JP3278781B2 - 密閉式溶剤洗浄回収方法及びその装置 - Google Patents

密閉式溶剤洗浄回収方法及びその装置

Info

Publication number
JP3278781B2
JP3278781B2 JP18709991A JP18709991A JP3278781B2 JP 3278781 B2 JP3278781 B2 JP 3278781B2 JP 18709991 A JP18709991 A JP 18709991A JP 18709991 A JP18709991 A JP 18709991A JP 3278781 B2 JP3278781 B2 JP 3278781B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
activated carbon
solvent
solvent gas
condenser
cleaning
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP18709991A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0679244A (ja
Inventor
年男 竹田
潤一 土井
俊也 志水
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daiwa Chemical Industries Ltd
Original Assignee
Daiwa Chemical Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Daiwa Chemical Industries Ltd filed Critical Daiwa Chemical Industries Ltd
Priority to JP18709991A priority Critical patent/JP3278781B2/ja
Publication of JPH0679244A publication Critical patent/JPH0679244A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3278781B2 publication Critical patent/JP3278781B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、密閉式の溶剤洗浄回収
方法及びその装置に係り、更に詳しくは洗浄剤としてフ
ロンの規制に対処した低沸点の代替フロンに適応しうる
ようにした密閉式溶剤洗浄回収方法及びその装置に関す
るものである。
【0002】
【従来の技術】特公昭60−29519号公報は、密閉
式溶剤洗浄回収方法及びその装置に関する代表的なもの
である。しかし、これは布帛等の被洗浄物を対象にした
一定の洗浄サイクルのもとで、溶剤としてトリフロロト
リフルオロエタン(フロン113)用の方式であった。
従って、金属等の他の被洗浄物に対して、また今後の低
沸点の代替フロンに対して、適応しうるものでなかっ
た。
【0003】一方、各種被洗浄物に適応しうる密閉式溶
剤洗浄回収方法及びその装置は、特開平2−20780
1号公報が公知である。これは各種洗浄機に、個別の蒸
留缶、活性炭タンク、コンデンサー等を適宜組合わせて
システム化し、洗浄サイクルに対応した回収処理を行え
るものであった。しかし従来のフロン113を対象にし
ているので、やはり代替フロンに対しては適応しうるも
のではなかった。
【0004】これに対し、本出願人は、代替フロン用の
ものを出願した。これは、代替フロンの低沸点溶剤ガス
を活性炭に吸着させる前に、予め専用の第3コンデンサ
ーに通して、濃い溶剤ガスを予め除去して、活性炭の負
荷を軽減させるようにしたものであった。しかし、第2
コンデンサーに対する詳細な記載がなく、また特に低沸
点の代替フロンに完全に対応しうるものでもなかった。
【0005】以上の一連の開発とは別に、真空方式によ
る代替フロン用の密閉式溶剤洗浄回収方法も提案されて
いる。これは、システム内を真空にして、低沸点の溶剤
ガスを外部へ放散させないようにしたものであるが、こ
の真空方式は洗浄サイクルに時間を要することが最大の
欠点となっている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】上記の事情に鑑み、本
発明は、金属洗浄等を含む各種洗浄向の工場のレイアウ
トに対応しうるシステム化のものであること、またフロ
ンの規制にともなう今後の第2世代フロンと称されてい
る代替フロン中、特に有望視されている低沸点のものに
適応しうること、さらに大気中に低沸点の溶剤ガスを放
散させないための密閉式のものであることを条件にした
密閉式溶剤洗浄回収方法及びその装置の提供を目的とす
るものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、洗浄機で発生した溶剤ガスを吸着ブロア
によって前記洗浄機の蓋を開放した時に前記洗浄機内を
負圧に保ち、低沸点溶剤ガスが外部へ放出しないように
しながら低沸点洗浄液にて被洗浄物を洗浄する工程と、
洗浄汚染液を溶剤タンクに投下し、蒸留缶に移送して蒸
留後第2コンデンサにて蒸留ベーパーガスを液化凝縮さ
せる工程と、被洗浄物を洗浄後前記洗浄機内に発生した
溶剤ガスを第3コンデンサにて液化凝縮させる工程と、
前記溶剤ガスが稀薄になった後、活性炭タンクへ前記溶
剤ガスを導入して活性炭に吸着させ、前記活性炭に吸着
させた溶剤ガスを活性炭から脱着させる工程と、脱着さ
せた溶剤ガスを第1コンデンサにて液化凝縮させる工程
とからなる密閉式溶剤洗浄回収方法及びリミットスイッ
チにより作動する吸着ブロアを備え、発生した溶剤ガス
によって蓋を開放した時に機内を負圧に保つようにして
低沸点洗浄液にて被洗浄物を洗浄する洗浄機と、洗浄汚
染液が溶剤タンクを介して移送される蒸留缶と、蒸留缶
にて蒸留された蒸留ベーパーガスを液化凝縮させる第2
コンデンサと、被洗浄物を洗浄後前記洗浄機内に発生し
た溶剤ガスを液化凝縮させる第3コンデンサと、前記溶
剤ガスが稀薄になった後、前記溶剤ガスを導入して活性
炭に吸着させる活性炭タンクと前記活性炭に吸着させた
溶剤ガスを活性炭から脱着させる活性炭タンクと、脱着
させた溶剤ガスを液化凝縮させる第1コンデンサとから
なることを特徴とする密閉式溶剤洗浄回収装置を構成す
るものである。
【0008】
【作用】本発明は上記のように構成するので、洗浄機の
蓋を開けて被洗浄物を入れ、蓋を閉めて溶剤を噴出して
洗浄する際に、洗浄機の蓋を開けた時、リミテッドスイ
ッチによって吸着ブロアが作動しはじめ洗浄機内を負圧
に保ち、低沸点の溶剤ガスが外部へ放出しないようにな
っている。そして、第1コンデンサでは活性炭脱着に用
い、第2コンデンサでは蒸留ベーパーガス処理専用と
し、第3コンデンサでは活性炭の負荷を軽減させるため
に、洗浄サイクルが乾燥へ入ってから溶剤ガスが希薄に
なってから大気を取り入れて活性炭タンクへ送り込んで
吸着させるものである。
【0009】
【実施例】本発明に使用される溶剤は、勿論、沸点4
7.6℃の1.1.2−トリクロロ−1.2.2−トリ
フルオロエタン(CFC−113)や、沸点の高いHC
FC−225ca(沸点51.1℃)やHCFC−22
5cb(沸点56.1℃)の代替フロンも可能である
が、好ましくは沸点32℃の1.1ジクロロ−1−フル
オロエタン(HCFC−141b)、沸点27.5℃の
2.2−ジクロロ−1.1.1−トリフルオロエタン
(HCFC−123)及び1.1−ジクロロ−1−フル
オロエタン35%と2.2−ジクロロ−1.1.1−ト
リフルオロエタン65%との混合品である沸点29.2
℃のKCD−9450のような沸点の低い溶剤に適して
いる。
【0010】本発明に使用される洗浄器は、シヤワー
式、ワッシヤードラム式等各種方式のものが使用できる
が、チラー水方式のコンデンサーを洗浄機に直結させれ
ばベーパー洗浄を行うこともできる。
【0011】本発明でいう蒸留缶とは、スチーム管が配
管され、汚染された洗浄液を間接加熱して清浄な溶剤ガ
ス成分を抽出させ、汚染したスラッジ分を分離排出させ
るためのものである。
【0012】本発明でいう活性炭タンクとは、溶剤ガス
を吸着させる活性炭を充填したタンクのことで、吸着用
とその間に或いは夜間に脱着を行うための、通常2台以
上からなる一連のタンクのことである。
【0013】コンデンサーとは、溶剤ガスを液化させる
ためのものであるが、本発明の場合活性炭からの脱着用
の第1コンデンサーは冷却水による直冷式のものであ
り、蒸留ベーパーガス処理用の第2コンデンサーはチラ
ー水方式のものであり、活性炭の負荷軽減用の第3コン
デンサーは冷凍水による直冷式のものからなっている。
【0014】本発明でいう分離器とは、比重差分離方式
や濾過分離方式からなる油水分離器のことで、活性炭に
スチームを入れず、水分の全く入らない場合には敢えて
必要としないが、通常は用いられる。
【0015】なお本発明のシステム内には、ベーパー洗
浄をなしうるように洗浄機と第2コンデンサーとの連結
管や、系内のエアーバランスを保たせるためのエアータ
ンクや、洗浄槽の蓋を開放したときに系内を負圧に保っ
て溶剤ガスが外部へ放出しないようにするための吸着ブ
ロアー等の付帯設備が、必要に応じて設けられる。
【0016】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説
明する。第1図は、本発明の一実施例を示す密閉式溶剤
洗浄回収装置のフローシートである。
【0017】(1)はシヤワー式の洗浄機であるが、洗
浄機はこれに限定されるのではなく、ジェット式、ワッ
シャードラム式、浸漬式、超音波式、蒸気式や複合型の
多槽式の洗浄機でもかまわない。
【0018】 洗浄機の蓋(1a)を開けて被洗浄物
(2)を入れ、蓋(1a)を閉めてシャワ(1b),
(1b)から溶剤を噴出して洗浄する。この洗浄機
(1)の上部には、リミットスイッチ(1c)があり、
蓋(1a)を開けた時このリミットスイッチ(1c)に
よって吸着ブロア(3)が作動しはじめ洗浄機内を負圧
に保ち、低沸点の溶剤ガスが外部へ放出しないようにシ
ステム内の安全装置が組込まれている。
【0019】洗浄後の汚染液は、ボタントラップ(4)
を経由して溶剤タンク(5)に投下される。(5a)
は、溶剤タンク(5)内のフロートスイッチであリ、一
定量に達すればポンプ(6)にて蒸留缶(7)に移送さ
れる。
【0020】 ここでシャワに使用し汚染した洗浄液
は、本実施例の場合、1.1−ジクロロ−1−フルオロ
エタン(HCFC−141b)からなる低沸点代替フロ
ンを使用した。このHCFC−141bは、化学式がC
H3・CCl2Fで表される物質で、従来のフロンと異
なりH原子が含まれているので、大気中での分解がよい
ためオゾンに対する破壊係数が小さくなっている。ま
た、KB値が従来のCFC−113の31より高い58
を示すため洗浄率がよく、逆汚染性も支障がないためフ
ロンの代替品として有望祝されている。このKB値と
は、カリウムゴムをブチルアルコールに溶かした溶液に
曇りを生じるまで加える溶剤のmol数で、この値が大
きい程溶解力が大きいため、洗浄の目安とされている。
ただ、HCFC−141bは、沸点が31.5℃と低
い。このためこの低沸点の溶剤ガスを大気中へ飛散させ
ないための密閉化と、大量に発生する溶剤ガスの回収処
理に、特別の配慮が必要となる。
【0021】 蒸留缶(7)の汚染溶剤は、スチーム
(8)による間接加熱で蒸発ガス化され、ここで蒸発し
た溶剤ガスは、上部の第2コンデンサ(9)に導かれ、
一方、汚物はスラッジ(10)として排出される。
【0022】 第2コンデンサ(9)は、チラー水(1
1)によって蒸留ベーパーガスを強力に液化凝縮させ、
液化溶剤は、次に第1分離器(12)へと移送される。
本発明の第2コンデンサ(9)の増強効果は従来例を示
す第3図のフローシートと対比すれば明白である。従来
の第2コンデンサ(イ)は、強力なチラー水を使用した
ものではなく、普通の冷却水(ロ)を使用した直冷式の
ものである。また、蒸留缶(ハ)には直結されておら
ず、第1コンデンサ(ニ)を経由して活性炭からの脱着
溶剤ガスの液化と兼用の補助的な役割を果たすものであ
る。これに対し本発明の第2コンデンサ(9)は、チラ
ー水(11)を使用して冷却効果を増強し、蒸留工程の
液化回収では中心的役割をするよう蒸留缶(7)に直結
させ、蒸留ベーパーガス処理専用のものとして、システ
ム内の溶剤ガスのべーパー量を強力に軽減させるための
ものとなっている。
【0023】前記第1分離器(12)は、本実施例の場
合、比重差分離方式のものであり、これに続けて段差を
設けて並設させている第2分離器(13)は、濾過分離
方式あるいは透過膜方式が利用でき、これらの分離器に
よって油水は分離され、水分を除去した再生新液は、ス
トレージタンク(14)に貯蔵される。
【0024】最初の洗浄等は、タイマー(図示せず)に
よって制御されるが、溶剤タンク(5)は、洗浄後の汚
染液を既に蒸留缶(7)へと移送して空になっているの
で、ストレージタンク(14)内の新液をこの溶剤タン
ク(5)へ転送し、この新液(再生された)を洗浄機
(1)へ揚液して、少なくとも2回目の洗浄を行い、こ
のようにして洗浄と回収は循環して繰り返される。
【0025】 そして洗浄が終わると、吸着ブロア
(3)が作動し、スチームヒータ(15)と電気ヒータ
(16)にスイッチが入って、洗浄機(1)内に発生し
た濃い溶剤ガスは、熱風によって第3コンデンサ(1
7)へ送り込まれ、液化凝縮した溶剤は第1分離器(1
2)へ流入される。第1分離器(12)にはエアタンク
(18)が接続されており、一定圧で吹き出す逆止弁
(18a)と負圧で吸い込む逆止弁(18b)とが設け
られ、エアタンク(18)内のエアはバランスを保ちう
るようになっている。
【0026】この第3コンデンサー(17)は、冷凍機
からの冷凍水を送り込むようにした直冷式のコンデンサ
ーで、予め活性炭の負荷を軽減させるために設けられて
いるものである。即ち第2図の洗浄機内から発生する溶
剤ガスの処理サイクルに示すように、洗浄サイクルが乾
燥へ入る前は、第1図のバルブ(20)を開いて第3コ
ンデンサー(17)内を循環させて液化凝縮の処理を
し、活性炭への導入は洗浄サイクルが乾燥へ入ってから
の溶剤ガスが希薄になってからであり、このときは第1
図のバルブ(20)を閉めてバルブ(21)を開き大気
を取り入れて、第1活性炭タンク(22)或いは第2活
性炭タンク(23)へ送り込んで吸着させるものであ
り、このようにして活性炭の負荷を軽減させるようにし
ている。
【0027】 本発明の溶剤回収は、低濃度の溶剤ガス
に至るまで、気相で完全に吸着させるための活性炭吸着
方式を採用している。第1活性炭タンク(22)と第2
活性炭タンク(23)は、そのためのものであるが、2
台は吸着と脱着を交互にさせたり、あるいは昼間は2台
とも吸着に使用し、夜間に脱着させる等の使い方をさせ
るものである。
【0028】活性炭からの脱着は、蒸気(8)を作動さ
せて行い、活性炭から脱着させた溶剤ガスは、冷却水
(25)による直冷式の第1コンデンサー(26)に導
入して液化凝縮させ、第1分離器(12)へ送り込むよ
うになっている。
【0029】なお、システム内の配管(27)は、第2
コンデンサー(9)と洗浄機(1)を連結するものであ
リ、このようにすればベーパー洗浄を行うことができ
る。なおベーパー洗浄は、シミの少ないリンス効果があ
り、溶剤ガスが温まっているために乾燥効率が早いとい
う利点がある。
【0030】
【発明の効果】本発明は、第1コンデンサでは活性炭脱
着に用い、第2コンデンサでは蒸留ベーパーガス処理専
用とし、第3コンデンサでは活性炭の負荷を軽減させる
ために、洗浄サイクルが乾燥へ入ってから溶剤ガスが希
薄になってから大気を取り入れて活性炭タンクへ送り込
んで吸着させるものであり、活性炭の負荷を軽減するこ
とができるものである。
【0031】 本発明は、第3コンデンサを増設して、
洗浄及び乾燥中は、この第3コンデンサと洗浄機内との
循環方式で冷却凝縮して回収し、その後に活性炭に吸着
させることによって活性炭への負荷を軽減させるので、
大容量の活性炭タンクの設置を必要としない。
【0032】 また本発明は、第2コンデンサにチラー
水を冷却として増強し、蒸留ベーパーガスの液化回収で
の中心的役割を果たすようにし、もって装置内の不凝縮
ガス量を軽減させることができる。
【0033】 本発明によれば、溶剤の溶解力が大きく
なり洗浄能力がアップし、洗浄と乾燥が低い温度で処理
でき、工程時間の短縮が可能となる。この点、真空方式
のものより洗浄サイクルとタクトの処理時間を早めるこ
とができる。
【0034】 本発明は、洗浄機の上部には、リミット
スイッチがあり、蓋を開けた時、このリミテッドスイチ
ッチによって吸着ブロアが作動しはじめるので、洗浄機
内を負圧に保ち、低沸点の溶剤ガスが大気中に放出する
ことがないシステム内をクローズド化し、密閉式のもの
となっている。そして発生ベーパーは活性炭で吸着させ
て回収再利用するので溶剤ロスがほとんどなく、また溶
剤ガスが室内及び大気中に漏れることがないので、環境
汚染の心配がない。なおシステム内には、エアタンクに
逆止弁を取り付けており、エアタンク内の内圧を調整す
ることができる。
【0035】本発明の装置とサイクルは、組み込まれた
固定のものではないので、あらゆる洗浄方式の採用が可
能であり、洗浄機を小さくすることができ、所望の蒸留
新液による洗浄が可能であり、工場のレイアウトに即応
した回収装置の組み変え変更を適宜システム化すること
ができ、集中管理方式の採用と相俟って装置が安価であ
る。なお、蒸留ベーパーを洗浄機に連結すれば、再生新
液でベーパー洗浄を行うことができ、シミの発生を防
ぎ、乾燥を早めることができる。
【0036】 本発明の方法と装置は、今後のフロンに
よる洗浄を計画しているプリント基板をはじめとする電
気関連機器の洗浄、自動車機械金属関係の洗浄、また精
密光学機器関連の洗浄に広く利用しうる有用なものであ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す密閉式溶剤洗浄回収装
置のフローシートである。
【図2】本発明の第3コンデンサーの作用を示すフロー
シートである。
【図3】従来例を示す溶剤洗浄回収装置のフローシート
である。
【符号の説明】
1 洗浄機 1a 洗浄機の蓋 3 吸着ブロアー 7 蒸留缶 9 第2コンデンサー 11 チラー水 12 第1分離器 13 第2分離器 17 第3コンデンサー 18 エアータンク 22 第1活性炭タンク 23 第2活性炭タンク 26 第1コンデンサー 27 第2コンデンサーと洗浄機の連結配管
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平10−99803(JP,A) 特開 平8−117703(JP,A) 特開 平6−196467(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) B08B 3/08 ZAB B01D 5/00 C23G 5/02

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 洗浄機で発生した溶剤ガスを吸着ブロア
    によって前記洗浄機の蓋を開放した時に前記洗浄機内を
    負圧に保ち、低沸点溶剤ガスが外部へ放出しないように
    しながら低沸点洗浄液にて被洗浄物を洗浄する工程と、
    洗浄汚染液を溶剤タンクに投下し、蒸留缶に移送して蒸
    留後第2コンデンサにて蒸留ベーパーガスを液化凝縮さ
    せる工程と、被洗浄物を洗浄後前記洗浄機内に発生した
    溶剤ガスを第3コンデンサにて液化凝縮させる工程と、
    前記溶剤ガスが稀薄になった後、活性炭タンクへ前記溶
    剤ガスを導入して活性炭に吸着させ、前記活性炭に吸着
    させた溶剤ガスを活性炭から脱着させる工程と、脱着さ
    せた溶剤ガスを第1コンデンサにて液化凝縮させる工程
    とからなることを特徴とする密閉式溶剤洗浄回収方法。
  2. 【請求項2】 リミットスイッチにより作動する吸着ブ
    ロアを備え、発生した溶剤ガスによって蓋を開放した時
    に機内を負圧に保つようにして低沸点洗浄液にて被洗浄
    物を洗浄する洗浄機と、洗浄汚染液が溶剤タンクを介し
    て移送される蒸留缶と、蒸留缶にて蒸留された蒸留ベー
    パーガスを液化凝縮させる第2コンデンサと、被洗浄物
    を洗浄後前記洗浄機内に発生した溶剤ガスを液化凝縮さ
    せる第3コンデンサと、前記溶剤ガスが稀薄になった
    後、前記溶剤ガスを導入して活性炭に吸着させる活性炭
    タンクと前記活性炭に吸着させた溶剤ガスを活性炭から
    脱着させる活性炭タンクと、脱着させた溶剤ガスを液化
    凝縮させる第1コンデンサとからなることを特徴とする
    密閉式溶剤洗浄回収装置。
JP18709991A 1991-04-25 1991-04-25 密閉式溶剤洗浄回収方法及びその装置 Expired - Lifetime JP3278781B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18709991A JP3278781B2 (ja) 1991-04-25 1991-04-25 密閉式溶剤洗浄回収方法及びその装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18709991A JP3278781B2 (ja) 1991-04-25 1991-04-25 密閉式溶剤洗浄回収方法及びその装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0679244A JPH0679244A (ja) 1994-03-22
JP3278781B2 true JP3278781B2 (ja) 2002-04-30

Family

ID=16200090

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18709991A Expired - Lifetime JP3278781B2 (ja) 1991-04-25 1991-04-25 密閉式溶剤洗浄回収方法及びその装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3278781B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB8800667D0 (en) * 1988-01-13 1988-02-10 British Telecomm Optical power meter
CN110385008A (zh) * 2019-05-23 2019-10-29 深圳市智盾环保科技有限公司 用于处理含VOCs的废活性炭的水蒸气集中脱附系统

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0679244A (ja) 1994-03-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3085848B2 (ja) 衣料の洗浄・乾燥方法及び装置
US5232476A (en) Solvent recovery and reclamation system
US5304253A (en) Method for cleaning with a volatile solvent
EP0498877B1 (en) Emission controlled cleaning of articles with volatile solvents
JPH03126489A (ja) 可燃性溶剤によるドライクリーニングの乾燥方法
JP5410182B2 (ja) 使用済み炭酸ガスの再生方法
JP3278781B2 (ja) 密閉式溶剤洗浄回収方法及びその装置
JP2000237703A (ja) 真空洗浄乾燥方法及び装置
JPS63190618A (ja) 溶剤回収装置用蒸気再生方法
JP3010463B2 (ja) アルコール中の水分除去方法
US5346534A (en) Process for treating an article with a volatile fluid
EP0879313B1 (en) Filter regeneration and dry cleaning system
JPH0490794A (ja) ドライクリーニング方法
JP4690953B2 (ja) オイルスクラバー洗浄油の逆流防止タンクを備える真空加熱装置
JP2895354B2 (ja) ドライクリーニング方法
JPH05192494A (ja) ドライクリーニング方法
JPH08290004A (ja) 溶液減圧蒸溜装置
JP2858586B2 (ja) ドライクリーニング方法
JPH03297494A (ja) ドライクリーニング方法
JPS6216797A (ja) ドライクリーニング機による被洗物の洗浄および乾燥方法
JPH0434474B2 (ja)
JPH1057915A (ja) 蒸気洗浄装置
JPH0658888U (ja) ドライクリーニング装置
JPH09290127A (ja) 塩素系有機溶剤循環回収装置
JP2009240948A (ja) 溶剤の回収方法および回収装置

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110222

Year of fee payment: 9

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120222

Year of fee payment: 10

EXPY Cancellation because of completion of term
FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120222

Year of fee payment: 10