気洗浄を引き起こす蒸気の凝縮によっ て、一層効果的に洗浄を行う改良された閉鎖循環型溶剤洗浄の方法とそのシステ ムを提供することである。

さらにまた本発明の目的は、循環サイクルの洗浄の部分では非常にわずかの時間 しか熱を必要としないので、非常により効果的である、改良された閉鎖循環型溶 剤洗浄の方法とそのシステムを提供することである。

さらにまた本発明の目的は、それほど多くの溶剤を使用しない改良された閉鎖循 環型溶剤洗浄の方法とそのシステムを提供することである。

さらにまた本発明の目的は、溶剤にさらす前に揮発性汚染物質を除去する改良さ れた閉鎖循環型溶剤洗浄の方法とそのシステムを提供することである。

さらにまた本発明の目的は、内部で発生した差圧を利用してシステムに溶剤を通 す、改良された閉鎖循環型溶剤洗浄の方法とそのシステムを提供することである 。

さらにまた本発明の目的は、何らかの特別な溶剤での使用に限定されない、改良 された閉鎖循環型溶剤洗浄の方法とそのシステムを提供することである。

さらにまた本発明の目的は、洗浄作業中に空気と溶剤の混合物の大部分を除去し 、洗浄作業終了後に、空気から溶剤を分離するというむづかしい工程を取り除い た改良された閉鎖循環型溶剤洗浄の方法とそのシステムを提供することである。

本発明は、溶剤と空気が決して接触することがないように、溶剤を導き入れる前 に、被洗浄部品を含む洗浄室を減圧排気することによって、したがって、大気に さらすことをなくすことによって、洗浄作業後に空気から溶剤を分離するという 面倒な作業を行わずに、真に閉鎖式の作業であるから、効果的で経済的かつ安全 で、環境にたいして安全な溶剤洗浄技術の実施から生まれたものである。

洗浄作業終了後に、部品を洗浄室から取り出す際に、洗浄室および部品が空気に 触れる前に、この空気を含まない溶剤を再利用のために簡単に抽出し、凝縮する ことができる。

本発明は、被洗浄物を室内に置く段階と、空気および他の非凝縮ガスを取り除く ために、該洗浄室を負のゲージ圧にする段階とを有する閉鎖循環型溶剤洗浄法を 特徴とし、および該洗浄法を適切に含み、または該洗浄法から成る、または基本 的に該洗浄法から成ることができる。この後、溶剤が減圧排気された洗浄室に導 き入れられ、被洗浄物が洗浄される。次に、溶剤が被洗浄物と謹呈から回収され てから、洗浄室は大気に通気され、洗浄物が取り出される。

好適な実施例において、負のゲージ圧は大気圧から絶対気圧でゼロまでの範囲で ある。溶剤は気体の状態でも、または液体の状態でも、または、両方の状態で導 き入れることができる。溶剤の温度と蒸気密度を制御して、被洗浄物中への溶剤 の侵入を増減させるため、および閉鎖型のシステムに溶剤を通すために使用する ことができる多少の圧力を作るために、洗浄室の温度を変えてもよい。

溶剤の回収とは、汚染物質を含む液状の溶剤を謹呈から回収すること、および次 に謹呈から蒸気状の溶剤を取り出すことを含む。液状溶剤の回収には室内の圧力 を上昇させ、液状の溶剤を汚染物質と共に、積極的に追い出すために、洗浄室を 高い温度に維持することを含めてもよい。蒸気状の溶剤を取り出すことに、被洗 浄物の溶剤の乾燥を含めてもよい。

また本発明は、閉鎖型溶剤洗浄システムを含む、本発明の技術を実施するための 装置も特徴とじている、被洗浄物を保持するための室、空気、および他の非凝縮 ガスを取り除くために同室に負のゲージ圧をかけるための手段がある。また、被 洗浄物を洗浄するために溶剤を室内に導き入れるための手段、および被洗浄物と 室から溶剤を回収するための手段がある６貯蔵手段が回収された溶剤を貯蔵する 。

好適な実施例において、室は室の温度を変えるための熱交換器を含むことができ る。負のゲージ圧をかけるための手段は、真空ポンプを含むことができ、溶剤を 導き入れるための手段は、貯蔵手段と結合した弁手段を含むことができる０回収 のための手段は、液状の溶剤と汚染物を抜き取るための排出管を含むことができ 、および溶剤蒸気を抜き取るための手段も含むことができる。貯蔵手段は、溶剤 蒸気を受け入れるための１つの貯蔵槽と液状の溶剤を受け入れるための第２の貯 蔵槽を含むことができ、および溶剤蒸気を凝縮するための手段があってもよい。

好適な実施例の開示 他の目的、特徴、利点は、下記の好適な実施例の説明および添付の図面から、当 業界における技術者に明らかになり、添付の図において、図１は本発明に従った 改良された閉鎖循環型溶剤洗浄法の流れ図であり、 図２は本発明に従った、改良された閉鎖循環型溶剤洗浄システムの概略図である 。

本発明は、被洗浄物が室内に置かれ、次に、空気と他の非凝縮ガスを謹呈から除 去するために、謹呈を負のゲージ圧にする、閉鎖循環型の溶剤洗浄技術において 実施することができる。ここにおいて使用される溶剤洗浄には、蒸気脱脂、衣服 ドライクリーニング、および溶剤浸漬洗浄が含まれ　゛る。従来の溶剤洗浄シス テムでは、高額の溶剤の減損に関する問題の大半は、溶剤の蒸気が空気と混合す ることから生じている。次に環境汚染を防止するために高額で複雑な機器を必要 とする空気の排出が行われるか、溶剤蒸気を含む空気は、それが大気に放出され る前に空気を浄化し、高額の溶剤を回収するために、これもまた高額であり複雑 となり得る回収工程に導かれる。

本発明は、いかなるときにも、溶剤と空気との混合を防止するために、問題の全 てを削除することができること、または溶剤蒸気が空気と全く混合しないように することによって、少なくともこれらの問題を相当減らすことができるというこ とを実現することから生じるものである。これは、謹呈には被洗浄物だけが含ま れるように、溶剤が導き入れられる前に、空気と他の非凝縮ガスを謹呈から減圧 排出することによって行われる。謹呈は、水蒸気や非凝縮ガスなどの除去される べき汚染物質と、溶剤の現行の運転温度における蒸気圧よりも一般に低い負の圧 力を利用して減圧排気される。一般にサブトルレベルは要求されない。０〜７０ ０トルレベルが好ましい。１０〜５００トルの範囲は利用可能であり、１００ト ル以下のレベルは良い結果を得た。溶剤が導き入れられ、部品が洗浄された後、 謹呈が開放され、大気にさらされる前に、溶剤は謹呈と被洗浄物から回収される 。このように、空気が汚染されることはなく、溶剤は容易に回収することができ 、空気から溶剤を分離する必要性もない。負のゲージ圧は、運転温度によって異 なるが、大気圧がら絶対気圧でゼロ圧より少し高いところまでの範囲で充分であ る。

減圧排気された室については、典型的には溶剤よりも低い圧力であり、溶剤は、 保存タンクに貯蔵される。次に弁を開放することによって、溶剤を蒸気状にて室 内の比較的高圧部より比較的低圧部へと流すことができ、ボンピング機器や必要 なエネルギーのための追加費用も不要である。この時点で液相、ならびに蒸気相 の溶剤を室に導き入れることができる。溶剤が室内に導き入れられさえすれば、 被洗浄物は洗浄される。

本発明の閉鎖型の運転によって制御が可能となるため、溶剤を加熱または冷却す ることができ、および／または個々の洗浄作業にとって望ましい圧力レベルに圧 力を増減することができる。

たとえば、室内の圧力を大気圧以上に上げ、洗浄効果を高めることが可能であろ う、または温度を環境温度以上に上げることも可能であろう。次に、被洗浄物を 除去す′る前に、または大気への何らかの排気がある前に、溶剤は貯蔵タンクに 戻され、回収される。まず、液体は一般には、タンクの底に存するようになり、 また洗浄された部品から取り除かれた汚染物質をその中に含んでいるので、まず この液状溶剤を回収すればよい、この液状溶剤は、保存タンクへ重力によって排 出することができる、または室の温度を上昇させて、液状溶剤が保存タンクに返 されるように室の圧力を高めることもできる。次に、溶剤蒸気が抽出され、別の 保存タンク、または前記保存タンクの別の区画に送り返すことができる。蒸気の 回収物と液体の回収物は別々にすることが望ましく、この場合の蒸気は、実際に は蒸留物であり、汚染物質を含む液体の方と比較して遥かに清浄さを維持するも のであるからである。この蒸気は保存タンクに送り返される途中で凝縮してもよ い。溶剤をその全相において除去した後、部品を取り出せるよう、室を大気に解 放することができる。室からの蒸気の除去は、部品の乾燥、室からの蒸気の除去 が行われるように充分に徹底したものである。洗浄工程の温度を制御するために 、熱交換器や類似の装置を接続してもよい。したがって、洗浄工程において、上 昇した温度またはおそらく室温でさえも耐えることができないいくつかの材料も 室を簡単に冷却することによって収容することができる。

熱交換器によって、室内の温度を上げて、多くの種々の目標を達成することもで きる。温度の上昇によって被洗浄部品内への蒸気の侵入′が高められ、したがっ て洗浄機能が高められる。また温度の上昇によって、前述したように、液体およ び気体の溶剤の除去に使用することができる室内の蒸気圧が上昇する。室に対し て行われる加熱または冷却は、洗浄サイクルにおいてのみ行われるため、たとえ ば、全作業工程において熱がかけられるシステムよりも、はるかにエネルギの節 約となる。

このようなシステムの利点の１つは、蒸気状または液体状、または両方の状態の 溶剤で使用でき、たとえば１．１．１．）−リクロロエタン、トリクロロエチレ ン、塩化メチレン、テトラクロルエチレン、フレオン、アルデヒド、アルコール 、アミン、ケトン、芳香族化合物、またはその他の空気よりも重い、または重く ない溶剤など、種々の溶剤を使用することができる。

このようなシステムは、溶剤の回収が行え、これは、溶剤の価格が上昇するにつ れてますます重要になってきており、また有害な放出を制限するもので、放出に 関する規制が一層厳しくなり、それらの規制により甘んじて受けなければならな い費用が一層高額になるにつれ、このこともまた重要である。

さらに本発明の特徴は、溶剤の蒸気は最悪でも少量の液体とともにしか洗浄室内 に流れないので、非常にわずかの溶剤しか使用しないことにある。

すなわち、開放型の循環システムの場合に多くみられるような、洗浄室またはタ ンク全体を充填しておく必要性はない。

さらにまた、この技術には、部品が洗浄のために挿入された後ではあるが、溶剤 が導き入れられる前に、洗浄室の最初の減圧排気が稼動し、溶剤が導き入れられ る前においてさえも、部品と結合し得る揮発性汚染物質を除去するという利点が ある。

図１には、本発明の方法の実施を描いた流れ図が示されている。衣服や製造され た部品のような被洗浄物がステップ１０において洗浄室に配置される。次にステ ップ１２において負のゲージ圧がかけられる。これによって空気および他の非凝 縮ガスが取り除かれる。揮発性汚染物質も取除く。

この時点で洗浄室から減圧排気された大気は、必要ならば、適切なフィルタに通 すことができる。

負のゲージ圧は、典型的には大気圧がら絶対気圧でゼロの間である。ｌＯトルの 範囲の圧力で充分と思われる。これに続いて、ステップ１４において溶剤が導き 入れられる。これは蒸気状または液体状、または両方の状態で行うことができる 。次に被洗浄物が適切な時間、洗浄される。このとき、温度を変化させて、洗浄 されている材料や物の適切な条件に合うようにすることができ、また、蒸気密度 と被洗浄物内への溶剤の侵入を改善することができる。温度を上昇、低下させる ことは、洗浄作業においてだけ実施されるため、エネルギが大幅に節約される。

また、洗浄室の温度の上昇により、洗浄作業が実施された後、２室間の差圧だけ で溶剤を排出することができるところまで、２室間の差圧が上昇することにより 、エネルギの大幅な節約が可能となる。典型的には、一部が液体、一部が蒸気と して存在している溶剤の場合、ステップ１８において、まず汚染物質を含む液体 を除去し、次に蒸留生成物であるため、実質的には汚染されていない蒸気を除去 することによって、溶剤が回収される。この時点における蒸気の完全な除去によ り、被洗浄物の乾燥も行われ、これによって、通常、被洗浄物に付着していると 思われる蒸気または液体の溶剤による環境の汚染が低下する。最後に、ステップ ２０において、洗浄室が大気に開放され、洗浄された被洗浄物が取り出される。

本発明の技術を実施するためのシステム５ｏは、洗浄または脱脂用のタンクまた は室５２を含み、該タンクまたは室５２は熱交換器５４を含む。弁５６．５８が 加熱液または冷却液の流入および流出を各々制御する。この実施例においては、 スチーム源６０から得られた加熱液である。被洗浄部品６２は、洗浄室５２内の 適切な支持体６４上に置くことができる。弁６６の作動により洗浄室５２は大気 と通気する。ポンプ６８は真空ポンプとして働いている場合には、洗浄室５２に 負のゲージ圧をかけるために使用される。また、大気圧より高い圧力での運転が 所望である場合には、正圧ポンプとして働くこともできる。また、残留溶剤蒸気 が真空ポンプ内に侵入する前に、それらを吸収するために、活性炭を添加しても よい。弁７０が作動し、真空ポンプ６８からの流出物を大気に排出する一方、弁 ７２は循環サイクルの別の部分で、真空ポンプ６８から反対に、コンデンサ７４ を通り、保存タンク７６への流出に向けられている。保存タンク７６．７８の各 々には、ヒータ８０．８２が設けられており、弁７０を介して洗浄室５２と通じ ている導管８８に、各々弁８４，８６を介して通じている。冷却ユニット９２は 、コンデンサ７４への冷却剤の供給に使用される。弁９４．９６は、各々保存タ ンク７６．７８の空気抜きに使用され、大気に排出される前に、炭素フィルタま たは類似のフィルタ９８に該空気を送る。

炭素フィルタ９８に送り込まれる第三のものは、かくれ線で示される導管１００ を通して送り込むことができ、室５２の減圧排気を行う真空ポンプ６８からの流 出物が、大気に放出される前に、まず炭素フィルタ９８によって沢過できるよう に、該導管１００は弁７０と相互に連結しているにのことは、洗浄室５２の最初 の減圧排気によって取り出すことができる被洗浄部品に関係している揮発性有害 汚染物質がある場合には特に重要である。

運転中、第１保存タンク７８に貯蔵された溶剤の場合、ヒータ８２が作動し、ト リクロロエチレンのような溶剤の温度を１００℃に上昇させ、４００トルの蒸気 圧を作ることができる０次に、弁６６が開放され、洗浄室５２は大気と通気し、 部品６２が洗浄室５２の支持体６４上に１かれ、弁６６が閉じ、真空ポンプ６８ が稼動する。空気、非凝縮ガスおよび揮発性汚染物質の全てが真空ポンプ６８に より排出され、閉鎖弁７２と開放弁７０により直接大気に向けられるか、または 導管１００と炭素フィルタ９８を通って大気に向けられる。次に、真空ポンプ６ ８は停止される。第１保存タンク７８のトリクロロエチレン溶剤は１００℃、４ ００トル蒸気圧の状態にあるので、弁８６が開くと、蒸気が導管８８を流れ、洗 浄室５２に入る弁９０を開放し、したがって蒸気１０２が洗浄室５２を満たし、 部品６２上で凝結し、該部品６２を洗浄する。所望であれば、少量の液体溶剤１ ０４を導き入れてもよい。弁８６．９０は閉鎖している。弁５６．５８をここで 開放し、スチーム源６０を作動させ、洗浄室５２の温度を約１２１℃に高め、洗 浄中、洗浄室の圧力を７６０トルまたは１大気圧とする。洗浄サイクルが終了し た後、スチーム源６０を停止させ、弁５６．５．８が閉じられる。弁９０を規則 的に開き、液体溶剤１０４を重力により、導管８８を通って排出させ、保存タン ク７８に通じる弁８６を開くことができる。または一層典型的には、上昇した７ ６０トルの圧力により、該液体は汚染物質とともに保存タンク７８に戻される。

ここで、洗浄室５２の圧力は約４００トルに低下する。これに続いて弁７０が閉 じ、弁７２が開いて真空ポンプ６８が作動される。被洗浄物がこの工程において 乾燥されるように、該ポンプ６８が被洗浄物６２に関係している蒸気を含む、タ ンク５２中の蒸気を抜き取る。

実際上は清浄であるこの蒸気は、コンデンサ７４で凝縮され、第２保存タンク７ ６に戻され、該保存タンク７６は、保存タンク７８の溶剤が汚染され、汚染物質 の除去と処理が必要になった場合に使用することが可能な清浄な溶剤だけを貯蔵 する。タンク７６．７８の規則的な空気抜きは、弁９４．９６を介して行われる 。最後に、真空ポンプ６８が停止し、弁６６が開き、洗浄室５２を大気と通気さ せ、部品６２が除去され、大気に有害な廃棄物をもたらすことなく乾燥・洗浄が 完了する。同時に、溶剤は空気と混合させなかったため、空気から溶剤を分離し 、溶剤汚染物質を空気から取り除くために必要な費用がかかることなく、しかも 複雑な処理を行う必要がないので、最低の労力と費用で溶剤を充分に回収された 。

本発明の固有の特性をいくつかの図に示しているが、これは他でもなく、単に便 宜のために行われているだけであり、各々の特性は本発明に従った他の全ての特 性とも組み合わされるものである。

他の実施例も、当業界における技術者には思い起こされるものと思われるが、そ れらは以下の請求の範囲内にある。

フロントページの続き （７２）発明者　ゲブハード、ピータ−ティー、イー。

アメリカ合衆国　ロードアイランド州 ０２９０８　プロピデンス　バレー　ストリート　３３５

Claims (26)

【特許請求の範囲】
1. １．被洗浄物を室内に置き、 空気および他の非凝縮ガスを取り除くために、該室に負のゲージ圧をかけ、 溶剤を減圧排気された室に導き入れ、被洗浄物を洗浄し、 溶剤を被洗浄物と室から回収し、 洗浄物を取り出す段階を有する閉鎖循環型溶剤洗浄の方法。
2. ２．前記負のゲージ圧は、溶剤と除去されるべき汚染物質の蒸気圧より低いこと を特徴とする請求項１記載の閉鎖循環型溶剤洗浄の方法。
3. ３．前記負のゲージ圧は、大気圧から絶対気圧でゼロまでの範囲にあることを特 徴とする請求項１記載の閉鎖循環型溶剤洗浄の方法。
4. ４．前記負のゲージ圧は、０〜７００トルの範囲にあることを特徴とする請求項 ３記載の閉鎖循環型溶剤洗浄の方法。
5. ５．前記負のゲージ圧は、１０〜５００トルの範囲にあることを特徴とする請求 項４記載の閉鎖循環型溶剤洗浄の方法。
6. ６．前記負のゲージ圧は、１００トルまたはそれよりも低いことを特徴とする請 求項５記載の閉鎖循環型溶剤洗浄の方法。
7. ７．前記溶剤は、蒸気の状態で前記室に導き入れられることを特徴とする請求項 １記載の閉鎖循環型溶剤洗浄の方法。
8. ８．前記溶剤は、液体の状態で前記室に導き入れられることを特徴とする請求項 １記載の閉鎖循環型溶剤洗浄の方法。
9. ９．溶剤の温度と蒸気圧を制御するために、室の温度を変えることをさらに含む 請求項１記載の閉鎖循環型溶剤洗浄の方法。
10. １０．室の温度を変えることには、被洗浄物内への溶剤の侵入を高めるために、 温度を上げ、溶剤の圧力を上昇させることが含まれることを特徴とする請求項９ 記載の閉鎖循環型溶剤洗浄の方法。
11. １１．室の温度を変えることは、被洗浄物の洗浄中にしか行われないことを特徴 とする請求項９記載の閉鎖循環型溶剤洗浄の方法。
12. １２．溶剤の回収が、汚染物質を含む液状の溶剤を室から回収すること、および 次に洗浄室から蒸気状の溶剤を取り出すことを含むことを特徴とする請求項１記 載の閉鎖循環型溶剤洗浄の方法。
13. １３．液状の溶剤の回収は、室内の圧力を上昇させ、液状の溶剤を汚染物質と共 に、積極的に追い出すために、洗浄室を高い温度に維持することを含むことを特 徴とする請求項１２記載の閉鎖循環型溶剤洗浄の方法。
14. １４．蒸気状の溶剤を取り出すことには、被洗浄物から溶剤を乾燥させることを 含むことを特徴とする請求項１２記載の閉鎖循環型溶剤洗浄の方法。
15. １５．被洗浄物を保持するための室と、該室に負のゲージ圧をかけ、空気および 他の非凝縮ガスを取り除くための手段と、 被洗浄物を洗浄するために溶剤を前記室に導き入れるための手段と、 被洗浄物と室から溶剤を回収するための手段と、回収された溶剤を貯蔵するため の貯蔵手段とを含むことを特徴とする閉鎖循環型溶剤洗浄システム。
16. １６．前記室は室の温度を変えるための熱交換器を含むことを特徴とする請求項 １５記載の閉鎖循環型溶剤洗浄システム。
17. １７．負のゲージ圧をかけるための手段は、真空ボンブを含むことを特徴とする 請求項１５記載の閉鎖循環型溶剤洗浄システム。
18. １８．溶剤を導き入れるための前記手段は、貯蔵手段と結合した弁手段を含むこ とを特徴とする請求項１５記載の閉鎖循環型溶剤洗浄システム。
19. １９．回収のための前記手段は、液状の溶剤と汚染物を抜き取るための排出手段 を含むことを特徴とする請求項１５記載の閉鎖循環型溶剤洗浄システム。
20. ２０．回収のための前記手段は、気体状の溶剤を抜き取るための手段を含むこと を特徴とする請求項１５記載の閉鎖循環型溶剤洗浄システム。
21. ２１．抜き取りのための前記手段は、前記真空ポンプを含むことを特徴とする請 求項１５および１３記載の閉鎖循環型溶剤洗浄システム。
22. ２２．前記貯蔵手段は、溶剤蒸気を受け入れるための１つの貯蔵槽と溶剤液を受 け入れるための第２の貯蔵槽を含むことを特徴とする請求項１５記載の閉鎖循環 型溶剤洗浄システム。
23. ２３．溶剤蒸気を凝縮するための手段をさらに含むことを特徴とする請求項２０ 記載の閉鎖循環型溶剤洗浄システム。
24. ２４．負のゲージ圧は、０〜７００トルの範囲にあることを特徴とする請求項１ ５記載の閉鎖循環型溶剤洗浄システム。
25. ２５．負のゲージ圧は、１０〜５００トルの範囲にあることを特徴とする請求項 ２４記載の閉鎖循環型溶剤洗浄システム。
26. ２６．負のゲージ圧は、１００トルまたはそれ以下であることを特徴とする請求 項２４記載の閉鎖循環型溶剤洗浄システム。