JPH07925A - 非水系溶剤を用いたベーパー洗浄乾燥方法とその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 可燃性の非水系溶剤の洩れがなく安全な洗浄
を行う。 【構成】 真空ポンプ３７により洗浄乾燥槽１０を減圧
状態とし、この状態でタンク２１から非水系溶剤を洗浄
乾燥槽１０内に導入する。非水系溶剤は被洗浄物５より
も低い液面の状態で冷却された後、加熱コイル６が加熱
し、ベーパー化するため、被洗浄物５をベーパーにより
洗浄乾燥する。全体がクローズドシステムで、しかも減
圧状態で処理するため、安全である。洗浄乾燥後は非水
系溶剤を分離槽２０に回収し、比重差で水と分離した
後、循環使用する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、レンズ，プリズム，ミ
ラーなどの光学素子、半導体ウエハー、金型用の鏡面入
子、その他の複雑な形状の金物やプラスチック部品、プ
レスや機械加工品等の被洗浄物を非水系溶剤のベーパー
により脱脂洗浄したり、精密洗浄後に乾燥する洗浄乾燥
方法およびその装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】上述のような被洗浄物の洗浄はトリクロ
ロエタン，塩化メチレンなどの塩素系溶剤あるいはフロ
ンなどを用いて行われているが、これらを大気中で使用
することは大気汚染などの公害問題やオゾン層破壊の問
題となる。このため特開平２−１９８６７８号公報に
は、これらの溶剤を密閉空間内で使用して洗浄する方法
が開示されている。この方法は、密閉自在な洗浄槽に被
洗浄物を入れると共に、この被洗浄物が浸漬される程度
に溶剤を注入して洗浄し、さらに液を抜くと共に、溶剤
の高温の蒸気を送り込みながらベーパー洗浄と乾燥をす
るものであり、洗浄槽内を負圧に維持することにより、
大気中への溶剤の洩れを防止している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の方
法は洗浄を主目的としており、乾燥は従属的なものとな
っている。すなわち洗浄槽内においては被洗浄物が溶剤
とベーパーで洗浄され乾燥をした後、被洗浄物を取り出
すが、被洗浄物に結露した液が取り切れないまま取り出
されるため、大気中で自然乾燥となるケースが多い。そ
のため洗浄時には溶剤が外部に流出しないにもかかわら
ず、被洗浄物を取り出した後に溶剤の外部への流出が行
われ、根本的な公害防止ができない不都合がある。しか
も乾燥を積極的に行うものではないところから、洗浄の
後に乾燥工程を別途、必要としている。

【０００４】また、溶剤を浄化することなく循環使用す
るため、経時的に溶剤が汚れ、これにより高精度な精密
洗浄ができない問題がある。さらに従来の方法はフロン
や塩素系溶剤などの不燃性溶剤を使用するものであり、
非水系溶剤またはアルコール系等の可燃性溶剤に対して
は安全性の観点から適用することができないものであっ
た。

【０００５】本発明は上記事情を考慮してなされたもの
であり、洗浄のみならず乾燥を行うことができ、しかも
溶剤の経時的な汚れのない循環使用が可能であり、可燃
性の非水系溶剤をも安全に使用することが可能な非水系
溶剤を用いたベーパー洗浄乾燥方法およびその装置を提
供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の第１の洗浄乾燥方法は、被洗浄物と非接触状態
の液面となるように非水系溶剤を密閉状態の洗浄乾燥槽
に供給し、洗浄乾燥槽の減圧下で非水系溶剤を加熱して
ベーパーとし、当該ベーパーにより被洗浄物を洗浄し且
つ乾燥した後、非水系溶剤のベーパーおよび液体を洗浄
乾燥槽から抜き出して回収し、液再生し、その液を洗浄
乾燥槽へ再供給することを特徴とする。この第１の洗浄
乾燥方法に適用される本発明の装置は、非水系溶剤をベ
ーパー化する加熱手段を備えた密閉可能な洗浄乾燥槽
と、洗浄乾燥槽内を減圧すると共に非水系溶剤のベーパ
ーおよび液体を洗浄乾燥槽から抜き出す吸引手段と、吸
引手段が抜き出した非水系溶剤のベーパーを液化し、同
溶剤の液体と共に貯溜する回収手段と、非水系溶剤を回
収再生する手段から洗浄乾燥槽内に再供給するフィード
バック手段とを備えていることを特徴とする。

【０００７】また本発明の第２の洗浄乾燥方法は、被洗
浄物と非接触の液面を保持した状態で非水系溶剤を密閉
状態の洗浄乾燥槽に貯溜し、洗浄乾燥槽の減圧下で非水
系溶剤を加熱してベーパーとし、当該ベーパーにより被
洗浄物を洗浄し、且つ乾燥した後、非水系溶剤のベーパ
ーを洗浄乾燥槽から抜き出して液化し、その後、洗浄乾
燥槽に再供給することを特徴とする。この第２の洗浄乾
燥方法に適用される本発明の装置は、非水系溶剤をベー
パー化する加熱手段を備えると共に被洗浄物と非接触の
液面を保持した状態で非水系溶剤を貯溜する密閉可能な
洗浄乾燥槽と、洗浄乾燥槽内を減圧すると共に非水系溶
剤のベーパーを洗浄乾燥槽から抜き出す吸引手段と、吸
引手段が抜き出した非水系溶剤のベーパーを液化する回
収再生する手段と、液化した非水系溶剤を回収手段から
洗浄乾燥槽内に再供給するフィードバック手段とを備え
ていることを特徴とする。

【０００８】さらに本発明の第３の洗浄乾燥方法は、密
閉状態の洗浄乾燥槽を減圧し加熱した状態で非水系溶剤
を供給し、ベーパーとし、当該ベーパーにより被洗浄物
を洗浄し、且つ乾燥した後、非水系溶剤のベーパーを洗
浄乾燥槽から抜き出して液化し、その後、洗浄乾燥槽に
再供給することを特徴とする。この第３の洗浄乾燥方法
に適用される本発明の装置は、非水系溶剤をベーパー化
する加熱手段を備えた密閉可能な洗浄乾燥槽と、洗浄乾
燥槽内を減圧すると共に非水系溶剤のベーパーを洗浄乾
燥槽から抜き出す吸引手段と、吸引手段が抜き出した非
水系溶剤のベーパーを液化する回収手段と、液化した非
水系溶剤を回収手段から洗浄乾燥槽内に再供給するフィ
ードバック手段とを備えていることを特徴とする。

【０００９】

【作用】上述構成の第１〜第３の洗浄乾燥方法において
は、洗浄乾燥槽内に貯溜した非水系溶剤または同槽内に
供給した非水系溶剤を加熱してベーパーを発生させ、当
該ベーパーにより洗浄且つ乾燥を行うため、洗浄と乾燥
とが可能となる。しかも、これらの洗浄乾燥を減圧下で
行うため、酸素量が少なくなり、引火性が小さくなる。
このためアルコール系などの可燃性溶剤であっても安全
に使用することができる。また、非水系溶剤のベーパー
および／または液を回収して再使用するものであり、非
水系溶剤の循環使用が可能である。この場合、第１およ
び第３の方法は、精密洗浄乾燥に適し、第２の方法は、
平均的な清浄度での洗浄乾燥に適するものである。

【００１０】これら第１〜第３の洗浄乾燥方法に適用す
るそれぞれの洗浄乾燥装置では、非水系溶剤が循環し
て、ベーパー化、洗浄乾燥および回収を繰り返すため、
系統的で効率の良い処理が可能となる。

【００１１】

【実施例１】図１は本発明の一実施例を示し、２点鎖線
で区分されるように、洗浄乾燥手段１および回収再生手
段２に大別され、これらの手段１および２が吸引手段３
およびフィードバック手段４により連結されている。洗
浄乾燥手段１は被洗浄物４の脱脂洗浄あるいは精密洗浄
と乾燥を行うものであり、これに加えて洗浄から乾燥を
も連続的に行う。この洗浄乾燥手段１は開閉可能な蓋１
１の閉鎖により内部が密閉状態となる洗浄乾燥槽１０を
備え、この洗浄乾燥槽１０内には被洗浄物４が載置され
るネット，棚などの受部材１２が１段または多段状に設
けられている。また洗浄乾燥槽１０の側面の外側部分に
は同槽１０を所定温度に保持するための保温ヒータ１３
が配置されている。この保温ヒータ１３の加熱作動によ
り洗浄乾燥槽１０内で揮散している非水系溶剤のベーパ
ーの結露が防止される。かかる洗浄乾燥槽１０は減圧状
態下で非水系溶剤のベーパーによって被洗浄物の洗浄お
よび／または乾燥を行うものであり、洗浄乾燥槽１０内
を減圧状態から常圧状態へ戻すためのリーク弁１４が設
けられている。

【００１２】さらに洗浄乾燥槽１０内の底部々分は非水
系溶剤を加熱してベーパー化する加熱手段としての加熱
コイル６が配設されている。加熱コイル６は洗浄乾燥槽
１０から引き出されており、各引出し端部に送液弁６
ａ，６ｂが取付けられ、送液弁６ａ側が電気ボイラーな
どの加熱源（図示省略）に接続されると共に、送液弁６
ｂ側が工場内の屋内スチームなどの暖房施設（図示省
略）に接続されている。このような加熱コイル６は加熱
源から熱湯や高温の水蒸気、作動油などの熱媒体が供給
されて後述する非水系溶剤７を加熱し、ベーパー化す
る。この加熱後の熱媒体は暖房施設に供給されて潜熱の
有効利用が行われるが、非水系溶剤７のベーパー化を減
圧下（例えば６０〜８０Ｔｏｒｒの真空度）で行うため
ベーパー化に消費される熱媒体の熱量が少なく、これに
より高い熱量を暖房施設へ供給することができる。なお
洗浄乾燥槽１０の内部の圧力および温度はこれらが最適
値を維持するように圧力コントローラ１５および温度コ
ントローラ１６により検出され、制御されている。

【００１３】前記回収再生手段２は分離槽２０および分
離槽２０に連結されたタンク２１を備えている。分離槽
２０は上部開口が蓋２０ａで密閉されており、その内部
には水２２が貯溜されている。この分離槽２０では比重
差により非水系溶剤と水２２とを分離するものであり、
比重が小さな非水系溶剤は水槽２２の上層に浮上する。
このような分離により、洗浄乾燥槽１０内の非水系溶剤
はベーパーの形態、液状の形態のいずれにしても分離槽
２０で回収される。分離槽２０に連結されたタンク２１
はこのようにして分離された非水系溶剤のみが貯溜さ
れ、再使用に対応出来るようにしてあり、密閉構造とな
っている。２３は分離槽２０内の冷却を行う冷却コイ
ル、２４は洗浄乾燥槽１０からの非水系溶剤を水２２の
層の内部に導くロートである。

【００１４】前記吸引手段３は洗浄乾燥槽１０と分離槽
２０とを連結するメイン配管および洗浄乾燥槽１０とタ
ンク２１とを連結するサブ配管の２系統により構成され
る。メイン配管は洗浄乾燥槽１０の上部から引き出され
る管路３０と、洗浄乾燥槽１０の底部が引き出される管
路３１とを備えている。管路３０は非水系溶剤のベーパ
ーを洗浄乾燥槽１０から抜き出すものであり、この管路
３０には排気弁３２とベーパーを冷却して液化するコン
デンサ３３とが配設されている。一方、管路３１は非水
系溶剤の液を洗浄乾燥槽１０から抜き出すものであり、
コンデンサ３４が設けられると共に、コンデンサ３４の
下流側が２方向に分岐されている。この内、３５はメイ
ン配管を構成する分岐管であり、排液弁３６が設けられ
ている。この分岐管３５およびコンデンサ３３を通過し
た管路３０は真空ポンプ３７に接続され、真空ポンプ３
７の排出端が分離槽２０内のロート２４に臨んでいる。

【００１５】一方、サブ配管は非水系溶剤のベーパーを
抜き出す管路３０と、管路３１から分岐し洗浄乾燥槽１
０から非水系溶剤７の液を排出する分岐管３８とから構
成される。この場合、分岐管３８の排出端はタンク２１
の内部に臨み、非水系溶剤７をタンク２１に直接に排出
する。３９はこの分岐管３８に設けられた排液弁であ
る。これらのメイン配管およびサブ配管において、真空
ポンプ３７は洗浄乾燥槽１０内の非水系溶剤をベーパー
または液体の形態で抜き出すと共に、洗浄乾燥槽１０内
を所定の減圧状態に保持するように駆動するものであ
る。これらの、メイン配管およびサブ配管は洗浄乾燥槽
１０内の状況に応じて択一的に、あるいは同時に使用さ
れるようになっている。

【００１６】前記フィードバック手段４はタンク２１と
洗浄乾燥槽１０とを連結する管路４０と、この管路４０
に配設された送液ポンプ４１および送液弁４２とを備え
ている。この場合、管路４０における洗浄乾燥槽１０へ
の挿入端は被洗浄物５が載置されている受台１２よりも
下方に位置しており、これによりフィードバックされた
非水系溶剤が被洗浄物５と接触しないようになってい
る。１０ａおよび２０ａは洗浄乾燥槽１０およびタンク
２０における非水系溶剤の液面を検出するフロートスイ
ッチである。このうち洗浄乾燥槽１０側のフロートスイ
ッチ１０ａはその検出により非水系溶剤７が被洗浄物５
と接触しない液面を保持するように送液ポンプ４１の駆
動を制御する。

【００１７】次に本実施例の作動を説明する。被洗浄物
５を洗浄する非水系溶剤としては、直鎖状または環状の
シロキサン化合物、テルペンなどの芳香族系化合物、Ｉ
ＰＡ（イソプロピルアルコール）やエタノールなどのア
ルコール類、その他の化合物を適宜、選択使用すること
ができる。これらの溶剤は可燃性であるが、本実施例は
全体がクローズドシステムとなっているため、外部に揮
散することがなく、安全な洗浄または乾燥を行うことが
できる。まず、保温ヒータ１３により洗浄乾燥槽１０を
加温した状態で、同槽１０の受部材１２上に被洗浄物４
をセットし、蓋１１を閉じ、密閉する。なお被洗浄物は
界面活性剤による洗浄，市水によるリンス、純水による
リンスを行った後、ＩＰＡによる置換を行う通常の洗浄
が行われたものあるいはこの洗浄がなされていない未処
理のものを適用することができる。

【００１８】洗浄乾燥槽１０の密閉状態で排気弁３２お
よび排液弁３６を開いて真空ポンプ３７を作動し、これ
により洗浄乾燥槽１０内を減圧状態とする。この減圧で
所定の真空度、例えば６０〜８０Ｔｏｒｒ、となったと
き、排気弁３２および排液弁３６を閉じる。このとき、
フロートスイッチ１０ａの制御により送液ポンプ４１が
作動すると共に、送液弁４２が開き、タンク２１内の非
水系溶剤が洗浄乾燥槽１０に供給される。この非水系溶
剤は被洗浄物５と接触しない所定の範囲の液面となるま
で供給され、その後、送液ポンプ４１の作動が停止する
と共に、送液弁４２が閉じる。そして、送液弁６ａ，６
ｂが開いて、熱媒体が加熱コイル６に供給され、これに
より非水系溶剤が加熱されてベーパーが発生し、被洗浄
物５の洗浄が行われる。

【００１９】かかる洗浄を所定時間行った後、加熱コイ
ル６への熱媒体の供給を停止すると共に、真空ポンプ３
７を作動し、排気弁３２および排液弁３６を開く。これ
により非水系溶剤のベーパーは排気弁３２により、また
非水系溶剤の液は排液弁３６により抜出される。そし
て、ベーパーはコンデンサ３３により液化され、この液
化液と排液弁３６からの液とが分離槽２０に回収され
る。分離槽２０に導入された非水系溶剤は比重差で水２
２と分離され、オーバーフローした非水系溶剤がタンク
２１に移される。これにより洗浄および乾燥に使用した
非水系溶剤の全てを回収することができる。なお、非水
系溶剤としてＩＰＡなどのアルコールを使用した場合、
分離槽２０に替えて水−アルコール分離装置を用いるこ
とにより、その分離を行うものである。また、真空ポン
プ３７として水封式ポンプを使用した場合においては、
サブ配管側の排液弁３９を開いて洗浄乾燥槽１０内の非
水系溶剤をタンク２１に直接、回収しても良い。そし
て、この回収後に排液弁３９を閉じ、排気弁３２を開い
て水封式の真空ポンプ３７を作動させることにより、洗
浄乾燥槽１０内のベーパーと液残りを分離槽２０に導
き、回収することができる。

【００２０】このような本実施例では、洗浄または乾燥
をクローズドシステムで行うため、非水系溶剤が外部に
洩出あるいは拡散することがない。このため非水系溶剤
が大気や環境を汚染することなく、有効な公害防止が可
能となる。また、洗浄乾燥を減圧下で行うため、酸素が
ほとんど遮断され、可燃性の非水系溶剤であっても使用
の安全性が向上すると共に、低温度での洗浄乾燥が可能
で被洗浄物への熱的ダメージも軽減させることができ
る。さらに非水系溶剤を回収手段２で回収して循環使用
するため、その有効利用が可能となっている。

【００２１】

【実施例２】図２は本発明の実施例２を示し、実施例１
と同一の要素は同一の符号を付して対応させることによ
り重複する説明を省略する。この実施例では洗浄乾燥槽
１０内の非水系溶剤のベーパーのみを分離槽２１に導く
ものであり、そのための排気管３０が洗浄乾燥槽１０と
分離槽２１との間に配設されている。この排気管３０に
は排気弁３２と真空ポンプ３７とが設けられている。こ
の場合、真空ポンプ３７は洗浄乾燥後における非水系溶
剤のベーパーの回収を行うと共に、洗浄乾燥以前には洗
浄乾燥槽１０内の減圧を行うように作用するものであ
る。また本実施例では排液弁５１を備えた排液管５０が
洗浄乾燥槽１０の底部に取り付けられている。この排液
管５０は排液弁５１の開作動により洗浄乾燥槽１０内の
非水系溶剤を排出するものであり、排出された非水系溶
剤は図示していないが別途、再生装置で再生された後、
再使用に供されるものである。図２において、５３は洗
浄乾燥槽１０内の非水系溶剤７を冷却する冷却管であ
る。

【００２２】本実施例における洗浄乾燥は実施例１と同
様な手順で行われるが、洗浄乾燥槽後においては、非水
系溶剤のベーパーのみが分離槽２０に回収されて循環使
用される。この洗浄乾燥を繰り返すことにより、洗浄乾
燥槽１０内の液状の非水系溶剤７が経時的に汚れるた
め、定期にまたは不定期に、排液弁５０を開放して、非
水系溶剤７を排出し、新たな非水系溶剤を導入するもの
である。

【００２３】

【実施例３】図３は本発明の実施例３を示し、実施例１
と同一の要素は同一の符号を付して対応させることによ
り重複する説明を省略する。この実施例では洗浄乾燥槽
１０の底部に加熱手段としてラバーヒータ６０が設けら
れている。ラバーヒータ６０は非水系溶剤が接触する
と、直ちにベーパー化する大きな加熱能力を有したもの
が使用されており、本実施例では洗浄乾燥槽１０内に非
水系溶剤が導入されると、同槽１０に貯溜されることな
く、直ちにベーパー化する。６１はこのラバーヒータ６
０の上方に設けられた拡散板であり、ラバーヒータ６０
から上昇する非水系溶剤のベーパーを拡散させて洗浄乾
燥槽１０内がベーパーの均一濃度となるように作用す
る。

【００２４】また、本実施例において、洗浄乾燥槽１０
の底部には排気管６２が設けられ、この排気管６２が排
気弁６３を介して真空ポンプ３７に連結されている。真
空ポンプ３７は水封式ポンプが使用されており、この真
空ポンプ３７と回収再生手段２の分離槽２０との間に
は、水を循環させる循環路６４が設けられている。６５
はこの循環路６４に設けられ、分離槽２０内の水を水封
式の真空ポンプ３７に供給するための循環用ポンプ、６
６は循環する水から不純物を濾過するストレーナであ
る。なお本実施例において、リーク弁１４にはエアフィ
ルタ６８が連結されることにより、洗浄乾燥槽１０内へ
の塵埃の侵入が防止されている。加えてタンク２１内の
非水系溶剤を洗浄乾燥槽１０内にフィードバックする管
路４０には絞り弁６９が設けられ、ラバーヒータ６０の
加熱で直ちにベーパー化するのに適した量の非水系溶剤
のみが導入されるようになっている。

【００２５】このような本実施例において、ラバーヒー
タ６０の加熱状態で真空ポンプ４により洗浄乾燥槽１０
内を減圧し、非水系溶剤をタンク２１から同槽１０内に
導入することにより、全ての非水系溶剤は直ちにベーパ
ー化して被洗浄物５をベーパー洗浄およびベーパー乾燥
する。この洗浄乾燥後、非水系溶剤のベーパーは管路３
０および排気管６２を通って抜き出され、分離槽２０に
回収され、その後、タンク２１から循環使用される。従
って本実施例においても、前記各実施例と同様に作用す
るが、非水系溶剤が洗浄乾燥槽１０内に貯溜されないた
め、その循環使用効率が向上するメリットがある。

【００２６】

【発明の効果】以上のとおり、本発明は、非水系溶剤が
外部に拡散することがなく、しかも減圧下での処理であ
るため、可燃性の溶剤を使用しても安全であり、洗浄お
よび洗浄に続く乾燥をも行うことができる。また非水系
溶剤を回収して循環使用するため、精密洗浄やその乾燥
を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例１を示す配管図。

【図２】本発明の実施例２を示す配管図。

【図３】本発明の実施例３を示す配管図。

【符号の説明】

１ 洗浄乾燥手段 ２ 回収手段 ３ 吸引手段 ４ フィードバック手段 ５ 被洗浄物 ６ 加熱コイル ７ 非水系溶剤 １０ 洗浄乾燥槽

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田中 正人 長野県更埴市大字鋳物師屋75番地５ 株式 会社千代田製作所内

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被洗浄物と非接触状態の液面となるよう
   に非水系溶剤を密閉状態の洗浄乾燥槽にその都度供給
   し、洗浄乾燥槽の減圧下で非水系溶剤を加熱してベーパ
   ーとし、当該ベーパーにより被洗浄物を洗浄し且つ乾燥
   した後、非水系溶剤のベーパーおよび液体を洗浄乾燥槽
   から抜き出して回収し、液再生をし、その液を洗浄乾燥
   槽へ再供給することを特徴とするベーパー洗浄乾燥方
   法。
2. 【請求項２】 非水系溶剤をベーパー化する加熱手段を
   備えた密閉可能な洗浄乾燥槽と、洗浄乾燥槽内を減圧す
   ると共に非水系溶剤のベーパーおよび液体を洗浄乾燥槽
   から抜き出す吸引手段と、吸引手段が抜き出した非水系
   溶剤のベーパーを液化し、同溶剤の液体と共に貯溜する
   回収再生する手段と、非水系溶剤を回収再生する手段か
   ら洗浄乾燥槽内に再供給するフィードバック手段とを備
   えていることを特徴とするベーパー洗浄乾燥装置。
3. 【請求項３】 被洗浄物と非接触の液面を保持した状態
   で非水系溶剤を密閉状態の洗浄乾燥槽に貯溜し、洗浄乾
   燥槽の減圧下で非水系溶剤を加熱してベーパーとし、当
   該ベーパーにより被洗浄物を洗浄し、且つ乾燥した後、
   非水系溶剤のベーパーを洗浄乾燥槽から抜き出して液化
   し、その後、洗浄乾燥槽に再供給することを特徴とする
   ベーパー洗浄乾燥方法。
4. 【請求項４】 非水系溶剤をベーパー化する加熱手段を
   備えると共に被洗浄物と非接触の液面を保持した状態で
   非水系溶剤を貯溜する密閉可能な洗浄乾燥槽と、洗浄乾
   燥槽内を減圧すると共に非水系溶剤のベーパーを洗浄乾
   燥槽から抜き出す吸引手段と、吸引手段が抜き出した非
   水系溶剤のベーパーを液化する回収手段と、液化した非
   水系溶剤を回収手段から洗浄乾燥槽内に再供給するフィ
   ードバック手段とを備えていることを特徴とするベーパ
   ー洗浄乾燥装置。
5. 【請求項５】 密閉状態の洗浄乾燥槽を減圧し且つ加熱
   した状態で非水系溶剤を供給することでベーパーとし、
   当該ベーパーにより被洗浄物を洗浄し、且つ乾燥した
   後、非水系溶剤のベーパーを洗浄乾燥槽から抜き出して
   液化し、その後、洗浄乾燥槽に再供給することを特徴と
   するベーパー洗浄乾燥方法。
6. 【請求項６】 非水系溶剤をベーパー化する加熱手段を
   備えた密閉可能な洗浄乾燥槽と、洗浄乾燥槽内を減圧す
   ると共に非水系溶剤のベーパーを洗浄乾燥槽から抜き出
   す吸引手段と、吸引手段が抜き出した非水系溶剤のベー
   パーを液化する回収手段と、液化した非水系溶剤を回収
   手段から洗浄乾燥槽内に再供給するフィードバック手段
   とを備えていることを特徴とするベーパー洗浄乾燥装
   置。