JPH1057915A - 蒸気洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 蒸気洗浄を効率良く行うとともに、乾燥時間
の短縮化を図り、更に洗浄に使用された汚れた洗浄液の
ワークへの再付着を防止できるばかりでなく、真空ポン
プの溶剤蒸気によるトラブルをなくし、かつ溶剤を効率
よく回収できるようにする。 【解決手段】 洗浄剤としての溶剤蒸気を内部に導入し
て蒸気洗浄を行う蒸気洗浄槽５と、前記蒸気洗浄槽５の
外周に配置されて該蒸気洗浄槽を加温する加温手段６
と、前記蒸気洗浄槽５内の溶剤蒸気を真空吸引する吸引
手段３１とを備えたことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばリードフレ
ーム等の油の付着した被洗浄物（ワーク）の蒸気洗浄に
使用される蒸気洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】前記蒸気洗浄は、ワークを溶剤（洗浄
液）蒸気雰囲気中に晒すことにより、溶剤とワークの温
度差の分だけワークに熱を奪われた溶剤をワークの表面
に凝縮させて付着させ、この時にワークに付着した汚れ
を凝縮後の洗浄液と一緒に洗い流すようにした洗浄方法
であり、例えば上記リードフレームの最終洗浄等に広く
行われている。

【０００３】この種の蒸気洗浄においては、洗浄液とし
て、例えばアセトン等の低沸点炭素水素系溶剤等が一般
に用いられている。従来、この種の蒸気洗浄は、蒸気洗
浄槽内にワークをセットした後、蒸気洗浄槽の内部に溶
剤蒸気を導入して、ワークが溶剤蒸気と同じ温度に達す
るまで放置する。そして、蒸気洗浄槽内を真空吸引（減
圧）することにより、ワークに付着していた溶剤の沸点
を下げワークの表面から蒸発乾燥させてワークを自然乾
燥させるとともに、蒸気洗浄槽内も乾燥させた後、蓋を
開いてワークを取出すようにしていた。

【０００４】ところがこのような場合には、ワークに溶
剤が付着したまま、あるいは蒸気洗浄槽内を乾燥させな
いまま蓋を開けると、溶剤の蒸気が大気に拡散し、この
ため爆発の危険があった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記蒸
気洗浄装置にあっては、蒸気洗浄槽内に導入された溶剤
蒸気の一部が蒸気洗浄槽の壁面で凝縮してしまい、この
ため、洗浄効率が一般に悪く、しかもワーク及び蒸気洗
浄槽内を完全に乾燥させるためには、蒸気洗浄を行う真
空度よりもさらに真空度を上げて凝縮した洗浄液を気化
させて乾燥させるため、この乾燥に多大の時間を要する
のが現状であった。

【０００６】またこのような洗浄装置は装置を停止する
ことなく連続的に使用されることが多いため、メンテナ
ンスの手間が省略でき、しかも洗浄工程から乾燥工程ま
での洗浄時間の短縮化が望まれている。

【０００７】更に、蒸気洗浄槽内に凝縮後の洗浄液が残
っていると、減圧乾燥時にこの内部に残った洗浄液が沸
騰して、汚れを含んだ液がワークに再付着し、このため
さらに洗浄する必要もあった。また、減圧の際に真空吸
引を行う真空ポンプ内に溶剤蒸気が入り込んで凝縮して
液となり、これが真空ポンプの減圧度の低下などのトラ
ブルの原因となるばかりでなく、溶剤の回収効率が一般
にかなり悪かった。

【０００８】本発明は上記に鑑み、蒸気洗浄を効率良く
行うとともに、乾燥時間の短縮化を図り、更に洗浄に使
用された汚れた洗浄液のワークへの再付着を防止できる
ばかりでなく、真空ポンプの溶剤蒸気によるトラブルを
なくし、かつ溶剤を効率よく回収できるようにした蒸気
洗浄装置を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
蒸気洗浄装置は、洗浄剤としての溶剤蒸気を内部に導入
して蒸気洗浄を行う蒸気洗浄槽と、前記蒸気洗浄槽の外
周に配置されて該蒸気洗浄槽を加温する加温手段と、前
記蒸気洗浄槽内の溶剤蒸気を真空吸引する吸引手段とを
備えたことを特徴とする。

【００１０】このように構成した本発明によれば、洗浄
及び乾燥の際に蒸気洗浄槽を加温手段によって加温する
ことができ、これによって、蒸気洗浄槽の内部に導入さ
れた溶剤蒸気の一部がこの壁面に凝縮して付着してしま
うことを防止し、ほとんどの溶剤蒸気の熱をワークとの
熱交換に使用して洗浄効率を高めるとともに、減圧に伴
って溶剤（洗浄液）を瞬時に蒸発させて、ワークの乾燥
時間の短縮化を図ることができる。

【００１１】請求項２記載の蒸気洗浄装置は、前記加温
手段の加熱媒体として前記溶剤蒸気を使用したことを特
徴とする。これにより、加熱媒体のより有効利用を図る
とともに、蒸気洗浄槽の内外に温度差が生じることを防
止することができる。

【００１２】請求項３記載の蒸気洗浄装置は、洗浄剤と
しての溶剤蒸気を内部に導入して蒸気洗浄を行う蒸気洗
浄槽と、前記蒸気洗浄槽の底部に接続されて該蒸気洗浄
槽内に溜まった凝縮後の洗浄液を連続的に取出して貯蔵
する液戻りタンクとを備えたことを特徴とする。

【００１３】このように構成した本発明によれば、洗浄
に使用された凝縮後の洗浄液を、洗浄後直ちに液戻りタ
ンクに取出すことができ、これによって、汚れをふくん
だ洗浄液がワークに再付着してしまうことを防止するこ
とができる。

【００１４】請求項４記載の蒸気洗浄装置は、洗浄剤と
しての溶剤蒸気を内部に導入して蒸気洗浄を行う蒸気洗
浄槽と、前記蒸気洗浄槽内の溶剤蒸気を真空吸引する吸
引手段としての真空ポンプと、前記真空ポンプの前段に
配置されたコンデンサと、前記コンデンサで凝縮された
凝縮後の洗浄液を連続的に取除いて貯蔵するコンデンサ
タンクとを備えたことを特徴とする。

【００１５】このように構成した本発明によれば、真空
ポンプで吸引される蒸気に含まれていた溶剤分を該真空
ポンプ内に送り込まれる前にコンデンサで凝縮して洗浄
液として回収することができ、これによって、真空ポン
プを溶剤蒸気から保護するとともに、溶剤の回収効率を
高めることができる。

【００１６】請求項５に記載の蒸気洗浄装置は、前記し
たコンデンサには、さらにバルブを介してトラップ液タ
ンクに接続するとともに、該トラップ液タンクは廃液タ
ンクにバルブを介して接続されていることを特徴とす
る。

【００１７】このように構成した本発明によれば、真空
ポンプで吸引される蒸気に含まれていた溶剤分を該真空
ポンプ内に送り込まれる前にコンデンサで凝縮して洗浄
液として回収することができ、これによって、真空ポン
プを溶剤蒸気から保護し、溶剤の回収効率を高めるとと
もに、コンデンサで凝縮した溶剤分である洗浄液を、真
空ポンプを停止させずに抜き取ることができ、これによ
って、コンデンサにおける溶剤の凝縮率を低下させない
ので真空ポンプの減圧度が低下せず、しかも洗浄時間を
早くすることができ、しかも面倒な真空ポンプのメンテ
ナンスが省略できる。

【００１８】請求項６記載の蒸気洗浄装置は、洗浄剤と
しての溶剤蒸気を内部に導入して蒸気洗浄を行う蒸気洗
浄槽と、前記蒸気洗浄槽内の溶剤蒸気を真空吸引する吸
引手段と、前記蒸気洗浄で使用された凝縮後の洗浄液を
冷却して貯蔵する排気タンクと、前記吸引手段に接続さ
れて前記排気タンク内に配置された排気筒とを備えたこ
とを特徴とする。

【００１９】このように構成した本発明によれば、吸引
手段の排気には、溶剤分が多く含まれていることがある
が、吸引手段の排気を排気筒から排気タンクに冷却して
貯蔵された洗浄液内に小さな多くの気泡として排気して
前記溶剤分を前記洗浄液で吸収し、これによって、洗浄
液の回収効率を高めることができる。

【００２０】請求項７記載の蒸気洗浄装置は、前記排気
タンクの内部の液面上方にミスト回収フィルタを配置し
たことを特徴とする。これにより、ミストをできるだけ
回収し、排気の中に含まれる溶剤のガス濃度を燃焼範囲
下限界の１／４以下に抑えることができる。

【００２１】また請求項８記載の蒸気洗浄用の洗浄液再
生ユニットは、洗浄剤を加熱して蒸気を発生する蒸気発
生槽２と、発生した蒸気を少なくとも一部凝縮するため
の第１凝縮槽５１と、第２凝縮槽５２とからなり、前記
第２凝縮槽から液輸送手段を介してエゼクターに液輸送
することにより、第１凝縮槽内を減圧することを特徴と
する。

【００２２】このように構成した本発明によれば、洗浄
によって汚染された洗浄液を、減圧下で効率よく回収・
再生するようにし、この減圧手段として、前記第２凝縮
槽から液輸送手段を介してエゼクターを配置して、減圧
度の低下を補ったので、真空ポンプに余計な負荷がかか
らず、したがって真空度が低下しない。このような構成
を採ることによって、洗浄装置において、洗浄・乾燥工
程を効率よく行うことができ、真空ポンプに余計な負担
がかからず、洗浄装置の長寿命化が図れる。このような
本発明の洗浄液再生ユニットを備えた洗浄装置は、メン
テナンスを軽減できる。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して説明する。図１は、本発明に係る洗
浄装置の一例を示す系統図で、同図に示すように、この
洗浄装置には、液面調整タンク１を付設した蒸気発生槽
２が備えられ、この蒸気発生槽２内には、この内部に導
入された洗浄液３を蒸発させて溶剤蒸気を生成させる加
熱コイル４が配置されている。なお、図示しないが、こ
の例では、オイル加熱装置が備えられ、このオイル加熱
装置で加熱されたオイルを前記加熱コイル４内に導くよ
うに構成されている。

【００２４】ここに、前記洗浄液３としては、例えばト
リクレン等の塩素系溶剤、低沸点炭化水素系溶剤や沸点
が１００℃〜３００℃程度のグリコールエーテル系溶剤
などの親水性溶剤、ＮＭＰ（Ｎ−メチル−２−ピロリド
ン）、シリコン系溶剤などが用いられている。

【００２５】一方、リードフレーム等のワーク（被洗浄
物）Ｗを内部にセットして、この最終洗浄を行う蒸気洗
浄槽５が備えられ、この蒸気洗浄槽５の周囲には、加熱
手段としての加温媒体導入部６が設けられ、この加温媒
体導入部６内に導入される加温媒体によって、蒸気洗浄
槽５が加温されるようになっている。

【００２６】この例では、前記蒸気発生槽２内で生成さ
れた溶剤蒸気を加熱媒体として、この溶剤蒸気（加熱媒
体）を前記加熱媒体貯溜部６内に導入することによっ
て、溶剤蒸気のより有効利用と蒸気洗浄槽５の内外の温
度差の発生を防止しているが、前記加熱コイルと同様
に、加熱オイルを加熱媒体として使用しても良いことは
勿論である。

【００２７】そして、前記蒸気発生槽２内で生成された
溶剤蒸気は、配管７ａを通過して蒸気洗浄槽５内に導入
されるようになっており、この配管７ａの内部には、蒸
気切換弁８ａが介装されている。

【００２８】これによって、蒸気発生槽２で生成され蒸
気洗浄槽５内に導入された溶剤蒸気によって、蒸気洗浄
槽５内にセットされたワークＷの蒸気洗浄が行われるよ
うになっている。

【００２９】また蒸気洗浄を行っていないときには、蒸
気切換弁８aを切り替えて、溶剤蒸気を加熱媒体導入部
６内に導入することによって蒸気洗浄槽５を加温するの
であり、このように蒸気洗浄槽５を加熱することによっ
て、蒸気洗浄槽５の内部に導入された溶剤蒸気の一部が
この壁面に凝縮して付着してしまうことを防止して、ほ
とんどの溶剤蒸気の熱をワークＷとの熱交換に使用して
洗浄効率を高めることができる。この際に凝縮した溶剤
蒸気は蒸留再生した洗浄液となるので、この液を再生洗
浄液として使用することができる。なお蒸気による蒸気
洗浄をしながら、蒸気洗浄槽５を溶剤蒸気により加熱で
きることはいうまでもない。

【００３０】また、蒸気切替弁８ａを切り替えて、溶剤
蒸気を洗浄液再生ユニットに導入することにより洗浄液
を効率的に、しかも洗浄液を減圧下で蒸留再生できるか
ら、洗浄液が熱酸化などによって変性される虞がない。
このような洗浄液再生ユニットは、蒸気発生槽２と、発
生した蒸気を少なくとも一部凝縮するための第１凝縮槽
５１と、第２凝縮槽５２とからなり、前記第２凝縮槽か
ら液輸送手段を介してエゼクターに液輸送して、第１凝
縮槽内を減圧している。このように構成した洗浄液再生
ユニットによって、蒸気発生槽２内で過剰に蒸気が発生
することにより圧力が上昇しても第１凝縮槽５１内の減
圧度の減圧低下した部分を補って減圧度は一定に保持さ
れるため、蒸気温度が高くならない。

【００３１】これにより、回収・再生される洗浄液は変
性されず、また、減圧度の低下を簡単に防止できるた
め、真空ポンプに過大な負荷がかからない。したがっ
て、洗浄中に真空度が低下せず、洗浄・乾燥時間を早め
ることができる。しかも真空ポンプの面倒なメンテナン
スがかかることがなく、本発明に係る蒸留洗浄装置は、
長い期間にわたって安定した条件で洗浄を行うことがで
きる。

【００３２】また前記蒸気洗浄槽５には、ワークＷの洗
浄に使用されてこの内部に溜まった凝縮後の洗浄液３を
引き抜くための配管７ｂが接続され、この配管７ｂの他
端は、液戻しタンク１０に接続されているとともに、こ
の配管７ｂの内部には液戻し弁８ｂが介装されている。
なお、この液戻しタンク１０の内部には、一対の液面検
知スイッチ１２ａ，１２ｂを備えた水位計１１が配置さ
れている。

【００３３】このように構成することにより、洗浄に使
用された凝縮後の洗浄液を、洗浄後直ちに液戻りタンク
１０に取出すことができ、これによって、蒸気洗浄に使
用されて汚れを含んだ洗浄液がワークＷに再付着してし
まうことを防止することができる。

【００３４】なお、前記加熱媒体導入部６内に導入され
て、蒸気洗浄槽５の加温に使用された蒸気溶剤も、この
液戻しタンク１０内に戻されるよう構成されている。そ
して、前記液戻りタンク１０内に貯蔵された洗浄液３
は、内部にバルブ８ｃを介装した配管７ｃから排気タン
ク２０内に導かれ、この排気タンク２０の内部に配置さ
れた冷却コイル２１を介して冷却されて貯蔵されるよう
になっている。

【００３５】一方、前記蒸気洗浄槽５の頂部で開口し、
前記排気タンク２０に接続された配管７ｄが備えられ、
この配管７ｄ内には、乾燥排気弁８ｄ、コンデンサ３
０、吸引手段としての真空ポンプ３１、及び真空排気弁
８ｅが順次介装されている。更に、蒸気洗浄槽５には、
この内部を大気圧に戻すリーク弁３２が設けられてい
る。

【００３６】そして、ワークＷの蒸気洗浄が終了した
後、真空ポンプ３１を駆動させることによって、蒸気洗
浄槽５内を減圧し、この減圧によって蒸気洗浄槽５内に
残留している凝縮後の洗浄液３を蒸発させてワークＷ及
び蒸気洗浄槽５内を乾燥させるのであるが、この時、前
述のように、溶剤蒸気を加熱媒体導入部６内に導入して
蒸気洗浄槽５を加温することによって、例え蒸気洗浄槽
５の内面が濡れていてもこれを瞬時に乾燥させることが
できる。

【００３７】なお、蒸気洗浄槽５内に洗浄に使用された
凝縮後の洗浄液が溜まっていると、この減圧に伴って蒸
発する際に突沸して、汚れた洗浄液がワークＷに再付着
してしまうが、前述のように、蒸気洗浄槽５内に溜まっ
た洗浄液３は、液戻しタンク１０内に引き抜かれている
ため、この恐れはない。

【００３８】そして、真空ポンプ３１に吸引された溶剤
蒸気は、この内部を通過する前に、この前段に設置され
たコンデンサ３０に入り、この内部で凝縮する。これに
よって、真空ポンプ３１内で溶剤が凝縮して液となり、
ポンプの故障あるいは減圧度の低下の原因となってしま
うことを防止することができる。

【００３９】前記コンデンサ３０には、コンデンサタン
ク３３が備えられており、コンデンサ３０の内部で凝縮
した溶剤（洗浄液３）は、排気凝縮弁８ｆを内部に介装
した配管７ｅからコンデンサタンク３３に導かれ、更に
バルブ８ｇを内部に介装した配管７ｆから蒸気排水タン
ク２０内に導かれるようになっている。なお、前記コン
デンサタンク３３の内部には、一対の液面検知スイッチ
３５ａ，３５ｂを備えた水位計３４が配置されている。

【００４０】これにより、真空ポンプ３１で吸引された
蒸気に含まれる溶剤分をコンデンサ３０で凝縮させて、
従来、真空ポンプを一旦停止して凝縮溶剤分を除去して
いたが、これにより、コンデンサタンク３３内に連続的
に取り除いて真空ポンプ３１の保護を図るとともに、洗
浄液を効率的に回収し、これとともに洗浄時間を短縮す
ることができる。

【００４１】前記排気タンク２０の内部には、ここの貯
蔵された洗浄液３の液中に位置して排気筒４０が配置さ
れ、この排気筒４０は、前記真空排気弁８ｅで分岐され
た配管７ｄの一方に接続され、他方は液面上方で開口し
ている。

【００４２】これにより、真空ポンプ３１の排気には、
溶剤分が多く含まれていることがあるが、この排気を排
気筒４０から排気タンク２０に冷却して貯蔵された洗浄
液３内に小さな多くの気泡として排気してこの溶剤分を
排気タンク２０内の洗浄液３に吸収し、これによって、
洗浄液３の回収効率を高めることができる。

【００４３】前記排気タンク２０の液面上方には、ミス
ト回収フィルタ４１が配置され、このフィルタ４１を通
過した排気が、ガス濃度計４２で濃度を計測されつつ、
外部に排気されるように構成されており、これによっ
て、ミストをできるだけ回収し、排気の中に含まれる溶
剤のガス濃度を燃焼範囲下限界の１／４以下に抑えるこ
とができる。

【００４４】前記排気タンク２０と前記蒸気発生槽２に
付設された液面調整タンク１とは、配管８ｈで接続さ
れ、この配管８ｈの内部には、洗浄液補給弁７ｈ及びフ
ィルタ５０が介装されている。これによって、排気タン
ク２０に溜められた洗浄液３がフィルタ５０を通過しつ
つ液面調整タンク１に戻れるようになっている。

【００４５】次に、前記洗浄装置によるワークＷの洗浄
について説明する。先ず、例えば超音波洗浄機等によっ
て予備洗浄を施したワークＷを蒸気洗浄槽５内にセット
し、この状態で、蒸気発生槽２で生成された溶剤蒸気を
蒸気洗浄槽５及び加温媒体導入部６に導入して、蒸気洗
浄槽５を加温しつつ、蒸気洗浄を行う。

【００４６】そして、ワークＷが溶剤蒸気の温度に達し
て蒸気洗浄を終了した後に、液戻し弁８ｂを開いて、蒸
気洗浄槽５の底部に溜まった凝縮後の洗浄液を液戻しタ
ンク１０に排出する。

【００４７】次に、乾燥排気弁７ｅを開くとともに、真
空ポンプ３１を駆動させて、蒸気洗浄槽５内を、例えば
１００torr以下に減圧し、洗浄・加温されたワークＷを
乾燥する。

【００４８】この時、前述のように、ワークＷを含め蒸
気洗浄槽５内は一様に加温されているため、この減圧に
伴って、蒸気洗浄槽５内に残留する洗浄液３は瞬時に蒸
発し、これによって、ワークＷの乾燥に要する時間の短
縮化を図ることができる。

【００４９】最後に、加温媒体の加温媒体導入部６への
導入を停止し、リーク弁３５を開いて蒸気洗浄槽５内を
大気圧に戻し、洗浄及び乾燥後のワークＷを蒸気洗浄槽
５から取出して次工程に搬送する。

【００５０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
洗浄及び乾燥の際に蒸気洗浄槽を加温手段によって加温
することができ、これによって、蒸気洗浄槽の内部に導
入された殆どの溶剤蒸気の熱をワークとの熱交換に使用
して洗浄効率を高めるとともに、減圧に伴って溶剤（洗
浄液）を瞬時に蒸発させて、ワークの乾燥時間の短縮化
を図ることができる。

【００５１】ここに、前記加温手段の加熱媒体として前
記溶剤蒸気を使用することにより、加熱媒体のより有効
利用を図るとともに、蒸気洗浄槽の内外に温度差が生じ
ることを防止することができる。

【００５２】しかも、前記蒸気洗浄槽の底部に液戻りタ
ンクを接続することにより、洗浄に使用された汚れを含
んだ凝縮後の洗浄液がワークに再付着してしまうことを
防止することができる。

【００５３】また、蒸気洗浄槽内の溶剤蒸気を真空吸引
する吸引手段としての真空ポンプの前段にコンデンサタ
ンクを備えたコンデンサを配置することにより、真空ポ
ンプで吸引される蒸気に含まれていた溶剤分を該真空ポ
ンプ内に送り込まれる前にコンデンサで凝縮して洗浄液
として回収することができ、これによって、真空ポンプ
を溶剤蒸気から保護するとともに、溶剤の回収効率を高
めることができる。

【００５４】更に、前記蒸気洗浄槽内の溶剤蒸気を真空
吸引する吸引手段の先端に排気筒を接続して、この排気
筒を凝縮後の洗浄液を冷却して貯蔵する排気タンク内に
配置することにより、吸引手段の排気に多く含まれてい
ることのある溶剤分を洗浄液内に小さな多くの気泡とし
て排気して洗浄液で吸収し、これによって、洗浄液の回
収効率を高めることができる。

【００５５】ここに、前記排気タンクの内部の液面上方
にミスト回収フィルタを配置することにより、ミストを
できるだけ回収し、排気の中に含まれる溶剤のガス濃度
を燃焼範囲下限界の１／４以下に抑えることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態を示す洗浄装置の系統
図。

【図２】本発明で使用される洗浄液再生ユニットを導入
した場合の一実施の形態を示す洗浄装置の系統図。

【符号の説明】 ２ 蒸気発生槽 ３ 洗浄液 ５ 蒸気洗浄槽 ６ 加熱媒体導入部（加熱手段） ７ａ〜７ｈ 配管 ８ａ〜８ｈ バルブ １０ 液戻しタンク ２０ 排気タンク ２１ 冷却コイル ３０ コンデンサ ３１ 真空ポンプ（減圧手段） ３３ コンデンサタンク ４０ 排気筒 ４１ ミスト回収フィルタ ５１ 第１凝縮槽 ５２ 第２凝縮槽 ５３ エゼクター

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 洗浄剤としての溶剤蒸気を内部に導入し
   て蒸気洗浄を行う蒸気洗浄槽と、 前記蒸気洗浄槽の外周に配置されて該蒸気洗浄槽を加温
   する加温手段と、 前記蒸気洗浄槽内の溶剤蒸気を真空吸引する吸引手段と
   を備えたことを特徴とする蒸気洗浄装置。
2. 【請求項２】 前記加温手段の加熱媒体として前記溶剤
   蒸気を使用したことを特徴とする請求項１記載の蒸気洗
   浄装置。
3. 【請求項３】 洗浄剤としての溶剤蒸気を内部に導入し
   て蒸気洗浄を行う蒸気洗浄槽と、 前記蒸気洗浄槽の底部に接続されて該蒸気洗浄槽内に溜
   まった凝縮後の洗浄液を連続的に取出して貯蔵する液戻
   りタンクとを備えたことを特徴とする蒸気洗浄装置。
4. 【請求項４】 洗浄剤としての溶剤蒸気を内部に導入し
   て蒸気洗浄を行う蒸気洗浄槽と、 前記蒸気洗浄槽内の溶剤蒸気を真空吸引する吸引手段と
   しての真空ポンプと、前記真空ポンプの前段に配置され
   たコンデンサと、 前記コンデンサで凝縮された凝縮後の洗浄液を連続的に
   取除いて貯蔵するコンデンサタンクとを備えたことを特
   徴とする蒸気洗浄装置。
5. 【請求項５】 前記コンデンサには、さらにバルブを介
   してトラップ液タンクに接続するとともに、該トラップ
   液タンクは廃液タンクにバルブを介して接続されている
   ことを特徴とする請求項４に記載の蒸気洗浄装置。
6. 【請求項６】 洗浄剤としての溶剤蒸気を内部に導入し
   て蒸気洗浄を行う蒸気洗浄槽と、 前記蒸気洗浄槽内の溶剤蒸気を真空吸引する吸引手段
   と、 前記蒸気洗浄で使用された凝縮後の洗浄液を冷却して貯
   蔵する排気タンクと、 前記吸引手段に接続されて前記排気タンク内に配置され
   た排気筒とを備えたことを特徴とする蒸気洗浄装置。
7. 【請求項７】 前記排気タンクの内部の液面上方にミス
   ト回収フィルタを配置したことを特徴とする請求項６記
   載の蒸気洗浄装置。
8. 【請求項８】 洗浄剤を加熱して蒸気を発生する蒸気発
   生槽２と、 発生した蒸気を少なくとも一部凝縮するための第１凝縮
   槽５１と、 第２凝縮槽５２とからなり、 前記第２凝縮槽から液輸送手段を介してエゼクターに液
   輸送することにより、第１凝縮槽内を減圧することを特
   徴とする蒸気洗浄用の洗浄液再生ユニット。