JPH07232141A

JPH07232141A - 洗浄装置

Info

Publication number: JPH07232141A
Application number: JP4800994A
Authority: JP
Inventors: Tariko Todd; トッド・タリコ
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1994-02-23
Filing date: 1994-02-23
Publication date: 1995-09-05

Abstract

(57)【要約】【目的】有毒な化学物質、すなわち環境を破壊する化
学物質を環境へ放出したりして環境をそのような化学物
質で汚染することなしに、そのような化学物質を使用で
きる洗浄装置を得ることである。【構成】洗浄流体を含むタンクを有する洗浄装置であ
る。洗浄流体は典型的には液体，気体、または二相状態
にあり、回路板のような物体からグリースその他の外部
物質を除去できる。タンクは、洗浄液体へ熱を供給して
洗浄流体を気化状態にする加熱ジャケットを有する。蒸
留器が真空ポンプによりタンクへ結合される。真空ポン
プは液体状態および気体状態の洗浄流体を蒸留器を通じ
て循環させる。そうすると液体状態の洗浄流体から外部
物質が除去される。この装置は、タンク内部の洗浄流体
の圧力を調整する圧力調整装置を有する。真空ポンプと
圧力調整装置により洗浄流体は希望の状態に維持され
る。真空ポンプは洗浄流体の圧力を従来の洗浄タンクの
動作レベル以下に典型的に降下させる。動作圧力の降下
により洗浄流体の飽和温度が対応して降下する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はグリース、およびフラッ
クスのような外部物質を物体から除去するために洗浄流
体を利用する洗浄装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】グリース，オイル，フラックスその他の
外部物質を物体から除去することが時に望ましい。たと
えば、電子回路板をはんだ付け機械中に挿入する前にそ
の電子回路板は典型的に脱脂される。脱脂作業によりは
んだを板へより良く付着でき、それによりはんだ付けさ
れた部分の寿命が長くなる。洗浄作業と脱脂作業は典型
的には閉じられているタンク内部で行われる。タンクは
クロロフルオロカーボン，トリクロロエチレンまたは塩
化メチルのような気化した洗浄剤を通常含む。従来の脱
脂タンクを使用すると、溶剤蒸気が大気中に放出される
結果となるのが一般的である。クロロフルオロカーボン
のような従来の脱脂化学物質はオゾンを破壊したり、そ
の他の悪影響を環境に及ぼす。

【０００３】米国特許第５，１０６，４０４号には、蓋
がタンクから外され、部品がタンクから取り出される前
に、溶剤を洗浄室から抜き出す洗浄装置が開示されてい
る。溶剤の放出を減少するには効果的であるが、溶剤は
蓋とタンクの間の境界を通って漏れることが依然として
ある。したがって、気化した洗浄剤が洗浄装置から逃げ
て環境を汚染することがないようにするために、蓋とタ
ンクの間にシール装置を設けることが望ましい。

【０００４】従来の洗浄装置は通常洗浄溶剤を気化した
状態に維持する。前記米国特許は、溶剤が気化および凝
縮サイクルを何回か繰り返すように、洗浄室の圧力を繰
り返す洗浄装置を開示している。そのような過程は部品
に食い込んでいる汚染物質を除去することが見出されて
いる。その米国特許に開示されている圧力サイクル過程
は付加論理回路を必要とし、部品を洗浄するために必要
なサイクル時間を長くする。系を繰り返させることなし
に洗浄流体の洗浄性能を向上させる洗浄装置および洗浄
方法を得ることが望ましい。また、洗浄性能が優れてい
る無害な洗浄流体を得ることも望ましい。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
目的は、有毒な化学物質、すなわち環境を破壊する化学
物質を環境へ放出して環境をそのような化学物質で汚染
することなしに、そのような化学物質を使用できる洗浄
装置を得ることである。本発明の別の目的は、従来の洗
浄溶剤および洗浄方法の気化温度より低い温度または高
い温度で洗浄流体を気化する洗浄流体の圧力を制御でき
る洗浄装置を得ることである。本発明の別の目的は、タ
ンクから洗浄流体を完全に排出できるようにする洗浄装
置を得ることである。本発明の別の目的は、酸素を入れ
ることなしに洗浄流体をタンクから排出でき、かつ再び
供給できる。可燃性物質の洗浄装置を得ることである。
本発明の更に別の目的は、洗浄流体が大気中に逃げるこ
とを阻止するために蓋をタンクへシールするシール組立
体を得ることである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、洗浄流体を収
容するタンクを有する洗浄装置に関するものである。洗
浄装置は典型的には液体、蒸気または二相状態であっ
て、回路板または精密部品のような物体からグリースそ
の他の外部物質を除去できる。タンクは洗浄流体を希望
の状態に維持するために洗浄流体を加熱する加熱ジャケ
ットを有する。タンクは、洗浄流体を液体状態で室内部
へ入れるためのマ二ホルドも有する。蒸留器が真空ポン
プによりタンクへ結合される。ポンプは液体と気化した
洗浄流体を蒸留器を通じて循環させる。蒸留器は洗浄流
体から外来物質を除去する。外来物質は廃棄物容器に貯
蔵される。廃棄物を容易に捨てることができるようにす
るために廃棄物容器は取り出すことができる。洗浄流体
がタンク内へ再び入れられる前に、凝縮／再加熱サイク
ルを経て洗浄流体を蒸留器から流すことができる。

【０００７】この装置はタンク内部の洗浄流体の圧力を
調整する圧力調整装置を有する。真空ポンプと圧力調整
装置は洗浄流体を希望の状態に維持する。真空ポンプは
洗浄流体の圧力を従来の洗浄タンクの運転レベルから典
型的に変化させる。運転圧力の変化によって洗浄流体の
飽和温度が対応して変化させられる。したがって、この
装置は洗浄流体を従来の洗浄装置とは異なる温度におい
て希望の状態に維持できる。洗浄剤の圧力に応じたより
低い温度、またはより高い温度において、従来は使用で
きなかった化学物質を洗浄剤として使用できることが見
出されている。たとえば、通常の運転温度においてプラ
スチックおよびその他の物質を犯すトリクロロエチレン
は、本発明を用いて電子回路板のような物体を安全かつ
効果的に清浄にできる。

【０００８】この装置は大型貯蔵器と付加真空ポンプを
有することができる。付加部品によって洗浄流体をタン
クから排出して、それを貯蔵器に貯蔵できる。それから
洗浄流体を装置の既存の機器を用いて洗浄タンクへ再び
入れることができる。酸素を装置内部へ入れることなし
に、洗浄流体をタンクから排出し、およびタンクへ供給
するように本発明はほぼ閉じた装置を利用する。したが
って、本発明の装置は可燃性洗浄流体を用いた場合にも
爆発するおそれは少ない。

【０００９】蓋とタンクの間に通路により隔てられる一
対のシールが設けられる。通路は圧縮機へ連結される。
圧縮機は真空を生じ、蓋をシールとタンクへ接触した状
態に維持する。二重シール組立体は洗浄流体が大気中へ
逃げる可能性を大幅に低くする。

【００１０】

【実施例】まず、本発明の洗浄装置１０が示されている
図１を参照する。この洗浄装置１０は洗浄室１４を囲む
ように構成されたタンク１２を有する。洗浄室１４は電
子回路板または精密部品のような物体１６を保持する。
物体１６はグリースおよびその他の外部物質を典型的に
含む。それらの外部物質はタンク１２の内部の洗浄流体
１８により除去される。電子回路板または精密部品１６
の洗浄について説明するが、本発明はその他の物体の洗
浄にも使用できることを理解すべきである。たとえば、
洗浄装置１０を布地その他の繊維を洗浄するために使用
できる。タンク１２は蓋２０を有する。その蓋により洗
浄室１４へ接近でき、物体をタンク１２の内部へ入れた
り、タンクから出したりできるようにする。

【００１１】タンク１２内部の洗浄流体１８は液体状
態、蒸気状態または二相状態にできる。洗浄室１４を横
切って延長する第１のマ二ホルド２２を通じて、洗浄流
体１８をタンク１２の内部へ入れることが好ましい。別
の実施例においては、物体をタンク１２の上から入れる
ことができるようにするために、マ二ホルド２２を洗浄
室１４の周辺部に沿って延長させることができる。加熱
要素２４をタンク１２の壁内部に埋め込んで、加熱制御
論理２５へ結合する。輻射熱を供給するようにも加熱要
素２４を構成する。加熱要素２４は洗浄流体１８と物体
１６へ更に熱を供給して洗浄流体を希望の状態に維持す
る。タンク１２は、洗浄室１４を横切って延びる液体状
態の洗浄流体１８を供給する第２のマ二ホルド２６をも
有することができる。第１のマ二ホルド２２と同様に、
第２のマ二ホルド２６もタンク１２の周囲を延長させる
ことができる。洗浄流体１８を液体噴霧として洗浄室１
４の内部へ入れるように、第２のマ二ホルド２６を構成
することが好ましい。第２のマ二ホルド２６は第１のマ
二ホルド２２と一緒に使用でき、または第１のマ二ホル
ド２２の代わりに使用できる。

【００１２】第１の真空ポンプ２８がタンク１２へ結合
される。この真空ポンプ２８は洗浄室１４内部の圧力を
低下できる液体リングポンプであることが好ましい。液
体リングポンプは、冷却器（図示せず）へ結合されてい
る熱交換器を通じてポンプ送りされる超低温に冷却され
ている流体を利用する。超低温に冷却された流体がポン
プ２８内へ吸い込まれる溶剤を凝縮させる。真空ポンプ
２８とタンク１２へ、タンク１２内部の洗浄流体の圧力
を調整する圧力調整装置３０が結合される。圧力調整装
置３０は比例制御弁へ接続される圧力トランスデューサ
を有することができる。この圧力トランスデューサはタ
ンクまたは流管内部の流体圧力を検出し、比例弁の解放
度を変化させる出力を供給する。たとえば、圧力が希望
値より高いとすると、比例制御弁は一層開いてタンク１
２と真空ポンプ２８の間の流量を増加し、タンク１２内
部の圧力を低下させる。トランスデューサと比例弁は、
圧力をモ二タしてユーザーが新しい圧力値にキーパンチ
できるようにする。同様に、装置１０を完全オートーメ
ーションにするために、加熱要素２４をコンピュータへ
接続することもできる。別の実施例においては、圧力調
整装置３０はバネにより力を加えられる簡単な調整可能
な制御弁、その他の圧力制御手段とすることができる。

【００１３】真空ポンプ２８および圧力調整装置３０は
洗浄流体の圧力を調整する。好適な実施例においては、
流体圧力は大気圧より低い。本発明の範囲を限定するの
ではなくて、参考のためだけに、大気圧を海面における
大気の圧力と定義する。低い圧力で洗浄流体を使用する
と、洗浄流体を相変化させることなしに洗浄流体の使用
温度を低下できる。したがって、洗浄流体は、大気圧よ
り低い圧力では低い温度において、または大気圧より高
い圧力においては高い温度において相変化する。洗浄流
体温度が低下すると、以前は使用できなかった化学物質
を洗浄剤として使用できるようにされる。たとえば、回
路板からフラックスおよびグリースが、気化して大気圧
に等しい圧力のトリクロロエチレンで除去されると、温
度が上昇した洗浄流体によって回路板の部分、とくにプ
ラスチックで製造された部品が溶解する。洗浄流体の圧
力と温度を低下することにより、トリクロロエチレンを
用いて部品を劣化させることなしに回路板を洗浄できる
ことが見出されている。トリクロロエチレンはオゾンを
破壊しないから、トリクロロエチレンは望ましい化学物
質である。したがって、本発明により環境に対してあま
り有害でない化学物質を使用できるようにするものであ
る。下の表に示す圧力および温度は対応する洗浄流体の
作用を一層激しくすることを発明者は見出した。

【００１４】 ──────────────────────────────────── 洗浄流体温度最低圧力最高圧力 °ＦｉｎＨｇｐｓｉ ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ パークロールエチレン２５０３０９０トリクロロエチレン１８０３０６０塩化メチル１０４３０１５０ハイドロクロロフルオロカーボン１２３８６１０１５０ハイドロクロロフルオロカーボン１４１ｂ８８２０１５０ハイドロクロロフルオロカーボン２２４１．４３０１００ハイドロクロロフルオロカーボン１３４ａ２２３０１００イソプロピルアルコール − ３０２０炭化水素 − ３０６０ ────────────────────────────────────

【００１５】この装置により任意の流体の飽和圧力、お
よび対応する飽和温度を低下できる。大気圧より低い流
体圧力について述べたが、本発明により任意の流体の動
作圧力を利用でき、かつ調節できることを理解すべきで
ある。流体の圧力を通常の動作レベルより高くすると一
層有利な結果が得られることを見出すことができる。し
たがって、この装置は実効運転温度を得ることができる
ように圧力を調整する。

【００１６】洗浄流体１８はタンク１２から廃棄室３２
を通って、グリースその他の外部物質を流体から除去す
る洗浄ユ二ット３４に入る。洗浄ユ二ット３４は流体を
再び蒸発させる蒸留装置であることが好ましい（流体
は、典型的には、廃棄室３２から取り出される時に液体
状態または液体／蒸気状態である）。蒸留装置３４は外
部物質を捕らえる濾過装置を有することができる。それ
らの外部物質は廃物容器３６に貯蔵される。この装置
は、蒸留装置３４からの廃棄物の流れを終わらせること
ができ、後で廃物を除去するために廃物容器３６を取り
外すことができるようにする廃物排出弁（図示せず）を
有することができる。洗浄ユ二ット３４は洗浄流体１８
を精製して洗浄流体をタンク１２へ再循環できるように
する。洗浄ユ二ット３４をタンク１２とは別々のものと
して示しているが、洗浄ユ二ット３４をタンク１２と一
体にできることを理解すべきである。

【００１７】蒸発した洗浄流体は洗浄ユ二ット３４から
洗浄室３８を通って冷却装置４０に入る。冷却装置４０
は洗浄流体１８の温度を低下させる。それから洗浄流体
１８は洗浄室３８へポンプ送りされる。液体リングポン
プを使用するならば、真空ポンプ２８は流体を液体状態
へ変化させる。洗浄流体１８が冷却室４０から洗浄室３
８へポンプ送りされると、洗浄ユ二ット３４から流れる
気化した流体は液体洗浄流体の温度を上昇させる。した
がって、洗浄室３８は流体に対して再生作用を行う。液
体洗浄流体は送りポンプ４２によりタンク１２へポンプ
送りされる。送りポンプ４２は、洗浄流体１８を加熱し
て洗浄流体をタンク１２へ送る再加熱器４４へ連結され
る。洗浄流体が気体，液体、または二相状態でタンク１
２へ再び入れられるように、再加熱器４４をセットでき
る。

【００１８】この洗浄装置は洗浄室３８内部の洗浄流体
を加熱する予熱器４５も有することができる。気化した
洗浄流体は第１のマ二ホルド２２を通ってタンク１２の
内部へ典型的に再び入れられる。図１に示すように、送
りポンプ４２の吐出口を第２のマ二ホルド２６へ連結し
て、液体状態の洗浄流体を、好ましくは液体噴霧とし
て、洗浄室１４へ再び入れることができるようにする。
圧力調整装置３０は、タンクに出入りする洗浄流体の流
れを、洗浄室１４内部の洗浄流体の圧力に従って調整す
る調整弁４６を含む。したがって、本発明は洗浄流体の
圧力を調整でき、かつ閉じられている再循環装置内部の
洗浄流体を清浄にできる洗浄装置を提供するものであ
る。

【００１９】とくに、洗浄された物体１６をタンクから
取り出さねばならない時には、洗浄室１４から流体を排
出することが望ましいことがある。洗浄流体の蒸気を大
気中に放出することなしにその排出作業を行うことが望
ましい。タンクからの排出は弁４８を開き、送りポンプ
４２を閉じ、真空ポンプ２８が全ての洗浄流体をタンク
１２から抜き出して洗浄ユ二ット３４へ入れることがで
きるようにして行うことができる。それから洗浄流体は
洗浄室３８または貯蔵器５０に貯蔵できる。洗浄流体を
放出して、恐らくは新しい化学物質で置き換えることが
できるようにするために、貯蔵器５０を迅速に切り離せ
るようにできる。好適な実施例においては、真空ポンプ
２８は気化した洗浄流体だけを洗浄ユ二ット３４へ送
る。この排出方法により洗浄室１４内部に残る溶剤残滓
がほとんどないから、タンク１２の以後の清掃が簡単に
され、加速される。貯蔵室５０は、洗浄流体を液体状態
で貯蔵するために洗浄流体を冷却する凝縮器を有する圧
力容器として典型的に製作される。弁４８を閉じ、送り
ポンプ４２を再び作動させることにより、洗浄流体をタ
ンク１２へ再び供給できる。好適な実施例においては、
洗浄流体がタンク１２へ再び入れられる前に、真空ポン
プ２８は酸素をタンク１２から排出できる。洗浄流体が
可燃性である場合には、酸素を除去することはとくに有
用である。

【００２０】タンク１２を、洗浄室１４から排出させる
ために使用されるガス源７０へ連結される。このガス源
７０はガス加熱器７２と弁７４へ連結される。タンクを
空にする場合には、弁７４を開き、排出ガスをマ二ホル
ド２２を通って洗浄室１４へ入れる。加熱されたガスは
洗浄流体１８を洗浄室１４から追い出す。ガスは真空ポ
ンプ２８へ流れる。この真空ポンプ２８は溶剤を凝縮さ
せて、排出する。追い出しガスはトラップ７８により捕
らえられ、大気中に放出される。この洗浄装置は、熱交
換器２９へ冷凍トラップ７８により結合されるカーボン
ベッド７６を有することができる。このカーボンベッド
は熱交換器２９へ流れ込む追い出しガスを除去する。

【００２１】図２はタンク１２へ蓋２０をシールするた
め好適な実施例を示す。タンク１２は第１の溝５４の内
部に第１のシール５２を有し、第２の溝５８の内部に第
２のシール５６を有する。フィルタ２０がタンク１２へ
結合されると、シールは通路６０により分離される。真
空ポンプ６２が通路６０内を真空にして、フィルタ２０
をタンク１２へ向かって引く。通路６０内部の真空が、
止め金その他の機械的固定機構を必要とすることなし
に、フィルタ２０をタンク１２へ取り付ける。真空ポン
プ６２はタンク１２へ典型的に連結されるから、通路６
０へ漏れる蒸気はタンクの洗浄室１４へ送られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の洗浄装置の略図である。

【図２】洗浄タンクへシールされている蓋の横断面図で
ある。

【符号の説明】

１０洗浄装置１２タンク１４，３８洗浄室２０蓋２２，２６マニホルド２４加熱要素２８，６２真空ポンプ２９熱交換器３０圧力調整器３２廃棄物室３４洗浄ユ二ット３６廃物容器４２送りポンプ４４再加熱器４５予熱器５２，５６シール６０通路

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成６年４月１８日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項１３

【補正方法】変更

【補正内容】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項１４

【補正方法】変更

【補正内容】

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】０００６

【補正方法】変更

【補正内容】

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、洗浄流体を収
容するタンクを有する洗浄装置に関するものである。洗
浄装置は典型的には液体、蒸気または二相状態であっ
て、回路板または精密部品のような物体からグリースそ
の他の外部物質を除去できる。タンクは洗浄流体を希望
の状態に維持するために洗浄流体を加熱する加熱ジャケ
ットを有する。タンクは、洗浄流体を液体状態で室内部
へ入れるためのマニホルドも有する。蒸留器が真空ポン
プによりタンクへ結合される。ポンプは液体と気化した
洗浄流体を蒸留器を通じて循環させる。蒸留器は洗浄流
体から外来物質を除去する。外来物質は廃棄物容器に貯
蔵される。廃棄物を容易に捨てることができるようにす
るために廃棄物容器は取り出すことができる。洗浄流体
がタンク内へ再び入れられる前に、凝縮／再加熱サイク
ルを経て洗浄流体を蒸留器から流すことができる。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１１

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１１】タンク１２内部の洗浄流体１８は液体状
態、蒸気状態または二相状態にできる。洗浄室１４を横
切って延長する第１のマニホルド２２を通じて、洗浄流
体１８をタンク１２の内部へ入れることが好ましい。別
の実施例においては、物体をタンク１２の上から入れる
ことができるようにするために、マニホルド２２を洗浄
室１４の周辺部に沿って延長させることができる。加熱
要素２４をタンク１２の壁内部に埋め込んで、加熱制御
論理２５へ結合する。輻射熱を供給するようにも加熱要
素２４を構成する。加熱要素２４は洗浄流体１８と物体
１６へ更に熱を供給して洗浄流体を希望の状態に維持す
る。タンク１２は、洗浄室１４を横切って延びる液体状
態の洗浄流体１８を供給する第２のマニホルド２６をも
有することができる。第１のマニホルド２２と同様に、
第２のマニホルド２６もタンク１２の周囲を延長させる
ことができる。洗浄流体１８を液体噴霧として洗浄室１
４の内部へ入れるように、第２のマニホルド２６を構成
することが好ましい。第２のマニホルド２６は第１のマ
ニホルド２２と一緒に使用でき、または第１のマニホル
ド２２の代わりに使用できる。

【手続補正５】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１２

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１２】第１の真空ポンプ２８がタンク１２へ結合
される。この真空ポンプ２８は洗浄室１４内部の圧力を
低下できる液体リングポンプであることが好ましい。液
体リングポンプは、冷却器（図示せず）へ結合されてい
る熱交換器を通じてポンプ送りされる超低温に冷却され
ている流体を利用する。超低温に冷却された流体がポン
プ２８内へ吸い込まれる溶剤を凝縮させる。真空ポンプ
２８とタンク１２へ、タンク１２内部の洗浄流体の圧力
を調整する圧力調整装置３０が結合される。圧力調整装
置３０は比例制御弁へ接続される圧力トランスデューサ
を有することができる。この圧力トランスデューサはタ
ンクまたは流管内部の流体圧力を検出し、比例弁の解放
度を変化させる出力を供給する。たとえば、圧力が希望
値より高いとすると、比例制御弁は一層開いてタンク１
２と真空ポンプ２８の間の流量を増加し、タンク１２内
部の圧力を低下させる。トランスデューサと比例弁は、
圧力をモニタしてユーザーが新しい圧力値にキーパンチ
できるようにする。同様に、装置１０を完全オートーメ
ーションにするために、加熱要素２４をコンピュータへ
接続することもできる。別の実施例においては、圧力調
整装置３０はバネにより力を加えられる簡単な調整可能
な制御弁、その他の圧力制御手段とすることができる。

【手続補正６】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１６】洗浄流体１８はタンク１２から廃棄室３２
を通って、グリースその他の外部物質を流体から除去す
る洗浄ユニット３４に入る。洗浄ユニット３４は流体を
再び蒸発させる蒸留装置であることが好ましい（流体
は、典型的には、廃棄室３２から取り出される時に液体
状態または液体／蒸気状態である）。蒸留装置３４は外
部物質を捕らえる濾過装置を有することができる。それ
らの外部物質は廃物容器３６に貯蔵される。この装置
は、蒸留装置３４からの廃棄物の流れを終わらせること
ができ、後で廃物を除去するために廃物容器３６を取り
外すことができるようにする廃物排出弁（図示せず）を
有することができる。洗浄ユニット３４は洗浄流体１８
を精製して洗浄流体をタンク１２へ再循環できるように
する。洗浄ユニット３４をタンク１２とは別々のものと
して示しているが、洗浄ユニット３４をタンク１２と一
体にできることを理解すべきである。

【手続補正７】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１７

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１７】蒸発した洗浄流体は洗浄ユニット３４から
洗浄室３８を通って冷却装置４０に入る。冷却装置４０
は洗浄流体１８の温度を低下させる。それから洗浄流体
１８は洗浄室３８へポンプ送りされる。液体リングポン
プを使用するならば、真空ポンプ２８は流体を液体状態
へ変化させる。洗浄流体１８が冷却室４０から洗浄室３
８へポンプ送りされると、洗浄ユニット３４から流れる
気化した流体は液体洗浄流体の温度を上昇させる。した
がって、洗浄室３８は流体に対して再生作用を行う。液
体洗浄流体は送りポンプ４２によりタンク１２へポンプ
送りされる。送りポンプ４２は、洗浄流体１８を加熱し
て洗浄流体をタンク１２へ送る再加熱器４４へ連結され
る。洗浄流体が気体，液体、または二相状態でタンク１
２へ再び入れられるように、再加熱器４４をセットでき
る。

【手続補正８】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１８

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１８】この洗浄装置は洗浄室３８内部の洗浄流体
を加熱する予熱器４５も有することができる。気化した
洗浄流体は第１のマニホルド２２を通ってタンク１２の
内部へ典型的に再び入れられる。図１に示すように、送
りポンプ４２の吐出口を第２のマニホルド２６へ連結し
て、液体状態の洗浄流体を、好ましくは液体噴霧とし
て、洗浄室１４へ再び入れることができるようにする。
圧力調整装置３０は、タンクに出入りする洗浄流体の流
れを、洗浄室１４内部の洗浄流体の圧力に従って調整す
る調整弁４６を含む。したがって、本発明は洗浄流体の
圧力を調整でき、かつ閉じられている再循環装置内部の
洗浄流体を清浄にできる洗浄装置を提供するものであ
る。

【手続補正９】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００１９

【補正方法】変更

【補正内容】

【００１９】とくに、洗浄された物体１６をタンクから
取り出さねばならない時には、洗浄室１４から流体を排
出することが望ましいことがある。洗浄流体の蒸気を大
気中に放出することなしにその排出作業を行うことが望
ましい。タンクからの排出は弁４８を開き、送りポンプ
４２を閉じ、真空ポンプ２８が全ての洗浄流体をタンク
１２から抜き出して洗浄ユニット３４へ入れることがで
きるようにして行うことができる。それから洗浄流体は
洗浄室３８または貯蔵器５０に貯蔵できる。洗浄流体を
放出して、恐らくは新しい化学物質で置き換えることが
できるようにするために、貯蔵器５０を迅速に切り離せ
るようにできる。好適な実施例においては、真空ポンプ
２８は気化した洗浄流体だけを洗浄ユニット３４へ送
る。この排出方法により洗浄室１４内部に残る溶剤残滓
がほとんどないから、タンク１２の以後の清掃が簡単に
され、加速される。貯蔵室５０は、洗浄流体を液体状態
で貯蔵するために洗浄流体を冷却する凝縮器を有する圧
力容器として典型的に製作される。弁４８を閉じ、送り
ポンプ４２を再び作動させることにより、洗浄流体をタ
ンク１２へ再び供給できる。好適な実施例においては、
洗浄流体がタンク１２へ再び入れられる前に、真空ポン
プ２８は酸素をタンク１２から排出できる。洗浄流体が
可燃性である場合には、酸素を除去することはとくに有
用である。

【手続補正１０】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２０】タンク１２を、洗浄室１４から排出させる
ために使用されるガス源７０へ連結される。このガス源
７０はガス加熱器７２と弁７４へ連結される。タンクを
空にする場合には、弁７４を開き、排出ガスをマニホル
ド２２を通って洗浄室１４へ入れる。加熱されたガスは
洗浄流体１８を洗浄室１４から追い出す。ガスは真空ポ
ンプ２８へ流れる。この真空ポンプ２８は溶剤を凝縮さ
せて、排出する。追い出しガスはトラップ７８により捕
らえられ、大気中に放出される。この洗浄装置は、熱交
換器２９へ冷凍トラップ７８により結合されるカーボン
ベッド７６を有することができる。このカーボンベッド
は熱交換器２９へ流れ込む追い出しガスを除去する。

【手続補正１１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】符号の説明

【補正方法】変更

【補正内容】

【符号の説明】１０洗浄装置１２タンク１４，３８洗浄室２０蓋２２，２６マニホルド２４加熱要素２８，６２真空ポンプ２９熱交換器３０圧力調整器３２廃棄物室３４洗浄ユニット３６廃物容器４２送りポンプ４４再加熱器４５予熱器５２，５６シール６０通路

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】洗浄流体を収容するタンクと、前記洗浄流体を二相状態で前記タンク内へ入れるための
手段と、を備える洗浄装置。
【請求項２】洗浄流体を収容するタンクと、このタンクへ連結された蒸留器と、この蒸留器へ連結され、液体状態および気化した状態で
前記洗浄状態を収容する洗浄室と、この洗浄室へ連結された凝縮器と、この凝縮器と前記洗浄室へ連結された第１のポンプと、前記洗浄室へ連結された第２のポンプと、この第２のポンプと前記タンクへ連結された再加熱器
と、を備える洗浄装置。
【請求項３】請求項２記載の洗浄装置において、前記
タンク内の前記洗浄流体の圧力を調整するための圧力調
整手段を更に備える洗浄装置。
【請求項４】請求項３記載の洗浄装置において、前記
第１のポンプへ送り込まれ、トラップにより捕らえられ
る加熱された追い出しガスにより前記タンクを空にする
ための排出手段を更に備える洗浄装置。
【請求項５】パークロールエチレンを収容するタンク
と、前記パークロールエチレンの圧力を９０ｐｓｉと、水銀
柱約３０インチに等しい真空との間の圧力に維持するた
めの圧力手段と、を備える洗浄装置。
【請求項６】請求項５記載の洗浄装置において、前記
パークロールエチレンの温度を約１２０℃（約２５０°
Ｆ）に維持する温度調節手段を更に備える洗浄装置。
【請求項７】トリクロロエチレンを収容するタンク
と、前記パークロールエチレンの圧力を６０ｐｓｉと、水銀
柱３０インチに等しい真空との間の圧力に維持するため
の圧力手段と、を備える洗浄装置。
【請求項８】請求項７記載の洗浄装置において、前記
トリクロロエチレンの温度を約１９０°Ｆに維持する温
度調節手段を更に備える洗浄装置。
【請求項９】塩化メチルを収容するタンクと、前記塩化メチルの圧力を１５０ｐｓｉと、水銀柱３０イ
ンチに等しい真空との間の圧力に維持するための圧力手
段と、を備える洗浄装置。
【請求項１０】請求項９記載の洗浄装置において、前
記塩化メチルの温度を約１００°Ｆに維持する温度調節
手段を更に備える洗浄装置。
【請求項１１】ハイドロクロロフルオロカーボンを収
容するタンクと、前記ハイドロクロロフルオロカーボンの圧力を１５０ｐ
ｓｉと、水銀柱３０インチに等しい真空との間の圧力に
維持するための圧力手段と、を備える洗浄装置。
【請求項１２】請求項１１記載の洗浄装置において、
前記ハイドロクロロフルオロカーボンの温度を約９０°
Ｆに維持する温度調節手段を更に備える洗浄装置。
【請求項１３】ハイドロフルオロカーボンを収容する
タンクと、前記ハイドロクロロフルオロカーボンの圧力を１００ｐ
ｓｉと、水銀柱３０インチに等しい真空との間の圧力に
維持するための圧力手段と、を備える洗浄装置。
【請求項１４】請求項１３記載の洗浄装置において、
前記ハイドロフルオロカーボンの温度を約２０°Ｆに維
持する温度調節手段を更に備える洗浄装置。
【請求項１５】イソプロピルアルコールを収容するタ
ンクと、前記ハイドロクロロフルオロカーボンの圧力を２０ｐｓ
ｉと、水銀柱３０インチに等しい真空との間の圧力に維
持するための圧力手段と、を備える洗浄装置。
【請求項１６】炭化水素を収容するタンクと、前記炭化水素の圧力を６０ｐｓｉと、水銀柱３０インチ
に等しい真空との間の圧力に維持するための圧力手段
と、を備える洗浄装置。
【請求項１７】洗浄装置内部に洗浄流体を収容するタ
ンクと、このタンクの近くの蓋と、前記タンクおよび前記蓋に隣接する第１のシールと、この第１のシールから通路により分離され、前記タンク
および前記蓋に隣接する第２のシールと、前記蓋を前記タンクへの作動的接触状態に維持するため
に前記通路内部を真空にするための真空手段と、を備え
る洗浄流体を含む洗浄タンクの洗浄装置。