JPH06304453A - 低温冷媒を使用した浸透気化膜分離装置 - Google Patents

低温冷媒を使用した浸透気化膜分離装置

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JPH06304453A
JPH06304453A JP2680794A JP2680794A JPH06304453A JP H06304453 A JPH06304453 A JP H06304453A JP 2680794 A JP2680794 A JP 2680794A JP 2680794 A JP2680794 A JP 2680794A JP H06304453 A JPH06304453 A JP H06304453A
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JP
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organic solvent
separation
water
separation membrane
membrane
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JP2680794A
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Masaaki Mita
雅昭 三田
Kenji Sugimoto
建二 杉本
Haruo Katsumata
晴雄 勝俣
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Mitsubishi Kasei Corp
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Mitsubishi Kasei Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 有機溶媒と水との混合液から水を分離するた
めの浸透気化膜分離装置の分離効率を向上させる。 【構成】 浸透気化膜分離装置において、凝縮器の冷媒
を0℃以下とし、透過水蒸気に不凍液を混入して凝縮さ
せるもの。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は浸透気化法により有機溶
媒−水混合液体から水を除去するための装置に関する。
【0002】
【従来の技術】混合液体の分離方法として、特定成分と
親和性があって特定成分の蒸気を透過させる膜を用い、
膜の片側(1次側)に混合液体を接触させ、膜の逆側
(2次側)を減圧又は不活性ガスで掃気するなどして1
次側の飽和蒸気圧と2次側の蒸気圧の差をつくり、特定
成分だけ膜を透過させて分離する浸透気化法がある。
【0003】浸透気化法は共沸混合液の分離など、蒸留
等によって分離できない分野での応用が広く検討されて
いる。これらの内でも、半導体基板等の乾燥に用いる蒸
気乾燥装置で、使用後の乾燥液(水と相溶性のある有機
溶媒:以下イソプロピルアルコール(IPA)を代表例
として説明する)中の水分を除去するのに適した方法と
して注目されている。
【0004】
【発明を解決しようとする課題】浸透気化法は1次側と
2次側の蒸気圧差が大きいほど透過量が多くなり、処理
量(分離効率)が向上する。このためには1次側の飽和
蒸気圧を高くし、2次側の蒸気圧を低くすればよいが、
1次側の飽和蒸気圧を高くするために液温を上昇させる
にしても沸点が上限となる。
【0005】従って、更に分離効率を上げるには2次側
の真空度を高くして2次側の蒸気圧を下げることが考え
られる。一方、2次側では透過した蒸気を冷却、凝縮
し、系外に抜き出している。ここで、2次側の真空度を
上げると凝縮した水が再び気化してしまうので、2次側
の真空度を上げるのは分離効率の上からは好ましいが、
水を回収することを考えると不都合であった。具体的に
は冷却温度を2℃としても真空度は7Torr程度が限
界となっていた。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明者らは上記課題に
鑑み、鋭意検討した結果、透過水蒸気に不凍液として有
機溶媒を混入して凝固点を下げ、低温冷媒を用いること
により2次側真空度を上げることができ、上記課題を解
決できることを見出し、本発明に到達した。すなわち、
本発明の要旨は水蒸気を透過する分離膜を用いて、有機
溶媒と水との混合液体から浸透気化法により水を分離す
るための浸透気化膜分離装置において、透過水蒸気を伝
熱面を介して熱を移動させて凝縮させる際に使用する冷
媒の温度を0℃以下とすると共に透過水蒸気に水と相溶
性のある有機溶媒を混入させて凝固点を冷媒温度以下と
する手段を備えた浸透気化膜分離装置に存する。
【0007】以下、本発明の装置の一例を図面を用いて
説明する。図1は、本発明の装置の一例を示す概略説明
図である。図中1は原料配管、2は原料送液ポンプ、3
は送液配管、4は加熱器、5は送液配管、6は抜き出し
配管、7は分離膜モジュール、7aは分離膜、8は透過
物移送配管、9は凝縮用熱交換器、10は凝縮液タン
ク、11は抜出しポンプ、12,14は真空配管、13
は真空ポンプ、15は抜出し配管、16は有機溶媒供給
配管、17は有機溶媒冷却器をそれぞれ示す。
【0008】原料配管1から供給された有機溶媒と水と
の混合液体は送液ポンプ2により送液配管3を通って加
熱器4に送られる。分離の対象となる有機溶媒と水との
混合液体としては水と相溶性のある有機溶媒と水との混
合液体であり、共沸点を持つため蒸留による分離ができ
ない場合に特に有用である。具体的には水−エタノー
ル、水−イソプロピルアルコール(IPA)、水−酢酸
などが例示できる。水−IPAの系を例にとって説明す
る。
【0009】加熱器4での加熱温度は、混合液体の沸点
に近いが、沸点以下の温度が好ましい。尚、分離膜の一
次側が加圧状態の場合、その圧力での混合液体の沸点以
下であればよい。例えば、水−IPA混合液体の場合
は、加圧して100〜120℃とするのが好適である。
加熱器4で加熱された混合液体は送液配管5を通って分
離膜モジュール7に送られる。
【0010】分離膜7aとしては浸透気化法に使用でき
る親水性分離膜であればよい。具体的にはポリスルホ
ン、ポリエーテルスルホン、ポリイミド、ポリフェニレ
ンアセチレン等が知られている。分離膜モジュール7に
よって分離された分離膜7aを透過しない有機溶媒成分
は抜き出し配管6から抜き出され、再生工程等に送られ
る。
【0011】一方分離膜7aを透過した水は水蒸気の状
態で透過物移送配管8を通って凝縮用熱交換器9に送ら
れる。凝縮用熱交換器9には透過水蒸気を伝熱面を介し
て熱を移動させて凝縮するために冷媒で冷却されている
伝熱面が設けられており、冷媒として0℃以下、例えば
−5〜−20℃の冷媒が用いられる。
【0012】このため、水蒸気が凝縮し、更に氷になっ
て結着してしまうことが考えられるので、この水蒸気が
熱交換器9に入る前に、水蒸気中に不凍液として有機溶
媒を供給配管16を通して供給する。水蒸気中に混入さ
れる有機溶媒の量は、熱交換器9での冷却温度によって
変わるが、通常、有機溶媒としてIPAを混入する場合
は5〜30重量%程度である。
【0013】有機溶媒は冷却器7により2次側の圧力で
沸騰しない温度に冷却して用いられるが、IPAを用い
る場合は通常0〜−10℃程度の温度とされる。冷媒と
しては使用温度を考慮して公知の冷媒から適宜選択でき
る。具体例としてはメタノール、エタノール、エチレン
グリコール、IPA等の有機化合物が例示できる。
【0014】透過水蒸気に相溶性のある有機溶媒を混入
する手段としては、膜2次側から熱交換器9の伝熱面に
至るまでの配管8に新たに有機溶媒添加装置を設ける方
法や、分離膜の分離比を小さくして原料混合液体中の有
機溶媒を一部透過させる方法が挙げられる。このうち、
前者の方法が、凝固点の制御が容易であるので好まし
い。
【0015】新たに有機溶媒を添加する方法において
は、添加する有機溶媒としては原料混合液体中に含まれ
る有機溶媒を用いてもよいし、その他の不凍液として使
用できる有機溶媒を用いてもよい。また、原料混合液体
中の水分濃度が小さいとき、例えば50重量%以下のと
きには、原料混合液体そのものを不凍液として使用でき
る。また、添加する前に当該有機溶媒を冷却しておく
と、真空度の変動が少く、好ましい。
【0016】低分離比の膜を使用する場合は、水−IP
A系で脱水してIPAを濃縮する場合を例にとると、濃
縮後のIPA(膜非透過液)の濃度を99%、2次側の
透過水蒸気中のIPA濃度を15%とすると次式より分
離比を561とすれば良いことがわかる。
【0017】
【数1】(85/15)/(1/99)=561 透過水蒸気は熱交換器9で凝縮され凝縮液タンク10に
溜められる。タンク10には真空ポンプ13が真空配管
12によって接続されており2次側の減圧を得る。14
は排出用の配管である。
【0018】凝縮液タンク10に溜められた水(有機溶
媒をわずかに含有)はポンプ10によって配管15で抜
かれ処理後排液とされる。尚、透過水蒸気に添加する有
機溶媒が、原料混合液体中の有機溶媒と同じときは、該
有機溶媒を添加した透過水蒸気の凝縮液の少なくとも一
部を原料混合液の戻して、有機溶媒を回収してもよい。
【0019】かかる凝縮液の一部を原料混合液体に戻す
方法は、透過流体(分離膜を透過した後の水を主とする
混合液体)が廃棄される場合における排水処理系の負荷
を減少させるのに効果的である。また、本発明において
は、分離膜を数段直列状に連結させた多段分離装置とす
ることもできる。この場合には、少なくとも第1段目の
分離膜装置の凝縮系の冷媒温度を0℃以上とし、第2段
目以降の任意の段に本発明の分離膜装置を用いて凝縮系
の冷媒温度を0℃以下とする態様も好ましい。これは、
第1段目の分離膜装置では、供給される混合液体中の水
の含有率が大きいため、一次側の水の蒸気圧が高いの
で、二次側の圧力を低下させる必要性が乏しく、また透
過する水の量も多くなるので、必要となる不凍液の量が
多くなってしまうからである。後段になればなるほど分
離膜に供給される混合液体中の水の含有率が小さくなる
ので、一次側の水の蒸気圧が低くなり、透過する水の量
も少ないので、本発明の分離膜装置を使用することが特
に有効となる。
【0020】尚、ここで、複数段直列状に連結するとい
うのは、第1段目の分離膜の非透過液を第2段目の分離
膜に供給し、第n−1段目の分離膜の非透過液を第n段
目の分離膜に供給するように連結する方法である。ま
た、本発明の分離膜装置を用いる段は、分離膜に供給さ
れる混合液体の含水率を勘案して任意に決められるが、
少なくとも第2段目以降に使用することが好ましい。例
えば、第3段目から用いる場合には、第3段目から最終
段まで本発明の分離膜装置を用いることが好ましいが、
途中の一部だけ本発明の分離膜装置を利用することも可
能である。
【0021】更に、かかる多段分離装置の場合には、不
凍液として有機溶媒を添加した凝縮液の全部又は一部を
原料に戻すことが好ましい。上述した多段の態様につい
て更に図2を用いて詳細に説明する。図2は、分離膜を
3段連結した例であり、第2段目及び第3段目の透過水
蒸気凝縮系の冷媒が0℃以下とされている例である。
【0022】図2中、19は加熱器、21は第1段分離
膜、23は第2段分離膜、25は第3段分離膜、28は
第1凝縮器(冷媒温度は0℃以上)、32は第2凝縮器
(冷媒温度は0℃以下)、34は有機溶媒(不凍液)の
予備冷却器である。原料配管18から供給された混合液
体は、逆液ポンプ(図示せず)を介して加熱器19に送
られる。加熱器19により必要な温度まで加熱され、配
管20を通って第1分離膜21の一次側に供給される。
第1分離膜21の非透過液は必要仁王仕手加熱器(図示
せず)で加熱して第2分離膜23に供給される。同様に
第2分離膜23の非透過液は第3分離膜25に供給され
る。
【0023】第1分離膜21の透過水蒸気は、不凍液を
添加せずに第1凝縮器28に供給される。第1凝縮器2
8では冷媒温度は0℃以上、例えば2〜10℃、となっ
ている。(尚、図2では冷媒の配管や真空系配管は省略
されている。)第2分離膜23及び第3分離膜25の透
過水蒸気は、配管33から原料混合液体を混合して第2
凝縮器32に供給される。第2凝縮器32では冷媒温度
は0℃以下、例えば−5〜−10℃、となっている。第
2凝縮器32で凝縮した液は配管35を通って原料に戻
される。
【0024】尚、分離膜21、23、25においては、
必要に応じて非透過液の一部を供給ラインに戻す循環配
管を設けて、分離膜に供給される液量を調節することが
できる。また、図2のように、冷媒温度が同じものにつ
いては凝縮器を共有してもよい。
【0025】
【作用】本発明は透過水蒸気に不凍液として相溶性のあ
る有機溶媒を添加又は膜を透過させ、透過成分の凝固点
を低下させることにより、凝縮のために用いる冷媒の温
度を下げることが可能となった。そして冷媒の温度を下
げることにより2次側の真空度を上げることが可能とな
り、分離膜の透過量を増大させることが可能となる。
【0026】本発明の分離装置の場合、抜き出される水
には有機溶媒を不凍液として混入することとなるので矛
盾を感じるかもしれない。しかし、本発明の装置は有機
溶媒の乾燥を目的とするものであり、膜を透過しない成
分中に残存する水分量が問題となる。本発明装置では混
合液体からより多くの水を透過させることができるもの
であるから、非透過液中の残存水分量を極く少なくする
ことができ、大変効果的である。また、透過流体の凝縮
液の一部を原料に戻すことによって、有機溶媒の損失も
少なくすることができる。
【0027】
【実施例】以下、本発明の装置について、IPA−水系
を例にとり、実施例に基づいて説明する。 <実施例1>図1に概略を示した装置を用いた。
【0028】分離の対象となるIPA−水混合液体(以
下「原料液」と呼ぶ)を配管1から供給し、原料送液ポ
ンプ2で送液し、配管3より加熱器4で昇温し、配管5
を介して分離膜モジュール7の1次側に供給した。原料
液中の水は蒸気として分離膜7aを透過して2次側に移
動し、分離膜7aを透過しないIPAは濃縮され抜き出
し配管6から抜き出された。
【0029】2次側に透過した水蒸気に配管16よりI
PA(液体)を添加し、IPA:水=15:85(重量
比)とした。この透過液を凝縮用熱交換器9により冷却
し、凝縮させた。熱交換器9で使用した冷媒はエチレン
グリコールであり、冷媒の温度は−5℃であった。凝縮
液は一旦凝縮液タンク10に溜められた後、抜出しポン
プ11により配管15から抜き出された。
【0030】また分離膜7aの2次側は配管12を介し
て真空ポンプ13によって5Torrまで減圧されてい
る。表−1に各部での濃度、温度等を示す。
【0031】
【表1】
【0032】<実施例2及び参考例>図2(実施例2)
及び図3(参考例)に概略を示した装置を用いた。尚、
参考例は3段とも凝縮器の冷媒温度を0℃以下とした例
である。実施例2及び参考例の各位置でのIPA量、水
の量及びIPA濃度を表2に示す。
【0033】
【表2】
【0034】表2より明らかなように、図2のような態
様とすることによりIPAの廃棄量を大幅に削減するこ
とができる。
【0035】
【発明の効果】本発明の装置では分離膜の2次側真空度
を高くすることが可能となり、そのため水の除去量を多
くすることができるので、有機溶媒のいままで以上の濃
縮が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の装置の一例を示す概略説明図である。
【図2】本発明の装置の別の一例を示す概略説明図であ
る。
【図3】参考実験例の説明図である。
【符号の説明】
2 原料送液ポンプ 4 加熱器 7a 分離膜 9 凝縮用熱交換器 10 凝縮液タンク 11 抜出しポンプ 13 真空ポンプ 16 有機溶媒供給配管 17 有機溶媒冷却器 19 加熱器 21、23、25 分離膜 28 凝縮器(冷媒温度0℃以上) 32 凝縮器(冷媒温度0℃以下) 34 有機溶媒冷却器

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 水蒸気を透過する分離膜を用いて、有機
    溶媒と水との混合液体から浸透気化法により水を分離す
    るための浸透気化膜分離装置において、透過水蒸気を伝
    熱面を介して熱を移動させて凝縮させる際に使用する冷
    媒の温度を0℃以下とすると共に透過水蒸気に水と相溶
    性のある有機溶媒を混入させて凝固点を冷媒温度以下と
    する手段を備えた浸透気化膜分離装置。
  2. 【請求項2】 透過水蒸気に有機溶媒を混入させる手段
    が、分離膜と伝熱面とを結ぶラインに2次側圧力での沸
    点以下に冷却した有機溶媒を添加する方法であることを
    特徴とする請求項1記載の分離装置。
  3. 【請求項3】 透過水蒸気に混入させる有機溶媒が分離
    対象となる混合液体の有機溶媒と同一であり、且つ該有
    機溶媒を混入した透過水蒸気の凝縮液の一部を原料混合
    液体に戻す手段を備えていることを特徴とする、請求項
    1記載の浸透気化膜分離装置。
  4. 【請求項4】 水蒸気を透過する分離膜を複数段備えた
    分離装置であって、該分離膜が、第1段目の非透過液が
    第2段目の分離膜に供給され、第n−1段目の非透過液
    が第n段目の分離膜に供給されるように連結されてお
    り、第2段目以降の分離膜装置の少なくとも一つに請求
    項1乃至3記載の浸透気化膜分離装置を用いることを特
    徴とする、多段分離装置。
  5. 【請求項5】 第2段目以降の分離膜装置を透過した透
    過水蒸気の凝縮液の少なくとも一部を原料液に戻す手段
    を備えていることを特徴とする、請求項4記載の多段分
    離装置。
JP2680794A 1993-02-26 1994-02-24 低温冷媒を使用した浸透気化膜分離装置 Pending JPH06304453A (ja)

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JP3852593 1993-02-26
JP5-38525 1993-02-26
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