JP2610063B2 - 蒸気乾燥方法及びその装置 - Google Patents
蒸気乾燥方法及びその装置Info
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- JP2610063B2 JP2610063B2 JP2281328A JP28132890A JP2610063B2 JP 2610063 B2 JP2610063 B2 JP 2610063B2 JP 2281328 A JP2281328 A JP 2281328A JP 28132890 A JP28132890 A JP 28132890A JP 2610063 B2 JP2610063 B2 JP 2610063B2
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- Japan
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- steam
- gas separation
- vapor
- dried
- lower alcohol
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、例えば、液晶基板、プリント配線板、半
導体ウエハー、電子部品などの精密電子部品、レンズ等
の水洗浄後の乾燥に有効に適用することができるもので
ある。この発明は、蒸気乾燥装置に主として蒸発器とガ
ス分離膜モジュールとを組み込むことによって、凝縮処
理液などの水分含有蒸気から水分を除去して再利用可能
な乾燥低級アルコール蒸気とし、その乾燥低級アルコー
ル蒸気によって被乾燥物を蒸気乾燥する方法、ならび
に、その蒸気乾燥方法を実施することができる蒸気乾燥
装置に係わるものである。
導体ウエハー、電子部品などの精密電子部品、レンズ等
の水洗浄後の乾燥に有効に適用することができるもので
ある。この発明は、蒸気乾燥装置に主として蒸発器とガ
ス分離膜モジュールとを組み込むことによって、凝縮処
理液などの水分含有蒸気から水分を除去して再利用可能
な乾燥低級アルコール蒸気とし、その乾燥低級アルコー
ル蒸気によって被乾燥物を蒸気乾燥する方法、ならび
に、その蒸気乾燥方法を実施することができる蒸気乾燥
装置に係わるものである。
従来、イソプロパノールなどの溶媒を加熱して発生さ
せた蒸気中に被乾燥物を配置し、その溶媒からの蒸気の
みで被乾燥物を乾燥する蒸気乾燥法は、特開昭56−1680
72号公報などによって知られており、また、その関係の
装置は特開昭58−207638号公報などによって知られてい
る。
せた蒸気中に被乾燥物を配置し、その溶媒からの蒸気の
みで被乾燥物を乾燥する蒸気乾燥法は、特開昭56−1680
72号公報などによって知られており、また、その関係の
装置は特開昭58−207638号公報などによって知られてい
る。
また、その蒸気乾燥用の装置としては、低級アルコー
ルなどの処理液の蒸気発生部と、処理用空間と処理済後
の水分含有処理液（凝集処理液）の捕集部とが設けられ
ている処理装置であって、上記捕集部における水分含有
処理液を再生するために、水分除去手段と蒸留手段とを
有する精製手段が設けられており、そして、精製された
処理液を上記蒸気発生部へ導入可能にした蒸気乾燥装置
が、特開昭62−106630号公報に開示されており、すなわ
ち、その公知文献には、その蒸気乾燥装置を使用して、
半導体ウエハーなどの蒸気乾燥によって発生した水分を
含有する処理液を水分除去手段と蒸留手段との精製手段
によって再生して、再生された処理液を前記蒸気発生部
（蒸気乾燥槽）へ循環使用することが、開示されてい
る。
ルなどの処理液の蒸気発生部と、処理用空間と処理済後
の水分含有処理液（凝集処理液）の捕集部とが設けられ
ている処理装置であって、上記捕集部における水分含有
処理液を再生するために、水分除去手段と蒸留手段とを
有する精製手段が設けられており、そして、精製された
処理液を上記蒸気発生部へ導入可能にした蒸気乾燥装置
が、特開昭62−106630号公報に開示されており、すなわ
ち、その公知文献には、その蒸気乾燥装置を使用して、
半導体ウエハーなどの蒸気乾燥によって発生した水分を
含有する処理液を水分除去手段と蒸留手段との精製手段
によって再生して、再生された処理液を前記蒸気発生部
（蒸気乾燥槽）へ循環使用することが、開示されてい
る。
しかし、前記の公知の蒸気乾燥装置は、水分含有処理
液の水分除去手段として具体的に開示されておらず、液
状の水分含有処理液から水分を除去する手段としては乾
燥剤などの使用が考えられるが、その処理能力には限界
があり、また、その場合に乾燥剤の再生が必要である。
液の水分除去手段として具体的に開示されておらず、液
状の水分含有処理液から水分を除去する手段としては乾
燥剤などの使用が考えられるが、その処理能力には限界
があり、また、その場合に乾燥剤の再生が必要である。
また、前記の公知の蒸気乾燥装置では、蒸気処理槽の
底部に溜められている低級アルコールなどの処理液がし
だいに水分濃度を増して、最終的には、蒸気処理槽にお
ける水蒸気を高い割合で含有してしまうために、被乾燥
物の蒸気乾燥が効果的に可能である高濃度低級アルコー
ル蒸気を発生させることができなくなるという問題があ
った。
底部に溜められている低級アルコールなどの処理液がし
だいに水分濃度を増して、最終的には、蒸気処理槽にお
ける水蒸気を高い割合で含有してしまうために、被乾燥
物の蒸気乾燥が効果的に可能である高濃度低級アルコー
ル蒸気を発生させることができなくなるという問題があ
った。
〔解決すべき問題点〕 この発明は、蒸気乾燥法において、蒸気処理槽内から
抜き出した水分を含有する凝縮処理液から水分を低エネ
ルギー及び高い除去率で除去して乾燥された低級アルコ
ール蒸気を容易に生成し、そして、その乾燥低級アルコ
ール蒸気を蒸気処理槽内の被乾燥物に直接に吹き掛けて
蒸気乾燥を効率的に行うことができる新しい蒸気乾燥方
法、並びに、その蒸気乾燥装置を提供することを目的と
している。
抜き出した水分を含有する凝縮処理液から水分を低エネ
ルギー及び高い除去率で除去して乾燥された低級アルコ
ール蒸気を容易に生成し、そして、その乾燥低級アルコ
ール蒸気を蒸気処理槽内の被乾燥物に直接に吹き掛けて
蒸気乾燥を効率的に行うことができる新しい蒸気乾燥方
法、並びに、その蒸気乾燥装置を提供することを目的と
している。
この出願の第１の発明は、 （Ａ）蒸気処理槽の内部に、湿潤している被乾燥物を配
置し、乾燥低級アルコール蒸気を該蒸気処理槽へ供給し
て、該乾燥低級アルコール蒸気と該被乾燥物とを接触さ
せて該被乾燥物を蒸気乾燥し、 （Ｂ）前記蒸気処理槽で凝縮した凝縮処理液を抜き出し
て蒸発器へ供給し、 （Ｃ）前記蒸発器で発生した水分含有蒸気を、60〜250
℃に過熱して、芳香族ポリイミドからなる非対称性ガス
分離中空糸膜を内臓するガス分離膜モジュールへ供給し
て、 （Ｄ）ガス分離膜モジュールにおいて、前記混合蒸気を
ガス分離中空糸膜と接触させて、ガス分離中空糸膜の透
過側から透過蒸気を排出すると共に、ガス分離中空糸膜
の供給側から乾燥された未透過蒸気を取り出し、 （Ｅ）該未透過蒸気を前記蒸気処理槽へ供給して前記の
乾燥低級アルコール蒸気として被乾燥物に吹き掛けるこ
とを特徴とする蒸気乾燥方法に関する。
置し、乾燥低級アルコール蒸気を該蒸気処理槽へ供給し
て、該乾燥低級アルコール蒸気と該被乾燥物とを接触さ
せて該被乾燥物を蒸気乾燥し、 （Ｂ）前記蒸気処理槽で凝縮した凝縮処理液を抜き出し
て蒸発器へ供給し、 （Ｃ）前記蒸発器で発生した水分含有蒸気を、60〜250
℃に過熱して、芳香族ポリイミドからなる非対称性ガス
分離中空糸膜を内臓するガス分離膜モジュールへ供給し
て、 （Ｄ）ガス分離膜モジュールにおいて、前記混合蒸気を
ガス分離中空糸膜と接触させて、ガス分離中空糸膜の透
過側から透過蒸気を排出すると共に、ガス分離中空糸膜
の供給側から乾燥された未透過蒸気を取り出し、 （Ｅ）該未透過蒸気を前記蒸気処理槽へ供給して前記の
乾燥低級アルコール蒸気として被乾燥物に吹き掛けるこ
とを特徴とする蒸気乾燥方法に関する。
また、第２の発明は、 （ａ）被乾燥物を配置する手段を有し、乾燥低級アルコ
ール蒸気を該被乾燥物と接触させて蒸気乾燥を行う手段
を有し、蒸気発生手段を有さない蒸気処理槽、 （ｂ）前記蒸気乾燥において凝縮した凝縮処理液を該蒸
気処理槽から抜き出して、低級アルコールと水分との混
合蒸気を発生させるための蒸発器、 （ｃ）前記蒸発器で発生させた混合蒸気を過熱するため
の過熱器、 （ｄ）前記過熱器で過熱した混合蒸気から水分をガス分
離し除去するための、芳香族ポリイミドからなる非対称
性ガス分離中空糸膜を内臓するガス分離膜モジュール、 （ｅ）ガス分離膜モジュールから取り出される乾燥され
た未透過蒸気を乾燥低級アルコール蒸気として蒸気処理
槽内へ供給する手段からなることを特徴とする蒸気乾燥
装置に関する。
ール蒸気を該被乾燥物と接触させて蒸気乾燥を行う手段
を有し、蒸気発生手段を有さない蒸気処理槽、 （ｂ）前記蒸気乾燥において凝縮した凝縮処理液を該蒸
気処理槽から抜き出して、低級アルコールと水分との混
合蒸気を発生させるための蒸発器、 （ｃ）前記蒸発器で発生させた混合蒸気を過熱するため
の過熱器、 （ｄ）前記過熱器で過熱した混合蒸気から水分をガス分
離し除去するための、芳香族ポリイミドからなる非対称
性ガス分離中空糸膜を内臓するガス分離膜モジュール、 （ｅ）ガス分離膜モジュールから取り出される乾燥され
た未透過蒸気を乾燥低級アルコール蒸気として蒸気処理
槽内へ供給する手段からなることを特徴とする蒸気乾燥
装置に関する。
以下、この出願の各発明について、図面も参考にし
て、さらに詳しく説明する。
て、さらに詳しく説明する。
第１図は、この発明を実施する装置の一例の概略を示
すフロー図である。
すフロー図である。
この発明の蒸気乾燥方法では、第１図に示すように、
被乾燥物２を支持具３などで配置する手段を有し、ガス
分離膜モジュール40から供給される未透過蒸気（乾燥低
級アルコール蒸気）を該被乾燥物２と接触させて蒸気乾
燥を行う手段を有する蒸気処理槽１が使用される。
被乾燥物２を支持具３などで配置する手段を有し、ガス
分離膜モジュール40から供給される未透過蒸気（乾燥低
級アルコール蒸気）を該被乾燥物２と接触させて蒸気乾
燥を行う手段を有する蒸気処理槽１が使用される。
前記蒸気処理槽１は、第１図に示すように、乾燥低級
アルコールの蒸気が被乾燥物２と接触して凝縮した凝縮
処理液を捕集するための捕集部４が底部に設けられてい
てもよい。
アルコールの蒸気が被乾燥物２と接触して凝縮した凝縮
処理液を捕集するための捕集部４が底部に設けられてい
てもよい。
この発明の蒸気乾燥方法は、第１図に示すように、ま
ず、前記蒸気処理槽１において、被乾燥物２を支持する
支持具３によって蒸気処理槽１の内部に配置された被乾
燥物２を、ガス分離膜モジュール40から取出されて蒸気
処理槽１へ供給された『乾燥低級アルコール蒸気（未透
過蒸気）』と接触させて蒸気乾燥するのである。
ず、前記蒸気処理槽１において、被乾燥物２を支持する
支持具３によって蒸気処理槽１の内部に配置された被乾
燥物２を、ガス分離膜モジュール40から取出されて蒸気
処理槽１へ供給された『乾燥低級アルコール蒸気（未透
過蒸気）』と接触させて蒸気乾燥するのである。
そして、この発明の蒸気乾燥方法では、前述の蒸気乾
燥を行いながら、蒸気処理槽１内の被乾燥物２の表面で
凝縮して捕集部４に捕集された水分を含有する凝縮処理
液は、蒸気処理槽１から抜き出されて凝縮処理液タンク
５に溜められ配管６及びポンプ７経由で蒸発器20の底部
へ供給し、低級アルコール蒸気と水蒸気とを主として含
有する混合蒸気を発生させ、該混合蒸気を排出管22経由
で過熱器30へ供給しスーパーヒート（過熱）した後、配
管31を経由して、ガス分離膜を内臓するガス分離膜モジ
ュール40へ供給する。
燥を行いながら、蒸気処理槽１内の被乾燥物２の表面で
凝縮して捕集部４に捕集された水分を含有する凝縮処理
液は、蒸気処理槽１から抜き出されて凝縮処理液タンク
５に溜められ配管６及びポンプ７経由で蒸発器20の底部
へ供給し、低級アルコール蒸気と水蒸気とを主として含
有する混合蒸気を発生させ、該混合蒸気を排出管22経由
で過熱器30へ供給しスーパーヒート（過熱）した後、配
管31を経由して、ガス分離膜を内臓するガス分離膜モジ
ュール40へ供給する。
この発明の蒸気乾燥法では、第１図に示すように、該
ガス分離膜モジュール40において、ガス分離膜の透過側
を真空ポンプ50で充分に減圧した状態にしておき、前記
蒸気をガス分離膜の供給側でガス分離膜と接触させて、
ガス分離膜の透過側から透過蒸気『水分を多量に含有す
る蒸気』を取出管42経由で排出させると共に、ガス分離
膜の供給側から水分が除去されて乾燥された未透過蒸気
『乾燥低級アルコール蒸気』を取出管41経由で取り出
し、最後に、取出管41を経由して、該乾燥低級アルコー
ル蒸気を配管45及びノズル46経由で前記蒸気処理槽１の
被乾燥物２に吹き掛けて蒸気乾燥に再利用するのであ
る。
ガス分離膜モジュール40において、ガス分離膜の透過側
を真空ポンプ50で充分に減圧した状態にしておき、前記
蒸気をガス分離膜の供給側でガス分離膜と接触させて、
ガス分離膜の透過側から透過蒸気『水分を多量に含有す
る蒸気』を取出管42経由で排出させると共に、ガス分離
膜の供給側から水分が除去されて乾燥された未透過蒸気
『乾燥低級アルコール蒸気』を取出管41経由で取り出
し、最後に、取出管41を経由して、該乾燥低級アルコー
ル蒸気を配管45及びノズル46経由で前記蒸気処理槽１の
被乾燥物２に吹き掛けて蒸気乾燥に再利用するのであ
る。
前記のガス分離膜は、水蒸気（H2O）の『透過速度
（ＰH2O）』が1.0×10-4cm3（STP）／cm2・sec・cmHg以
上と充分に高い値を示すと共に、水（H2O）と低級アル
コール（ROH）との混合蒸気から水蒸気を選択的に透過
させることができるというガス分離性能を表示する『分
離度（ＰH2O/PROH）が100〜10000程度、特に500〜8000
程度であって、しかも、その膜の使用温度が50〜300℃
（特に80〜250℃の高温度）の広い温度範囲であること
が好ましく、芳香族ポリイミドからなる非対称性ガス分
離中空糸膜が使用される。
（ＰH2O）』が1.0×10-4cm3（STP）／cm2・sec・cmHg以
上と充分に高い値を示すと共に、水（H2O）と低級アル
コール（ROH）との混合蒸気から水蒸気を選択的に透過
させることができるというガス分離性能を表示する『分
離度（ＰH2O/PROH）が100〜10000程度、特に500〜8000
程度であって、しかも、その膜の使用温度が50〜300℃
（特に80〜250℃の高温度）の広い温度範囲であること
が好ましく、芳香族ポリイミドからなる非対称性ガス分
離中空糸膜が使用される。
この発明の蒸気乾燥方法において、前述の蒸発器20で
発生した混合蒸気を過熱してガス分離膜モジュール40へ
供給する際に、その過熱蒸気は、高い温度（60〜250
℃、好ましくは80〜200℃）に過熱されており、また、
その混合蒸気の圧力が約0.1〜10kg/cm2Ｇ、特に0.2〜5k
g/cm2Ｇ程度であることが好ましい。
発生した混合蒸気を過熱してガス分離膜モジュール40へ
供給する際に、その過熱蒸気は、高い温度（60〜250
℃、好ましくは80〜200℃）に過熱されており、また、
その混合蒸気の圧力が約0.1〜10kg/cm2Ｇ、特に0.2〜5k
g/cm2Ｇ程度であることが好ましい。
また、ガス分離膜モジュール40のガス分離膜の透過側
は、500torr以下、特に200torr以下に減圧されているこ
とが好ましい。
は、500torr以下、特に200torr以下に減圧されているこ
とが好ましい。
この発明の蒸気乾燥方法において、ガス分離膜モジュ
ール40の未透過蒸気（水分の除去された乾燥低級アルコ
ール蒸気）を蒸気処理装置１内の被乾燥物２へ吹き掛け
るのであるが、その際の低級アルコール蒸気の温度は、
低級アルコールの沸点以上であることが好ましく、低級
アルコールがイソプロパノールである場合には82〜90
℃、程度の温度であることが好ましい。
ール40の未透過蒸気（水分の除去された乾燥低級アルコ
ール蒸気）を蒸気処理装置１内の被乾燥物２へ吹き掛け
るのであるが、その際の低級アルコール蒸気の温度は、
低級アルコールの沸点以上であることが好ましく、低級
アルコールがイソプロパノールである場合には82〜90
℃、程度の温度であることが好ましい。
また、ガス分離膜モジュール40の透過蒸気（水分を高
い割合で含有する蒸気）は、クーラー43によって冷却さ
れてトラップ44から抜き出して系外へ排出すればよい。
い割合で含有する蒸気）は、クーラー43によって冷却さ
れてトラップ44から抜き出して系外へ排出すればよい。
この発明の蒸気乾燥方法においては、新しい低級アル
コールの補充は、約０〜50℃の温度で、低級アルコール
タンク60から配管61及びポンプ62経由で蒸発器20の低部
へ供給することが好ましい。前記の補充される新しい低
級アルコールは、水分が２重量％以下、特に１重量％以
下である高純度（特に98重量％以上）の低級アルコール
液であることが好ましい。
コールの補充は、約０〜50℃の温度で、低級アルコール
タンク60から配管61及びポンプ62経由で蒸発器20の低部
へ供給することが好ましい。前記の補充される新しい低
級アルコールは、水分が２重量％以下、特に１重量％以
下である高純度（特に98重量％以上）の低級アルコール
液であることが好ましい。
この発明の蒸気乾燥方法において使用する低級アルコ
ールは、エタノール、ｎ−プロパノール、イソプロパノ
ール、ｎ−ブタノール、イソブタノールなどの炭素数２
〜４個を有する低級アルコールを好適に挙げることがで
き、その中でもイソプロパノールが最も好適である。
ールは、エタノール、ｎ−プロパノール、イソプロパノ
ール、ｎ−ブタノール、イソブタノールなどの炭素数２
〜４個を有する低級アルコールを好適に挙げることがで
き、その中でもイソプロパノールが最も好適である。
この発明の蒸気乾燥用の装置は、概略、第１図に示す
ように、（ａ）蒸気処理槽１、（ｂ）蒸発器20、（ｃ）
過熱器30、（ｄ）ガス分離膜モジュール40、および、
（ｅ）低級アルコール蒸気を蒸気処理槽１へ供給する配
管45とノズル46とを有している蒸気乾燥装置であればよ
い。
ように、（ａ）蒸気処理槽１、（ｂ）蒸発器20、（ｃ）
過熱器30、（ｄ）ガス分離膜モジュール40、および、
（ｅ）低級アルコール蒸気を蒸気処理槽１へ供給する配
管45とノズル46とを有している蒸気乾燥装置であればよ
い。
前記の蒸気処理槽１は、例えば、第１図に示すよう
に、被乾燥物２を保持して捕集部４の上方に移動させる
ことができる支持具３を配置する手段が連設されてお
り、乾燥低級アルコール蒸気を供給し吹き掛けるための
配管45およびノズル46が設置されていると共に、側壁に
冷却管８が内設されていて、さらに、捕集部４の凝縮処
理液を抜き出して溜めるための凝縮処理液タンク５と連
設されていることが好ましく、さらに、凝縮処理液タン
ク５から凝縮処理液を取出し蒸発器20へ凝縮液を供給す
るための配管６およびポンプ７と連設されていることが
好ましい。
に、被乾燥物２を保持して捕集部４の上方に移動させる
ことができる支持具３を配置する手段が連設されてお
り、乾燥低級アルコール蒸気を供給し吹き掛けるための
配管45およびノズル46が設置されていると共に、側壁に
冷却管８が内設されていて、さらに、捕集部４の凝縮処
理液を抜き出して溜めるための凝縮処理液タンク５と連
設されていることが好ましく、さらに、凝縮処理液タン
ク５から凝縮処理液を取出し蒸発器20へ凝縮液を供給す
るための配管６およびポンプ７と連設されていることが
好ましい。
前記の蒸発器20は、低級アルコールと水分とを含有す
る凝縮処理液を蒸発させて混合蒸気を発生させるための
ものであり、その底部に蒸発用のヒーター21が設けてあ
り、発生した混合蒸気の排出管22を備えていればよい。
る凝縮処理液を蒸発させて混合蒸気を発生させるための
ものであり、その底部に蒸発用のヒーター21が設けてあ
り、発生した混合蒸気の排出管22を備えていればよい。
前記のガス分離膜モジュール40は、前記の蒸発器20か
ら供給される混合蒸気から水蒸気をガス分離して除去す
るためのものであり、前述のガス分離膜（中空糸膜）を
内臓しており、ガス分離膜の供給側から未透過蒸気を取
り出すための取出管41と連結しており、さらに、必要で
あれば、そのガス分離膜の透過側を減圧状態にするため
の真空ポンプ50と接続している透過蒸気の取出管42と、
透過蒸気を冷却するためのクーラー43と、その冷却液の
トラップ44とを備えていて、水分を高い割合で含有する
透過蒸気の冷却液を系外へ排出することができるように
なっていてもよい。
ら供給される混合蒸気から水蒸気をガス分離して除去す
るためのものであり、前述のガス分離膜（中空糸膜）を
内臓しており、ガス分離膜の供給側から未透過蒸気を取
り出すための取出管41と連結しており、さらに、必要で
あれば、そのガス分離膜の透過側を減圧状態にするため
の真空ポンプ50と接続している透過蒸気の取出管42と、
透過蒸気を冷却するためのクーラー43と、その冷却液の
トラップ44とを備えていて、水分を高い割合で含有する
透過蒸気の冷却液を系外へ排出することができるように
なっていてもよい。
この発明の蒸気乾燥方法及びその装置は、例えば、プ
リント配線板、半導体ウエハー、精密電子部品、液晶基
板などの電子材料、レンズなどの水洗浄後の乾燥に有効
に適用することができる。
リント配線板、半導体ウエハー、精密電子部品、液晶基
板などの電子材料、レンズなどの水洗浄後の乾燥に有効
に適用することができる。
以下に実施例を示して、この発明をさらに詳しく説明
する。
する。
実施例１ 第１図に示すようなフローを有する蒸気乾燥装置を使
用し、そして、ガス分離膜モジュールとして宇部興産
（株）製の芳香族ポリイミド製のガス分離中空糸膜（商
品名;UBEポリイミド膜；タイプＤ）を内蔵しているガス
分離膜モジュール（膜面積;2.79m2）を使用して、被乾
燥物として充分に湿潤しているレンズ（径;40mm、約６
万枚）について、イソプロパノール（IPA）の蒸気で蒸
気乾燥を約１週間連続的に行った。
用し、そして、ガス分離膜モジュールとして宇部興産
（株）製の芳香族ポリイミド製のガス分離中空糸膜（商
品名;UBEポリイミド膜；タイプＤ）を内蔵しているガス
分離膜モジュール（膜面積;2.79m2）を使用して、被乾
燥物として充分に湿潤しているレンズ（径;40mm、約６
万枚）について、イソプロパノール（IPA）の蒸気で蒸
気乾燥を約１週間連続的に行った。
第１図のフローにおいて示された〜の箇所での各
流体の圧力及び温度、および、それらの流体の組成及び
流量の平均値を第１表に示す。
流体の圧力及び温度、および、それらの流体の組成及び
流量の平均値を第１表に示す。
上記の実施例の結果、蒸気処理槽内の湿潤されたレン
ズは実質的に付着水が除去されていて、充分な乾燥がな
されており、また、その蒸気処理槽へ供給されるイソプ
ロパノール蒸気は、１週間の間、水分濃度の増加が実質
的になく、そのイソプロパノール濃度が99.0重量％以上
を安定に維持していた。
ズは実質的に付着水が除去されていて、充分な乾燥がな
されており、また、その蒸気処理槽へ供給されるイソプ
ロパノール蒸気は、１週間の間、水分濃度の増加が実質
的になく、そのイソプロパノール濃度が99.0重量％以上
を安定に維持していた。
この発明の蒸気乾燥方法およびその装置によれば、湿
潤されたレンズ、半導体ウエハー、配線板などの高精度
の被乾燥物の蒸気乾燥操作を、低エネルギー、低コスト
で、安定的に、長期間、連続して行なうことができる。
潤されたレンズ、半導体ウエハー、配線板などの高精度
の被乾燥物の蒸気乾燥操作を、低エネルギー、低コスト
で、安定的に、長期間、連続して行なうことができる。
また、蒸気処理槽へ高い濃度の低級アルコール蒸気を
長期間安定に高いレベルに維持することができる。
長期間安定に高いレベルに維持することができる。
第１図は、この発明を実施する装置の一例の概略を示す
フロー図である。 1;蒸気処理槽、20;蒸発器、30;過熱器、40;ガス分離膜
モジュール、43;クーラー、44;トラップ、45;配管、46;
ノズル、50;真空ポンプ。
フロー図である。 1;蒸気処理槽、20;蒸発器、30;過熱器、40;ガス分離膜
モジュール、43;クーラー、44;トラップ、45;配管、46;
ノズル、50;真空ポンプ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 梅田 優 東京都中央区日本橋室町４丁目２番16号 株式会社渡邊商行本社内 (72)発明者 山谷 元壽郎 東京都中央区日本橋室町４丁目２番16号 株式会社渡邊商行本社内 (56)参考文献 特開 昭62−106630（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−155928（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−182818（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−260324（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】（Ａ）蒸気処理槽の内部に、湿潤している
被乾燥物を配置し、乾燥低級アルコール蒸気を該蒸気処
理槽へ供給して、該乾燥低級アルコール蒸気と該被乾燥
物とを接触させて該被乾燥物を蒸気乾燥し、 （Ｂ）前記蒸気処理槽で凝縮した凝縮処理液を抜き出し
て蒸発器へ供給し、 （Ｃ）前記蒸発器で発生した水分含有蒸気を、60〜250
℃に過熱して、芳香族ポリイミドからなる非対称性ガス
分離中空糸膜を内臓するガス分離膜モジュールへ供給し
て、 （Ｄ）ガス分離膜モジュールにおいて、前記混合蒸気を
ガス分離中空糸膜と接触させて、ガス分離中空糸膜の透
過側から透過蒸気を排出すると共に、ガス分離中空糸膜
の供給側から乾燥された未透過蒸気を取り出し、 （Ｅ）該未透過蒸気を前記蒸気処理槽へ供給して前記の
乾燥低級アルコール蒸気として被乾燥物に吹き掛けるこ
とを特徴とする蒸気乾燥方法。 - 【請求項２】（ａ）被乾燥物を配置する手段を有し、乾
燥低級アルコール蒸気を該被乾燥物と接触させて蒸気乾
燥を行う手段を有し、蒸気発生手段を有さない蒸気処理
槽、 （ｂ）前記蒸気乾燥において凝縮した凝縮処理液を該蒸
気処理槽から抜き出して、低級アルコールと水分との混
合蒸気を発生させるための蒸発器、 （ｃ）前記蒸発器で発生させた混合蒸気を過熱するため
の過熱器、 （ｄ）前記過熱器で過熱した混合蒸気から水分をガス分
離し除去するための、芳香族ポリイミドからなる非対称
性ガス分離中空糸膜を内臓するガス分離膜モジュール、 （ｅ）ガス分離膜モジュールから取り出される乾燥され
た未透過蒸気を乾燥低級アルコール蒸気として蒸気処理
槽内へ供給する手段からなることを特徴とする蒸気乾燥
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2281328A JP2610063B2 (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 蒸気乾燥方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2281328A JP2610063B2 (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 蒸気乾燥方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04155923A JPH04155923A (ja) | 1992-05-28 |
| JP2610063B2 true JP2610063B2 (ja) | 1997-05-14 |
Family
ID=17637574
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2281328A Expired - Lifetime JP2610063B2 (ja) | 1990-10-19 | 1990-10-19 | 蒸気乾燥方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2610063B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3347814B2 (ja) * | 1993-05-17 | 2002-11-20 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板の洗浄・乾燥処理方法並びにその処理装置 |
| JP6543481B2 (ja) | 2015-02-23 | 2019-07-10 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 蒸気供給装置、蒸気乾燥装置、蒸気供給方法および蒸気乾燥方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62106630A (ja) * | 1985-11-05 | 1987-05-18 | Hitachi Ltd | 処理装置 |
| JPS62260324A (ja) * | 1986-05-07 | 1987-11-12 | Sigma Gijutsu Kogyo Kk | 基板乾燥装置 |
| JPS63182818A (ja) * | 1987-01-26 | 1988-07-28 | Hitachi Ltd | 乾燥装置 |
| JPH0634898B2 (ja) * | 1987-12-10 | 1994-05-11 | 日立造船株式会社 | 有機物・水系混合溶液の濃縮・脱水装置 |
-
1990
- 1990-10-19 JP JP2281328A patent/JP2610063B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04155923A (ja) | 1992-05-28 |
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